JP4717497B2 - Gas barrier film - Google Patents

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本発明は、ガスバリア性に優れたフィルムに関するものであり、特に各種の有機デバイスの基板や被覆フィルムに好適な積層型のガスバリアフィルムに関する。さらには、前記ガスバリアフィルムを用いた、耐久性およびフレキシブル性に優れた有機デバイス、特に有機EL素子に関するものである。   The present invention relates to a film excellent in gas barrier properties, and particularly relates to a laminated gas barrier film suitable for substrates and coating films of various organic devices. Furthermore, the present invention relates to an organic device excellent in durability and flexibility, particularly an organic EL element, using the gas barrier film.

近年、液晶表示素子や太陽電池、エレクトロルミネッセンス(EL)素子等の有機デバイスにおいて、重くて割れやすいガラス基板に代わり、薄くて軽く柔軟性に優れた透明なプラスチックフィルムを基板に用いることが検討されている。透明プラスチック基板はまた、大面積化が容易でロールトゥロール(Roll to Roll)の生産方式を適用することも可能であることから、ガラスよりも生産性がよくコストダウンの点でも有利である。
しかし透明プラスチックフィルムは、ガラスと比較してガスバリア性に劣るという問題がある。有機デバイスは、一般に構成材料が水や空気によって劣化や変質を起こしやすい。例えば、液晶表示素子の基板にガスバリア性が劣る基材を用いると、液晶セル内の液晶を劣化させ、劣化部位が表示欠陥となって表示品位を劣化させてしまう。
In recent years, in organic devices such as liquid crystal display elements, solar cells, and electroluminescence (EL) elements, it has been studied to use a thin, light, and flexible plastic film as a substrate instead of a heavy and fragile glass substrate. ing. The transparent plastic substrate is also advantageous in terms of productivity and cost reduction compared to glass because it can easily be increased in area and can be applied to a roll-to-roll production method.
However, the transparent plastic film has a problem that the gas barrier property is inferior to that of glass. In general, organic devices are likely to be deteriorated or altered by water or air in the constituent materials. For example, when a base material having inferior gas barrier properties is used for the substrate of the liquid crystal display element, the liquid crystal in the liquid crystal cell is deteriorated, and the deteriorated portion becomes a display defect and deteriorates the display quality.

このような問題を解決するには、上述のようなプラスチックフィルム基板自身にガスバリア機能を付与するか、或いはガスバリア性を持った透明なプラスチックフィルムでデバイス全体を封止すればよい。一般にプラスチックフィルム上に金属酸化物薄膜を形成したものが、ガスバリア性フィルムとして知られている。例えば、液晶表示素子に使用されるガスバリア性フィルムとしては、プラスチックフィルム上に酸化珪素を蒸着したもの(特許文献1参照)や、酸化アルミニウムを蒸着したもの(特許文献2参照)がある。これらは、いずれも1g/m2/day程度の水蒸気バリア性を有する。しかし近年では、より高いバリア性が要求される有機ELディスプレイや高精彩カラー液晶ディスプレイなどの開発が進んでおり、これらに使用可能な透明性を維持し且つ高バリア性、特に水蒸気バリア性で0.1g/m2/day未満の性能をもつ基材が要求されるようになっている。 In order to solve such a problem, the above-described plastic film substrate itself may be provided with a gas barrier function, or the entire device may be sealed with a transparent plastic film having gas barrier properties. In general, a metal oxide thin film formed on a plastic film is known as a gas barrier film. For example, as a gas barrier film used for a liquid crystal display element, there are a film in which silicon oxide is vapor-deposited on a plastic film (see Patent Document 1) and a film in which aluminum oxide is vapor-deposited (see Patent Document 2). All of these have a water vapor barrier property of about 1 g / m 2 / day. However, in recent years, organic EL displays and high-definition color liquid crystal displays that require higher barrier properties have been developed, maintaining transparency that can be used for them, and having high barrier properties, particularly water vapor barrier properties. A substrate having a performance of less than 1 g / m 2 / day has been required.

かかる要求に応えるために、より高いバリア性能が期待できる手段として、低圧条件下におけるグロー放電で生じるプラズマを用いて薄膜を形成するスパッタリング法やCVD法による成膜検討が行われている。また、有機層/無機層の交互積層構造を有するバリア膜を真空蒸着法により作製する技術が提案されている(特許文献3と非特許文献1参照)。   In order to meet such demands, as a means for expecting higher barrier performance, studies are being made on film formation by sputtering or CVD, in which a thin film is formed using plasma generated by glow discharge under low pressure conditions. In addition, a technique has been proposed in which a barrier film having an alternately laminated structure of organic layers / inorganic layers is manufactured by vacuum deposition (see Patent Document 3 and Non-Patent Document 1).

一方、有機デバイスに透明プラスチック基板を用いる場合、各種ガスのバリア機能に加えて紫外線の遮断機能も要求されている。例えば、自発光素子(EL等)から発する紫外線は、プラスチック基板の劣化を引き起こし、素子の劣化を早める。また外光からの紫外線は、プラスチック基板だけでなくデバイス材料の劣化や変質を生じる。このような問題を解決するために、ガスバリア性と紫外線遮断機能を兼ね備えたプラスチックフィルムの開発が検討されている。例えば、ガスバリアフィルムに酸化チタン層をコートしたものが知られているが、この場合の酸化チタン層は紫外線吸収だけでなく光触媒機能もあり、逆にコート層の劣化を早め、安定した紫外線遮断ができない可能性がある(特許文献4)。また、ガスバリア性も十分でない。このため、高いガスバリア性と安定して紫外線を遮断する機能を併せ持ったプラスチックフィルムの開発が望まれていた。
特公昭53−12,953号公報(第1頁〜第3頁) 特開昭58−217,344号公報(第1頁〜第4頁) 米国特許第6,413,645B1号公報(第4頁[2−54]〜第8頁[8−22]) 特開2004−338201号公報(第1頁〜第16頁) Affinitoら著「Thin Solid Films」(1996)、P.290〜291(第63頁〜第67頁)
On the other hand, when a transparent plastic substrate is used for an organic device, an ultraviolet blocking function is required in addition to a barrier function for various gases. For example, ultraviolet light emitted from a self-luminous element (such as EL) causes deterioration of the plastic substrate and accelerates deterioration of the element. Moreover, the ultraviolet rays from external light cause deterioration and alteration of not only the plastic substrate but also the device material. In order to solve such a problem, development of a plastic film having a gas barrier property and an ultraviolet blocking function has been studied. For example, a gas barrier film coated with a titanium oxide layer is known. In this case, the titanium oxide layer not only absorbs ultraviolet rays but also has a photocatalytic function. It may not be possible (Patent Document 4). Further, the gas barrier property is not sufficient. For this reason, development of a plastic film having both a high gas barrier property and a function of stably blocking ultraviolet rays has been desired.
Japanese Patent Publication No.53-12,953 (pages 1 to 3) JP 58-217,344 A (pages 1 to 4) US Pat. No. 6,413,645 B1 (page 4 [2-54] to page 8 [8-22]) JP 2004-338201 A (pages 1 to 16) “Thin Solid Films” (1996), Affinito et al. 290-291 (pages 63-67)

上述の諸問題を解決すべく、本発明は、高いバリア性と透明性を有し、且つ紫外線の遮断機能を併せ持ったプラスチックフィルムを提供することを目的とし、さらにこのフィルムを用いて、長期間使用しても劣化しにくい有機デバイス(例えば、有機EL素子や色素増感型太陽電池など)を提供することを目的とする。   In order to solve the above-mentioned problems, the present invention aims to provide a plastic film having high barrier properties and transparency, and also having an ultraviolet blocking function, and further using this film for a long period of time. An object of the present invention is to provide an organic device (for example, an organic EL element or a dye-sensitized solar cell) that hardly deteriorates even when used.

上記の課題は、以下の手段で解決することができる。
[1] 透明な可撓性支持体基板上に少なくとも1層の無機化合物からなるガスバリア層が形成されたガスバリアフィルムであって、該フィルムの40℃・相対湿度90%における水蒸気透過率が0.005g/m2/day以下であり、且つ波長350nmの紫外線の透過率が10%以下であることを特徴とするガスバリアフィルム。
[2] 前記ガスバリア層を構成する無機化合物が、金属酸化物を主成分とすることを特徴とする[1]に記載のガスバリアフィルム。
[3] 前記ガスバリア層を構成する無機化合物が、Si、Al、In、SnおよびZnからなる群から選ばれた少なくとも1種の金属を含む化合物を主成分とすることを特徴とする[1]または[2]に記載のガスバリアフィルム。
[4] 前記ガスバリアフィルムが、少なくとも1種の有機紫外線吸収剤を含むことを特徴とする[1]〜[3]のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。
[5] 前記有機紫外線吸収剤の一部または全部を含有する少なくとも1層の紫外線遮断層が、該支持体基板上に形成されたことを特徴とする[4]に記載のガスバリアフィルム。
The above problem can be solved by the following means.
[1] A gas barrier film in which a gas barrier layer composed of at least one layer of an inorganic compound is formed on a transparent flexible support substrate, and the water vapor permeability at 40 ° C. and 90% relative humidity of the film is 0.00. A gas barrier film having a transmittance of 005 g / m 2 / day or less and an ultraviolet ray transmittance of 350 nm or less of 10% or less.
[2] The gas barrier film according to [1], wherein the inorganic compound constituting the gas barrier layer contains a metal oxide as a main component.
[3] The inorganic compound constituting the gas barrier layer is mainly composed of a compound containing at least one metal selected from the group consisting of Si, Al, In, Sn, and Zn [1] Or the gas barrier film as described in [2].
[4] The gas barrier film according to any one of [1] to [3], wherein the gas barrier film contains at least one organic ultraviolet absorber.
[5] The gas barrier film according to [4], wherein at least one ultraviolet blocking layer containing part or all of the organic ultraviolet absorber is formed on the support substrate.

[6] 前記紫外線遮断層を、前記ガスバリアフィルムの少なくとも一方の最外面に有することを特徴とする[5]に記載のガスバリアフィルム。
[7] 前記紫外線遮断層を、前記ガスバリアフィルムの最外面の両面に有することを特徴とする[6]に記載のガスバリアフィルム。
[8] 前記紫外線遮断層を、前記ガスバリア層が形成された面と反対の支持体基板面に有することを特徴とする[6]に記載のガスバリアフィルム。
[9] 前記ガスバリア層と有機化合物からなる層を交互にそれぞれ複数層有することを特徴とする、[1]〜[8]のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。
[10] 前記有機化合物からなる層が、紫外線硬化性モノマーを塗布し紫外線で硬化させて形成したポリマー層であることを特徴とする、[9]に記載のガスバリアフィルム。
[6] The gas barrier film according to [5], wherein the ultraviolet blocking layer is provided on at least one outermost surface of the gas barrier film.
[7] The gas barrier film according to [6], wherein the ultraviolet blocking layer is provided on both outermost surfaces of the gas barrier film.
[8] The gas barrier film according to [6], wherein the ultraviolet blocking layer is provided on a support substrate surface opposite to the surface on which the gas barrier layer is formed.
[9] The gas barrier film according to any one of [1] to [8], wherein the gas barrier layer and the layer made of an organic compound are alternately provided in plural layers.
[10] The gas barrier film as described in [9], wherein the layer made of the organic compound is a polymer layer formed by applying an ultraviolet curable monomer and curing with an ultraviolet ray.

[11] [1]〜[10]のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムを用いた有機デバイス。
[12] [1]〜[10]のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムで封止された有機デバイス。
[11] An organic device using the gas barrier film according to any one of [1] to [10].
[12] An organic device sealed with the gas barrier film according to any one of [1] to [10].

本発明のガスバリアフィルムは、高いバリア性と透明性を有し、且つ紫外線の遮断機能を併せ持っている。また、本発明の有機デバイスは、長期間使用しても劣化しにくい。   The gas barrier film of the present invention has high barrier properties and transparency, and also has an ultraviolet blocking function. Further, the organic device of the present invention is hardly deteriorated even when used for a long time.

以下において、本発明の紫外線遮断効果のあるガスバリアフィルムについて詳細に説明する。以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。なお、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。   Hereinafter, the gas barrier film having an ultraviolet blocking effect of the present invention will be described in detail. The description of the constituent elements described below may be made based on typical embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to such embodiments. In the present specification, a numerical range represented by using “to” means a range including numerical values described before and after “to” as a lower limit value and an upper limit value.

《ガスバリアフィルム》
本発明のガスバリアフィルムは、透明な可撓性支持体である基板フィルム上に、少なくとも1層の無機化合物からなるガスバリア層(以下、無機ガスバリア層ということがある)を有する。本発明のフィルムには、無機ガスバリア層と有機化合物からなる層(以下、有機層ということがある)を積層することで、より高いガスバリア能を発揮させることができる。本発明のガスバリアフィルムの40℃・相対湿度90%における水蒸気透過率は0.005g/m2/day以下であり、好ましくは0.001g/m2/day以下である。 また、本発明のガスバリアフィルムは、紫外線化合物からなる遮断層を積層すること等により、高いガスバリア能と高い紫外線遮断能とを両立させている。
本発明のガスバリアフィルムは、透明な可撓性支持体上に無機ガスバリア層と紫外線遮断層に加えて、吸湿性層や帯電防止層、導電層等を設けることができる。
<Gas barrier film>
The gas barrier film of the present invention has a gas barrier layer composed of at least one inorganic compound (hereinafter sometimes referred to as an inorganic gas barrier layer) on a substrate film that is a transparent flexible support. The film of the present invention can exhibit a higher gas barrier ability by laminating an inorganic gas barrier layer and a layer composed of an organic compound (hereinafter sometimes referred to as an organic layer). Water vapor permeability at 40 ° C. · 90% relative humidity of the gas barrier film of the present invention is not more than 0.005g / m 2 / day, preferably not more than 0.001g / m 2 / day. The gas barrier film of the present invention achieves both high gas barrier ability and high ultraviolet shielding ability by laminating a shielding layer made of an ultraviolet compound.
In the gas barrier film of the present invention, a hygroscopic layer, an antistatic layer, a conductive layer and the like can be provided on a transparent flexible support in addition to the inorganic gas barrier layer and the ultraviolet blocking layer.

