JP2009060391A - コンデンサーマイクロホンユニットおよびコンデンサーマイクロホン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】音波を受けて振動する振動板11,21と、振動板に所定の間隙をおいて対向し振動板との間でコンデンサーを構成する固定電極13,23と、固定電極の背後に形成された後部空気室17,27を備え、後部空気室の圧力を高める圧電ポンプ5を有し、圧電ポンプ5は、静電吸引力による振動板11,21の固定電極13,23への変位に対応して後部空気室17,27の圧力を高める。
【選択図】図1
Description
特許文献3記載の発明は、固定電極の振動板との対向面を凹状に湾曲させ、この湾曲部の最大深さ部分を振動板の最大振幅位置近傍とすることにより、振動板が固定電極に吸着されにくくしたものである。
本発明はまた、感度を高めるためにバイアス電圧を高くしても、かつ、振動板と固定電極を特別な形状にしなくても、振動板が固定電極に吸着されることを防止することができるコンデンサーマイクロホンユニットおよびコンデンサーマイクロホンを提供することを目的とする。
後部空気室に連通して後部空気室を外部に開放する空気孔と、この空気孔を開閉する圧電バルブをさらに有し、この圧電バルブが上記空気孔を閉止している状態において圧電ポンプが上記後部空気室の圧力を高めるようにしてもよい。
また、バイアス電圧を高くした場合も、そのときの静電吸着力に対応した圧力を圧電ポンプにより後部空気室に加え、振動板を本来あるべき位置にすることができるため、マイクロホンユニットの感度を高めつつ、振動板の固定電極への吸着を防止することができる。
8 圧電バルブを構成する圧電素子
10 マイクロホンエレメント
11 振動板
12 振動板保持体
13 固定電極
17 後部空気室
20 マイクロホンエレメント
21 振動板
22 振動板保持体
23 固定電極
27 後部空気室
30 絶縁座
35 空気孔
40 圧電素子支持体
41 空気孔
51 空気孔
55 密閉空間
60 静電容量検出電極
61 静電容量計
Claims (7)
- 音波を受けて振動する振動板と、振動板に所定の間隙をおいて対向し振動板との間でコンデンサーを構成する固定電極と、固定電極の背後に形成された後部空気室を備えたコンデンサーマイクロホンユニットであって、
上記後部空気室の圧力を高める圧電ポンプを有し、
上記圧電ポンプは、静電吸引力による上記振動板の上記固定電極への変位に対応して上記後部空気室の圧力を高めることを特徴とするコンデンサーマイクロホンユニット。 - 後部空気室に連通して後部空気室を外部に開放する空気孔と、この空気孔を開閉する圧電バルブをさらに有し、この圧電バルブが上記空気孔を閉止している状態において圧電ポンプが上記後部空気室の圧力を高めることを特徴とする請求項1記載のコンデンサーマイクロホンユニット。
- 静電吸引力による振動板の変位量検出手段を備え、この変位量検出手段の出力信号に応じて圧電ポンプが後部空気室の圧力を高める請求項1記載のコンデンサーマイクロホンユニット。
- 振動板の変位量検出手段は、振動板を挟み固定電極の反対側に配置された検出電極と、この検出電極と振動板との間の静電容量変化を検出する静電容量計を含む請求項3記載のコンデンサーマイクロホンユニット。
- 前後一対のコンデンサーマイクロホンエレメントを背中合わせ状に配置し、この一対のコンデンサーマイクロホンエレメントが共通の絶縁座によって一体に保持された可変指向性マイクロホンユニットが構成され、上記絶縁座に、後部空気室と圧電バルブに連通する空気孔および後部空気室と圧電ポンプに連通する空気孔が形成されている請求項1記載のコンデンサーマイクロホンユニット。
- 圧電ポンプは、電極間に電圧を印加することにより反曲する圧電素子と、この圧電素子を支持する圧電素子支持体を備え、圧電素子と圧電素子支持体との間に空間が形成され、この空間は後部空気室に連通する請求項1から5のいずれかに記載のコンデンサーマイクロホンユニット。
- コンデンサーマイクロホンユニットをマイクロホンケースに組み込んでなるコンデンサーマイクロホンであって、コンデンサーマイクロホンユニットは請求項1ないし5のいずれかに記載のコンデンサーマイクロホンユニットであるコンデンサーマイクロホン。
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2007
- 2007-08-31 JP JP2007226106A patent/JP4921289B2/ja not_active Expired - Fee Related
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