JP2009062596A - 金属微粉製造用スプレー - Google Patents
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Abstract
【課題】所定粒径の微細金属粉末を粒度のバラツキ少なく製造できるとともに、直径の異なる微粉を効率よく製造できる微粉製造装置を提供する。
【解決手段】溶融金属流出用の溶湯ノズル1と高圧ガス噴射用のガスノズル2とを有し、高圧ガスで溶融金属を吸引して霧状に噴霧し金属微粉を製造する二流体ノズル構造の金属微粉製造用スプレーであって、溶湯ノズルには、流出量を調整するニードル弁8が配設されていることを特徴としている。
【選択図】図1
【解決手段】溶融金属流出用の溶湯ノズル1と高圧ガス噴射用のガスノズル2とを有し、高圧ガスで溶融金属を吸引して霧状に噴霧し金属微粉を製造する二流体ノズル構造の金属微粉製造用スプレーであって、溶湯ノズルには、流出量を調整するニードル弁8が配設されていることを特徴としている。
【選択図】図1
Description
本発明は、溶融金属を噴霧して微細粉末を製造するためのスプレーに関する。
溶融金属から粉末金属を製造する方法としてアトマイズ法が知られている。この方法は、垂直に流下する柱状の溶融金属流に高速のガスを噴射し、微細に分断粉砕するとともに冷却させることによって微細金属粉末を製造する方法であり、真球に近い球状の粉末を大量に得ることができるので、製造された金属粉末は粉末冶金用や塗装用など広い分野で使用されている。しかし、製造された金属粉末は、一般に数μmから1mm程度までの広い粒度分布を示しており、粒度分布の狭い金属粉末を得ようとすると歩留まりが低下するという問題がある。また、噴射ガスの衝突時に上向きの流れが生じて溶融金属が吹き上がり、溶湯ノズルやガス噴射口へ付着して閉塞するというブロッキング現象が頻発するという問題もある。
これらの問題を解決するための技術が特許文献1に示されている。特許文献1に記載されたガス噴霧金属粉末製造装置は、ガスアトマイズ法において、例えば焼結用に常用される45μm以下の微粉を歩留まりよく、かつブロッキング現象を防止して製造することを目的としたもので、垂直に流下する溶湯流に対し、その垂直方向の2箇所以上でジェットが衝突するようにした多段ジェット構造とし、上ジェットにより弱粉砕した溶湯断片を下段の逆円錐型高速ガスジェットにより強粉砕する粉砕形態としたものである。この装置によれば、ブロッキングが回避でき、かつ金属微粉は149μm以下の粒における平均粒子径が33μm及び38μmであり従来法に比べて明らかに微細な金属粒子が得られたと説明されている。
特開平6−49512号公報
ところで、粉末冶金にて製造した製品の特性向上や、ムラの無い綺麗な塗装に対し、金属粉末には微小化と粒径均一化が要求される。また、特に精度要求の厳しい電子部品接合用の半田粒子、すなわちバンプ製造用に用いられる半田ボールや半田ペーストに用いられる微細粒子には、直径が数〜100μm程度と小さいだけでなく、許容粒度分布は非常に厳しく、例えば直径の1/10程度といった厳しい許容粒度分布が要求される。しかしながら、特許文献1には微細な金属粉末が得られることは開示されているが粒度分布については説明がなく、高い製造歩留まりで前記のような粒度精度分布の要求に応えることは難しいと思われる。これは、長時間にわたる製造の場合、ブロッキング現象は防止できたとしても、溶湯温度の低下や溶湯ヘッドの低下などに伴う溶湯流速の低下などで、溶湯ノズル内面に溶湯が付着し、粒径が変化していくと考えられるからである。また、特許文献1の装置を含むアトマイズ用の装置においては、異なった直径の粒子を製造する場合、噴射ガス量等を調整することである程度対応できると思われるが、基本的には溶湯ノズルを所定の穴径のものに交換しなければならず、設備的に面倒である。
本発明は、所定粒径の微細金属粉末を粒度のバラツキ少なく製造できるとともに、直径の異なる微粉を効率よく製造できる微粉製造装置を提供することを目的としている。
本発明は、所定粒径の微細金属粉末を粒度のバラツキ少なく製造できるとともに、直径の異なる微粉を効率よく製造できる微粉製造装置を提供することを目的としている。