(無機ガスバリア層)
本発明における「無機化合物からなるガスバリア層」とは、無機材料で構成されるガス分子の透過を抑制しうる緻密な構造の薄膜である層を意味し、例えば、金属化合物からなる薄膜(金属化合物薄膜)が挙げられる。前記無機ガスバリア層の形成方法は、目的の薄膜を形成できる方法であればいかなる方法でも用いることができる。前記形成方法としては、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、プラズマCVD法などが適しており、具体的には特許登録第3400324号、特開2002−322561号、特開2002−361774号各公報記載の形成方法を採用することができる。
前記無機ガスバリア層に含まれる成分は、上記性能を満たすものであれば特に限定されないが、例えば、Si、Al、In、Sn、Zn、Ti、Cu、CeおよびTa等からなる群から選ばれる1種以上の金属を含む酸化物、窒化物もしくは酸化窒化物などを用いることができる。好ましくは、Si、Al、In、SnおよびZnからなる群から選ばれた少なくとも1つ以上の金属から選ばれる。
(Inorganic gas barrier layer)
The “gas barrier layer made of an inorganic compound” in the present invention means a layer that is a thin film having a dense structure capable of suppressing the permeation of gas molecules made of an inorganic material. For example, a thin film made of a metal compound (metal compound) Thin film). As the method for forming the inorganic gas barrier layer, any method can be used as long as it can form a target thin film. As the forming method, for example, a sputtering method, a vacuum deposition method, an ion plating method, a plasma CVD method, and the like are suitable. Specifically, Japanese Patent Registration No. 3400324, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-322561, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-2002. The formation method described in each publication of 361774 can be employed.
The component contained in the inorganic gas barrier layer is not particularly limited as long as it satisfies the above performance. For example, 1 selected from the group consisting of Si, Al, In, Sn, Zn, Ti, Cu, Ce, Ta, and the like. An oxide, nitride, oxynitride, or the like containing more than one kind of metal can be used. Preferably, it is selected from at least one metal selected from the group consisting of Si, Al, In, Sn and Zn.

また、前記無機ガスバリア層の厚みに関しても特に限定されないが、厚みが厚すぎると曲げ応力によるクラックの恐れがあり、薄すぎると膜が島状に分布するため、いずれもガスバリア性が悪くなる傾向がある。このため、各無機ガスバリア層の厚みは、それぞれ5nm〜1000nmの範囲内であることが好ましく、さらに好ましくは10nm〜1000nmであり、最も好ましくは10nm〜200nmである。
また、2層以上の無機ガスバリア層は、各々が同じ組成であってもよいし、異なる組成であってもよく、特に制限はされない。
Also, the thickness of the inorganic gas barrier layer is not particularly limited, but if the thickness is too thick, there is a risk of cracking due to bending stress, and if it is too thin, the film is distributed in an island shape. is there. Therefore, the thickness of each inorganic gas barrier layer is preferably in the range of 5 nm to 1000 nm, more preferably 10 nm to 1000 nm, and most preferably 10 nm to 200 nm.
The two or more inorganic gas barrier layers may have the same composition or different compositions, and are not particularly limited.

本発明において、ガスバリア性と高透明性とを両立させるには前記無機ガスバリア層として、珪素酸化物や珪素窒化物または珪素酸化窒化物を用いるのが好ましい。前記無機ガスバリア層として珪素酸化物であるSiOxを用いる場合、良好なガスバリア性と高い光線透過率とを両立させるためには1.6<x<1.9であることが望ましい。前記無機ガスバリア層として珪素窒化物であるSiNyを用いる場合は、1.2<y<1.3であることが好ましい。y<1.2となると着色が大きくなることがあり、ディスプレイ用途に用いる場合には制約となる。   In the present invention, it is preferable to use silicon oxide, silicon nitride, or silicon oxynitride as the inorganic gas barrier layer in order to achieve both gas barrier properties and high transparency. When SiOx, which is a silicon oxide, is used as the inorganic gas barrier layer, it is desirable that 1.6 <x <1.9 in order to achieve both good gas barrier properties and high light transmittance. When SiNy which is silicon nitride is used as the inorganic gas barrier layer, it is preferable that 1.2 <y <1.3. When y <1.2, coloring may increase, which is a limitation when used in display applications.

また、前記無機ガスバリア層として珪素酸化窒化物であるSiOxNyを用いる場合、密着性向上を重視するのであれば、酸素リッチの膜とすることが好ましく、具体的には1<x<2および、0<y<1を満足することが好ましい。一方、ガスバリア性の向上を重視する場合には、窒素リッチの膜とすることが好ましく、具体的には0<x<0.8および0.8<y<1.3を満足することが好ましい。   When SiOxNy, which is silicon oxynitride, is used as the inorganic gas barrier layer, it is preferable to use an oxygen-rich film if importance is placed on improving adhesion, specifically, 1 <x <2 and 0 It is preferable that <y <1 is satisfied. On the other hand, when importance is attached to the improvement of gas barrier properties, a nitrogen-rich film is preferable, and specifically, it is preferable to satisfy 0 <x <0.8 and 0.8 <y <1.3. .

(有機層)
本発明のガスバリアフィルムは、前記無機ガスバリア層の脆性やバリア性を向上させるために、各層に隣接した有機層を設けることができる。有機層は、紫外線もしくは電子線硬化性モノマー、オリゴマーまたは樹脂を、塗布または蒸着で成膜したのち、紫外線または電子線で硬化させた層であることが好ましい。
(Organic layer)
In the gas barrier film of the present invention, an organic layer adjacent to each layer can be provided in order to improve the brittleness and barrier properties of the inorganic gas barrier layer. The organic layer is preferably a layer obtained by forming a film of ultraviolet or electron beam curable monomer, oligomer or resin by coating or vapor deposition and then curing the film with ultraviolet or electron beam.

前記有機層について、モノマーを架橋させて得られた高分子を主成分として形成した有機層を用いる場合を例に説明する。前記モノマーとしては、紫外線もしくは電子線の照射により架橋できる基を有するモノマーであれば特に限定は無いが、アクリロイル基またはメタクリロイル基、オキセタン基を有するモノマーを用いることが好ましい。
上記有機層は、例えば、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパン(メタ)アクリレート、エチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレートなどのうち、2官能以上のアクリロイル基またはメタクリロイル基を有するモノマーを架橋させて得られる高分子を主成分とすることが好ましい。これらの2官能以上のアクリロイル基またはメタクリロイル基を有するモノマーは2種類以上を混合して用いてもよいし、また1官能の(メタ)アクリレートを混合して用いてもよい。
The organic layer will be described by taking as an example the case of using an organic layer formed mainly of a polymer obtained by crosslinking monomers. The monomer is not particularly limited as long as it has a group that can be cross-linked by irradiation with ultraviolet rays or electron beams, but it is preferable to use a monomer having an acryloyl group, a methacryloyl group, or an oxetane group.
The organic layer includes, for example, epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, isocyanuric acid (meth) acrylate, pentaerythritol (meth) acrylate, trimethylolpropane (meth) acrylate, ethylene glycol (meth) acrylate, polyester ( Among the (meth) acrylates and the like, it is preferable that the main component is a polymer obtained by crosslinking a monomer having a bifunctional or higher functional acryloyl group or methacryloyl group. These monomers having a bifunctional or higher functional acryloyl group or methacryloyl group may be used as a mixture of two or more, or may be used as a mixture of a monofunctional (meth) acrylate.

また、前記オキセタン基を有するモノマーとしては、例えば、特開2002−356607号公報の一般式(3)〜(6)に記載されている構造を有するモノマーが好適に挙げられる。この場合、これらを任意に混合してもよい。   Moreover, as a monomer which has the said oxetane group, the monomer which has the structure described in General formula (3)-(6) of Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-356607 is mentioned suitably, for example. In this case, you may mix these arbitrarily.

また、前記有機層は、ディスプレイ用途に要求される耐熱性、耐溶剤性の観点から、特に架橋度が高く、ガラス転移温度が200℃以上である、イソシアヌル酸アクリレート、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレートを主成分とすることがさらに好ましい。前記有機層の厚みについても特に限定はされないが、前記有機層の厚みが薄すぎると、厚みの均一性を得ることが困難となるため、無機ガスバリア層の構造欠陥を効率よく有機層で埋めることができずに、バリア性の向上は見られない。また、逆に有機層の厚みが厚すぎると、曲げ等の外力により有機層がクラックを発生し易くなるためバリア性が低下してしまう不具合が発生してしまう。かかる観点から、上記有機層の厚みは、10nm〜5000nmが好ましく、10nm〜2000nmがさらに好ましく、50nm〜2000nmが最も好ましい。   The organic layer is mainly composed of isocyanuric acid acrylate, epoxy acrylate, and urethane acrylate having a high degree of crosslinking and a glass transition temperature of 200 ° C. or higher from the viewpoint of heat resistance and solvent resistance required for display applications. More preferably, it is a component. The thickness of the organic layer is not particularly limited, but if the thickness of the organic layer is too thin, it is difficult to obtain thickness uniformity, so that structural defects of the inorganic gas barrier layer are efficiently filled with the organic layer. It is not possible to improve the barrier property. On the other hand, if the thickness of the organic layer is too thick, the organic layer is likely to crack due to an external force such as bending, resulting in a problem that the barrier property is lowered. From this viewpoint, the thickness of the organic layer is preferably 10 nm to 5000 nm, more preferably 10 nm to 2000 nm, and most preferably 50 nm to 2000 nm.

本発明の有機層の形成方法としては、まず、架橋性のモノマー等を含む塗膜を形成し、その後、該塗膜に電子線もしくは紫外線を照射して硬化させる方法が挙げられる。前記塗膜を形成する方法としては、例えば、塗布による方法、真空成膜法等を挙げることができる。前記真空成膜法としては、特に制限はないが、蒸着、プラズマCVD等の成膜方法が好ましく、有機物質モノマーの成膜速度を制御しやすい抵抗加熱蒸着法がより好ましい。前記架橋性モノマー等の架橋方法に関しては特に制限はないが、電子線や紫外線等による架橋が、真空槽内に容易に取り付けられる点や架橋反応による高分子量化が迅速である点で望ましい。   Examples of the method for forming an organic layer of the present invention include a method in which a coating film containing a crosslinkable monomer is first formed and then the coating film is cured by irradiation with an electron beam or ultraviolet rays. Examples of the method for forming the coating film include a coating method and a vacuum film forming method. Although there is no restriction | limiting in particular as said vacuum film-forming method, Film-forming methods, such as vapor deposition and plasma CVD, are preferable, and the resistance heating vapor deposition method which is easy to control the film-forming rate of an organic substance monomer is more preferable. There are no particular restrictions on the crosslinking method for the crosslinkable monomer or the like, but crosslinking with an electron beam or ultraviolet rays is desirable in that it can be easily mounted in a vacuum chamber and the high molecular weight by a crosslinking reaction is rapid.

塗布方式で前記塗膜を塗設する場合には、従来用いられる種々の塗布方法、例えば、スプレーコート、スピンコート、バーコート等の方法を用いることができる。
前記塗膜の形成方法としては塗布法、蒸着法のいずれを用いてもよいが、直下の無機ガスバリア層成膜後に機械的な応力がかかりにくく、かつ薄膜形成に有利な真空成膜法を用いることが好ましい。
When the coating film is applied by a coating method, various conventionally used coating methods such as spray coating, spin coating, and bar coating can be used.
As the method for forming the coating film, either a coating method or a vapor deposition method may be used. However, a vacuum film forming method that is difficult to apply mechanical stress after forming an inorganic gas barrier layer immediately below and is advantageous for forming a thin film is used. It is preferable.

(紫外線遮断層)
本発明のガスバリアフィルムは、紫外線の遮断機能を有する。該紫外線遮断機能を有するために、外光もしくは自発光素子からの紫外線からガスバリアフィルムの劣化を防ぐことができる。本発明のガスバリアフィルムは、波長350nmの紫外線を透過率10%まで遮断し、好ましくは5%以下にまで遮断する。該紫外線遮断機能は、下記の紫外線吸収剤あるいは紫外線遮断剤を、基板フィルムまたは有機層に含有させる方法や、別の層として挿入する方法などで達成することができる。好ましくは、紫外線遮断層として別層を付加する方法が良い。
(UV blocking layer)
The gas barrier film of the present invention has an ultraviolet blocking function. Since it has the ultraviolet blocking function, it is possible to prevent the gas barrier film from being deteriorated by external light or ultraviolet rays from the self-light-emitting element. The gas barrier film of the present invention blocks ultraviolet rays having a wavelength of 350 nm to a transmittance of 10%, preferably to 5% or less. The ultraviolet blocking function can be achieved by a method of containing the following ultraviolet absorber or ultraviolet blocking agent in a substrate film or an organic layer, a method of inserting it as a separate layer, or the like. A method of adding another layer as the ultraviolet blocking layer is preferable.

前記紫外線遮断機能を達成する化合物としては、特に制限はないが、例えばチアゾリドン系、ベンゾトリアゾール系、アクリロニトリル系、ベンゾフェノン系、アミノブタジエン系、トリアジン系などの有機紫外線吸収剤、あるいは酸化セリウム、酸化マグネシウムなどの微粉末系紫外線遮断剤であり、特に有機紫外線吸収剤が好ましい。該有機紫外線吸収剤として、例えば特開昭46−3335号、同55−152776号、特開平5−197074号、同5−232630号、同5−307232号、同6−211813号、同8−53427号、同8−234364号、同8−239368号、同9−31067号、同10−115898号、同10−147577号、同10−182621号各公報、独国特許第19739797A号、欧州特許第711804A号各公報および特表平8−501291号公報、米国特許第1,023,859号、同第2,685,512号、同第2,739,888号、同第2,784,087号、同第2,748,021号、同第3,004,896号、同第3,052,636号、同第3,215,530号、同第3,253,921号、同第3,533,794号、同第3,692,525号、同第3,705,805号、同第3,707,375号、同第3,738,837号、同第3,754,919号、英国特許第1,321,355号明細書等に記載されている化合物を用いることができる。   The compound that achieves the ultraviolet blocking function is not particularly limited, and examples thereof include organic ultraviolet absorbers such as thiazolidone-based, benzotriazole-based, acrylonitrile-based, benzophenone-based, aminobutadiene-based, and triazine-based compounds, or cerium oxide and magnesium oxide. In particular, an organic ultraviolet absorber is preferable. Examples of the organic ultraviolet absorber include JP-A-46-3335, JP-A-55-15276, JP-A-5-197704, JP-A-5-232630, JP-A-5-307232, JP-A-6-218131, and 8- No. 53427, No. 8-234364, No. 8-239368, No. 9-31067, No. 10-115898, No. 10-147777, No. 10-182621, German Patent No. 19739797A, European Patent Nos. 711804A and 8-501291, U.S. Pat. Nos. 1,023,859, 2,685,512, 2,739,888, and 2,784,087. No. 2,748,021, No. 3,004,896, No. 3,052,636, No. 3,215,530, No. 3,253,9 No. 1, No. 3,533,794, No. 3,692,525, No. 3,705,805, No. 3,707,375, No. 3,738,837, No. The compounds described in 3,754,919, British Patent 1,321,355 and the like can be used.

紫外線遮断層を付加する場合には、前記紫外線吸収剤あるいは紫外線遮断剤を有機バインダーに分散させて層を形成する。有機バインダーは、特に制限はないが合成樹脂類を用いることができる。前記紫外線遮断層の形成方法としては、例えば塗布による方法等を挙げることができる。塗布方式で前記塗膜を塗設する場合には、従来用いられる種々の塗布方法、例えば、スプレーコート、スピンコート、バーコート等の方法を用いることができる。該塗布液中の前記紫外線吸収剤あるいは紫外線遮断剤は、紫外線透過率を調整するうえで適宜な量が含まれるが、好ましくは0.1〜50質量%であり、より好ましくは1〜30質量%である。   When an ultraviolet blocking layer is added, the ultraviolet absorbing agent or ultraviolet blocking agent is dispersed in an organic binder to form a layer. The organic binder is not particularly limited, but synthetic resins can be used. Examples of the method for forming the ultraviolet blocking layer include a coating method. When the coating film is applied by a coating method, various conventionally used coating methods such as spray coating, spin coating, and bar coating can be used. Although the said ultraviolet absorber or ultraviolet blocker in this coating liquid contains an appropriate quantity when adjusting an ultraviolet-ray transmittance, Preferably it is 0.1-50 mass%, More preferably, it is 1-30 mass. %.

本発明の紫外線遮断層の厚みは、10nm〜5000nmが好ましく、50nm〜5000nmがさらに好ましく、100nm〜5000nmが最も好ましい。また該紫外線遮断層は、基板フィルム、無機ガスバリア層、および有機層のいずれの間の位置に設置されても良いが、本発明のガスバリアフィルムの少なくとも一方の最外面にあることが好ましく、さらには無機ガスバリア層が形成された支持体基板上の面と反対側の最外面にあることが好ましい。また該紫外線遮断層がガスバリアフィルムの最外面の両面にある態様も好ましい。   The thickness of the ultraviolet blocking layer of the present invention is preferably 10 nm to 5000 nm, more preferably 50 nm to 5000 nm, and most preferably 100 nm to 5000 nm. The ultraviolet blocking layer may be disposed at any position between the substrate film, the inorganic gas barrier layer, and the organic layer, but is preferably on the outermost surface of at least one of the gas barrier films of the present invention, It is preferable to be on the outermost surface opposite to the surface on the support substrate on which the inorganic gas barrier layer is formed. Moreover, the aspect which has this ultraviolet-ray blocking layer in both surfaces of the outermost surface of a gas barrier film is also preferable.

(基板フィルム)
本発明のガスバリアフィルムに用いられる基板フィルムは、上記各層を保持できるフィルムであれば特に制限はなく、使用目的等に応じて適宜選択することができる。前記基板フィルムの基材としては、具体的に、ポリエステル樹脂、メタクリル樹脂、メタクリル酸−マレイン酸共重合体、ポリスチレン、透明フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、フッ素化ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、セルロースアシレート樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリカーボネート樹脂、脂環式ポリオレフィン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリスルホン樹脂、シクロオレフィルンコポリマー、フルオレン環変性カーボネート樹脂、脂環変性ポリカーボネート樹脂、アクリロイル化合物などの熱可塑性樹脂が挙げられる。これらの樹脂のうち、好ましい例としては、ポリエステル樹脂で特にポリエチルナフタレート樹脂(PEN)、ポリアリレート樹脂(PAr)、ポリエーテルスルホン樹脂(PES)、フルオレン環変性カーボネート樹脂(BCF−PC:特開2000−227603号公報の実施例−4の化合物)、脂環変性ポリカーボネート樹脂(IP−PC:特開2000−227603号公報の実施例−5の化合物)、アクリロイル化合物(特開2002−80616号公報の実施例−1の化合物)等の化合物からなるフィルムが挙げられる。
本発明に用いる基板フィルムは、有機デバイスの支持体に用いるため可視光に対して透明である。基板フィルムの透明度は、波長500nmの可視光を50%以上透過することが好ましい。基板フィルムの厚みは、透明度を確保するために適宜調整することができる。
(Substrate film)
If the board | substrate film used for the gas barrier film of this invention is a film which can hold | maintain each said layer, there will be no restriction | limiting in particular, According to the intended purpose etc., it can select suitably. Specific examples of the substrate film substrate include polyester resin, methacrylic resin, methacrylic acid-maleic acid copolymer, polystyrene, transparent fluororesin, polyimide resin, fluorinated polyimide resin, polyamide resin, polyamideimide resin, Ether imide resin, cellulose acylate resin, polyurethane resin, polyether ether ketone resin, polycarbonate resin, alicyclic polyolefin resin, polyarylate resin, polyether sulfone resin, polysulfone resin, cycloolefin copolymer, fluorene ring modified carbonate resin, Examples thereof include thermoplastic resins such as alicyclic modified polycarbonate resins and acryloyl compounds. Among these resins, preferred examples include polyester resins such as polyethyl naphthalate resin (PEN), polyarylate resin (PAr), polyethersulfone resin (PES), and fluorene ring-modified carbonate resin (BCF-PC: JP Example -4 of JP-A 2000-227603), alicyclic modified polycarbonate resin (IP-PC: compound of Example -5 of JP-A 2000-227603), acryloyl compound (JP-A 2002-80616) The film which consists of compounds, such as the compound of Example-1 of these, is mentioned.
The substrate film used in the present invention is transparent to visible light because it is used as a support for organic devices. The transparency of the substrate film is preferably 50% or more of visible light having a wavelength of 500 nm. The thickness of the substrate film can be appropriately adjusted in order to ensure transparency.

(その他の機能層)
本発明のガスバリアフィルムは、基材フィルムと無機ガスバリア層との間に、公知のプライマー層または無機薄膜層を設置することができる。前記プライマー層としては、例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂層、親水性樹脂共存下でゾルーゲル反応により形成する有機無機ハイブリッド層、無機蒸着層またはゾル−ゲル法による緻密な無機層を挙げることができる。前記無機蒸着層としては、シリカ、ジルコニア、アルミナ等の蒸着層が好ましい。前記無機蒸着層は真空蒸着法、スパッタリング法等により形成することができる。また、2つの無機ガスバリア層の間に吸湿性層を挿入しても、水蒸気のバリア性能が向上するので好ましい。この場合、吸湿性層は、2つの無機ガスバリア層と隣接する位置、無機ガスバリア層と有機層とに隣接する位置、2つの有機層に隣接する位置のいずれに配置してもよいが、吸湿性層の脆弱性や吸湿後の体積膨張による変形の影響を少なくするという観点からは、2つの有機層に隣接する形で2つの無機ガスバリア層の間に配置されることが最も望ましい。
(Other functional layers)
The gas barrier film of this invention can install a well-known primer layer or an inorganic thin film layer between a base film and an inorganic gas barrier layer. Examples of the primer layer include a resin layer such as an acrylic resin, an epoxy resin, a urethane resin, and a silicone resin, an organic-inorganic hybrid layer formed by a sol-gel reaction in the presence of a hydrophilic resin, an inorganic vapor deposition layer, or a dense sol-gel method. An inorganic layer can be mentioned. As said inorganic vapor deposition layer, vapor deposition layers, such as a silica, a zirconia, an alumina, are preferable. The inorganic vapor deposition layer can be formed by a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, or the like. It is also preferable to insert a hygroscopic layer between the two inorganic gas barrier layers because the water vapor barrier performance is improved. In this case, the hygroscopic layer may be disposed at a position adjacent to the two inorganic gas barrier layers, a position adjacent to the inorganic gas barrier layer and the organic layer, or a position adjacent to the two organic layers. From the viewpoint of reducing the effect of deformation due to the brittleness of the layer and the volume expansion after moisture absorption, it is most desirable to be disposed between the two inorganic gas barrier layers adjacent to the two organic layers.

さらに本発明のガスバリアフィルムは、無機ガスバリア層および有機層以外に、種々の機能層を設置してもよい。該機能層の例としては、反射防止層、偏光層、カラーフィルター、および光取出効率向上層等の光学機能層;ハードコート層や応力緩和層等の力学的機能層;帯電防止層や導電層などの電気的機能層;防曇層;防汚層;被印刷層などが挙げられる。これらの機能層は、基材フィルム、無機ガスバリア層、紫外線遮断層および有機層のいずれの間、または無機ガスバリア層が設置された基板フィルムの反対側の面に設置してもよい。
さらに、前記吸湿性層の基材フィルムとは反対側に、少なくとも無機ガスバリア層と有機層と無機ガスバリア層とがこの順に積層されたガスバリア性ラミネート層を設けることもできる。ガスバリア性ラミネート層は、フィルム反対面からの水分子の侵入を防ぐことでフィルム基板の寸法変化を抑制することでガスバリア層への応力集中や破壊を防止し、結果として耐久性の高いディスプレイを供給しうるという特徴を有する。
Furthermore, the gas barrier film of the present invention may be provided with various functional layers in addition to the inorganic gas barrier layer and the organic layer. Examples of the functional layer include an optical functional layer such as an antireflection layer, a polarizing layer, a color filter, and a light extraction efficiency improving layer; a mechanical functional layer such as a hard coat layer and a stress relaxation layer; an antistatic layer and a conductive layer. An electric functional layer such as: an antifogging layer; an antifouling layer; a layer to be printed, and the like. These functional layers may be disposed between any of the base film, the inorganic gas barrier layer, the ultraviolet blocking layer, and the organic layer, or on the opposite surface of the substrate film on which the inorganic gas barrier layer is disposed.
Further, a gas barrier laminate layer in which at least an inorganic gas barrier layer, an organic layer, and an inorganic gas barrier layer are laminated in this order can be provided on the opposite side of the hygroscopic layer from the base film. The gas barrier laminate layer suppresses the dimensional change of the film substrate by preventing intrusion of water molecules from the opposite side of the film, thereby preventing stress concentration and destruction to the gas barrier layer, resulting in a highly durable display. It has the feature that it can.

(各層の構成)
本発明のガスバリアフィルムは、基板フィルム上に少なくとも1層の無機ガスバリア層を有し、好ましくは少なくとも1層の無機ガスバリア層と有機層を積層することで構成される。無機ガスバリア層と有機層を基板フィルムの両面に積層する態様も好適である。
(Configuration of each layer)
The gas barrier film of the present invention has at least one inorganic gas barrier layer on a substrate film, and is preferably formed by laminating at least one inorganic gas barrier layer and an organic layer. A mode in which the inorganic gas barrier layer and the organic layer are laminated on both sides of the substrate film is also suitable.

《有機デバイス》
本発明における有機デバイスとは、例えば画像表示素子(円偏光板・液晶表示素子、電子ペーパーや有機EL素子)および色素増感型太陽電池、タッチパネルなどを指す。本発明のガスバリアフィルムの用途は特に限定されないが、該有機デバイスの基板や封止フィルムとして好適に用いることができる。
《Organic device》
The organic device in the present invention refers to, for example, an image display element (circular polarizing plate / liquid crystal display element, electronic paper or organic EL element), a dye-sensitized solar cell, a touch panel, and the like. Although the use of the gas barrier film of this invention is not specifically limited, It can use suitably as a board | substrate or sealing film of this organic device.

(円偏光板)
前記円偏光板は、本発明のガスバリアフィルム上に、λ/4板と偏光板とを積層することで作製することができる。この場合、λ/4の遅相軸と偏光板の吸収軸とが45°になるように積層する。このような偏光板は、長手方向(MD)に対し45°方向に延伸されているものを用いることが好ましく、例えば、特開2002−865554号公報に記載のものを好適に用いることができる。
(Circularly polarizing plate)
The circularly polarizing plate can be produced by laminating a λ / 4 plate and a polarizing plate on the gas barrier film of the present invention. In this case, the lamination is performed so that the slow axis of λ / 4 and the absorption axis of the polarizing plate are 45 °. As such a polarizing plate, it is preferable to use what is extended | stretched in the 45 degree direction with respect to the longitudinal direction (MD), For example, what is described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-865554 can be used suitably.

