JP2009058404A - 超音波流量計 - Google Patents
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Abstract
【課題】 従来の超音波流量計では、圧電体振動子2又は3から振動子とバック材との境界面やバック材の端面から反射波が干渉することによって、誤動作が発生し、計測液体の正確な流量が計測できないという問題がある。
【解決手段】 計測管筐体6にコ字状の流路7が形成され、このコ字状の流路7の直線状流路7aを介して対向する位置の一方に振動体8の両側に内部電極9,10とバッキング材11とから構成された積層構造の圧電セラミックス12を装着し、この圧電セラミックス12に対向して、振動体13の両側に内部電極14,15とバッキング材16とから構成された積層構造の圧電セラミックス圧電セラミックス17を装着する。
【選択図】図1
【解決手段】 計測管筐体6にコ字状の流路7が形成され、このコ字状の流路7の直線状流路7aを介して対向する位置の一方に振動体8の両側に内部電極9,10とバッキング材11とから構成された積層構造の圧電セラミックス12を装着し、この圧電セラミックス12に対向して、振動体13の両側に内部電極14,15とバッキング材16とから構成された積層構造の圧電セラミックス圧電セラミックス17を装着する。
【選択図】図1
Description
本発明は、計測液体を流す管体に対向して装着した圧電セラミックスの少なくとも一方に内部電極を有する積層構造の圧電セラミックスを装着した超音波流量計に関するものである。
従来のこの種の超音波流量計としては、図5に示すように、コ字状に構成された管体1の直線部1aの両側部にそれぞれ圧電体振動子2、3が装着され、管体1の一端に計測液体流入口4を設け、管体1の他端に計測液体流出口5を設け、計測液体流入口4から入れた計測液体が管体1を通って計測液体流出口5から流出するように構成し、管体1の直線部1aを通して圧電体振動子2から超音波を照射し、この超音波を圧電体振動子3で受信し、又、管体1の直線部1aを通して圧電体振動子3から超音波を照射し、この超音波を圧電体振動子2で受信し、圧電体振動子2から圧電体振動子3に超音波が到達する時間と圧電体振動子3から圧電体振動子2に超音波が到達する時間との時間差によって、管体1を流れる計測液体の流量を計測するように構成された装置が提案されている。
このように構成された従来の超音波流量計では、圧電体振動子2又は3から振動子とバック材との境界面やバック材の端面から反射波が干渉することによって、誤動作が発生し、計測液体の正確な流量が計測できないという問題がある。
特願2006−329820
従来の超音波流量計では、圧電体振動子2又は3から振動子とバック材との境界面やバック材の端面から反射波が干渉することによって、誤動作が発生し、計測液体の正確な流量が計測できないという問題がある。
本発明では、計測液体を流す管体と、該管体の対向する位置にそれぞれ圧電セラミックスを設置して、前記圧電セラミックスで交互に送受信し、前記圧電セラミックス間でそれぞれ到達する超音波の時間差から前記計測液体の流量を計測するようにした前記圧電セラミックスの少なくとも一方を内部電極を有する積層構造とするものである。
本発明の超音波流量計では、超音波を送受波する圧電セラミックスの一方又は両方に、振動体とバッキング材を同一組成とする内部電極を有する積層構造の圧電セラミックスを用いることにより、振動体の背面に漏れた超音波による不要な反射エコーを低減し、計測精度を向上することができるという利点がある。
本発明では、管体は計測液体を流し、超音波を送受波する圧電セラミックスの一方又は両方に、振動体とバッキング材を同一組成とする内部電極を有する積層構造の圧電セラミックスを用い、一方の積層構造の圧電セラミックスから超音波を送信し、他方の圧電セラミックスで送信された超音波を受信することにより、前記管体に流される前記計測液体の流量を計測する。
図1は本発明の実施例の超音波流量計の側面図で、計測管筐体6にコ字状の流路7が形成され、このコ字状の流路7の直線状流路7aを介して対向する位置の一方に振動体8の片側に電極9を設け、他方の側に内部電極10を設け、内部電極10にバッキング材11を設けた積層構造の圧電セラミックス12を装着し、この圧電セラミックス12に対向して、振動体13の片側に電極14を設け、他方の側に内部電極15を設け、内部電極15にバッキング材16をもうけた積層構造の圧電セラミックス17を装着する。
このように構成された本実施例の超音波流量計では、計測筐体6の流路7に計測流体が流され、圧電セラミックス12からから超音波が照射されると、超音波は流路7に流れる計測流体を横切り、圧電セラミックス17に入力され、又、圧電体セラミックス17から照射された超音波は流路7を通り、計測流体を横切って圧電セラミックス12に入力されので、この圧電セラミックス12から照射されて圧電セラミックス17に入力されるまでの超音波が移動する時間と圧電セラミックス17から照射され、圧電セラミックス12に入力されるまでの超音波が移動する時間の差から流路7を流れる計測流体の流量を計測することができ、この場合、積層構造の圧電セラミックス12では、振動体8の背面に漏れた超音波による不要な反射エコーはバッキング材11によって低減され、又、積層構造の圧電セラミックス17では、振動体13の背面に漏れた超音波による不要な反射エコーはバッキング材16によって低減されるので、計測精度を向上することができる。
なお、上記実施例において、圧電セラミックス12、17は、振動体8、13として、チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸バリウムのような圧電性を有するセラミックス材料を使用し、振動体8、13の背面にそれぞれ振動体8、13と同一素材のセラミックス材料を用いてバッキング材11、16を構成することにより、振動体8、13とバッキング材11、16との接合面での反射波を抑制して、精度良く流量を計測することができる。
図2は本発明の他の実施例の超音波流量計の側面図で、6は計測管筐体、7はコ字状の流路、7aは直線状流路、12は積層構造の圧電セラミックスで、これらの構成は上記実施例と同じであるので説明は省略するが、本実施例では、送信用の積層構造の圧電セラミックス12と平行に受信用の通常の圧電セラミックス18を装着し、又、送信用の圧電セラミックス12と対向して受信用の通常の圧電セラミックス19を装着し、通常の圧電セラミックス19と平行に送信用の積層構造の圧電セラミックス20を装着する。