本発明は、溶融金属流出用の溶湯ノズルと高圧ガス噴射用のガスノズルとを有し、高圧ガスで溶融金属を吸引して霧状に噴霧し金属微粉を製造する二流体ノズル構造の金属微粉製造用スプレーであって、溶湯ノズルには、流出量を調整するニードル弁が配設されていることを特徴としている。
前記本発明において、前記二流体ノズルは、外筒と、外筒内部に配設された溶融金属が充填される溶湯貯留筒とで構成され、溶湯ノズルは、溶湯貯留筒の一端を先すぼまり状にして形成され、ガスノズルは、外筒の一端を溶湯貯留筒の先すぼまり形状に合わせて先すぼまり状にして溶湯ノズルの外周部にリング状に形成され、前記ニードル弁は、外筒の他端部に形成されたダイアフラムシリンダのピストンとして溶湯貯留筒の内部を貫通して溶湯ノズルに達するように構成され、ダイアフラムシリンダの作動エアー圧力に合わせて位置が制御され、溶湯ノズルの開度を調整可能としている。
また、前記本発明において、ニードル弁には、ダイアフラムシリンダと溶湯貯留筒間の外周面に、作動エアーが溶湯貯留内の溶融金属に混入しないよう耐熱性Oリングが当接されていることが望ましい。
前記本発明において、前記二流体ノズルは、外筒と、外筒内部に配設された溶融金属が充填される溶湯貯留筒とで構成され、溶湯ノズルは、溶湯貯留筒の一端を先すぼまり状にして形成され、ガスノズルは、外筒の一端を溶湯貯留筒の先すぼまり形状に合わせて先すぼまり状にして溶湯ノズルの外周部にリング状に形成され、前記ニードル弁は、外筒の他端部に形成されたダイアフラムシリンダのピストンとして溶湯貯留筒の内部を貫通して溶湯ノズルに達するように構成され、ダイアフラムシリンダの作動エアー圧力に合わせて位置が制御され、溶湯ノズルの開度を調整可能としている。
また、前記本発明において、ニードル弁には、ダイアフラムシリンダと溶湯貯留筒間の外周面に、作動エアーが溶湯貯留内の溶融金属に混入しないよう耐熱性Oリングが当接されていることが望ましい。
本発明によれば、金属微粉を粒度のバラツキを少なく、また粒径の異なる微粉を容易に製造することができる。
図1は本発明の金属微粉製造用スプレー(以下、スプレーと略す)50の主要構成を示す断面図、図2は図1のスプレーの動作を説明する図である。図3は本発明を用いた金属微粉製造システムの概略を示す図である。
図1及び図2に示すように、本発明のスプレー50は、一端(図1では左側)に、溶融金属(以下、溶湯とも言う)Mが流出する溶湯ノズル1と、溶湯ノズル1の周囲にリング状に形成された高圧ガスGが噴出するガスノズル2とを有する二流体ノズル構造をなしている。この二流体ノズル構造は、外筒3とその内部に配された溶湯貯留筒4よりなり、溶湯貯留筒4の先端が先すぼまりに形成されて溶湯ノズル1とされ、この先すぼまり形状に合わせて外筒3の左端部も先すぼまり形状に形成されてガスノズル2とされている。溶湯貯留筒4は、外筒3の中央付近に設けられた仕切壁5と一体に或いは組立構造で配設されている。溶湯貯留筒4の外周面と外筒3の内周面と仕切壁5で囲まれた空間が、噴出用の高圧ガスGが充填される噴出ガス室7とされ、外筒3に形成されたガス供給口H1から高圧ガスGが供給される。高圧ガスGとしては、窒素やアルゴンなどの不活性ガス、非酸化性ガスを用いるとよい。
溶湯貯留筒4は、内部に溶湯Mが充填される溶湯室6を有し、溶湯ノズル1を開閉するニードル弁8が溶湯室6を貫通するように配設されている。ニードル弁8の先端(左端)部は円錐状に形成され、溶湯ノズル1と当接した時には溶湯ノズル1を閉塞することができる。ニードル弁8の内部には、後端(右端)部から先端部に向けて溶湯供給穴9が形成され、溶湯室6に達する位置で外部に開口されており、後端部から導入された溶湯Mが溶湯貯留筒4内に供給される。ニードル弁8は、仕切壁5と外筒3の右端部に取り付けられたエンドプレート10とに形成された貫通穴部5h、10hで左右動可能に支持されている。ニードル弁8にはダイアフラム11が取り付けられており、ダイアフラム11の変形で移動する。
即ち、外筒3の右側内周面と仕切壁5とエンドプレート10との間の空間でニードル弁8をピストンとするダイアフラムシリンダが形成されている。図1は、仕切壁5とダイアフラム11の間の空間が作動エアーSが供給されるダイアフラム室12とされ、ダイアフラム11とエンドプレート10の間に圧縮バネ13が装着された構造のもので、圧縮バネ13はダイアフラム11を常時左方に押付ける方向に作用しており、ダイアフラム室12のエアー圧がほぼ「ゼロ」の時にニードル弁8は溶湯ノズル1を閉塞するようになっている。なお、ダイアフラム室12と圧縮バネ13の配置を上記の逆として、ダイアフラム室12の作動エアー圧が所定の圧力に維持されている時にニードル弁8が溶湯ノズル1を閉塞するような形態とすることもできる。
