JP2009054635A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フッ酸表面側バルブ23および第3炭酸水バルブ24が開かれると、フッ酸供給源からのフッ酸(フッ酸原液)および炭酸水供給源からの炭酸水が第2混合部32に流入する。第2混合部32では、フッ酸と炭酸水とが混合される。これにより、フッ酸が炭酸水によって希釈されて、所定の濃度(たとえば、0.016〜0.05wt%)の希フッ酸が調製される。希フッ酸は、希フッ酸表面側供給管20を通して希フッ酸ノズル4に供給された希フッ酸は、希フッ酸ノズル4から回転中の基板Wの表面に供給される。希フッ酸ノズル4からの希フッ酸は、その比抵抗が比較的低い。
【選択図】図1
Description
しかし、ドライエッチング法では、処理対象の膜だけでなくレジストも腐食されていき、その一部は、変質してポリマー(レジスト残渣)として、基板表面に残留する。配線パターンが微細であるがゆえに、次工程までに、このポリマーを基板上から確実に除去しておかなければならない。
基板の上面の配線パターンにダメージを与えることのないように、ノズルからの希フッ酸の濃度は低く保たれている。この低濃度の希フッ酸は、たとえば供給配管の内部において高濃度のフッ酸水溶液(フッ酸原液)とDIW(脱イオン化された純水)とを混合させ、高濃度のフッ酸水溶液をDIWで希釈することによって調製されている。配線パターンの微細化に伴い、現在では、ポリマー除去処理に用いられる希フッ酸には、極めて低濃度のものが求められている。
この課題は、たとえば希フッ酸以外の薬液を用いて基板を処理する基板処理装置にも共通する課題である。また、銅膜以外の金属膜が形成された基板を処理する基板処理装置にも共通する課題である。
この構成によれば、イオンを含有した希釈水で希釈されて希釈薬液が調製されるので、基板に供給される希釈薬液は、その比抵抗が比較的低い。そのため、基板の帯電を抑制することができ、これにより、酸化還元電位の反応を抑制することができ、金属膜の腐食を防止することができる。また、希釈薬液が基板の表面の金属膜と実質的に反応しないものを用いるのが好ましく、この場合、さらに金属膜にダメージを与えることを防止することができる。
前記希釈水は、請求項2に記載のように、炭酸水を含むものであってもよい。この場合、希釈薬液中では、以下の式(1)〜(3)に示すように炭酸ガスが解離し、イオン化している。
H2O + CO2 ⇔ H2CO3 ・・・(1)
H2CO3 ⇔ H+ + HCO3 - ・・・(2)
HCO3 - ⇔ H+ +CO3 2- ・・・(3)
そのため、希釈薬液の比抵抗が比較的低い。このため、基板の帯電を抑制することができ、これにより、酸化還元電位の反応を抑制することができる。また、CO2ガス添加により、希釈薬液の溶存酸素量を低下できるので、希釈薬液の溶存酸素による金属膜の酸化を抑制することができ、金属膜の腐食を防止することができる。
前記希釈水は、請求項3に記載のように、純水(DIW)に塩酸が添加されて生成された塩酸水を含むものであってもよい。この場合、希釈薬液中では、以下の式(4)に示すように塩酸が解離し、イオン化している。
HCl ⇔ H+ + Cl- ・・・(4)
そのため、希釈薬液の比抵抗が比較的低い。このため、基板の帯電を抑制することができる。これにより、酸化還元電位の反応を抑制することができ、金属膜の腐食を防止することができる。
前記希釈水は、請求項4に記載のように、水素水(カソード水)を含むものであってもよい。この構成では、希釈薬液中では、水素が解離し、イオン化している。このため、基板の表面の金属膜の金属が安定化するとともに、基板の帯電を抑制することができる。これにより、酸化還元電位の反応を抑制することができる。また、H2ガス添加により、希釈薬液の溶存酸素量を低下できるので、希釈薬液の溶存酸素による金属膜の酸化を抑制することができ、金属膜の腐食を防止することができる。
請求項5記載の発明は、前記希釈薬液調製手段は、基板の表面のポリマーを除去するための希釈薬液を調製するものである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この方法によれば、請求項1に関連して述べた作用効果と同様な作用効果を達成することができる。
図1は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置1の構成を模式的に示す図である。
この基板処理装置1は、たとえば、表面に銅配線等の銅膜が形成された基板Wに対して希釈薬液としての希フッ酸を供給して、その基板Wの表面に付着しているポリマーを除去するための枚葉型の装置である。この基板処理装置1は、隔壁(図示せず)により区画された処理室2内に、基板Wをほぼ水平に保持して回転させるためのスピンチャック3と、スピンチャック3に保持された基板Wの表面(上面)に向けて希フッ酸を吐出するための希フッ酸ノズル4と、スピンチャック3に保持された基板Wの表面に炭酸水を供給するための炭酸水ノズル5とを備えている。