このように構成した本実施例では、送信用の圧電セラミックス12、20に振動体とバッキング材が同一材料の圧電セラミックスを用い、送信用と受信用に分けることにより、精度が向上する。
図3は本発明のさらに他の実施例の超音波流量計の側面図で、6は計測管筐体、7はコ字状の流路、7aは直線状流路、12は積層構造の圧電セラミックス、17は積層構造の圧電セラミックスで、これらの構成は上記実施例と同じであるので説明は省略するが、本実施例では、直線状流路7aの側部の対向する位置に積層構造の圧電セラミックス21,22を装着したものである。
このように構成した本実施例では、直線状流路7aの側部に積層構造の圧電セラミックス21,22を装着することにより、圧電セラミックス21,22で超音波の送受信をして、超音波の伝搬時間差を計測して音速を計測し、圧電セラミックス12,17による超音波の伝搬時間差で計測した流量、流速の計測結果に音速の補正を加えて、より正確な流量、流速の計測を行うことができる。
図4は本発明のさらに他の実施例の超音波流量計の側面図で、6は計測管筐体、7aは直線状流路で、これらの構成は上記実施例とおなじであるので、説明は省略するが、本実施例では、計測管筐体6のコ字状の流路7の直線状流路7aに三角状の凹部7b、7cを形成し、これらの三角状の凹部7b、7cの対向する面7d、7eの背後の計測管筐体6に圧電セラミックス23,24を装着し、すくなくとも一方の圧電セラミックスを積層構造の圧電セラミックスとする。
このように構成した本実施例においても、上記実施例と同様の効果を得ることができる。
なお、本実施例の超音波流量計は各種製造プロセスや家庭、その他多くの需要者における液体やガスの流量の計測や監視に用いられる。
6 計測管筐体
7 コ字状の流路
7a 直線状流路
8、13 振動体
9、10 電極
11、16 バッキング材
12、17 積層構造の圧電セラミックス
14,15 電極
18、19 通常の圧電セラミックス
20、21,22 積層構造の圧電セラミックス
23,24 積層構造の圧電セラミックス
7 コ字状の流路
7a 直線状流路
8、13 振動体
9、10 電極
11、16 バッキング材
12、17 積層構造の圧電セラミックス
14,15 電極
18、19 通常の圧電セラミックス
20、21,22 積層構造の圧電セラミックス
23,24 積層構造の圧電セラミックス
Claims (7)
- 計測液体を流す管体と、該管体の対向する位置にそれぞれ圧電セラミックスを設置して、前記圧電セラミックスで交互に送受信し、前記圧電セラミックス間でそれぞれ到達する超音波の時間差から前記計測液体の流量を計測するようにした前記圧電セラミックスの少なくとも一方が内部電極を有する積層構造であることを特徴とする超音波流量計。
- 前記内部電極を有する積層構造の圧電セラミックスは背面のバッキング材と振動体とを同一の組成にすることを特徴とする請求項1記載の超音波流量計。
- 前記内部電極を有する積層構造の圧電セラミックスは、材料がチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とすることを特徴とする請求項1及び2記載の超音波流量計。
- 前記内部電極を有する積層構造の圧電セラミックスは、材料がチタン酸バリウムを主成分とすることを特徴とする請求項1及び2記載の超音波流量計。
- 前記内部電極を有する積層構造の圧電セラミックスは、振動体、バッキング材及び内部電極が一体焼成により形成されることを特徴とする請求項1乃至4記載の超音波流量計。
- 前記内部電極を有する積層構造の圧電セラミックスは、バッキング材の外面に超音波の波長の1/4よりも大きい凹凸を設けることを特徴とする請求項1乃至5記載の超音波流量計。
- 前記管体の対向する位置にそれぞれ設置された圧電セラミックスの側部に他の圧電セラミックスをそれぞれ装着し、それぞれ対向する前記圧電セラミックスの超音波を送信する側の圧電セラミックスを積層構造とすることを特徴とする請求項1記載の超音波流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007226743A JP2009058404A (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 超音波流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007226743A JP2009058404A (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 超音波流量計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009058404A true JP2009058404A (ja) | 2009-03-19 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007226743A Pending JP2009058404A (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 超音波流量計 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2009058404A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011007763A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Kazumasa Onishi | 超音波流量計 |
CN103364040A (zh) * | 2013-07-22 | 2013-10-23 | 浙江博凯仪表有限公司 | 封闭型超声波水表和热能表 |
-
2007
- 2007-08-31 JP JP2007226743A patent/JP2009058404A/ja active Pending
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