従って、図1で示したニードル弁8は、ダイアフラム室12に所定圧力の作動エアーSを供給口H2から供給することによって、ダイアフラム11及び圧縮バネ13力に抗して右方に移動するので、溶湯ノズル1の開閉弁として作用させることができる。さらには、作動エアーSの圧力を調整することによってニードル弁8の位置制御をすることもできる。すなわち、絞り弁として作用させることができ、溶湯ノズル1から流出する溶湯量を制御することができ、高圧ガスGの圧力制御と併せて、形成される微粉の粒子径を制御することができる。このためには、ニードル弁8は作動エアーSの圧力変化に精度よく追従して信頼性高く位置制御されなければならず、ニードル弁8は移動時の抵抗ができるだけ小さくかつ変動が小さくなるようにするため、いわゆる軸受部材Jを介して支持されることが望ましい。
軸受部材としては、図2(b)に示すように、スライドブッシュや、ボール転動式のリニアベアリングを用いることができるが、摺動抵抗が小さく、耐熱性もある皮膜例えばフッ素樹脂を用い、ニードル弁の外周面、または仕切壁貫通穴5hの内周面及びエンドプレート貫通穴10hの内周面の少なくともいずれかにコーティングした構造とすることもできる。いずれの場合であっても、ニードル弁8を安定して左右に移動させるため、ニードル弁8の外周面と、前記貫通穴5h、10hの内周面或いはスライドブッシュの内周面には隙間が存する。このため、仕切壁5の貫通穴部5hにおける隙間からダイアフラム室12の作動エアーSが溶湯室6へと漏れると、溶湯Mに気泡が混入し、形成される微粉が非球状になったり粒子径がばらつくなど微粉品質が劣化するので、シール部材を装着して作動エアーSの漏洩を防止する。
シール部材としては、非粘着性で耐熱性がある例えばフッ素樹脂やカルレッソ(デュポン社商標名)製のOリング14を用いるとよい。Oリング14は、前述した軸受部材Jとともに用いてもよいが、ニードル弁8の外周面に当圧されるので、単独で用いて軸受部材として作用させることもできる。エンドプレート10の貫通穴部10hは特にシールする必要はないので、シール部材を装着しなくてもよいが、図1に示すように、仕切壁5におけると同じOリング14を装着して軸受部材として用いるようにすると、構造の共通化が図れシンプルになる。
ニードル弁8、溶湯貯留筒4及び仕切壁5の材質は、半田のように溶湯が低融点の場合にはSUS等の鋼材で対応できるが、より耐熱性があり、熱膨張が小さく、軽量な例えばセラミックス材を用いれば、さらに融点の高い溶湯にも対応できてよい。
次に、本発明のスプレー50を用いた金属微粉の製造方法について、図1〜3を参照しながら説明する。
図3において、スプレー50は、チャンバ51の上部に配置され、ヒータ52で全体を所定温度に維持される。製造開始前のスプレー50には、ダイアフラム室12には作動エアーSは作用されておらず、図1に示すように、ニードル弁8は圧縮バネ13で左方に押されて溶湯ノズル1は閉塞されている。スプレー50が、溶湯Mが急冷されないような所定温度に達すると、ニードル弁8の後端から溶湯Mを注入し、ニードル弁8内部の溶湯供給穴9から溶湯室6に溶湯Mを満たす。次いで、噴出用高圧ガスGをヒーターで所定温度に加熱しつつ例えば1〜2Mpa程度の所定圧力で外筒3に設けられたガス供給口H1から噴出ガス室7へ供給する。これにより、噴出ガス室7に充満した高圧ガGはガスノズル2から噴出される。
図3において、スプレー50は、チャンバ51の上部に配置され、ヒータ52で全体を所定温度に維持される。製造開始前のスプレー50には、ダイアフラム室12には作動エアーSは作用されておらず、図1に示すように、ニードル弁8は圧縮バネ13で左方に押されて溶湯ノズル1は閉塞されている。スプレー50が、溶湯Mが急冷されないような所定温度に達すると、ニードル弁8の後端から溶湯Mを注入し、ニードル弁8内部の溶湯供給穴9から溶湯室6に溶湯Mを満たす。次いで、噴出用高圧ガスGをヒーターで所定温度に加熱しつつ例えば1〜2Mpa程度の所定圧力で外筒3に設けられたガス供給口H1から噴出ガス室7へ供給する。これにより、噴出ガス室7に充満した高圧ガGはガスノズル2から噴出される。
