JP2009078960A - 複合酸化物粉末の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】一般式ＡＢＯ₃で表される、例えばＢａＴｉＯ₃などの複合酸化物粉末、特に、セラミック電子部品の製造原料としても用いることが可能な微細で高結晶性の複合酸化物を、製造コストの大幅な増大を招くことなく製造できるようにする。
【解決手段】一般式Ａ₂ＢＯ₄（ＡはＢａ、Ｓｒの１種、ＢはＴｉを含む４価金属元素）で表される物質に炭酸ガスを吸収させ、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末と、炭酸化合物とを生成させた後、炭酸化合物を除去して、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末を得る。
炭酸化合物を酸性溶液と接触させて溶解し、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末と分離する。
炭酸ガスを吸収させる際の温度条件を７００〜９００℃とする。
一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質としてオルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）を用い、複合酸化物粉末としてＢａＴｉＯ₃粉末を製造する。
【選択図】図１

Description

本発明は、複合酸化物粉末の製造方法に関し、詳しくは、セラミック電子部品の製造用のセラミック原料などとして用いるのに適した、一般式ＡＢＯ₃（ＡはＢａ、Ｓｒの少なくとも１種であり、Ｂは少なくともＴｉを含む４価金属元素）で表される複合酸化物粉末を製造する方法に関する。

例えば、ペロブスカイト系複合酸化物粉末の一つであるＢａＴｉＯ₃を製造する方法としては、従来より、ＢａＣＯ₃とＴｉＯ₂の混合スラリーを、ボールミルやサンドミルなどの粉砕手段により機械的に粉砕し、微粒化、均一化した後、乾燥・仮焼することにより、ＢａＴｉＯ₃粉末を得る方法が知られている。
そして、この方法によれば、比較的簡単な方法で、安価にＢａＴｉＯ₃の微細粉末を得ることができる。

しかしながら、この方法の場合、ボールミルなどの粉砕手段により原料を粉砕する際に用いられるジルコニアボールなどの粉砕媒体の構成成分が、製品であるＢａＴｉＯ₃中に不純物として混入するおそれがあり、高純度のＢａＴｉＯ₃粉末を得ることが困難であるという問題点がある。また、この方法の場合、比較的大きな粒径を有するＢａＣＯ₃やＴｉＯ₂を磨砕して微粒化するものであることから、微粒化にも限界があるのが実情であり、十分に微粒化しようとすると磨砕などの処理にコストがかかるという問題点がある。

また、上述の方法の他にも、チタン源として、比表面積が大きく、活性で多くのＯＨ基を含有する含水酸化チタン（［Ｔｉ（ＯＨ）₆］^2-）を、予めＴｉＣｌ₄やチタンアルコキシドの加水分解を介して調製し、この該含水酸化チタンを水酸化バリウム（Ｂａ（ＯＨ）₂）と共にオートクレーブ中で加熱し、高温高圧下で、Ｂａ²⁺のＴｉＯ₂中への拡散を促進してＢａＴｉＯ₃を合成する、いわゆる「水熱合成法」が知られている（特許文献１参照）。

しかしながら、この方法の場合、大規模な装置が必要となり、また、製造工程もバッチ処理となるため作業性や生産効率が悪く、コストの増大を招くという問題点がある。

さらに、水酸化バリウム（Ｂａ（ＯＨ）₂）水溶液と、チタン源としてのチタンアルコキシドのアルコール溶液とを、Ｂａ／Ｔｉモル比が１．００〜１．２０となるよう調合して、他のアルカリ元素を混入させることなく混合溶液を得た後、この混合溶液を６０〜１００℃で反応させることによりＢａＴｉＯ₃を製造する方法（アルコキシド水酸化物法）が知られている（特許文献２参照）。
なお、この方法の場合、チタンアルコキシドをＢａ（ＯＨ）₂溶液中で加水分解させた場合、反応開始時にアルコキシド溶液が直ちに白濁することから、Ｂａ（ＯＨ）₂溶液中で、まずＴｉＯ₂（または〔Ｔｉ（ＯＨ）₆〕^2-）を生成させ、その後Ｂａ²⁺との反応によりＢａＴｉＯ₃を生成させるようにしている。