(液晶表示素子)
前記液晶表示装置は、反射型液晶表示装置と透過型液晶表示装置とに大別することができる。前記反射型液晶表示装置は、下方から順に、下基板、反射電極、下配向膜、液晶層、上配向膜、透明電極、上基板、λ/4板、そして偏光膜からなる構成を有する。本発明のガスバリアフィルムは、前記透明電極および上基板として使用することができる。前記反射型液晶表示装置にカラー表示機能をもたせる場合には、さらにカラーフィルター層を前記反射電極と前記下配向膜との間、または、前記上配向膜と前記透明電極との間に設けることが好ましい。
(Liquid crystal display element)
The liquid crystal display device can be roughly classified into a reflective liquid crystal display device and a transmissive liquid crystal display device. The reflective liquid crystal display device includes a lower substrate, a reflective electrode, a lower alignment film, a liquid crystal layer, an upper alignment film, a transparent electrode, an upper substrate, a λ / 4 plate, and a polarizing film in order from the bottom. The gas barrier film of the present invention can be used as the transparent electrode and the upper substrate. When the reflective liquid crystal display device has a color display function, a color filter layer may be further provided between the reflective electrode and the lower alignment film, or between the upper alignment film and the transparent electrode. preferable.

また、前記透過型液晶表示装置は、下方から順に、バックライト、偏光板、λ/4板、下透明電極、下配向膜、液晶層、上配向膜、上透明電極、上基板、λ/4板および偏光膜からなる構成を有する。このうち本発明のガスバリアフィルムは、前記上透明電極および上基板として使用することができる。また、前記透過型液晶表示装置にカラー表示機能をもたせる場合には、さらにカラーフィルター層を前記下透明電極と前記下配向膜との間、または、前記上配向膜と前記透明電極との間に設けることが好ましい。   The transmissive liquid crystal display device includes a backlight, a polarizing plate, a λ / 4 plate, a lower transparent electrode, a lower alignment film, a liquid crystal layer, an upper alignment film, an upper transparent electrode, an upper substrate, and λ / 4 in order from the bottom. It has the structure which consists of a board and a polarizing film. Among these, the gas barrier film of the present invention can be used as the upper transparent electrode and the upper substrate. Further, when the transmissive liquid crystal display device has a color display function, a color filter layer is further provided between the lower transparent electrode and the lower alignment film, or between the upper alignment film and the transparent electrode. It is preferable to provide it.

前記液晶層の構造は特に限定されないが、例えば、TN(Twisted Nematic)型、STN(Supper Twisted Nematic)型またはHAN(Hybrid Aligned Nematic)型、VA(Vertically Alignment)型、ECB(Electrically Controlled Birefringence)型、OCB(Optically Compensatory Bend)型、または、CPA(Continuous Pinwheel Alignment)型であることが好ましい。   The structure of the liquid crystal layer is not particularly limited. For example, a TN (Twisted Nematic) type, STN (Supper Twisted Nematic) type, HAN (Hybrid Aligned Nematic) type, VA (Vertically Alignment) type, ECB (Electrically Controlled Birefringence) type, for example. An OCB (Optically Compensatory Bend) type or a CPA (Continuous Pinwheel Alignment) type is preferable.

(タッチパネル)
前記タッチパネルとしては、特開平5−127822号公報、特開2002−48913号公報等に記載されたものの基板に本発明のガスバリアフィルムを適用したものを用いることができる。
(Touch panel)
As the touch panel, a substrate in which the gas barrier film of the present invention is applied to a substrate described in JP-A Nos. 5-127822 and 2002-48913 can be used.

(有機EL素子)
以下、本発明での有機デバイスの代表例として「有機EL素子」(以下、単に「発光素子」と称する場合がある)について詳細に説明する。該有機EL素子は、基板上に陰極と陽極を有し、両電極の間に有機発光層(以下、単に「発光層」と称する場合がある。)を含む有機化合物層を有する。発光素子の性質上、陽極および陰極のうち少なくとも一方の電極は、透明であることが好ましい。
(Organic EL device)
Hereinafter, an “organic EL element” (hereinafter sometimes simply referred to as “light-emitting element”) will be described in detail as a representative example of the organic device in the present invention. The organic EL element has a cathode and an anode on a substrate, and an organic compound layer including an organic light emitting layer (hereinafter sometimes simply referred to as “light emitting layer”) between both electrodes. In view of the properties of the light emitting element, at least one of the anode and the cathode is preferably transparent.

前記有機化合物層の積層の態様としては、陽極側から、正孔輸送層、発光層、電子輸送層の順に積層されている態様が好ましい。さらに、正孔輸送層と発光層との間、または、発光層と電子輸送層との間には、電荷ブロック層等を有していてもよい。陽極と正孔輸送層との間に、正孔注入層を有してもよく、陰極と電子輸送層との間には、電子注入層を有してもよい。また、発光層としては一層だけでも良く、また、第一発光層、第二発光層、第三発光層等に発光層を分割しても良い。さらに、各層は複数の二次層に分かれていてもよい。   As a lamination mode of the organic compound layer, a mode in which a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer are stacked in this order from the anode side is preferable. Furthermore, a charge blocking layer or the like may be provided between the hole transport layer and the light-emitting layer, or between the light-emitting layer and the electron transport layer. A hole injection layer may be provided between the anode and the hole transport layer, and an electron injection layer may be provided between the cathode and the electron transport layer. Further, the light emitting layer may be only one layer, or the light emitting layer may be divided into a first light emitting layer, a second light emitting layer, a third light emitting layer, and the like. Furthermore, each layer may be divided into a plurality of secondary layers.

次に、発光材料を構成する要素について、詳細に説明する。   Next, elements constituting the light emitting material will be described in detail.

(陽極)
陽極は、通常、有機化合物層に正孔を供給する電極としての機能を有していればよく、その形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、発光素子の用途、目的に応じて、公知の電極材料の中から適宜選択することができる。前述のごとく、陽極は、通常透明陽極として設けられる。
(anode)
The anode usually has a function as an electrode for supplying holes to the organic compound layer, and there is no particular limitation on the shape, structure, size, etc., depending on the use and purpose of the light-emitting element. , Can be appropriately selected from known electrode materials. As described above, the anode is usually provided as a transparent anode.

陽極の材料としては、例えば、金属、合金、金属酸化物、導電性化合物、またはこれらの混合物が好適に挙げられる。陽極材料の具体例としては、アンチモンやフッ素等をドープした酸化錫(ATO、FTO)、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウム錫(ITO)、酸化亜鉛インジウム(IZO)等の導電性金属酸化物、金、銀、クロム、ニッケル等の金属、さらにこれらの金属と導電性金属酸化物との混合物または積層物、ヨウ化銅、硫化銅などの無機導電性物質、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロールなどの有機導電性材料、およびこれらとITOとの積層物などが挙げられる。この中で好ましいのは、導電性金属酸化物であり、特に、生産性、高導電性、透明性等の点からはITOが好ましい。   Suitable examples of the material for the anode include metals, alloys, metal oxides, conductive compounds, and mixtures thereof. Specific examples of the anode material include conductive metals such as tin oxide (ATO, FTO) doped with antimony or fluorine, tin oxide, zinc oxide, indium oxide, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), etc. Metals such as oxides, gold, silver, chromium and nickel, and mixtures or laminates of these metals and conductive metal oxides, inorganic conductive materials such as copper iodide and copper sulfide, polyaniline, polythiophene and polypyrrole Organic conductive materials, and laminates of these with ITO. Among these, conductive metal oxides are preferable, and ITO is particularly preferable from the viewpoints of productivity, high conductivity, transparency, and the like.

陽極は、例えば、印刷方式、コーティング方式等の湿式方式、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理的方式、CVD、プラズマCVD法等の化学的方式などの中から、陽極を構成する材料との適性を考慮して適宜選択した方法に従って、前記基板上に形成することができる。例えば、陽極の材料として、ITOを選択する場合には、陽極の形成は、直流または高周波スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法等に従って行うことができる。   The anode is composed of, for example, a wet method such as a printing method and a coating method, a physical method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, and an ion plating method, and a chemical method such as a CVD and a plasma CVD method. It can be formed on the substrate according to a method appropriately selected in consideration of suitability with the material to be processed. For example, when ITO is selected as the anode material, the anode can be formed according to a direct current or high frequency sputtering method, a vacuum deposition method, an ion plating method, or the like.

前記発光素子において、陽極の形成位置としては特に制限はなく、発光素子の用途、目的に応じて適宜選択することができる。が、前記基板上に形成されるのが好ましい。この場合、陽極は、基板における一方の表面の全部に形成されていてもよく、その一部に形成されていてもよい。   In the light-emitting element, the formation position of the anode is not particularly limited and can be appropriately selected according to the use and purpose of the light-emitting element. Is preferably formed on the substrate. In this case, the anode may be formed on the entire one surface of the substrate, or may be formed on a part thereof.

なお、陽極を形成する際のパターニングとしては、フォトリソグラフィーなどによる化学的エッチングによって行ってもよいし、レーザーなどによる物理的エッチングによって行ってもよく、また、マスクを重ねて真空蒸着やスパッタ等をして行ってもよいし、リフトオフ法や印刷法によって行ってもよい。   The patterning for forming the anode may be performed by chemical etching such as photolithography, or may be performed by physical etching such as laser, or vacuum deposition or sputtering with a mask overlapped. It may be performed by a lift-off method or a printing method.

陽極の厚みとしては、陽極を構成する材料により適宜選択することができ、一概に規定することはできないが、通常、10nm〜50μm程度であり、50nm〜20μmが好ましい。   The thickness of the anode can be appropriately selected depending on the material constituting the anode and cannot be generally defined, but is usually about 10 nm to 50 μm, and preferably 50 nm to 20 μm.

陽極の抵抗値としては、103Ω/□以下が好ましく、102Ω/□以下がより好ましい。陽極が透明である場合は、無色透明であっても、有色透明であってもよい。透明陽極側から発光を取り出すためには、その透過率としては、60%以上が好ましく、70%以上がより好ましい。 The resistance value of the anode is preferably 10 3 Ω / □ or less, and more preferably 10 2 Ω / □ or less. When the anode is transparent, it may be colorless and transparent or colored and transparent. In order to take out light emission from the transparent anode side, the transmittance is preferably 60% or more, and more preferably 70% or more.

なお、透明陽極については、沢田豊監修「透明電極膜の新展開」シーエムシー刊(1999)に詳述があり、ここに記載される事項を本発明に適用することができる。耐熱性の低いプラスティック基材を用いる場合は、ITOまたはIZOを使用し、150℃以下の低温で成膜した透明陽極が好ましい。   The transparent anode is described in detail in the book “New Development of Transparent Electrode Films” published by CMC (1999), supervised by Yutaka Sawada, and the matters described here can be applied to the present invention. In the case of using a plastic substrate having low heat resistance, a transparent anode formed using ITO or IZO at a low temperature of 150 ° C. or lower is preferable.

(陰極)
陰極は、通常、有機化合物層に電子を注入する電極としての機能を有していればよく、その形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、発光素子の用途、目的に応じて、公知の電極材料の中から適宜選択することができる。
(cathode)
The cathode usually has a function as an electrode for injecting electrons into the organic compound layer, and there is no particular limitation on the shape, structure, size, etc., depending on the use and purpose of the light-emitting element, It can select suitably from well-known electrode materials.

陰極を構成する材料としては、例えば、金属、合金、金属酸化物、電気伝導性化合物、これらの混合物などが挙げられる。具体例としてはアルカリ金属(たとえば、Li、Na、K、Cs等)、2属金属(たとえばMg、Ca等)、金、銀、鉛、アルミニウム、ナトリウム−カリウム合金、リチウム−アルミニウム合金、マグネシウム−銀合金、インジウム、イッテルビウム等の希土類金属、などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいが、安定性と電子注入性とを両立させる観点からは、2種以上を好適に併用することができる。   Examples of the material constituting the cathode include metals, alloys, metal oxides, electrically conductive compounds, and mixtures thereof. Specific examples include alkali metals (eg, Li, Na, K, Cs, etc.), Group 2 metals (eg, Mg, Ca, etc.), gold, silver, lead, aluminum, sodium-potassium alloy, lithium-aluminum alloy, magnesium- Examples thereof include silver alloys, rare earth metals such as indium and ytterbium. These may be used alone, but two or more can be suitably used in combination from the viewpoint of achieving both stability and electron injection.

これらの中でも、陰極を構成する材料としては、電子注入性の点で、アルカリ金属や2属金属が好ましく、保存安定性に優れる点で、アルミニウムを主体とする材料が好ましい。
アルミニウムを主体とする材料とは、アルミニウム単独、アルミニウムと0.01〜10質量%のアルカリ金属または2属金属との合金若しくはこれらの混合物(例えば、リチウム−アルミニウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金など)をいう。
Among these, the material constituting the cathode is preferably an alkali metal or a Group 2 metal from the viewpoint of electron injection, and a material mainly composed of aluminum is preferable from the viewpoint of excellent storage stability.
The material mainly composed of aluminum is aluminum alone, an alloy of aluminum and 0.01 to 10% by mass of alkali metal or group 2 metal, or a mixture thereof (for example, lithium-aluminum alloy, magnesium-aluminum alloy, etc.). Say.

なお、陰極の材料については、特開平2−15595号公報、特開平5−121172号公報に詳述されており、これらの広報に記載の材料は、本発明においても適用することができる。   The materials for the cathode are described in detail in JP-A-2-15595 and JP-A-5-121172, and the materials described in these public relations can also be applied in the present invention.

