JP2009070682A - ヒータ制御装置 - Google Patents
ヒータ制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009070682A JP2009070682A JP2007237909A JP2007237909A JP2009070682A JP 2009070682 A JP2009070682 A JP 2009070682A JP 2007237909 A JP2007237909 A JP 2007237909A JP 2007237909 A JP2007237909 A JP 2007237909A JP 2009070682 A JP2009070682 A JP 2009070682A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- current
- effective value
- current effective
- predetermined
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Control Of Resistance Heating (AREA)
Abstract
【解決手段】交流電流の半周期区間毎に、温調制御信号に対応した位相制御角に基づき、同半周期区間内でサイリスタ13AをONした後、同半周期区間の零クロス位置で同サイリスタをOFFして同交流電流の電流実効値を調整し、この電流実効値に基づき、ヒータへのヒータ電流を調整出力する電力調整装置13と、ヒータ電流に基づきヒータ断線を検出するヒータ断線検出装置16とを有し、ヒータ断線検出装置は、ヒータ電流に基づきサイリスタON継続時間、周期及び電流実効値を算出し、ON継続時間及び周期に基づき位相制御角を算出し、電流実効値及び位相制御角に基づき制御量100%相当の電流実効値を算出し、この電流実効値に基づき、ヒータ断線を識別判定するようにした。
【選択図】図2
Description
13 電力調整装置(ヒータ制御装置)
13A サイリスタ
15 電流検出器(ヒータ電流波形検出手段)
16 ヒータ断線検出装置(ヒータ制御装置)
31 基準電流実効値記憶部(基準電流実効値記憶手段)
32 ON継続時間測定部(ON継続時間測定手段)
33 周期測定部(周期測定手段)
34 位相制御角算出部(位相制御角算出手段)
35 第1電流実効値算出部(第1電流実効値算出手段)
36 第2電流実効値算出部(第2電流実効値算出手段)
37 ヒータ断線判定部(ヒータ断線判定手段)
Claims (5)
- 制御対象のヒータの温度を目標温度に設定するための温調制御信号を受信し、交流電流の半周期区間毎に前記温調制御信号に対応した位相制御角に基づき、同半周期区間内でサイリスタをONした後、同半周期区間の零クロス位置で同サイリスタをOFFして同交流電流の電流実効値を調整し、この調整した電流実効値に基づき、前記ヒータへのヒータ電流を調整出力する電力調整装置と、前記ヒータ電流に基づき、前記ヒータの断線を検出するヒータ断線検出装置とを有するヒータ制御装置であって、
前記ヒータ断線検出装置は、
前記ヒータ正常時のヒータ電流に関わる所定制御量相当の電流実効値を基準電流実効値として予め記憶した基準電流実効値記憶手段と、
前記ヒータ電流の電流波形を検出するヒータ電流波形検出手段と、
このヒータ電流波形検出手段にて検出した前記ヒータ電流の電流波形に基づき、所定半周期区間内のON継続時間を測定するON継続時間測定手段と、
前記ヒータ電流波形検出手段にて検出した前記ヒータ電流の電流波形に基づき、前記所定半周期区間の周期を測定する周期測定手段と、
前記ヒータ電流波形検出手段にて検出した前記ヒータ電流の電流波形に基づき、前記所定半周期区間の電流実効値を算出する第1電流実効値算出手段と、
前記ON継続時間測定手段にて測定した前記所定半周期区間内のON継続時間及び、前記周期測定手段にて測定した前記所定半周期区間の周期に基づき、この所定半周期区間の前記位相制御角を算出する位相制御角算出手段と、
前記第1電流実効値算出手段にて算出した前記所定半周期区間の電流実効値及び、前記位相制御角算出手段にて算出した前記所定半周期区間の前記位相制御角に基づき、前記所定制御量相当の電流実効値を算出する第2電流実効値算出手段と、
この第2電流実効値算出手段にて算出した前記所定制御量相当の電流実効値と、前記基準電流実効値記憶手段に記憶中の基準電流実効値とを比較し、この比較結果に基づき、前記ヒータの断線を識別判定するヒータ断線判定手段とを有することを特徴とするヒータ制御装置。 - 前記ヒータ断線判定手段は、
前記第2電流実効値算出手段にて算出した前記所定制御量相当の電流実効値が前記基準電流実効値よりも小さい場合、前記ヒータの断線と識別判定することを特徴とする請求項1記載のヒータ制御装置。 - 前記所定制御量は、
100%の制御量に相当することを特徴とする請求項1又は2記載のヒータ制御装置。 - 前記基準電流実効値記憶手段は、
前記ヒータ内の複数のヒータ本数の内、各本数に応じた正常時のヒータ電流に関わる所定制御量相当の電流実効値を基準電流実効値として夫々記憶しておき、
前記ヒータ断線判定手段は、
前記第2電流実効値算出手段にて算出した前記所定制御量相当の電流実効値と、前記基準電流実効値記憶手段に記憶中の各本数に応じた基準電流実効値とを順次比較し、この比較結果に基づき、前記ヒータの断線本数を識別判定することを特徴とする請求項1、2又は3記載のヒータ制御装置。 - 前記ヒータ断線判定手段は、
前記第2電流実効値算出手段にて算出した前記所定制御量相当の電流実効値と前記基準電流実効値記憶手段に記憶中の各本数に応じた基準電流実効値とを順次比較し、この比較結果に基づき、前記複数の基準電流実効値の内、前記第2電流実効値算出手段にて算出した電流実効値以下の基準電流実効値の内、最大の基準電流実効値を検索し、この検索した最大の基準電流実効値に対応した本数を全ヒータ本数から減算した本数をヒータ断線本数と識別判定することを特徴とする請求項4記載のヒータ制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007237909A JP5050748B2 (ja) | 2007-09-13 | 2007-09-13 | ヒータ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007237909A JP5050748B2 (ja) | 2007-09-13 | 2007-09-13 | ヒータ制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009070682A true JP2009070682A (ja) | 2009-04-02 |
JP5050748B2 JP5050748B2 (ja) | 2012-10-17 |
Family
ID=40606723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007237909A Active JP5050748B2 (ja) | 2007-09-13 | 2007-09-13 | ヒータ制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5050748B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009148100A (ja) * | 2007-12-15 | 2009-07-02 | Tokyo Electron Ltd | 電力制御装置、これを用いた熱処理装置、電力制御方法及び記憶媒体 |
