JP2009058625A - レーザー照射光学系 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザーアレイ1より放射されたレーザー光線の光線強度を均一化し、任意の角度範囲を照射するレーザー照射光学系において、レーザー入射側がテレセントリック構造をしたリレー光学系をレンズ群2として有し、レーザーアレイ1の共役像の近傍に光学系の主点4を持ち、光学系の設計パラメータを用いて定義されるパラメータεdに対してεd<3を満足するレーザー照射光学系である。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1におけるレーザー照射光学系を示す概略図である。レーザーアレイ1は、紙面水平方向に並んだ複数のレーザー素子から照射された光線を平行に伝搬する。レンズ群2は、レーザーアレイ1で照射されたレーザー光線を、設定した角度範囲の照射光線へと変換するリレー光学系である。
図5は、本発明の実施の形態2におけるレーザー照射光学系を示す概略図である。本実施の形態2の光学系の構成要素自体は、先の実施の形態1と同じため、説明を省略する。
図8は、本発明の実施の形態3におけるレーザー照射光学系を示す概略図である。先の実施の形態1の図1の構成と比較すると、本実施の形態3における図8の構成は、主点4の近傍に挿入されたシリンドリカルレンズ6をさらに備えている点が異なっている。他の構成要素は、先の実施の形態1と同じため、説明を省略する。
図9は、本発明の実施の形態4におけるレーザー照射光学系を示す概略図である。先の実施の形態1の図1の構成と比較すると、本実施の形態4における図9の構成は、レンズ群2の後段に配置されたアフォーカル光学系7をさらに備えている点が異なっている。他の構成要素は、先の実施の形態1と同じため、説明を省略する。
Claims (8)
- 請求項2に記載のレーザー照射光学系において、
|εm−εd|<1を満足することを特徴とするレーザー照射光学系。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載のレーザー照射光学系において、
前記リレー光学系は、3枚以上の球面レンズで構成されることを特徴とするレーザー照射光学系。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のレーザー照射光学系において、
光路中にシリンドリカルレンズをさらに備えることを特徴とするレーザー照射光学系。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載のレーザー照射光学系において、
前記リレー光学系の後段にアフォーカル光学系をさらに備えることを特徴とするレーザー照射光学系。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載のレーザー照射光学系において、
前記リレー光学系は、球面収差を保持することを特徴とするレーザー照射光学系。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載のレーザー照射光学系において、
前記リレー光学系は、歪曲収差を保持することを特徴とするレーザー照射光学系。
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