陰極の形成方法については、特に制限はなく、公知の方法に従って行うことができる。例えば、印刷方式、コーティング方式等の湿式方式、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理的方式、CVD、プラズマCVD法等の化学的方式などの中から、前記した陰極を構成する材料との適性を考慮して適宜選択した方法に従って形成することができる。例えば、陰極の材料として、金属等を選択する場合には、その1種または2種以上を同時または順次にスパッタ法等に従って行うことができる。   There is no restriction | limiting in particular about the formation method of a cathode, According to a well-known method, it can carry out. For example, the cathode described above is configured from a wet method such as a printing method or a coating method, a physical method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, or an ion plating method, or a chemical method such as CVD or plasma CVD method. It can be formed according to a method appropriately selected in consideration of suitability with the material. For example, when a metal or the like is selected as the cathode material, one or more of them can be simultaneously or sequentially performed according to a sputtering method or the like.

陰極を形成するに際してのパターニングは、フォトリソグラフィーなどによる化学的エッチングによって行ってもよいし、レーザーなどによる物理的エッチングによって行ってもよく、マスクを重ねて真空蒸着やスパッタ等をして行ってもよいし、リフトオフ法や印刷法によって行ってもよい。   Patterning when forming the cathode may be performed by chemical etching such as photolithography, physical etching by laser, or the like, or by vacuum deposition or sputtering with the mask overlaid. It may be performed by a lift-off method or a printing method.

前記発光素子において、陰極形成位置は特に制限はなく、有機化合物層上の全部に形成されていてもよく、その一部に形成されていてもよい。
また、陰極と前記有機化合物層との間に、アルカリ金属または2属金属のフッ化物、酸化物等による誘電体層を0.1〜5nmの厚みで挿入してもよい。この誘電体層は、一種の電子注入層と見ることもできる。誘電体層は、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等により形成することができる。
In the light-emitting element, the cathode formation position is not particularly limited, and may be formed on the entire organic compound layer or a part thereof.
Further, a dielectric layer made of a fluoride or oxide of an alkali metal or a Group 2 metal may be inserted between the cathode and the organic compound layer with a thickness of 0.1 to 5 nm. This dielectric layer can also be regarded as a kind of electron injection layer. The dielectric layer can be formed by, for example, a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or the like.

陰極の厚みは、陰極を構成する材料により適宜選択することができ、一概に規定することはできないが、通常10nm〜5μm程度であり、50nm〜1μmが好ましい。
また、陰極は、透明であってもよいし、不透明であってもよい。なお、透明な陰極は、陰極の材料を1〜10nmの厚さに薄く成膜し、さらにITOやIZO等の透明な導電性材料を積層することにより形成することができる。
The thickness of the cathode can be appropriately selected depending on the material constituting the cathode and cannot be generally defined, but is usually about 10 nm to 5 μm, and preferably 50 nm to 1 μm.
Further, the cathode may be transparent or opaque. The transparent cathode can be formed by depositing a thin cathode material to a thickness of 1 to 10 nm and further laminating a transparent conductive material such as ITO or IZO.

(有機化合物層)
前記発光素子における有機化合物層について説明する。
該発光素子は、発光層を含む少なくとも一層の有機化合物層を有しており、有機発光層以外の他の有機化合物層としては、前述したごとく、正孔輸送層、電子輸送層、電荷ブロック層、正孔注入層、電子注入層等の各層が挙げられる。
(Organic compound layer)
The organic compound layer in the light emitting element will be described.
The light-emitting element has at least one organic compound layer including a light-emitting layer, and as the organic compound layer other than the organic light-emitting layer, as described above, a hole transport layer, an electron transport layer, a charge blocking layer , Hole injection layer, electron injection layer and the like.

−有機化合物層の形成−
前記発光素子において、有機化合物層を構成する各層は、蒸着法やスパッタ法等の乾式製膜法、転写法、印刷法等いずれによっても好適に形成することができる。
-Formation of organic compound layer-
In the light-emitting element, each layer constituting the organic compound layer can be suitably formed by any of a dry film forming method such as a vapor deposition method and a sputtering method, a transfer method, and a printing method.

−有機発光層−
有機発光層は、電界印加時に、陽極、正孔注入層、または正孔輸送層から正孔を受け取り、陰極、電子注入層、または電子輸送層から電子を受け取り、正孔と電子の再結合の場を提供して発光させる機能を有する層である。前記発光層は、発光材料のみで構成されていても良く、ホスト材料と発光材料の混合層とした構成でも良い。発光材料は蛍光発光材料でも燐光発光材料であっても良く、ドーパントは1種であっても2種以上であっても良い。ホスト材料は電荷輸送材料であることが好ましい。ホスト材料は1種であっても2種以上であっても良く、例えば、電子輸送性のホスト材料とホール輸送性のホスト材料を混合した構成が挙げられる。さらに、発光層中に電荷輸送性を有さず、発光しない材料を含んでいても良い。また、発光層は1層であっても2層以上であってもよく、それぞれの層が異なる発光色で発光してもよい。
-Organic light emitting layer-
The organic light-emitting layer receives holes from the anode, the hole injection layer, or the hole transport layer when an electric field is applied, receives electrons from the cathode, the electron injection layer, or the electron transport layer, and recombines holes and electrons. It is a layer having a function of providing a field to emit light. The light emitting layer may be composed of only a light emitting material, or may be a mixed layer of a host material and a light emitting material. The light emitting material may be a fluorescent light emitting material or a phosphorescent light emitting material, and the dopant may be one type or two or more types. The host material is preferably a charge transport material. The host material may be one type or two or more types, and examples thereof include a configuration in which an electron transporting host material and a hole transporting host material are mixed. Further, the light emitting layer may include a material that does not have charge transporting properties and does not emit light. Further, the light emitting layer may be a single layer or two or more layers, and each layer may emit light in different emission colors.

前記発光素子においては、相異なる二種類あるいは三種類以上の発光材料を用いることにより、任意の色の発光素子を得ることができる。中でも、発光材料を適切に選ぶことにより、高発光効率および高発光輝度である白色発光素子を得ることができる。例えば、青色発光/黄色発光や水色発光/橙色発光、緑色発光/紫色発光のように、補色関係にある色を発光する発光材料を用いて白色を発光させることができる。また、青色発光/緑色発光/赤色発光の発光材料を用いて白色発光させることもできる。なお、ホスト材料が発光材料の機能を兼ねて発光してもよい。例えば、ホスト材料の発光と発光材料の発光によって、素子を白色発光させてもよい。   In the light-emitting element, a light-emitting element of any color can be obtained by using two or three or more different light-emitting materials. Especially, the white light emitting element which is high luminous efficiency and high luminous brightness can be obtained by selecting a luminescent material appropriately. For example, white light can be emitted using a light emitting material that emits a complementary color, such as blue light emission / yellow light emission, light blue light emission / orange light emission, and green light emission / purple light emission. Further, white light can be emitted using a light emitting material of blue light emission / green light emission / red light emission. Note that the host material may function as a light emitting material to emit light. For example, the element may emit white light by light emission of the host material and light emission of the light emitting material.

前記発光素子においては、相異なる二種類以上の発光材料を同一発光層に含んでいても良く、また、例えば、青色発光層/緑色発光層/赤色発光層、あるいは青色発光層/黄色発光層のようにそれぞれの発光材料を含む層を積層した構造であっても良い。   In the light emitting element, two or more different kinds of light emitting materials may be included in the same light emitting layer. For example, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer, or blue light emitting layer / yellow light emitting layer Thus, a structure in which layers each containing a light emitting material are stacked may be employed.

発光層の発光色の調整手法には以下のような手法もある。これらの一または複数の手法を用いて発光色を調整することができる。   There are the following methods for adjusting the emission color of the light emitting layer. The emission color can be adjusted using one or more of these methods.

1)発光層よりも光取り出し側にカラーフィルタを設けて調整する手法。
カラーフィルタは、透過する波長を限定することで発光色を調整する。カラーフィルタとしては、例えば青色のフィルターとしては酸化コバルト、緑色のフィルターとしては酸化コバルトと酸化クロムの混合系、赤色のフィルターとしては酸化鉄などの公知の材料を用い、例えば真空蒸着法などの公知の薄膜成膜法を用いて透明基板上に形成してもよい。
1) A method of adjusting by providing a color filter on the light extraction side of the light emitting layer.
The color filter adjusts the emission color by limiting the wavelength to transmit. As the color filter, for example, cobalt oxide is used as a blue filter, a mixed system of cobalt oxide and chromium oxide is used as a green filter, and a known material such as iron oxide is used as a red filter. It may be formed on a transparent substrate using the thin film deposition method.

2)発光を促進したり阻害したりする材料を添加して発光色を調整する手法。
例えば、ホスト材料からエネルギーを受け取り、このエネルギーを発光材料へ移す、いわゆるアシストドーパントを添加し、ホスト材料から発光材料へのエネルギー移動を容易にすることができる。アシストドーパントとしては、公知の材料から適宜選択され、例えば後述する発光材料やホスト材料として利用できる材料から選択されることがある。
2) A method of adjusting the emission color by adding a material that promotes or inhibits light emission.
For example, a so-called assist dopant that receives energy from the host material and transfers this energy to the light emitting material can be added to facilitate energy transfer from the host material to the light emitting material. As an assist dopant, it selects from a well-known material suitably, for example, may be selected from the material which can be utilized as a light emitting material and host material mentioned later, for example.

3)発光層よりも光取り出し側にある層(透明基板を含む)に、波長を変換する材料を添加して発光色を調整する手法。
この材料としては公知の波長変換材料を用いることができ、例えば、発光層から発せられた光を他の低エネルギー波長の光に変換する蛍光変換物質を採用することができる。蛍光変換物質の種類は目的とする有機EL装置から出射させようとする光の波長と発光層から発せられる光の波長とに応じて適宜選択される。また、蛍光変換物質の使用量は濃度消光を起さない範囲内でその種類に応じて適宜選択可能である。蛍光変換物質は1種のみを用いてもよいし、複数種を併用してもよい。複数種を併用する場合には、その組合せにより青色光、緑色光および赤色光以外に、白色光や中間色の光を放出することができる。
3) A method of adjusting the emission color by adding a wavelength converting material to a layer (including a transparent substrate) on the light extraction side of the light emitting layer.
As this material, a known wavelength conversion material can be used. For example, a fluorescence conversion substance that converts light emitted from the light emitting layer into other light having a low energy wavelength can be used. The type of the fluorescence conversion substance is appropriately selected according to the wavelength of light to be emitted from the target organic EL device and the wavelength of light emitted from the light emitting layer. Further, the amount of the fluorescence conversion substance used can be appropriately selected according to the type within a range in which concentration quenching does not occur. Only one type of fluorescent conversion substance may be used, or a plurality of types may be used in combination. When a plurality of types are used in combination, white light or intermediate color light can be emitted in addition to blue light, green light, and red light.

前記発光素子に使用できる蛍光発光材料の例としては、例えば、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、スチリルベンゼン誘導体、ポリフェニル誘導体、ジフェニルブタジエン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体、ナフタルイミド誘導体、クマリン誘導体、縮合芳香族化合物、ペリノン誘導体、オキサジアゾール誘導体、オキサジン誘導体、アルダジン誘導体、ピラリジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、ビススチリルアントラセン誘導体、キナクリドン誘導体、ピロロピリジン誘導体、チアジアゾロピリジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、スチリルアミン誘導体、ジケトピロロピロール誘導体、芳香族ジメチリディン化合物、8−キノリノール誘導体の金属錯体やピロメテン誘導体の金属錯体に代表される各種金属錯体等、ポリチオフェン、ポリフェニレン、ポリフェニレンビニレン等のポリマー化合物、有機シラン誘導体などの化合物等が挙げられる。   Examples of fluorescent light-emitting materials that can be used in the light-emitting element include, for example, benzoxazole derivatives, benzimidazole derivatives, benzothiazole derivatives, styrylbenzene derivatives, polyphenyl derivatives, diphenylbutadiene derivatives, tetraphenylbutadiene derivatives, naphthalimide derivatives, and coumarins. Derivatives, condensed aromatic compounds, perinone derivatives, oxadiazole derivatives, oxazine derivatives, aldazine derivatives, pyrazine derivatives, cyclopentadiene derivatives, bisstyrylanthracene derivatives, quinacridone derivatives, pyrrolopyridine derivatives, thiadiazolopyridine derivatives, cyclopentadiene derivatives, Metal complexes and pyromethene derivatives of styrylamine derivatives, diketopyrrolopyrrole derivatives, aromatic dimethylidin compounds, 8-quinolinol derivatives Various metal complexes represented by metal complexes of the body, polythiophene, polyphenylene, polyphenylene vinylene polymer compounds include compounds such as organic silane derivatives.

また、前記発光素子に使用できる燐光発光材料は、例えば、遷移金属原子またはランタノイド原子を含む錯体が挙げられる。
遷移金属原子としては、特に限定されないが、好ましくは、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、タングステン、レニウム、オスミウム、イリジウム、および白金が挙げられ、より好ましくは、レニウム、イリジウム、および白金である。
ランタノイド原子としては、ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、ユーロピウム、ガドリニウム、テルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウム、ルテシウムが挙げられる。これらのランタノイド原子の中でも、ネオジム、ユーロピウム、およびガドリニウムが好ましい。
Examples of phosphorescent materials that can be used for the light-emitting element include complexes containing transition metal atoms or lanthanoid atoms.
Although it does not specifically limit as a transition metal atom, Preferably, ruthenium, rhodium, palladium, tungsten, rhenium, osmium, iridium, and platinum are mentioned, More preferably, they are rhenium, iridium, and platinum.
Examples of lanthanoid atoms include lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium, samarium, europium, gadolinium, terbium, dysprosium, holmium, erbium, thulium, ytterbium, and lutetium. Among these lanthanoid atoms, neodymium, europium, and gadolinium are preferable.

錯体の配位子としては、例えば、G.Wilkinson等著,Comprehensive Coordination Chemistry, Pergamon Press社1987年発行、H.Yersin著,「Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds」 Springer-Verlag社1987年発行、山本明夫著「有機金属化学−基礎と応用−」裳華房社1982年発行等に記載の配位子などが挙げられる。
具体的な配位子としては、好ましくは、ハロゲン配位子(好ましくは塩素配位子)、含窒素ヘテロ環配位子(例えば、フェニルピリジン、ベンゾキノリン、キノリノール、ビピリジル、フェナントロリンなど)、ジケトン配位子(例えば、アセチルアセトンなど)、カルボン酸配位子(例えば、酢酸配位子など)、一酸化炭素配位子、イソニトリル配位子、シアノ配位子であり、より好ましくは、含窒素ヘテロ環配位子である。上記錯体は、化合物中に遷移金属原子を一つ有してもよいし、また、2つ以上有するいわゆる複核錯体であってもよい。異種の金属原子を同時に含有していてもよい。
Examples of the ligand of the complex include G. Wilkinson et al., Comprehensive Coordination Chemistry, Pergamon Press, 1987, H. Yersin, “Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds,” Springer-Verlag, 1987, Akio Yamamoto. Examples of the ligands described in the book “Organic Metal Chemistry-Fundamentals and Applications-” published in 1982 by Hankabosha.
Specific ligands are preferably halogen ligands (preferably chlorine ligands), nitrogen-containing heterocyclic ligands (eg, phenylpyridine, benzoquinoline, quinolinol, bipyridyl, phenanthroline, etc.), diketones Ligand (for example, acetylacetone), carboxylic acid ligand (for example, acetic acid ligand), carbon monoxide ligand, isonitrile ligand, cyano ligand, more preferably nitrogen-containing Heterocyclic ligand. The complex may have one transition metal atom in the compound, or may be a so-called binuclear complex having two or more. Different metal atoms may be contained at the same time.

燐光発光材料は、発光層中に、0.1〜40質量%含有されることが好ましく、0.5〜20質量%含有されることがより好ましい。   The phosphorescent material is preferably contained in the light emitting layer in an amount of 0.1 to 40% by mass, and more preferably 0.5 to 20% by mass.

また、前記発光素子における発光層に含有されるホスト材料としては、例えば、カルバゾール骨格を有するもの、ジアリールアミン骨格を有するもの、ピリジン骨格を有するもの、ピラジン骨格を有するもの、トリアジン骨格を有するものおよびアリールシラン骨格を有するものや、後述の正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層の項で例示されている材料が挙げられる。   Examples of the host material contained in the light emitting layer in the light emitting element include those having a carbazole skeleton, those having a diarylamine skeleton, those having a pyridine skeleton, those having a pyrazine skeleton, those having a triazine skeleton, and Examples thereof include those having an arylsilane skeleton, and materials exemplified in the sections of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, and an electron transport layer described later.

発光層の厚さは、特に限定されるものではないが、通常、1nm〜500nmであるのが好ましく、5nm〜200nmであるのがより好ましく、10nm〜100nmであるのがさらに好ましい。   Although the thickness of a light emitting layer is not specifically limited, Usually, it is preferable that they are 1 nm-500 nm, it is more preferable that they are 5 nm-200 nm, and it is further more preferable that they are 10 nm-100 nm.

−正孔注入層、正孔輸送層−
正孔注入層、正孔輸送層は、陽極または陽極側から正孔を受け取り陰極側に輸送する機能を有する層である。正孔注入層、正孔輸送層は、具体的には、カルバゾール誘導体、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、芳香族ジメチリディン系化合物、ポルフィリン系化合物、有機シラン誘導体、カーボン、等を含有する層であることが好ましい。
正孔注入層、正孔輸送層の厚さは、駆動電圧を下げるという観点から、各々500nm以下であることが好ましい。
正孔輸送層の厚さとしては、1nm〜500nmであるのが好ましく、5nm〜200nmであるのがより好ましく、10nm〜100nmであるのがさらに好ましい。また、正孔注入層の厚さとしては、0.1nm〜200nmであるのが好ましく、0.5nm〜100nmであるのがより好ましく、1nm〜100nmであるのがさらに好ましい。
正孔注入層、正孔輸送層は、上述した材料の1種または2種以上からなる単層構造であってもよいし、同一組成または異種組成の複数層からなる多層構造であってもよい。
-Hole injection layer, hole transport layer-
The hole injection layer and the hole transport layer are layers having a function of receiving holes from the anode or the anode side and transporting them to the cathode side. Specifically, the hole injection layer and the hole transport layer are carbazole derivatives, triazole derivatives, oxazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamines. Derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, silazane derivatives, aromatic tertiary amine compounds, styrylamine compounds, aromatic dimethylidin compounds, porphyrin compounds, organosilane derivatives, carbon , Etc. are preferable.
The thicknesses of the hole injection layer and the hole transport layer are each preferably 500 nm or less from the viewpoint of lowering the driving voltage.
The thickness of the hole transport layer is preferably 1 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 200 nm, and even more preferably 10 nm to 100 nm. In addition, the thickness of the hole injection layer is preferably 0.1 nm to 200 nm, more preferably 0.5 nm to 100 nm, and further preferably 1 nm to 100 nm.
The hole injection layer and the hole transport layer may have a single-layer structure composed of one or more of the above-described materials, or may have a multilayer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions. .

−電子注入層、電子輸送層−
電子注入層、電子輸送層は、陰極または陰極側から電子を受け取り陽極側に輸送する機能を有する層である。電子注入層、電子輸送層は、具体的には、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、フルオレノン誘導体、アントラキノジメタン誘導体、アントロン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド誘導体、フルオレニリデンメタン誘導体、ジスチリルピラジン誘導体、ナフタレン、ペリレン等の芳香環テトラカルボン酸無水物、フタロシアニン誘導体、8−キノリノール誘導体の金属錯体やメタルフタロシアニン、ベンゾオキサゾールやベンゾチアゾールを配位子とする金属錯体に代表される各種金属錯体、有機シラン誘導体、等を含有する層であることが好ましい。
-Electron injection layer, electron transport layer-
The electron injection layer and the electron transport layer are layers having a function of receiving electrons from the cathode or the cathode side and transporting them to the anode side. Specifically, the electron injection layer and the electron transport layer are triazole derivatives, oxazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, fluorenone derivatives, anthraquinodimethane derivatives, anthrone derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyran dioxide derivatives, Carbodiimide derivatives, fluorenylidenemethane derivatives, distyrylpyrazine derivatives, aromatic tetracarboxylic anhydrides such as naphthalene and perylene, phthalocyanine derivatives, metal complexes of 8-quinolinol derivatives, metal phthalocyanines, benzoxazoles and benzothiazoles as ligands It is preferably a layer containing various metal complexes typified by metal complexes, organosilane derivatives, and the like.

電子注入層、電子輸送層の厚さは、駆動電圧を下げるという観点から、各々500nm以下であることが好ましい。
電子輸送層の厚さとしては、1nm〜500nmであるのが好ましく、5nm〜200nmであるのがより好ましく、10nm〜100nmであるのがさらに好ましい。また、電子注入層の厚さとしては、0.1nm〜200nmであるのが好ましく、0.2nm〜100nmであるのがより好ましく、0.5nm〜50nmであるのがさらに好ましい。
電子注入層、電子輸送層は、上述した材料の1種または2種以上からなる単層構造であってもよいし、同一組成または異種組成の複数層からなる多層構造であってもよい。
The thicknesses of the electron injection layer and the electron transport layer are each preferably 500 nm or less from the viewpoint of lowering the driving voltage.
The thickness of the electron transport layer is preferably 1 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 200 nm, and even more preferably 10 nm to 100 nm. In addition, the thickness of the electron injection layer is preferably 0.1 nm to 200 nm, more preferably 0.2 nm to 100 nm, and further preferably 0.5 nm to 50 nm.
The electron injection layer and the electron transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above-described materials, or may have a multilayer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions.

また、陰極と発光層との間のエネルギー障壁を緩和するために、陰極に隣接する層へアルカリ金属やアルカリ金属化合物をドーピングしてもよい。添加した金属や金属化合物により有機層が還元されてアニオンが生成するため、電子注入性が高まり、印加電圧が低くなる。アルカリ金属化合物としては、例えば酸化物、フッ化物、リチウムキレートなどが挙げられる。   Further, in order to alleviate the energy barrier between the cathode and the light emitting layer, the layer adjacent to the cathode may be doped with an alkali metal or an alkali metal compound. Since the organic layer is reduced by the added metal or metal compound to generate anions, the electron injecting property is increased and the applied voltage is decreased. Examples of the alkali metal compound include oxides, fluorides, and lithium chelates.

−正孔ブロック層−
正孔ブロック層は、陽極側から発光層に輸送された正孔が、陰極側に通りぬけることを防止する機能を有する層である。本発明において、発光層と陰極側で隣接する有機化合物層として、正孔ブロック層を設けることができる。また、電子輸送層・電子注入層が正孔ブロック層の機能を兼ねていてもよい。
正孔ブロック層を構成する有機化合物の例としては、BAlq等のアルミニウム錯体、トリアゾール誘導体、BCP等のフェナントロリン誘導体、等が挙げられる。正孔ブロック層の厚さとしては、1nm〜500nmであるのが好ましく、5nm〜200nmであるのがより好ましく、10nm〜100nmであるのがさらに好ましい。正孔ブロック層は、上述した材料の1種または2種以上からなる単層構造であってもよいし、同一組成または異種組成の複数層からなる多層構造であってもよい。
また、陰極側から発光層に輸送された電子が陽極側に通りぬけることを防止する機能を有する層を、発光層と陽極側で隣接する位置に設けることもできる。正孔輸送層・正孔注入層がこの機能を兼ねていてもよい。
-Hole blocking layer-
The hole blocking layer is a layer having a function of preventing holes transported from the anode side to the light emitting layer from passing through to the cathode side. In the present invention, a hole blocking layer can be provided as an organic compound layer adjacent to the light emitting layer on the cathode side. In addition, the electron transport layer / electron injection layer may also function as a hole blocking layer.
Examples of the organic compound constituting the hole blocking layer include aluminum complexes such as BAlq, triazole derivatives, phenanthroline derivatives such as BCP, and the like. The thickness of the hole blocking layer is preferably 1 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 200 nm, and even more preferably 10 nm to 100 nm. The hole blocking layer may have a single layer structure composed of one or more of the above-described materials, or may have a multilayer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions.
In addition, a layer having a function of preventing electrons transported from the cathode side to the light emitting layer from passing through to the anode side can be provided at a position adjacent to the light emitting layer on the anode side. The hole transport layer / hole injection layer may also serve this function.

(保護層)
前記発光素子においては、素子全体を保護層によって保護されていてもよい。保護層に含まれる材料としては、水分や酸素等の素子劣化を促進するものが素子内に入ることを抑止する機能を有しているものであればよい。
その具体例としては、In、Sn、Pb、Au、Cu、Ag、Al、Ti、Ni等の金属、MgO、SiO、SiO2、Al23、GeO、NiO、CaO、BaO、Fe23、Y23、TiO2等の金属酸化物、SiNx、SiNxOy等の金属窒化物、MgF2、LiF、AlF3、CaF2等の金属フッ化物、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルメタクリレート、ポリイミド、ポリウレア、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリジクロロジフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレンとジクロロジフルオロエチレンとの共重合体、テトラフルオロエチレンと少なくとも1種のコモノマーとを含むモノマー混合物を共重合させて得られる共重合体、共重合主鎖に環状構造を有する含フッ素共重合体、吸水率1%以上の吸水性物質、吸水率0.1%以下の防湿性物質等が挙げられる。
(Protective layer)
In the light emitting element, the entire element may be protected by a protective layer. As a material contained in the protective layer, any material may be used as long as it has a function of preventing materials that promote device deterioration such as moisture and oxygen from entering the device.
Specific examples thereof include metals such as In, Sn, Pb, Au, Cu, Ag, Al, Ti, and Ni, MgO, SiO, SiO 2 , Al 2 O 3 , GeO, NiO, CaO, BaO, and Fe 2 O. 3 , metal oxides such as Y 2 O 3 and TiO 2 , metal nitrides such as SiNx and SiNxOy, metal fluorides such as MgF 2 , LiF, AlF 3 and CaF 2 , polyethylene, polypropylene, polymethyl methacrylate, polyimide, Copolymerizing polyurea, polytetrafluoroethylene, polychlorotrifluoroethylene, polydichlorodifluoroethylene, a copolymer of chlorotrifluoroethylene and dichlorodifluoroethylene, and a monomer mixture containing tetrafluoroethylene and at least one comonomer. Copolymer, fluorine-containing copolymer having a cyclic structure in the copolymer main chain Examples thereof include a polymer, a water-absorbing substance having a water absorption of 1% or more, and a moisture-proof substance having a water absorption of 0.1% or less.

保護層の形成方法については、特に限定はなく、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、MBE(分子線エピタキシ)法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法(高周波励起イオンプレーティング法)、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、ガスソースCVD法、コーティング法、印刷法、転写法を適用できる。   The method for forming the protective layer is not particularly limited, and for example, vacuum deposition, sputtering, reactive sputtering, MBE (molecular beam epitaxy), cluster ion beam, ion plating, plasma polymerization (high frequency) Excited ion plating method), plasma CVD method, laser CVD method, thermal CVD method, gas source CVD method, coating method, printing method, transfer method can be applied.