しかしながら、この方法の場合、出発原料であるチタンアルコキシドが高価であるという問題点がある。
また、アルコキシドの加水分解に伴って生成するアルコールは、取り扱うにあたって防爆設備が必要となる危険物であるため、設備コストの増大を招くという問題点がある。

また、本願の出願人は、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ₃）を、炭酸バリウム（ＢａＣＯ₃）の存在下に焼成することにより生成する、一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質であるＢａ₂ＴｉＯ₄を用いて炭酸ガスを吸収する方法を提案している（特許文献３参照）。
そして、この引用文献３には、Ｂａ₂ＴｉＯ₄が炭酸ガスを吸収すると、下記の反応式で示される反応により、ＢａＴｉＯ₃とＢａＣＯ₃が生成することが開示されている。
Ｂａ₂ＴｉＯ₄＋ＣＯ₂ → ＢａＴｉＯ₃＋ＢａＣＯ₃

上述のように、この特許文献３には、Ｂａ₂ＴｉＯ₄に炭酸ガスを吸収させると、ＢａＴｉＯ₃とＢａＣＯ₃が生成することが開示されているが、特に、生成したＢａＴｉＯ₃を有効利用する方法を示すものではなく、特許文献３では、炭酸ガスを放出させることにより、Ｂａ₂ＴｉＯ₄に戻して、再び炭酸ガスの吸収に用いるようにしている。
特開２００３−２５２６２３号公報 特開２００２−０６０２１９号公報 国際公開第２００６／０１３６９５号パンフレット

本発明は、上述のような状況下において、一般式ＡＢＯ₃で表される、例えばＢａＴｉＯ₃などの複合酸化物粉末、特に、セラミック電子部品の製造原料としても用いることが可能な、微細で高結晶性の複合酸化物を、製造コストの大幅な増大を招くことなく製造することが可能な複合酸化物の製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の複合酸化物粉末の製造方法は、
一般式Ａ₂ＢＯ₄（ＡはＢａ、Ｓｒの少なくとも１種であり、Ｂは少なくともＴｉを含む４価金属元素）で表される物質に炭酸ガスを吸収させることにより、反応生成物として、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末と、炭酸化合物とを生成させる工程と
前記反応生成物から前記炭酸化合物を除去して、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末を得る工程と
を具備することを特徴としている。

なお、前記反応生成物から前記炭酸化合物を除去するにあたっては、前記炭酸化合物を酸性溶液と接触させて溶解した後、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末を分離することが望ましい。

また、前記一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質に炭酸ガスを吸収させる際の温度条件を、７００〜９００℃とすることが望ましい。

また、本発明は、前記一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質がオルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）であり、このオルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）に炭酸ガスを吸収させることにより生成する、前記一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末がＢａＴｉＯ₃粉末であり、前記炭酸化合物がＢａＣＯ₃であって、
前記反応生成物から前記ＢａＣＯ₃を除去することにより得られる複合酸化物粉末がＢａＴｉＯ₃粉末であることを特徴としている。

また、本発明は、前記複合酸化物粉末が、セラミック電子部品の製造原料として用いられるものであることを特徴としている。

また、本発明は、製造される複合酸化物粉末の比表面積球相当径が２００ｎｍ以下であることを特徴としている。

一般式Ａ₂ＢＯ₄（ＡはＢａ、Ｓｒの少なくとも１種であり、Ｂは少なくともＴｉを含む４価金属元素）で表される物質に炭酸ガスを吸収させることにより下記の反応が生じ、反応生成物として、一般式ＡＢＯ₃で表される微細な複合酸化物粉末と、炭酸化合物とが生成する。
Ａ₂ＢＯ₄＋ＣＯ₂ → ＡＢＯ₃（複合酸化物粉末）＋ＡＣＯ₃（炭酸化合物）
そして、反応生成物から炭酸化合物を除去することにより、一般式ＡＢＯ₃で表される微細で高結晶性の複合酸化物粉末が得られる。