次いで、作動エアーSを例えば0.1〜0.4Mpa程度の所定の圧力で、外筒3に設けた作動エアー供給口からダイアフラム室12に供給する。これにより、図2(a)に示すように、ダイアフラム11は、圧縮バネ力と釣り合う位置まで右方に移動され、ニードル弁8の先端は溶湯ノズル1から離れて溶湯ノズル1は開口される。溶湯ノズル1の先方は、ガスノズル2から噴出されている高圧ガスGによって負圧となっており、溶湯Mはこれに吸引されて噴出用ガスGに混合され、微細な霧状となってチャンバ51内に噴射される。噴出用ガスGに吸引されて流出される溶湯Mの量は、作動エアーSの圧力で決まるニードル弁8の先端位置によって規定され、所定の粒子径の微粉を得ることができる。噴霧された微粉の粒子径は、噴出ガスG量と溶湯M量の割合によって決まり、噴出ガスG量を一定とすれば溶湯M量が少ないほど小さくなる。
所定量の溶湯Mがスプレー50へ供給し終わるとされると、噴出ガスGの供給を停止するとともに作動エアーSの供給を停止する。ダイアフラム11は圧縮バネ力により、図1の状態に戻り、溶湯ノズル1はニードル弁8で閉塞され溶湯Mの流出は停止する。溶湯Mの供給停止から噴出ガスGの停止及び作動エアーSの停止までの時間は、溶湯室6内に残った溶湯をできるだけ排出できるよう適宜決めるとよい。チャンバ51内に噴霧された微粉は、製造中あるいは製造後に、その下部から回収装置53に吸引し、その後必要に応じて分級工程等で所定粒子径のものに分級される。
一つのロットの微粉が製造された後は、二重ノズル部やニードル弁先端部などへの溶湯付着具合を確認して、必要に応じて清掃することが好ましい。このため、スプレー50は分解し易い構造になるよう、外筒3と仕切壁5、エンドプレート10、及び仕切壁5と溶湯貯留筒4などは組立構造にするとよい。
その後、異なった粒子径の微粉を製造する場合、ダイアフラム室12を加圧する作動エアーSの圧力を調整する。この作動エアー圧は、微粉材質で規定される溶湯温度や粒子径などによって異なるが、それまでに製造したデータから経験的に得られた圧力をもとに設定すればよい。また、設定した作動エアー圧で製造を開始した後、定期的に所定の粒子径の微粉が得られているかをサンプリングしてチェックすることが好ましい。本発明のスプレー50では、その結果に応じて作動エアー圧を調整し、溶湯ノズルの開度を制御して粒径を所定範囲に維持することができる。この作動エアー圧の制御は、前記経験的データに基づいて手動で行ってもよいし、自動で行うようにすることもできる。これにより、例えば1時間にも及ぶような長時間大量な微粉を製造するような場合でも、所定粒度の微粉を歩留まり高く得ることができる。
図1に示した構造のスプレーを用い半田微粉を製造した。半田は組成がSnAgCu系―――、融点が200〜290―――℃のものを用い、各サンプルの溶湯量は0.2Kgとし、噴出用高圧ガス圧力と作動用エアー圧力を変えた。表1にその結果を示す。
上記からわかるように、噴出ガス圧を一定として作動エアー圧を調整することで粒子の直径を変えることができた。また、一方、作動エアー圧を一定として噴出ガス圧を変えた場合も、平均粒径を変えることができた。平均粒径を小さくしたい場合、作動エアー圧を小さくする方向に調整するか、噴出ガス圧を高くする方向に調整するとよいことがわかる。ただし、噴出ガス圧を高くすると、高価な不活性ガスを多量に消費することになるので、作動エアー圧を調整する方がランニングコスト的には有利である。また、いずれの場合も、粒度分布は得られる平均粒径に合わせて変動したが、6σの範囲では粒径の1/5程度であり10、その後簡易的な分級を行うことで、高い歩留まりで直径の1/10程度の粒径分布を有する微粉を得ることができたいる。いと粒子が破砕されて球状でないものが見られるようになる。なお、上記は、1種類の溶湯に対する製造結果であり、溶湯の組成が変われば、それに合わせて適切な噴出ガス圧、作動エアー圧を設定する必要がある。
1 溶湯ノズル
2 ガスノズル
3 外筒
4 溶湯貯留筒
5 仕切壁
6 溶湯室
7 噴出ガス室
8 ニードル弁
9 溶湯供給穴
10 エンドプレート
11 ダイアフラム
12 ダイアフラム室
13 圧縮バネ
14 Oリング
50 金属微粉製造用スプレー
M 溶湯
G 噴出用高圧ガス
S ダイアフラムシリンダ作動用エアー
2 ガスノズル
3 外筒
4 溶湯貯留筒
5 仕切壁
6 溶湯室
7 噴出ガス室
8 ニードル弁
9 溶湯供給穴
10 エンドプレート
11 ダイアフラム
12 ダイアフラム室
13 圧縮バネ
14 Oリング
50 金属微粉製造用スプレー
M 溶湯
G 噴出用高圧ガス
S ダイアフラムシリンダ作動用エアー
Claims (3)
- 溶融金属流出用の溶湯ノズルと高圧ガス噴射用のガスノズルとを有し、高圧ガスで溶融金属を吸引して霧状に噴霧し金属微粉を製造する二流体ノズル構造の金属微粉製造用スプレーであって、
溶湯ノズルには、流出量を調整するニードル弁が配設されていることを特徴とする金属微粉製造用スプレー。 - 請求項1記載の金属微粉製造用スプレーにおいて、前記二流体ノズルは、外筒と、外筒内部に配設された溶融金属が充填される溶湯貯留筒とで構成され、溶湯ノズルは、溶湯貯留筒の一端を先すぼまり状にして形成され、ガスノズルは、外筒の一端を溶湯貯留筒の先すぼまり形状に合わせて先すぼまり状にして溶湯ノズルの外周部にリング状に形成され、
前記ニードル弁は、外筒の他端部に形成されたダイアフラムシリンダのピストンとして溶湯貯留筒の内部を貫通して溶湯ノズルに達するように構成され、ダイアフラムシリンダの作動エアー圧力に合わせて位置が制御され、溶湯ノズルの開度を調整可能としていることを特徴とする金属微粉製造用スプレー。 - 請求項1又は2記載の金属微粉製造用スプレーにおいて、ニードル弁には、ダイアフラムシリンダと溶湯貯留筒間の外周面に、作動エアーが溶湯貯留筒内の溶融金属に混入しないよう耐熱性Oリングが当接されていることを特徴とする金属微粉製造用スプレー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007232912A JP2009062596A (ja) | 2007-09-07 | 2007-09-07 | 金属微粉製造用スプレー |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007232912A JP2009062596A (ja) | 2007-09-07 | 2007-09-07 | 金属微粉製造用スプレー |
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JP (1) | JP2009062596A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160015591A (ko) * | 2014-07-31 | 2016-02-15 | 현대제철 주식회사 | 턴디쉬용 노즐 유닛 및 이를 갖는 수분사 철계 분말 제조 장치 |
JP6533352B1 (ja) * | 2018-07-27 | 2019-06-19 | 株式会社東北マグネットインスティテュート | 高速流体噴射装置 |
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2007
- 2007-09-07 JP JP2007232912A patent/JP2009062596A/ja active Pending
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KR101607001B1 (ko) * | 2014-07-31 | 2016-03-28 | 현대제철 주식회사 | 턴디쉬용 노즐 유닛 및 이를 갖는 수분사 철계 분말 제조 장치 |
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WO2020021701A1 (ja) * | 2018-07-27 | 2020-01-30 | 株式会社東北マグネットインスティテュート | 高速流体噴射装置 |
CN111182986A (zh) * | 2018-07-27 | 2020-05-19 | 株式会社东北磁材研究所 | 高速流体喷射装置 |
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