さらに、前記発光素子は、本発明のバリアフィルムと封止容器を用いて素子全体を封止してもよい。また、封止容器と発光素子の間の空間に水分吸収剤または不活性液体を封入してもよい。水分吸収剤としては、特に限定されることはないが、例えば、酸化バリウム、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化カルシウム、硫酸ナトリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、五酸化燐、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、塩化銅、フッ化セシウム、フッ化ニオブ、臭化カルシウム、臭化バナジウム、モレキュラーシーブ、ゼオライト、酸化マグネシウム等を挙げることができる。不活性液体としては、特に限定されることはないが、例えば、パラフィン類、流動パラフィン類、パーフルオロアルカンやパーフルオロアミン、パーフルオロエーテル等のフッ素系溶剤、塩素系溶剤、シリコーンオイル類が挙げられる。   Furthermore, the light emitting device may be sealed entirely using the barrier film and the sealing container of the present invention. Further, a moisture absorbent or an inert liquid may be enclosed in a space between the sealing container and the light emitting element. Although it does not specifically limit as a moisture absorber, For example, barium oxide, sodium oxide, potassium oxide, calcium oxide, sodium sulfate, calcium sulfate, magnesium sulfate, phosphorus pentoxide, calcium chloride, magnesium chloride, copper chloride Cesium fluoride, niobium fluoride, calcium bromide, vanadium bromide, molecular sieve, zeolite, magnesium oxide and the like. The inert liquid is not particularly limited, and examples thereof include fluorinated solvents such as paraffins, liquid paraffins, perfluoroalkanes, perfluoroamines, perfluoroethers, chlorinated solvents, and silicone oils. It is done.

(素子の駆動)
前記の発光素子は、陽極と陰極との間に直流(必要に応じて交流成分を含んでもよい)電圧(通常2ボルト〜15ボルト)、または直流電流を印加することにより、発光を得ることができる。該発光素子の駆動方法については、特開平2−148687号、同6−301355号、同5−29080号、同7−134558号、同8−234685号、同8−241047号の各公報、特許登録第2784615号公報、米国特許第5,828,429号、同6,023,308号の各明細書、等に記載の駆動方法を適用することができる。
(Element drive)
The light-emitting element can obtain light emission by applying a direct current (which may include an alternating current component if necessary) voltage (usually 2 to 15 volts) or a direct current between the anode and the cathode. it can. As for the driving method of the light-emitting element, JP-A-2-148687, JP-A-6-301355, JP-A-5-290080, JP-A-7-134558, JP-A-8-234658, and JP-A-8-214447, patents The driving methods described in Japanese Patent No. 2784615, US Pat. Nos. 5,828,429 and 6,023,308 can be applied.

以下に実施例を挙げて本発明の特徴をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。   The features of the present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, amounts used, ratios, processing details, processing procedures, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as being limited by the specific examples shown below.

基材フィルム上に無機ガスバリア層、有機層および紫外線遮断層を設けたガスバリアフィルム(試料No.1〜5)を下記の手順にしたがって作製した。各ガスバリアフィルムの構造の詳細は表1に記載されるとおりである。
1.無機ガスバリア層の形成
図1に示すロールトゥーロール方式のスパッタリング装置(1)を用いて、厚み100μmのPET(東レ(株)製、ルミラーT60)フィルム上に無機ガスバリア層を形成した。
図1に示すように、スパッタリング装置(1)は、真空槽(2)を有しており、その中央部にはプラスチックフィルム(6)を表面に接触させて冷却するためのドラム(3)が配置されている。また、上記真空槽(2)にはプラスチックフィルム(6)を巻くための送り出しロール(4)および巻き取りロール(5)が配置されている。送り出しロール(4)に巻かれたプラスチックフィルム(6)はガイドロール(7)を介してドラム(3)に巻かれ、さらにプラスチックフィルム(6)はガイドロール(8)を介して巻き取りロール(5)に巻かれる。真空排気系としては排気口(9)から真空ポンプ(10)によって真空槽(2)内の排気が常に行われている。成膜系としてはパルス電力を印加できる直流方式の放電電源(11)に接続されたカソード(12)上にターゲット(図示せず)が装着されている。この放電電源(11)は制御器(13)に接続されており、さらに制御器(13)は真空槽(2)へ配管(15)を介して反応ガス導入量を調整しながら供給するガス流量調整ユニット(14)に接続されている。また、真空槽(2)には一定流量の放電ガスが供給されるよう構成されている(図示せず)。
Gas barrier films (sample Nos. 1 to 5) in which an inorganic gas barrier layer, an organic layer, and an ultraviolet blocking layer were provided on a base film were prepared according to the following procedure. Details of the structure of each gas barrier film are as shown in Table 1.
1. Formation of Inorganic Gas Barrier Layer An inorganic gas barrier layer was formed on a 100 μm thick PET (Lumirror T60 manufactured by Toray Industries, Inc.) film using a roll-to-roll sputtering apparatus (1) shown in FIG.
As shown in FIG. 1, the sputtering apparatus (1) has a vacuum chamber (2), and a drum (3) for cooling the plastic film (6) in contact with the surface is provided at the center thereof. Has been placed. In addition, a delivery roll (4) and a take-up roll (5) for winding the plastic film (6) are disposed in the vacuum chamber (2). The plastic film (6) wound around the delivery roll (4) is wound around the drum (3) via the guide roll (7), and further the plastic film (6) is wound around the take-up roll (8) via the guide roll (8). 5) As a vacuum exhaust system, the exhaust in the vacuum chamber (2) is always performed from the exhaust port (9) by the vacuum pump (10). As a film forming system, a target (not shown) is mounted on a cathode (12) connected to a DC type discharge power source (11) to which pulse power can be applied. The discharge power source (11) is connected to the controller (13), and the controller (13) supplies the gas flow rate to the vacuum chamber (2) while adjusting the reaction gas introduction amount via the pipe (15). It is connected to the adjustment unit (14). The vacuum chamber (2) is configured to be supplied with a discharge gas having a constant flow rate (not shown).

以下、無機ガスバリア層の形成時における具体的な条件を示す。
ターゲットとしてSiをセットし、放電電源(11)としてパルス印加方式の直流電源を用意した。また、プラスチックフィルム(6)として厚み100μmのPETフィルムを用意し、これを送り出しロール(4)に掛け、巻き取りロール(5)まで通した。スパッタリング装置(1)への基材の準備が終了した後、真空槽(2)の扉を閉めて真空ポンプ(10)を起動し、真空引きとドラムとの冷却を開始した。到達圧力が4×10-4Pa、ドラム温度が5℃になったところで、プラスチックフィルム(6)の走行を開始した。放電ガスとしてアルゴンを導入して放電電源(11)をONし、放電電力5kW、成膜圧力0.3PaでSiターゲット上にプラズマを発生させ、3分間プレスパッタを行った。この後、反応ガスとして酸素を導入し、放電が安定してからアルゴンおよび酸素ガス量を徐々に減らして成膜圧力を0.1Paまで下げた。0.1Paでの放電の安定を確認してから、一定時間酸化ケイ素の成膜を行った。成膜終了後、真空槽(2)を大気圧に戻して酸化ケイ素(無機ガスバリア層)を成膜したフィルムを取り出した。無機ガスバリア層の膜厚は約50nmであった。尚、下記表1における各構造内容に従って、有機層上に無機ガスバリア層を形成する場合においても同様の方法によって無機ガスバリア層を形成した。
Hereinafter, specific conditions at the time of forming the inorganic gas barrier layer will be shown.
Si was set as a target, and a pulse application type DC power source was prepared as a discharge power source (11). Moreover, a PET film having a thickness of 100 μm was prepared as a plastic film (6), and this was put on a feed roll (4) and passed to a take-up roll (5). After completing the preparation of the base material to the sputtering apparatus (1), the door of the vacuum chamber (2) was closed, the vacuum pump (10) was started, and vacuuming and cooling of the drum were started. When the ultimate pressure reached 4 × 10 −4 Pa and the drum temperature reached 5 ° C., the plastic film (6) started to run. Argon was introduced as a discharge gas, the discharge power source (11) was turned on, plasma was generated on the Si target at a discharge power of 5 kW and a film formation pressure of 0.3 Pa, and pre-sputtering was performed for 3 minutes. Thereafter, oxygen was introduced as a reaction gas, and after the discharge was stabilized, the amounts of argon and oxygen gas were gradually reduced to lower the film forming pressure to 0.1 Pa. After confirming the stability of discharge at 0.1 Pa, a silicon oxide film was formed for a certain period of time. After the film formation was completed, the vacuum chamber (2) was returned to atmospheric pressure, and the film on which silicon oxide (inorganic gas barrier layer) was formed was taken out. The film thickness of the inorganic gas barrier layer was about 50 nm. In addition, according to each structure content in following Table 1, when forming an inorganic gas barrier layer on an organic layer, the inorganic gas barrier layer was formed by the same method.

2.有機層の形成
50.75mLのテトラエチレングリコール・ジアクリレートと14.5mLのトリプロピレングリコールモノアクリレートと7.25mLのカプロラクトンアクリレートと10.15mLのアクリル酸と10.15mLの「EZACURE」(Sartomer社製、ベンゾフェノン混合物光重合開始剤)とのアクリルモノマー混合物を、固体物であるN、N'−ビス(3−メチルフェニル)−N,N'−ジフェニルベンジジン粒子36.25gmと混合し、20kHz超音波ティッシュミンサーで約1時間撹拌した。約45℃に加熱し、沈降を防ぐために撹拌した混合物を内径2.0mm、長さ61mmの毛管を通して1.3mmのスプレーノズルにポンプで送り込んだ。そこで25kHzの超音波噴霧器によって小滴噴霧し、前記PETフィルム(基板フィルム)、前記無機ガスバリア層または後記紫外線遮断層表面に落とした。次いで、ドラム表面温度約13℃の低温ドラムに接触させた基板フィルムの無機ガスバリア層または後記紫外線遮断層上に蒸気をクライオ凝結させた後、高圧水銀灯ランプによりUV硬化させ(積算照射量約2000mJ/cm2)、有機層を形成した。膜厚は約500nmであった。
2. Formation of organic layer 50.75 mL of tetraethylene glycol diacrylate, 14.5 mL of tripropylene glycol monoacrylate, 7.25 mL of caprolactone acrylate, 10.15 mL of acrylic acid and 10.15 mL of “EZACURE” (Sartomer) , A benzophenone mixture photopolymerization initiator) and an N, N′-bis (3-methylphenyl) -N, N′-diphenylbenzidine particle (36.25 gm) as a solid substance, and 20 kHz ultrasonic wave Stir with tissue mincer for about 1 hour. The mixture, heated to about 45 ° C. and stirred to prevent settling, was pumped through a capillary with an inner diameter of 2.0 mm and a length of 61 mm into a 1.3 mm spray nozzle. Therefore, small droplets were sprayed by a 25 kHz ultrasonic sprayer and dropped on the surface of the PET film (substrate film), the inorganic gas barrier layer, or the ultraviolet ray blocking layer described later. Next, after vapor condensing on the inorganic gas barrier layer of the substrate film brought into contact with the low-temperature drum having a drum surface temperature of about 13 ° C. or the ultraviolet ray blocking layer described later, UV curing is performed by a high-pressure mercury lamp lamp (integrated irradiation amount is about 2000 mJ / cm 2 ), an organic layer was formed. The film thickness was about 500 nm.

3.紫外線遮断層の形成
ウレタン変性ポリエステル(東洋紡製、バイロンUR−1200、固形分比20%、メチルエチルケトン、トルエン、シクロヘキサノン混合溶液)にベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤(チバガイギー製、チヌビンP、固形分比2%)を添加した塗布液を調製した。この塗布液を表1に従って、指定した位置に約3μm塗布し乾燥・硬化して紫外線遮断層を得た。
3. Formation of UV blocking layer Urethane modified polyester (Toyobo, BYRON UR-1200, solid content ratio 20%, methyl ethyl ketone, toluene, cyclohexanone mixed solution) and benzotriazole UV absorber (Ciba Geigy, Tinuvin P, solid content ratio 2% ) Was added to prepare a coating solution. According to Table 1, this coating solution was applied at a designated position of about 3 μm, dried and cured to obtain an ultraviolet blocking layer.

4.ガスバリアフィルムの物性評価
下記装置を用いてガスバリアフィルムの諸物性を評価した。結果を表1にまとめて示した。
・層構成(膜厚):日立(株)製、走査型電子顕微鏡「S−900型」
・水蒸気透過率(g/m2/day):MOCON社製、「PERMATRAN−W3/31」(条件:40℃・相対湿度90%)
・ガスバリアフィルムの光線透過率(%):島津製作所(株)製、分光光度計「UV3100PC」
4). Evaluation of Physical Properties of Gas Barrier Film Various physical properties of the gas barrier film were evaluated using the following apparatus. The results are summarized in Table 1.
-Layer structure (film thickness): manufactured by Hitachi, Ltd., scanning electron microscope "S-900 type"
Water vapor transmission rate (g / m 2 / day): “PERMATRAN-W3 / 31” manufactured by MOCON (conditions: 40 ° C., relative humidity 90%)
-Light transmittance of gas barrier film (%): manufactured by Shimadzu Corporation, spectrophotometer "UV3100PC"

5.有機EL素子の作製
上記のガスバリアフィルムを真空チャンバー内に導入し、IZOターゲット(出光興産(株)製)を用いて、DCマグネトロンスパッタリングにより、厚み0.2μmのIZO薄膜からなる透明電極を無機ガスバリア層が積層された面に形成した。透明電極(IZO)より、アルミニウムのリ−ド線を結線し、積層構造体を形成した。
前記透明電極の表面に、ポリエチレンジオキシチオフェン・ポリスチレンスルホン酸の水性分散液(BAYER社製、Baytron P:固形分1.3質量%)をスピンコートした後、150℃で2時間真空乾燥し、厚み100nmのホール輸送性有機薄膜層を形成した。これを基板Xとした。
5. Production of organic EL element The above gas barrier film is introduced into a vacuum chamber, and an IZO target (manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.) is used to form a transparent electrode made of an IZO thin film having a thickness of 0.2 μm by an inorganic gas barrier. The layer was formed on the laminated surface. An aluminum lead wire was connected from the transparent electrode (IZO) to form a laminated structure.
The surface of the transparent electrode was spin-coated with an aqueous dispersion of polyethylene dioxythiophene / polystyrene sulfonic acid (BAYER, Baytron P: 1.3 mass% solid content), and then vacuum-dried at 150 ° C. for 2 hours. A hole-transporting organic thin film layer having a thickness of 100 nm was formed. This was designated as substrate X.