すなわち、本発明によれば、原料として高価なアルコキシドを用いたり、高度な粉砕工程を経て微粒化した高コストの酸化チタンや炭酸バリウムを使用したりすることを必要とせずに、一般式ＡＢＯ₃で表される、微細で高結晶性の複合酸化物粉末を効率よく、経済的に製造することができる。

なお、「一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質」とは、ＡとＢのモル比が上記一般式の通りの、化学量論比のモル比（Ａ／Ｂ＝２．０）となるもの（例えば、Ｂａ₂ＴｉＯ₄）に限らず、副成分（例えば、ＢａＣＯ₃やＴｉＯ₂など）を含んで、全体組成中の全Ａと全Ｂのモル比（Ａ／Ｂ）が２から外れるような場合も含む概念である。これは、全Ａと全Ｂのモル比（Ａ／Ｂ）が２から外れるような場合においても、Ａ／Ｂ＝２．０である一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質が主要な成分として含まれていれば、炭酸ガスを吸収することにより、一般式ＡＢＯ₃で表される微細な複合酸化物粉末を生成させることができることによる。

また、本発明において、反応生成物から炭酸化合物を除去する際に、炭酸化合物を酸性溶液（例えば、塩酸水溶液）と接触させて溶解し、除去することができる。
すなわち、例えば、一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質に炭酸ガスを吸収させた場合に生じる炭酸化合物が炭酸バリウム（ＢａＣＯ₃）である場合、炭酸バリウムは、下記の反応式のように塩酸（ＨＣｌ）と反応して水溶性の塩化バリウムとなり、水に溶解する。
ＢａＣＯ₃＋２ＨＣｌ → ＢａＣｌ₂＋Ｈ₂Ｏ＋ＣＯ₂
これに対し、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物（例えば、ＢａＴｉＯ₃）粉末は、塩酸とは反応せず、粉末として存在するため、固液分離を行うことにより、容易に複合酸化物粉末を回収することができる。

上述のように、本発明において、「炭酸化合物を酸性溶液と接触させて溶解し」とは、炭酸化合物を酸と反応させて分解し、溶解させて除去できるようにすることを意味する概念である。

また、上記の反応で生成した塩化バリウム（ＢａＣｌ₂）は、炭酸ガスのバブリングや、炭酸ナトリウムの添加により、炭酸バリウムとして回収し、再利用することができる。

また、前記一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質に炭酸ガスを吸収させるにあたっては、７００〜９００℃の温度条件下で炭酸ガスを吸収させることにより、Ａ₂ＢＯ₄で表される物質と炭酸ガスを効率よく反応させて、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末を生成させることが可能になり、高い収率で一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物（例えば、ＢａＴｉＯ₃粉末）を製造することが可能になる。
また、７００〜９００℃の温度範囲で反応温度を制御することにより、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物（例えば、ＢａＴｉＯ₃粉末）の粒径を制御することができる。

また、一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質として、オルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）を用い、このオルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）に炭酸ガスを吸収させることにより反応生成物として、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末であるＢａＴｉＯ₃粉末と、炭酸化合物であるＢａＣＯ₃とを生成させることが可能になり、反応生成物からＢａＣＯ₃を除去することにより効率よく、微細で高結晶性のＢａＴｉＯ₃粉末を効率よく、経済的に製造することが可能になる。

すなわち、従来の製造方法の場合、通常は、ＢａＴｉＯ₃粉末を合成した後に熱処理して結晶性を向上させることが行われているが、本発明によれば、オルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）に炭酸ガスを吸収させることにより、緻密で高結晶性のＢａＴｉＯ₃粉末（微粒子）が生成するので、その後に熱処理を行うことを必要とせずに、緻密で高結晶性のＢａＴｉＯ₃粉末（微粒子）を得ることができる。特に、比表面積球相当径１００ｎｍ以下、さらには平均粒径が８０ｎｍ以下の領域で、高結晶性のＢａＴｉＯ₃微粒子を得ることができる。

また、本発明の方法により製造される、一般式ＡＢＯ₃で表される微細、緻密で高結晶性の複合酸化物粉末は、セラミック電子部品の製造原料として好適に用いることができる。そして、本発明の方法により製造された一般式ＡＢＯ₃で表される微細、緻密で高結晶性の複合酸化物粉末（例えば、ＢａＴｉＯ₃）を用いることにより、小型化、薄型化され、高性能で経済性にも優れたセラミック電子部品（例えば、セラミックコンデンサなど）を製造することが可能になる。

このように、本発明によれば、セラミック電子部品の製造原料として用いることが可能な付加価値の高い複合酸化物粉末を効率よく製造することができる。

また、本発明の方法によれば、比表面積球相当径が２００ｎｍ以下の、微細な複合酸化物粉末を製造することが可能であり、このような複合酸化物微粒子は、セラミック電子部品の製造原料としてより好適に用いることができる。
なお、比表面積球相当径とは、複合酸化物粉末の実際の形状にかかわらず、同じ比表面積を有する球体の直径をもって、複合酸化物粉末の粒子径としたものである。

以下に本発明の実施例を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。

図１は、本発明の実施例にかかる複合酸化物の製造方法の工程を示すフローチャートである。
以下、図１を参照しつつ本発明の実施例について説明する。

(１)まず、平均粒径１〜２μｍ程度のＢａＣＯ₃とＴｉＯ₂を用意し、ＢａＣＯ₃とＴｉＯ₂を、モル比（ＢａＣＯ₃：ＴｉＯ₂）が２：１になるように秤量した（図１のステップ１）。

(２)それから、これに、純水、部分安定化ジルコニア（ＰＳＺ）からなる玉石、分散剤、および消泡剤を加えて、ポリポットを用いたボールミルで１６〜２０時間混合・粉砕し、スラリー化した。
次に、このスラリーを１２０℃で１０時間乾燥し、得られた粉末を１０００〜１２００℃、２時間保持の条件で焼成し、一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質であるオルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）を得た（図１のステップ２）。

(３)それから、このオルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）に、ＣＯ₂とＮ2を、体積比２０：８０の割合で混合した混合ガスを、温度７００℃、８００℃および９００℃の各温度条件下で接触させ、Ｂａ₂ＴｉＯ₄とＣＯ₂とを反応させた。（図１のステップ３）
Ｂａ₂ＴｉＯ₄とＣＯ₂との反応式は下記に示す通りであり、反応生成物として、ＢａＴｉＯ₃とＢａＣＯ₃が生成する。
Ｂａ₂ＴｉＯ₄＋ＣＯ₂ → ＢａＴｉＯ₃＋ＢａＣＯ₃
なお、Ｂａ₂ＴｉＯ₄から、ＢａＴｉＯ₃とＢａＣＯ₃とを生成させた場合の重量変化率（増加率）は理論的には１１．４％程度である。これに対し、生産データ的にも近い値が得られており、反応がほぼ１００％で進行することが確認されている。

(４)次に、反応生成物である、ＢａＴｉＯ₃とＢａＣＯ₃とが混ざり合った混合粉末を１Ｎ塩酸水溶液中に投入し、撹拌することにより、ＢａＣＯ₃とを塩酸（ＨＣｌ）とを反応させ、ＢａＣＯ₃を塩化バリウム（ＢａＣｌ2）として塩酸水溶液に溶解させた（図１のステップ４）。
ＢａＣＯ₃＋２ＨＣｌ → ＢａＣｌ₂＋Ｈ₂Ｏ＋ＣＯ₂
それから、反応せずにそのまま存在する複合酸化物であるＢａＴｉＯ₃粉末をろ過により分離し、水洗した後、乾燥して、ＢａＴｉＯ₃粉末を得た（図１のステップ５）。

(５)塩化バリウム（ＢａＣｌ₂）を含むろ液は、例えば、炭酸ガスをバブリングしたり、炭酸ナトリウムを添加したりして、下記の式のように反応させ、バリウムを炭酸バリウムとして回収することができる（図１のステップ６）。
ＢａＣｌ₂＋ＣＯ₂＋Ｈ₂Ｏ → ＢａＣＯ₃＋２ＨＣｌ
ＢａＣｌ₂＋Ｎａ₂ＣＯ₃ → ＢａＣＯ₃＋２ＮａＣｌ
そして、このようにして回収した炭酸バリウムはオルソチタン酸バリウム製造用原料として再利用することができる。

上記実施例の方法で、炭酸ガスの吸収温度を７００℃、８００℃および９００℃と変化させて製造したＢａＴｉＯ₃粉末の結晶相、軸比（ｃ／ａ）、比表面積、および比表面積球相当径を調べた。その結果を表１に示す。

表１に示すように、本発明の方法によれば、炭酸ガスの吸収温度が７００℃〜９００℃の範囲では、実用可能な結晶性（軸比（ｃ／ａ））、比表面積（比表面積球相当径）の値を有する微細で高品質のＢａＴｉＯ₃（複合酸化物）粉末が得られることがわかる。

また、炭酸ガスの吸収温度を７００℃、８００℃および９００℃と変化させて製造したＢａＴｉＯ₃粉末の結晶についてＸ線回折分析を行った。図２および図３にＸ線回折分析の分析プロファイルを示す。なお、図３は図２の要部を拡大して示す図である。

図２および図３に示すように、炭酸ガスの吸収温度を変えて製造した各試料のいずれについても、ＢａＴｉＯ₃（正方晶）以外の異相は認められなかった。これより、吸収温度を制御することにより、ＢａＴｉＯ₃（正方晶）以外の異相を生成させることなく、得られるＢａＴｉＯ₃粉末の粒子径を制御できることがわかる。

また、炭酸ガスの吸収温度７００〜９００℃で製造した本発明の実施例にかかるＢａＴｉＯ₃粉末と、背景技術の欄で説明した「水熱合成法」により製造した比較例１のＢａＴｉＯ₃粉末と、同じく、背景技術の欄で説明した「アルコキシド水酸化物法」により製造した比較例２のＢａＴｉＯ₃粉末とについて、比表面積球相当径と軸比（ｃ／ａ）の関係を調べた。その結果を図４に示す。

上記実施例の方法によれば、特に比表面積球相当径１００ｎｍ以下の領域で比較例１、２より軸比（ｃ／ａ）が高い正方晶ＢａＴｉＯ₃を製造することが可能になることがわかる。

上述のようにして製造されたＢａＴｉＯ₃粉末は微細で、高結晶性の複合酸化物粉末であり、積層セラミックコンデンサなどのセラミック電子部品の製造原料として好適に使用することができる。
そして、この微細で、高結晶性のＢａＴｉＯ₃粉末を製造原料として用いることにより、積層セラミックコンデンサなどのセラミック電子部品の小型化、薄型化などを進めることができる。

なお、上記実施例では、一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質が、オルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）であり、オルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）に炭酸ガスを吸収させることにより生成する一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末がＢａＴｉＯ₃粉末であり、炭酸化合物がＢａＣＯ₃である場合を例にとって説明したが、上記実施例におけるオルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）の代わりに、オルソチタン酸ストロンチウム（Ｓｒ₂ＴｉＯ₄）を用い、下記の反応を利用して、微細で、高結晶性のＳｒＴｉＯ₃微粒子を製造することも可能である。
Ｓｒ₂ＴｉＯ₄＋ＣＯ₂ → ＳｒＴｉＯ₃＋ＳｒＣＯ₃
また、オルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）を構成するＢａ、あるいはオルソチタン酸ストロンチウム（Ｓｒ₂ＴｉＯ₄）を構成するＳｒの一部をＣａで置換した物質を用いた場合や、Ｂａ₂ＴｉＯ₄あるいはＳｒ₂ＴｉＯ₄中のＴｉの一部をＺｒで置換した物質を用いた場合にも、一般式ＡＢＯ₃で表される微細で高結晶性の複合酸化物を製造することが可能である。
また、一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質が、ＡとしてＢａとＳｒの両方を含む物質であってもよく、その場合にも一般式ＡＢＯ₃で表される微細で高結晶性の複合酸化物を製造することができる。

