JP2009054994A - 圧電素子及び液体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電素子1は、基板11上に、第1の電極21と、第1の圧電体膜13と、第2の圧電体膜14と、第2の電極23とを順次有し、第1の圧電体膜13と第2の圧電体膜14との間に中間電極22を備える。第1の圧電体膜13及び第2の圧電体膜14の膜厚は10μm以下であり、第1の圧電体膜13及び第2の圧電体膜14の、基板11と反対側の表面及び/又は基板11側の表面の表面粗さRaは0.5μm以下である。
【選択図】図1
Description
本明細書において、表面粗さRaとは、JIS B 0601-2001で示される算術平均表面粗さである。
図面を参照して本発明に係る実施形態の圧電素子及びインクジェット式記録ヘッド(液体吐出装置)の構造について説明する。図1は、インクジェット式記録ヘッドの要部断面図、図2は製造工程図である。視認しやすくするため、構成要素の縮尺は実際のものとは適宜異ならせてある。本実施形態では、中間電極をアドレス電極としてパラレル駆動により駆動させるバイモルフ型の圧電素子を例に説明する。
インクジェット式記録ヘッド3では、圧電素子1に印加する電界強度を増減させて圧電素子1を伸縮させ、これによってインク室31からのインクの吐出や吐出量の制御が行われる。
まず、基板11を用意し、基板11上に下部電極21、その上に第1の圧電体膜13を形成する(図2(a))。
一般式AaBbO3・・・(P)
(式中、A:Aサイト元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素、
B:Bサイトの元素であり、Ti,Zr,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Mn,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe及びNiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素、
O:酸素元素。
a=1.0かつb=1.0である場合が標準であるが、これらの数値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で1.0からずれてもよい。)
及び、チタン酸バリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム、ニオブ酸ナトリウム、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム等の非鉛含有化合物が挙げられる。
第1の圧電体膜13は、これら上記一般式(P)で表されるペロブスカイト型酸化物の混晶系であってもよい。
Pba(Zrb1Tib2Xb3)O3・・・(P−1)
(式(P−1)中、XはV族及びVI族の元素群より選ばれた少なくとも1種の金属元素である。a>0、b1>0、b2>0、b3≧0。a=1.0であり、かつb1+b2+b3=1.0である場合が標準であるが、これらの数値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で1.0からずれてもよい。)
図4及び図5を参照して、上記実施形態のインクジェット式記録ヘッド3を備えたインクジェット式記録装置の構成例について説明する。図4は装置全体図であり、図5は部分上面図である。
ロール紙を使用する装置では、図4のように、デカール処理部120の後段に裁断用のカッター128が設けられ、このカッターによってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター128は、記録紙116の搬送路幅以上の長さを有する固定刃128Aと、該固定刃128Aに沿って移動する丸刃128Bとから構成されており、印字裏面側に固定刃128Aが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃128Bが配置される。カット紙を使用する装置では、カッター128は不要である。
吸着ベルト搬送部122により形成される用紙搬送路上において印字部102の上流側に、加熱ファン140が設けられている。加熱ファン140は、印字前の記録紙116に加熱空気を吹き付け、記録紙116を加熱する。印字直前に記録紙116を加熱しておくことにより、インクが着弾後に乾きやすくなる。
印字検出部124の後段には、印字された画像面を乾燥させる加熱ファン等からなる後乾燥部142が設けられている。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けた方が好ましいので、熱風を吹き付ける方式が好ましい。
大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列にプリントする場合には、カッター148を設けて、テスト印字の部分を切り離す構成とすればよい。
インクジェット記記録装置100は、以上のように構成されている。
上記実施形態では、第1の圧電体膜13及び第2の圧電体膜14の分極方向が上向きであるパラレル駆動の圧電素子について説明したが、圧電体の分極方向及び駆動方法はこれに制限されない。例えば、図6に示されるように、中間電極22をGND電極とした構成とすることもできる。このように、下部電極、中間電極、上部電極に印加する電圧と圧電体の分極方向を選ぶことで適切な駆動方向を選ぶことが可能となる。
熱酸化膜つきSi基板を用意し、スパッタ法によりTi密着層(膜厚10nm)、次いでIr下部電極(膜厚150nm)を基板温度150℃にて成膜した。次に、真空度0.5Pa、Ar/O2混合雰囲気(O2体積分率1.0%)、基板温度480℃、rfパワー500Wの条件下で、Pb1.3((Zr0.52Ti0.48)0.9Nb0.1)O3のターゲット(120φ)を用いて、膜厚5μmのNbドープPZT(以下、Nb−PZTとする)からなる第1の圧電体膜の成膜を行った。得られた膜のXRDパターンを図7に示す。図7に示されるように、得られた膜は(100)配向の結晶配向性を有する膜(配向度90%以上)であった。
基板としてSOI基板を用いた以外は実施例1と同様にして下部電極及びNb−PZT膜を成膜し、この膜の上にTi密着層(膜厚10nm)及びIr上部電極(膜厚150nm)を実施例1の中間電極と同様にしてリフトオフ法によりパターン形成した。
2 圧電アクチュエータ
3,3K,3C,3M,3Y インクジェット式記録ヘッド(液体吐出装置)
21 下部電極(第1の電極)
13 第1の圧電体膜
14 第2の圧電体膜
22 中間電極
23 上部電極(第2の電極)
40 駆動ドライバ
30 インクノズル(液体貯留吐出部材)
31 インク室(液体貯留室)
32 インク吐出口(液体吐出口)
100 インクジェット式記録装置
Claims (10)
- 基板上に、第1の電極と、第1の圧電体膜と、第2の圧電体膜と、第2の電極とを順次有し、前記第1の圧電体膜と前記第2の圧電体膜との間に中間電極を備えてなる圧電素子であって、
前記第1の圧電体膜及び前記第2の圧電体膜の膜厚が10μm以下であり、
該第1の圧電体膜及び該第2の圧電体膜の、前記基板と反対側の表面及び/又は前記基板側の表面の表面粗さRaが0.5μm以下であることを特徴とする圧電素子。 - 前記第1の圧電体膜及び第2の圧電体膜が、前記基板面に対して非平行方向に延びる多数の柱状結晶体からなる柱状構造膜からなることを特徴とする請求項1に記載の圧電素子。
- 前記第1の圧電体膜及び/又は前記第2の圧電体膜が、(100)配向又は(111)配向の結晶配向性を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電素子。
- 前記第1の圧電体膜及び前記第2の圧電体膜は気相成長法により成膜されたものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電素子。
- 前記第1の電極及び前記第2の電極は印加電圧が固定されるグランド電極であり、前記中間電極は印加電圧が変動されるアドレス電極であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電素子。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の圧電素子と、該圧電素子の前記第1の圧電体膜及び前記第2の圧電体膜に電界を印加して前記圧電素子を駆動する駆動ドライバとを備えたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 前記第1の圧電体膜の下層に、前記圧電素子を駆動することにより前記第1の圧電体膜及び前記第2の圧電体膜に生じる変位を外部に伝える振動板を備えたことを特徴とする請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記第1の圧電体膜が、前記圧電素子を駆動することにより前記第1の圧電体膜及び前記第2の圧電体膜に生じる変位を外部に伝える振動板として機能するものであることを特徴とする請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記駆動ドライバの出力電圧が20V以下であることを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 請求項6〜9のいずれかに記載の圧電アクチュエータと、
該圧電アクチュエータの前記基板に一体的にまたは別体として設けられた液体吐出部材とを備え、
該液体吐出部材は、液体が貯留される液体貯留室と、該液体貯留室から外部に前記液体が吐出される液体吐出口とを有するものであることを特徴とする液体吐出装置。
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