一方、厚み188μmのポリエーテルスルホン(住友ベークライト(株)製、スミライトFS−1300)からなる仮支持体の片面上に、
下記組成を有する発光性有機薄膜層用塗布液を、スピンコーターを用いて塗布し、室温で乾燥することにより、厚み13nmの発光性有機薄膜層を仮支持体上に形成した。これを転写材料Yとした。
〔組成〕
・ポリビニルカルバゾール: 40質量部
(Mw=63000、アルドリッチ社製)
・トリス(2−フェニルピリジン)イリジウム錯体: 1質量部
(オルトメタル化錯体)(ケミプロ化成(株)製)
・ジクロロエタン: 3200質量部
On the other hand, on one side of a temporary support made of polyethersulfone (Sumitomo Bakelite Co., Ltd., Sumilite FS-1300) having a thickness of 188 μm,
A light-emitting organic thin film layer coating solution having the following composition was applied using a spin coater and dried at room temperature to form a light-emitting organic thin film layer having a thickness of 13 nm on the temporary support. This was designated as transfer material Y.
〔composition〕
Polyvinylcarbazole: 40 parts by mass (Mw = 63000, manufactured by Aldrich)
・ Tris (2-phenylpyridine) iridium complex: 1 part by mass (orthometalated complex) (manufactured by Chemipro Kasei Co., Ltd.)
・ Dichloroethane: 3200 parts by mass

前記基板Xのホール輸送性有機薄膜層の上面に転写材料Yの発光性有機薄膜層側を重ね、一対の熱ローラーを用い160℃、0.3MPa、0.05m/minで加熱・加圧し、仮支持体を引き剥がすことにより、基板Xの上面に発光性有機薄膜層を形成した。これを基板XYとする。
また、25mm角に裁断した厚み50μmのポリイミドフィルム(UPILEX−50S、宇部興産(株)製)片面上に、パターニングした蒸着用のマスク(発光面積が5mm×5mmとなるマスク)を設置し、約0.1mPaの減圧雰囲気中でAlを蒸着し、膜厚0.3μmの電極を形成した。Al23ターゲットを用いて、DCマグネトロンスパッタリング法により、Al23をAl層と同パターンで蒸着し、膜厚3nmとした。Al電極よりアルミニウムのリード線を結線し、積層構造体を形成した。得られた積層構造体の上に下記組成を有する電子輸送性有機薄膜層用塗布液をスピンコーター塗布機で塗布し、80℃で2時間真空乾燥することにより、厚み15nmの電子輸送性有機薄膜層を形成した。これを基板Zとする。
The luminescent organic thin film layer side of the transfer material Y is superimposed on the upper surface of the hole transporting organic thin film layer of the substrate X, and heated and pressurized at 160 ° C., 0.3 MPa, 0.05 m / min using a pair of heat rollers, A light-emitting organic thin film layer was formed on the upper surface of the substrate X by peeling off the temporary support. This is a substrate XY.
Also, a patterned vapor deposition mask (a mask with a light emission area of 5 mm × 5 mm) is installed on one side of a polyimide film (UPILEX-50S, manufactured by Ube Industries, Ltd.) having a thickness of 50 μm cut into 25 mm square, Al was vapor-deposited in a reduced pressure atmosphere of 0.1 mPa to form an electrode having a film thickness of 0.3 μm. Using an Al 2 O 3 target by DC magnetron sputtering method, an Al 2 O 3 was deposited in the same pattern as the Al layer and the thickness of 3 nm. An aluminum lead wire was connected from the Al electrode to form a laminated structure. A coating liquid for electron transporting organic thin film layer having the following composition is coated on the obtained laminated structure with a spin coater coating machine, and vacuum dried at 80 ° C. for 2 hours, whereby an electron transporting organic thin film having a thickness of 15 nm is obtained. A layer was formed. This is referred to as a substrate Z.

〔組成〕
・ポリビニルブチラール2000L: 10質量部
(Mw=2000、電気化学工業(株)製)
・1−ブタノール: 3500質量部
・下記構造を有する電子輸送性化合物: 20質量部
(特開2001−335776号公報に記載の方法にて合成)
〔composition〕
Polyvinyl butyral 2000L: 10 parts by mass (Mw = 2000, manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.)
1-butanol: 3500 parts by mass Electron transporting compound having the following structure: 20 parts by mass (synthesized by the method described in JP-A No. 2001-335776)

Figure 0004717497
電子輸送性化合物
Figure 0004717497
Electron transport compound

前記基板XYと前記基板Zとを用い、電極同士が発光性有機薄膜層を挟んで対面するように重ね合せ、市販の有機EL用封止材(ナガセケムテックス(株)製 XNR5516)で封止した。   Using the substrate XY and the substrate Z, the electrodes are stacked so that the electrodes face each other with the light-emitting organic thin film layer interposed therebetween, and sealed with a commercially available organic EL sealing material (XNR5516 manufactured by Nagase ChemteX Corp.) did.

得られた有機EL素子にソースメジャーユニット2400型(東洋テクニカ(株)製)を用いて、直流電流を印加し発光させたところ、いずれの素子試料も良好に発光した。
次に、表1のガスバリアフィルムを用いた有機EL素子を、60℃・相対湿度90%下にキセノンランプ(約30万ルックス)で50時間照射後、同様にして発光させて輝度の相対減少率を測定した。結果を表1にまとめて現す。表1が示すように、紫外線の透過率が10%以下である本発明の試料は紫外線による素子の劣化を抑制することができる(試料No.1〜4)。さらに紫外線遮断層がガスバリア層が形成された面と反対側の最外面に有することが効果的である(試料No.1および4)。特に、紫外線遮断層を両面に有する場合は、さらに素子劣化の抑制に効果的であった(試料No.4)。
本実施例からもわかるように、本発明により形成された試料は良好な透明性とガスバリア性、紫外線遮断性を有することが認められた。
When a source measure unit 2400 type (manufactured by Toyo Technica Co., Ltd.) was applied to the obtained organic EL element to emit light, all element samples emitted light well.
Next, the organic EL device using the gas barrier film shown in Table 1 was irradiated with a xenon lamp (approximately 300,000 lux) at 60 ° C. and 90% relative humidity for 50 hours, and then the light was emitted in the same manner to thereby reduce the relative decrease in luminance. Was measured. The results are summarized in Table 1. As shown in Table 1, the sample of the present invention having an ultraviolet transmittance of 10% or less can suppress deterioration of the element due to ultraviolet rays (Sample Nos. 1 to 4). Further, it is effective to have the ultraviolet blocking layer on the outermost surface opposite to the surface on which the gas barrier layer is formed (Sample Nos. 1 and 4). In particular, when the ultraviolet blocking layer was provided on both sides, it was further effective in suppressing element deterioration (Sample No. 4).
As can be seen from this example, it was confirmed that the sample formed according to the present invention had good transparency, gas barrier properties and ultraviolet blocking properties.

Figure 0004717497
Figure 0004717497

本発明のガスバリアフィルムは、優れた透明性とバリア性を有するため、各種有機デバイスの基板やデバイスの被覆フィルムとして好適に用いられる。また、本発明の画像表示素子用基板および有機EL素子などの有機デバイスは、高い耐久性およびフレキシブル性を有する。このため、本発明は産業上の利用可能性が高い。   Since the gas barrier film of the present invention has excellent transparency and barrier properties, it is suitably used as a substrate for various organic devices and a coating film for devices. Moreover, organic devices, such as a substrate for image display elements and an organic EL element of the present invention, have high durability and flexibility. For this reason, this invention has high industrial applicability.

実施例において用いたスパッタリング装置を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the sputtering device used in the Example.

符号の説明Explanation of symbols

1 スパッタリング装置
2 真空槽
3 ドラム
4 送り出しロール
5 巻き取りロール
6 プラスチックフィルム
7 ガイドロール
8 ガイドロール
9 排気口
10 真空ポンプ
11 放電電源
12 カソード
13 制御器
14 ガス流量調整ユニット
15 配管

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sputtering apparatus 2 Vacuum tank 3 Drum 4 Delivery roll 5 Take-up roll 6 Plastic film 7 Guide roll 8 Guide roll 9 Exhaust port 10 Vacuum pump 11 Discharge power source 12 Cathode 13 Controller 14 Gas flow rate adjustment unit 15 Piping

Claims (13)

透明な可撓性支持体基板上に無機化合物からなるガスバリア層と有機化合物からなる層が交互にそれぞれ複数層形成されたガスバリアフィルムであって、前記ガスバリアフィルムには有機紫外線吸収剤を含有する少なくとも1層の紫外線遮断層が下記(1)〜(3)のいずれかの条件を満たすように形成されており、前記ガスバリアフィルムの40℃・相対湿度90%における水蒸気透過率が0.005g/m2/day以下であり、且つ波長350nmの紫外線の透過率が10%以下であり、前記ガスバリア層を構成する無機化合物を構成する金属が、Si、Al、In、SnおよびZnからなる群から選ばれた少なくとも1種の金属からなることを特徴とするガスバリアフィルム。
(1) 前記紫外線遮断層が前記有機化合物からなる層にのみ接する。
(2) 前記紫外線遮断層が、その一面を前記可撓性支持基板に接し、その反対面を前記有機化合物からなる層に接する。
(3) 前記紫外線遮断層が、前記可撓性支持基板にのみ接する。
A transparent flexible support substrate, a layer made of an inorganic compound gas barrier layer and an organic compound consisting of is a gas barrier film formed in a plurality of layers respectively alternately above the gas barrier film containing an organic ultraviolet absorber At least one ultraviolet blocking layer is formed so as to satisfy any of the following conditions (1) to (3), and the water vapor transmission rate of the gas barrier film at 40 ° C. and 90% relative humidity is 0.005 g / m 2 / day or less and the transmittance of ultraviolet light having a wavelength of 350 nm is 10% or less, and the metal constituting the inorganic compound constituting the gas barrier layer is selected from the group consisting of Si, Al, In, Sn and Zn. A gas barrier film comprising at least one selected metal.
(1) The ultraviolet blocking layer is in contact with only the layer made of the organic compound.
(2) The ultraviolet blocking layer has one surface in contact with the flexible support substrate and the other surface in contact with the layer made of the organic compound.
(3) The ultraviolet blocking layer contacts only the flexible support substrate.
前記ガスバリア層を構成する無機化合物が、金属酸化物であることを特徴とする請求項1に記載のガスバリアフィルム。 The inorganic compound constituting the gas barrier layer, a gas barrier film according to claim 1, characterized in that a metal oxide. 前記ガスバリア層を構成する無機化合物が、Siの酸化物、Alの酸化物、またはSiとAlの酸化物であることを特徴とする請求項1または2に記載のガスバリアフィルム。 The inorganic compound constituting the gas barrier layer, an oxide of Si, the gas barrier film according to claim 1 or 2, characterized in that an oxide, or oxides of Si and Al of Al. 前記有機化合物からなる層が、紫外線硬化性モノマーを塗布し紫外線で硬化させて形成したポリマー層であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載のガスバリアフィルム。 The gas barrier film according to any one of claims 1 to 3, wherein the layer made of the organic compound is a polymer layer formed by applying an ultraviolet curable monomer and curing it with ultraviolet rays. 前記紫外線遮断層を、前記ガスバリアフィルムの少なくとも一方の最外面に有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のガスバリアフィルム。 The gas barrier film according to any one of claims 1 to 4, wherein the ultraviolet blocking layer is provided on at least one outermost surface of the gas barrier film. 前記紫外線遮断層を、前記ガスバリア層が形成された面と反対の支持体基板面に有することを特徴とする請求項に記載のガスバリアフィルム。 6. The gas barrier film according to claim 5 , wherein the ultraviolet blocking layer is provided on a support substrate surface opposite to the surface on which the gas barrier layer is formed. 前記紫外線遮断層を、前記ガスバリアフィルムの最外面の両面に有することを特徴とする請求項に記載のガスバリアフィルム。 The gas barrier film according to claim 5 , wherein the ultraviolet blocking layer is provided on both outermost surfaces of the gas barrier film. 前記(1)の条件を満たすことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載のガスバリアフィルム。The gas barrier film according to claim 1, wherein the condition (1) is satisfied. 前記(2)の条件を満たすことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のガスバリアフィルム。The gas barrier film according to claim 1, wherein the condition (2) is satisfied. 前記(3)の条件を満たすことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のガスバリアフィルム。The gas barrier film according to claim 1, wherein the condition (3) is satisfied. 下記のいずれかの層構成を有することを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載のガスバリアフィルム。
D/C/A/B
C/D/A/B
C/A/B/D
D/C/A/B/D
(ここにおいて、Aは有機化合物からなる層と無機化合物からなるガスバリア層からなるユニットを1つ以上積層したものを表し、Bは有機化合物からなる層を表し、Cは透明な可撓性支持基板を表し、Dは有機紫外線吸収剤の一部または全部を含有する紫外線遮断層を表す。)
The gas barrier film according to any one of claims 1 to 4 , which has any one of the following layer structures.
D / C / A / B
C / D / A / B
C / A / B / D
D / C / A / B / D
(Here, A represents one or more units made of a layer made of an organic compound and a gas barrier layer made of an inorganic compound, B represents a layer made of an organic compound, and C represents a transparent flexible support substrate. D represents an ultraviolet blocking layer containing part or all of the organic ultraviolet absorber.)
請求項1〜11のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムを用いた有機デバイス。 The organic device using the gas barrier film of any one of claims 1 to 11. 請求項1〜11のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムで封止された有機デバイス。
It sealed organic device with a gas barrier film of any one of claims 1 to 11.
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