本発明はさらにその他の点においても上記の実施例の構成に限定されるものではなく、一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される原料の種類、製造される複合酸化物粉末の種類、炭酸ガスの吸収条件、反応生成物から炭酸化合物を除去する方法などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。

上述のように、本発明によれば、一般式ＡＢＯ₃で表される、例えばＢａＴｉＯ₃などの複合酸化物粉末、特に、セラミック電子部品の製造原料としても用いることも可能な微細で高結晶性の複合酸化物を、原料として高価なアルコキシドを用いたり、高度な粉砕工程を経て微粒化した高コストの微粉原料を使用したりすることを必要とせずに効率よく、経済的に製造することができる。
したがって、本発明は、例えば、セラミック電子部品の製造原料などとして好適に用いられる、一般式ＡＢＯ₃で表されるＢａＴｉＯ₃などの複合酸化物粉末を製造する場合に広く適用することが可能である。

本発明の実施例にかかる複合酸化物の製造方法の工程を示すフローチャートである。 本発明の実施例において、炭酸ガスの吸収温度を７００℃、８００℃および９００℃と変化させて製造したＢａＴｉＯ₃粉末のＸ線回折分析の分析プロファイルを示す図である。 図２の要部を拡大して示す図である。 本発明の実施例にかかるＢａＴｉＯ₃粉末と、「水熱合成法」により製造した比較例１のＢａＴｉＯ₃粉末、および、「アルコキシド水酸化物法」により製造した比較例２のＢａＴｉＯ₃粉末について調べた、ＢａＴｉＯ₃の比表面積球相当径と軸比ｃ／ａの関係を示す図である。

Claims (6)

1. 一般式Ａ₂ＢＯ₄（ＡはＢａ、Ｓｒの少なくとも１種であり、Ｂは少なくともＴｉを含む４価金属元素）で表される物質に炭酸ガスを吸収させることにより、反応生成物として、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末と、炭酸化合物とを生成させる工程と
   前記反応生成物から前記炭酸化合物を除去して、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末を得る工程と
   を具備することを特徴とする複合酸化物粉末の製造方法。
2. 前記反応生成物から前記炭酸化合物を除去するにあたって、前記炭酸化合物を酸性溶液と接触させて溶解した後、一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末を分離することを特徴とする請求項１記載の複合酸化物粉末の製造方法。
3. 前記一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質に炭酸ガスを吸収させる際の温度条件を、７００〜９００℃とすることを特徴とする請求項１または２記載の複合酸化物粉末の製造方法。
4. 前記一般式Ａ₂ＢＯ₄で表される物質がオルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）であり、
   このオルソチタン酸バリウム（Ｂａ₂ＴｉＯ₄）に炭酸ガスを吸収させることにより生成する、前記一般式ＡＢＯ₃で表される複合酸化物粉末がＢａＴｉＯ₃粉末であり、前記炭酸化合物がＢａＣＯ₃であって、
   前記反応生成物から前記ＢａＣＯ₃を除去することにより得られる複合酸化物粉末がＢａＴｉＯ₃粉末であること
   を特徴とする請求項１〜３記載の複合酸化物粉末の製造方法。
5. 前記複合酸化物粉末が、セラミック電子部品の製造原料として用いられるものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の複合酸化物粉末の製造方法。
6. 前記複合酸化物粉末の比表面積球相当径が２００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項５記載の複合酸化物粉末の製造方法。

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