JP2013054853A (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Rkc Instrument Inc | ヒータ断線検知装置、電力調整装置及びヒータ断線検知方法 |
WO2022191242A1 (ja) * | 2021-03-12 | 2022-09-15 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、異常検知方法及び半導体装置の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0582241A (ja) * | 1991-09-24 | 1993-04-02 | Omron Corp | 負荷断検出器 |
JP2005166327A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Omron Corp | 温度調節器 |
JP2007012578A (ja) * | 2005-07-01 | 2007-01-18 | Foresuto:Kk | ヒータ断線検出装置 |
JP2007178166A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Rkc Instrument Inc | ヒータ断線検知方法 |
JP2007212536A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Canon Inc | 像加熱装置 |
-
2007
- 2007-09-13 JP JP2007237909A patent/JP5050748B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0582241A (ja) * | 1991-09-24 | 1993-04-02 | Omron Corp | 負荷断検出器 |
JP2005166327A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Omron Corp | 温度調節器 |
JP2007012578A (ja) * | 2005-07-01 | 2007-01-18 | Foresuto:Kk | ヒータ断線検出装置 |
JP2007178166A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Rkc Instrument Inc | ヒータ断線検知方法 |
JP2007212536A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Canon Inc | 像加熱装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009148100A (ja) * | 2007-12-15 | 2009-07-02 | Tokyo Electron Ltd | 電力制御装置、これを用いた熱処理装置、電力制御方法及び記憶媒体 |
JP2013054853A (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Rkc Instrument Inc | ヒータ断線検知装置、電力調整装置及びヒータ断線検知方法 |
WO2022191242A1 (ja) * | 2021-03-12 | 2022-09-15 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、異常検知方法及び半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5050748B2 (ja) | 2012-10-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8558711B2 (en) | System for testing NAC operability using backup power | |
JP2017158185A5 (ja) | ||
JP5050748B2 (ja) | ヒータ制御装置 | |
JP6206735B2 (ja) | 故障検出装置及び検出方法 | |
KR101598298B1 (ko) | 저항 측정방식에 근거한 히터 모니터링 장치 및 그에 따른 히터 모니터링 방법 | |
JP2007121215A (ja) | 測定装置 | |
CN110176642A (zh) | 电池中的排烟的判定方法及电池系统 | |
JP2011191177A (ja) | 漏液センサ | |
JP5515999B2 (ja) | ガス漏れ警報器の警報遅延時間の自動切換設定装置及び方法 | |
JP5847563B2 (ja) | ガス漏れ警報器 | |
JP6632182B2 (ja) | 警報器 | |
JP6632736B2 (ja) | 通電状態判定装置 | |
JP2005038241A (ja) | 温度調節器 | |
JP2007135259A (ja) | コネクタ接触不良検出装置 | |
JPH11258022A (ja) | ガスメータ | |
KR102037102B1 (ko) | 전력기기 및 전력기기 상태 판단 시스템 | |
JP2016123140A (ja) | 複合発電システム | |
JP2007012578A (ja) | ヒータ断線検出装置 | |
JP2020092532A (ja) | 蓄電システム及び、電流センサの異常判定方法 | |
JP4835417B2 (ja) | 電力制御方法および電力制御装置 | |
KR200169700Y1 (ko) | 반도체 장치 | |
JP2010210459A (ja) | 抵抗測定装置 | |
JP2011112549A (ja) | 電気配線の異常検出装置及び方法 | |
JP2006250613A (ja) | 被覆鋼管の損傷評価データの処理方法及び損傷監視装置 | |
JP5101334B2 (ja) | 漏れ電流測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100707 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120309 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120313 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120402 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120626 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120709 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5050748 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150803 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |