JP2009061716A - 流体噴射ヘッド及び流体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】導電性の異物の付着に起因する流体の電気分解を防止することが可能な液体噴射ヘッド、及び流体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口３２が形成されたノズルプレート２７と、ノズル開口３２に連通する圧力室６が形成された流路形成基板２８と、圧力室６の壁面を構成する振動板３０と、圧力室６に対応して設けられ、振動板３０を介して圧力室６の容積を変化させる圧電素子２と、圧電素子２を保持するとともに圧力室６へインクを供給するためのインク供給路１８を有するケーシング１２と、を少なくとも備え、振動板３０は、インク供給路１８に連通し、圧力室６側へインクを導入させるためのインク導入口４５を有し、ケーシング１２に接合される導電性の補強板３６と、絶縁性の弾性フィルム３８とを接合してなる複合材によって構成され、インク導入口４５内に露出する補強板３６の孔３６ｂの内周面３６Ａが絶縁膜４６Ａによって覆われている。
【選択図】図２

Description

本発明は、流体噴射ヘッド及び流体噴射装置に関するものである。

流体噴射装置として、記録ヘッド（噴射ヘッド）に形成されたノズルより記録媒体にインクを噴射するインクジェット式記録装置が知られている。このような流体噴射ヘッドの一種に、例えば、圧力室や圧電素子を備えたアクチュエータユニットと、ノズル開口や共通インク室を備えた流路ユニットとから構成され、圧電素子の駆動に応じて振動板を振動させることで液滴を噴射させるようにしたものがある。
圧力室の壁部は、振動板によって構成されており、駆動信号を供給して圧電素子を駆動させることで振動板が振動し、圧力室の容積を変化させて圧力室内に貯留されたインクに圧力変動を生じさせる。そして、この圧力変動を利用することでノズル開口からインク滴を噴射させる。

一般的に、振動板は、例えばステンレス鋼等の金属製の補強板上に弾性フィルムをラミネート加工したもので、ケーシングに補強板側を対向させた状態で接着等によって接合されている（例えば、特許文献１参照）。このような振動板には、インクリザーバ（共通インク室）に対応する部分に、ケーシング側の流体供給流路からのインクをインクリザーバに導入させるための流体導入口が、補強板と弾性フィルムとを貫通した状態で開設されている。また、振動板は、補強板の圧電素子が接合される部分を島部として残し、圧力室に対応する部分をエッチング等によって除去することで、圧力室に対応する部分が弾性膜のみで形成されている。
特開２０００−３３７１３号公報

ここで、振動板の島部は、補強板の他の部分と電気的に独立しているため、通常では、圧電素子に駆動信号を印加しても島部から他の部分に電流が流れることはない。ところが、島部は、ケーシングにおける圧電素子の収容室内に露出しているため、記録ヘッドのアライメント工程中に、加工屑等の異物が上記収容室内に入り込み、島部上に落下することがある。この異物が金属などの導電性を有するものである場合、島部と補強板の他の部分との間で短絡する虞がある。このような短絡が生じたとき、補強板全体が圧電素子の自由端部の先端面（圧電素子の最表層）と同電位（正電位）になる。

一方、補強板とは流路形成基板を挟んで反対側に配置されているノズルプレートは、帯電防止のために接地電位（ＧＮＤ）に調整されている。これにより、補強板においてインクと接触する部分である流体導入口の内周面と、ノズルプレートのノズル開口周辺部とがあたかも電極のように作用して、これらの間のインクが電気分解される虞がある。この電気分解が進むと、流体導入口の周囲に顔料等のインクの含有成分が析出し、この析出物が流路を塞ぐ等して噴射不良の原因となることがあった。

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、導電性の異物の付着に起因する流体の電気分解を防止することが可能な液体噴射ヘッド及び流体噴射装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は、流体を噴射させる複数のノズル開口が形成されたノズル形成基板と、複数のノズル開口に連通する複数の圧力室が形成された流路形成基板と、複数の圧力室の壁面を構成する振動板と、各圧力室に対応して設けられ、振動板を介して圧力室の容積を変化させる複数の圧電素子と、圧電素子を保持するとともに圧力室へ流体を供給するための流体供給流路を有するケーシングと、を少なくとも備え、振動板は、ケーシングに接合される導電性の補強板と、絶縁性の弾性膜とを接合してなる複合材によって構成され、且つ、流体供給流路に連通し、圧力室側へ流体を導入させるための流体導入口を有してなり、当該流体導入口内に露出する補強板の露出部が絶縁材によって覆われていることを特徴とする。

本発明の流体噴射ヘッドによれば、振動板の流体導入口内における補強板の露出部を絶縁材で覆う構成とすることで、ノズル形成基板と振動板（補強板）とを電気的に絶縁することができる。これにより、アセンブリ工程において、導電性の異物が補強板上に落下して圧電素子と補強板とが短絡した場合においても、補強板とノズル形成基板とが電気的に作用することを阻止することができる。その結果、振動板とノズル形成基板との間にある流体の電気分解を防止して、流体の電気分解に起因する、流体からの析出物による噴射不良を抑制することができるようになり、安定的な噴射が可能となる。

また、絶縁材が、ケーシングと補強板とを接合する接着材であることが好ましい。
このような構成によれば、ケーシングと補強板（振動板）とを接合する接着材を用いることにより、他の材料を用いることなく絶縁材を形成することができる。これにより、簡単且つ低コストで形成することができる。

また、流体導入口の開口面積が、流体供給流路の開口面積よりも大きいことが好ましい。
このような構成によれば、振動板のケーシングに接着する側の表面から、接着材を流体導入口内に回り込ませることができ、絶縁材を容易に形成することができる。

また、絶縁材によって覆われた部分の流体導入口の開口面積が、流体供給流路の開口面積よりも大きいことが好ましい。
このような構成によれば、流体導入口の絶縁性が確保されるとともに、インクの流動性が向上する。

本発明の流体噴射装置は、上記流体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、補強板への導電性異物の付着に起因する補強板とノズルプレートとの電気短絡を防いで、振動板とノズルプレートとの間にある流体の電気分解を防止した液体噴射ヘッドを備えているので、信頼性の高い噴射制御を安定的に行うことが可能となり、製品信頼性を長期的に確保可能とした流体噴射装置を得ることができる。

以下、この発明の好適な実施の形態を添付図面等を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。

（記録装置の構成）
図１は本発明の液体噴射装置の実施の形態に係るインクジェット式記録装置（以下「記録装置」という）１００を示す概略斜視図である。
図１に示すように、記録装置１００は、キャリッジ１０１を有し、このキャリッジ１０１はキャリッジモータ１０２により駆動されるタイミングベルト１０３を介し、ガイド部材１０４に案内されてプラテン１０５の軸方向に往復移動されるように構成されている。

図１のキャリッジ１０１の記録用紙２００に対向する側には、後述する流体噴射ヘッドである例えば、インクジェット式記録ヘッド（以下「記録ヘッド」という）１（図２参照）が搭載され、その上部には、記録ヘッド１に液体である例えば、インクを供給するブラックインクカートリッジ１０６及びカラー用インクカートリッジ１０７が着脱可能に装填されている。
そして、図１の記録用紙２００は、印字等領域Ｐに配置されて、記録ヘッド１によってインクが噴射され、印字等される構成となっている。

また、図１に示すように、記録用紙２００が配置されない非印字等領域である例えば、ホームポジションＨには、キャップ部材や吸引手段等を有するクリーニング手段である例えば、キャッピング手段１２０、吸引ポンプ１３０、そしてワイピング部材１４０が配置されている。

（記録ヘッドの構成）
以下、図２及び図３を参照して記録ヘッドの構成について詳述する。図２は、記録ヘッドの一部を示す断面図である。
例示した記録ヘッド１は、複数の圧電素子２を有するアクチュエータユニット４、圧力室６やインクリザーバ８を含むインク供給路が形成された流路ユニット１０、アクチュエータユニット４や流路ユニット１０が固定されるケーシング１２、及び、圧電素子２に駆動信号を供給するための信号ケーブル１４等を備えて概略構成されている。

ケーシング１２は、合成樹脂製の中空のブロック状部材であり、その内部にはアクチュエータユニット４を収容可能な収容室１６と、インクカートリッジ側からのインクを流路ユニット１０側に供給するインク供給路１８とが形成されている。ケーシング１２の収容室１６は、流路ユニット取付面となるケーシング１２の底面から、信号ケーブル１４が挿入される上面側に亘って一連に形成されている。つまり、収容室１６は、ケーシング１２の高さ方向を貫通する貫通開口部として形成されている。

アクチュエータユニット４は、圧力発生手段としての圧電素子２と、この圧電素子２が接合される固定板２０と、駆動信号を圧電素子２に供給する信号ケーブル１４等から構成される。本実施形態における圧電素子２は、圧電体を電極で挟んで積層し、細長い櫛歯状に切り分けられた積層型の圧電素子である。そして、この圧電素子２は、縦方向に伸縮可能な縦振動型の圧電素子として構成されている。各圧電素子２は、固定端部を固定板２０上に接合することにより、自由端部を固定板２０の先端縁よりも外側に突出させて所謂片持ち梁の状態となっている。そして、各圧電素子２における自由端部の先端面は、後述するように、振動板３０に形成されたダイヤフラム部４０（図３参照）の島部４１に接合される。
なお、圧電素子２が接合された固定板２０は、接着材２２によりケーシング１２に固定されている。

上記の圧電素子２の表面には、個別外部電極２４と共通外部電極２６とが形成されている。個別外部電極２４は、圧電素子２の先端面部と、圧電素子２における積層方向の一側面である配線接続面（信号ケーブル１４が接続される面）とに一連に形成された電極であり、圧電素子２内部の個別内部電極（図示せず）と導通している。また、共通外部電極２６は、圧電素子２の基端面部と、圧電素子２における積層方向の他側面である固定板２０への取付面とに一連に形成された電極であり、圧電素子２内部の共通内部電極（図示せず）と導通している。これらの外部電極のうち、一方の個別外部電極２４は信号ケーブル１４の個別端子と電気的に接続され、他方の共通外部電極２６は信号ケーブル１４の接地端子と電気的に接続される。そして、信号ケーブル１４からの駆動信号を個別外部電極２４を通じて圧電素子２に印加すると、個別外部電極２４（個別内部電極）と共通外部電極２６（共通内部電極）との電位差により圧電体が変形する。これにより、圧電素子２を伸縮駆動することができる。

流路ユニット１０は、ノズルプレート２７、流路形成基板２８、及び振動板３０を有しており、流路形成基板２８の一方の表面にノズルプレート２７を配置し、ノズルプレート２７とは反対側となる流路形成基板２８の他方の表面に振動板３０を配置して積層し、接着等により一体化することで構成されている。

記録ヘッド１の前面、すなわち、流路ユニット１０において最下部に配設されるノズルプレート２７は、図１の記録用紙２００の幅方向に亘って列状に開設した多数のノズル開口３２を有している。本実施形態のノズルプレート２７は、例えばステンレス鋼等の金属で形成された板状の部材である。このノズルプレート２７は、記録紙等から発生する静電気の帯電やノイズを防止する目的で、例えば図示しない金属製のカバーを通じて接地電位に調整される。

流路形成基板２８は、例えば、シリコンウェハーから作製され、インクリザーバ８、インク導入路３４、及び圧力室６からなる一連のインク流路となる流路基部が区画形成された板状部材である。
各ノズル開口３２にそれぞれ連通する多数の圧力室６と、それらの圧力室６にインクを供給する共通のインクリザーバ８とが、インク導入路３４を通じて繋がっている。
圧力室６は、ノズル開口３２の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成され、インク導入路３４は、圧力室６とインクリザーバ８との間を連通する流路幅の狭い狭窄部（オリフィス）として形成されている。
インクリザーバ８は、ケーシング１２のインク供給路１８を通じて供給されるインクを一時的に貯留する室である。このインクリザーバ８に貯留されたインクは、インク導入路３４を通じて対応する各圧力室６に分配供給される。

振動板３０は、ステンレス鋼等の導電性を有する補強板３６にＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の絶縁性を有する可撓性フィルムから作製された弾性フィルム３８をラミネート加工した二重構造の複合板材であり、弾性フィルム３８側の面が流路形成基板２８に、補強板３６側の面がケーシング１２の底面に、それぞれ接合されるようになっている。

この振動板３０は、図３に示すように、圧力室空部６ａ（圧力室６）の一方の開口面を封止してこの圧力室６の容積を変動させるためのダイヤフラム部４０が形成されると共に、凹部８ａ（インクリザーバ８）の一方の開口面を封止するコンプライアンス部４２が形成された部材である。ダイヤフラム部４０は、圧電素子２の先端面を接合するための部分を島部４１として各圧力室６に対応して複数残した状態で、その周囲の補強板３６をエッチング加工によって除去して弾性フィルム３８のみとすることで構成されている。この島部４１は、圧力室６の平面形状と同様に、ノズル開口３２の列設方向と直交する方向に細長いブロック状に形成されている。

図４（ａ）は、図２のＡ−Ａ線に沿った補強板３６の平面図である（なお、図２のヘッドの断面は、図４のＢ−Ｂ線に沿っている）。
図４（ａ）に示すように、補強板３６には、複数の孔３６ａ、３６ｂ、３６ｃがエッチング法により形成されており、長方形の孔３６ａは圧力室６の配列領域に対応し、孔３６ａの内側に存在する多数の島部４１はそれぞれ、個々の圧力室６の背面に位置している。また、補強板３６中央の円形の孔３６ｂは、インク供給路１８のインクリザーバ８への出口１８Ｂ（インクリザーバ８の中央部分）に対応し、孔３６ｂの両側にあるウィング状の孔３６ｃは、インクリザーバ８の中央以外の部分に対応している。
また、補強板３６の孔３６ｂの周囲部分３６Ｂが、インクリザーバ８の中央部付近を覆っており、ケーシング１２におけるインク供給路１８の入口１８Ａの周囲部分と接合する。

図４（ｂ）は、図２のＡ−Ａ線に沿った弾性フィルム３８の平面図である（なお、図２のヘッドの断面は図３のＢ−Ｂ線に沿っている）。
図４（ｂ）に示すように、弾性フィルム３８には、インク供給路１８のインクリザーバ８への出口１８Ｂに対応し、上記補強板３６の孔３６ｂと同径をなす孔３７が穿設されている。弾性フィルム３８は、インクリザーバ８及び圧力室６の壁面を構成すべく、流路形成基板２８のノズルプレート２７とは反対側の面に設けられる。

そして、図５に示すように、このような補強板３６及び弾性フィルム３８を、接着層４４を介してラミネートした状態において、補強板３６の孔３６ｂと弾性フィルム３８の孔３７とによって、振動板３０の厚さ方向を貫通するインク導入口４５が構成される。このインク導入口４５は、インク供給路１８とインクリザーバ８とを連通させる機能を有し、インク供給路１８からのインクをインクリザーバ８へと供給するための貫通孔である。

そして、このインク導入口４５は、インク供給路１８の孔径よりも拡径とされており、すなわち、インク導入口４５の開口面積が上記インク供給路１８（出口１８Ｂ）の開口面積よりも大きくなっている。

本実施形態では、インク導入口４５を構成する補強板３６の孔３６ｂ及び弾性フィルム３８の孔３７の内周面３６Ａ，３７Ａ（露出部）を被覆するようにして、絶縁膜４６Ａ（絶縁材）が形成されている。この絶縁膜４６Ａは、ケーシング１２と流路ユニット１０とを接合する接着層４６の形成材料を用いて形成された樹脂膜（絶縁性膜）である。補強板３６の孔３６ｂ及び弾性フィルム３８の孔３７の開口面積を、インク供給路１８の開口面積よりも大きくしておくことによって、製造時に接着層４６の形成材料をインク導入口４５内へまわし込みやすくなる。
ここで、絶縁膜４６Ａによって覆われた部分のインク導入口４５の開口面積がインク供給路１８の開口面積よりも大きくなっている。すなわち、インク導入口４５の開口面積がインク供給路１８の開口面積よりも大きくなるような厚さで、孔３６及び孔３７の内周面３６Ａ，３７Ａに絶縁膜４６Ａが形成されている。

そして、各インクカートリッジから供給されたインクは、インク供給路１８の入口１８Ａからケーシング１２内に流入する。インク供給路１８の下端はインクリザーバ８に接続されており、インク供給路１８の入口１８Ａから流入したインクは、インク供給路１８を流れた後、出口１８Ｂからインク導入口４５を介してインクリザーバ８へと供給される。インクリザーバ８に供給されたインクは、インク導入路３４を介して、各圧力室６に分配されるように供給される。

そして、信号ケーブル１４を介して圧電素子２に駆動信号が入力されると、圧電素子２が素子長手方向に伸縮し、これに伴い島部４１が圧力室６に近接する方向或いは離隔する方向に移動（変形）する。これにより、圧力室６の容積が変化し、インクを収容した圧力室６の圧力が変動する。この圧力の変動によって、ノズル開口３２からインク滴が噴射される。

このように、本実施形態の圧電素子２は、ノズル開口３２よりインクを噴射するために、入力される駆動信号に基づいて、ノズル開口３２に接続された圧力室６の圧力を変動させる。そして、ノズル開口３２から噴射されたインクによって図１の記録用紙２００に所望の画像が形成される。

ここで、上記振動板３０に関し、導電性を有する補強板３６の一部である島部４１は、圧電素子２の自由端部の先端面に形成されている個別外部電極２４と接合されているので、圧電素子２と同電位となる。一方、振動板３０とは流路形成基板２８を間に挟んで反対側に配置されているノズルプレート２７は、上述したように接地電位に調整されている。上記島部４１は、補強板３６の他の部分と電気的に独立しているため、通常では、圧電素子２に駆動信号を印加しても島部４１から他の部分に電流が流れることはない。

ところが、図２に示すように、島部４１はケーシング１２の収容室１６の底面開口内に露出しているため、記録ヘッド１の組み立て工程中に加工屑等の異物Ｆ（図４（ａ））がケーシング１２の収容室１６内に入り込み、ダイヤフラム部４０とその周辺部を含む露出部５５上に落下することがある。そして、この異物Ｆが金属等の導電性を有するものであって島部４１と補強板３６の他の部分との間に亘って付着した場合には、両者間が電気的に短絡する虞がある。このような短絡が生じたとき、補強板３６のほぼ全体が圧電素子２の自由端部の先端面（個別外部電極２４）と同電位（正電位）になる。

そのため、従来では、振動板の補強板においてインクと接触する部分であるインク導入口の内周面と、ノズルプレートのノズル開口周辺部とがあたかも電極として作用し、これらの間のインクが電気分解される場合があった。インクの電気分解が進むと、例えばインク導入口内に顔料等のインクの含有成分が析出し、この析出物がインク流路を塞ぐ等して噴射不良の原因となる。インクの電気分解はゆっくりと進行するため、記録ヘッドの製造時の検査段階では発見し難く、製品としてユーザの手に渡ってから不具合が生じる可能性がある。

このような事情に鑑みて、本発明に掛かる記録ヘッド１では、振動板３０の孔３６ｂの内周面３６Ａに絶縁膜４６Ａを設けている。インク導入口４５を構成する補強板３６の孔３６ｂの内周面３６Ａを絶縁膜４６Ａで覆う構成とすることで、振動板３０とインクとの接触が避けられるため、ノズルプレート２７と振動板３０（補強板３６）とを電気的に絶縁することができる。これにより、万一、上記のような導電性の異物Ｆの付着によって、島部４１と補強板３６の他の部分とが短絡した場合（或いは、圧電素子２の個別外部電極２４と補強板３６とが短絡した場合）においても、補強板３６とノズルプレート２７とが電極として作用することが防止され、振動板３０（補強板３６）とノズルプレート２７との間にあるインクの電気分解を防止することができる。その結果、インクの電気分解に起因するインクの噴射不良を抑制することが可能となり、長期的な使用が可能となる。そして、上記記録装置１００は、上記構成の記録ヘッド１を搭載しているので、信頼性の高い噴射制御を行うことが可能となる。

ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。

例えば、上記実施形態においては、ケーシング１２と振動板３０とを接合する接着層４６の形成材料を用いて絶縁膜４６Ａを形成するのではなく、他の絶縁材料を用いて絶縁膜４６Ａを形成するようにしてもよい。

また、インク導入口４５を構成する補強板３６の孔３６ｂ及び弾性フィルム３８の孔３７における双方の内周面３６Ａ，３７Ａを覆うようにして絶縁膜４６Ａを形成したが、弾性フィルム３８が導電性を有しない樹脂材料からなる場合には、少なくとも、補強板３６の内周面３６Ａのみを覆うようにしてもよい。

また、補強板３６において、孔３６ｂの内周面３６Ａにのみ絶縁膜４６Ａを形成するとしたが、補強板３６の孔３６ａを含む露出部５５上にも絶縁膜４６Ａを形成してもよい。このような構成とすることにより、記録ヘッド１の組み立て工程中に異物Ｆがダイヤフラム部４０とその周辺部を含む露出部５５上に落下したとしても、島部４１と補強板３６の他の部分とが電気的に独立するので、島部４１（圧電素子２）と補強板３６との短絡を防止することができる。

また、本発明は、インクジェット式記録装置に限らず、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等の液体を噴射する流体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置、精密ピペットとしての試料噴射装置等にも適用できる。

本発明の一実施形態に係る記録装置の概略構成図。 本発明の一実施形態に係る記録装置が備える記録ヘッドの概略構成を示す断面図。 本発明の一実施形態に係る流路ユニットの分解斜視図。 （ａ）は補強板の概略構成を示す平面図、（ｂ）は弾性フィルムの概略構成を示す平面図。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの要部を拡大して示す断面図。

符号の説明

１…記録ヘッド（流体噴射ヘッド）、２…圧電素子、６…圧力室、８…インクリザーバ、１２…ケーシング、１８…インク供給路（流体供給流路）、２７…ノズルプレート（ノズル形成基板）、２８…流路形成基板、３０…振動板、３２…ノズル開口、３６…補強板、３６ｂ…孔、３６Ａ…内周面（露出部）、３７…孔、３７Ａ…内周面（露出部）、３８…弾性フィルム（弾性膜）、４５…インク導入口（流体導入口）、４６…接着層、４６Ａ…絶縁膜（絶縁材）、１００…記録装置（流体噴射装置）

Claims (5)

1. 流体を噴射させる複数のノズル開口が形成されたノズル形成基板と、
   前記複数のノズル開口に連通する複数の圧力室が形成された流路形成基板と、
   前記複数の圧力室の壁面を構成する振動板と、
   前記各圧力室に対応して設けられ、前記振動板を介して前記圧力室の容積を変化させる複数の圧電素子と、
   前記圧電素子を保持するとともに前記圧力室へ前記流体を供給するための流体供給流路を有するケーシングと、を少なくとも備え、
   前記振動板は、前記ケーシングに接合される導電性の補強板と、絶縁性の弾性膜とを接合してなる複合材によって構成され、且つ、前記流体供給流路に連通し、前記圧力室側へ前記流体を導入させるための流体導入口を有してなり、当該流体導入口内に露出する前記補強板の露出部が絶縁材によって覆われていることを特徴とする流体噴射ヘッド。
2. 前記絶縁材が、前記ケーシングと前記補強板とを接合する接着材であることを特徴とする請求項１記載の流体噴射ヘッド。
3. 前記流体導入口の開口面積が、前記流体供給流路の開口面積よりも大きいことを特徴とする請求項１または２に記載の流体噴射ヘッド。
4. 前記絶縁材によって覆われた部分の前記流体導入口の開口面積が、前記流体供給流路の開口面積よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の流体噴射ヘッド。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の流体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする流体噴射装置。

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