スピン軸6は中空軸であり、その内部には裏面側供給管10が挿通されている。裏面側供給管10の上端は、スピン軸6の上端に設けられた裏面ノズル11に接続されている。裏面側供給管10には、第1混合部12に接続された希フッ酸裏面側供給管13と、炭酸水供給源からの高濃度(ph値=4〜4.5)の炭酸水(たとえばDIWに炭酸ガスを溶解させて生成された炭酸水)が供給される第1炭酸水供給管14とが接続されている。
第1炭酸水供給管14の途中部には、第1炭酸水バルブ15が介装されている。フッ酸裏面側バルブ18および第2炭酸水バルブ19が閉じられた状態で、第1炭酸水バルブ15が開かれると、第1炭酸水供給管14および裏面側供給管10を通して裏面ノズル11に炭酸水が供給されて、裏面ノズル11から炭酸水が上方に向けて吐出される。
炭酸水ノズル5には、炭酸水供給源から炭酸水(たとえばDIWに炭酸ガスを溶解させて生成された炭酸水)が供給される第4炭酸水供給管25が接続されている。この第4炭酸水供給管25の途中部には、第4炭酸水バルブ26が介装されている。第4炭酸水バルブ26が開かれると、第4炭酸水供給管25から炭酸水ノズル5に炭酸水が供給され、炭酸水ノズル5から炭酸水が吐出される。
基板処理装置1は、マイクロコンピュータを含む構成の制御装置30を備えている。
この制御装置30には、制御対象として、チャック回転駆動機構9、ノズル駆動機構29、フッ酸裏面側バルブ18、第1炭酸水バルブ15、第2炭酸水バルブ19、希フッ酸表面側バルブ23、第3炭酸水バルブ24および第4炭酸水バルブ26が接続されている。
処理対象の基板Wは、図示しない搬送ロボットによって処理室2内に搬入されて、その表面を上方に向けた状態でスピンチャック3に保持される(ステップS1)。なお、スピンチャック3への基板Wの受け渡し時には、基板Wの搬入を阻害しないように、希フッ酸ノズル4および炭酸水ノズル5は、スピンチャック3の側方の待機位置に退避されている。
フッ酸表面側バルブ23および第3炭酸水バルブ24が開かれると、フッ酸供給源からのフッ酸および炭酸水供給源からの炭酸水が第2混合部32に流入する。第2混合部32では、フッ酸と炭酸水とが混合される。これにより、フッ酸が炭酸水によって希釈されて、所定の濃度(たとえば、0.016〜0.05wt%)の希フッ酸が調製される。そして、希フッ酸は、希フッ酸表面側供給管20を通して希フッ酸ノズル4に供給される。希フッ酸は、希フッ酸ノズル4から下方に向けて吐出されて、回転中の基板Wの表面に供給される。
H2O + CO2 ⇔ H2CO3 ・・・(5)
H2CO3 ⇔ H+ + HCO3 - ・・・(6)
HCO3 - ⇔ H+ +CO3 2- ・・・(7)
そのため、希フッ酸表面側供給管20を流通する希フッ酸の比抵抗、および、希フッ酸ノズル4から吐出される希フッ酸の比抵抗は、比較的低い。
基板Wの表面に供給された希フッ酸は、基板Wの表面の全域に拡がる。基板Wの表面に供給された希フッ酸が基板Wの表面のポリマーに作用する。希フッ酸ノズル4からの希フッ酸が極めて低い濃度(たとえば、0.016〜0.05wt%)に調製されているため、希フッ酸による基板Wの表面の銅膜がエッチングされることなく、基板Wの表面からポリマーだけが除去される。
一方で、制御装置30は、ノズル駆動機構29を駆動して、ノズルアーム27を所定の角度範囲内で揺動させる。これによって、炭酸水ノズル5からの炭酸水が導かれる基板Wの表面上の着液位置(供給位置)は、基板Wの回転中心から基板Wの周縁部に至る範囲内を、基板Wの回転方向と交差する円弧状の軌跡を描きつつ往復移動する。
以上により、この実施形態によれば、希フッ酸表面側供給管20を流通して希フッ酸ノズル4に供給される希フッ酸は、フッ酸(フッ酸原液)を炭酸水で希釈して調製されたものである。また、希フッ酸裏面側供給管13および裏面側供給管10を通して裏面ノズル11に供給される希フッ酸も、フッ酸(フッ酸原液)を炭酸水で希釈して調製されたものである。そのため、希フッ酸表面側供給管20を流通する希フッ酸の比抵抗、および、希フッ酸ノズル4から吐出される希フッ酸の比抵抗は、比較的低い。また、希フッ酸裏面側供給管13および裏面側供給管10を流通する希フッ酸の比抵抗、および、裏面ノズル11から吐出される希フッ酸の比抵抗も、比較的低い。
また、希フッ酸表面側供給管20を流通する希フッ酸の比抵抗が比較的低く、希フッ酸裏面側供給管13および裏面側供給管10の内部を流通する希フッ酸の比抵抗が比較的低いので、希フッ酸ノズル4に対し、帯電している希フッ酸が供給されることがない。そのため、帯電している希フッ酸が基板Wに供給されることを抑制することができる。これにより、基板Wの銅膜の腐食を、一層防止することができる。
したがって、銅膜に悪影響を与えることを回避しつつ、希フッ酸を用いたポリマー除去処理を、基板Wに施すことができる。
また、炭酸水を用いたリンス処理を基板Wに施すので、リンス処理による基板Wの帯電を抑制することができる。
この第2の実施形態において、前述の実施形態(第1の実施形態)に示された各部に対応する部分には、第1実施形態と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。
この基板処理装置31は、基板Wに希フッ酸を供給して処理する処理モジュール40と、この処理モジュール40に対して希フッ酸を供給する希フッ酸供給モジュール50とを備えている。
第1脱気ユニット43には、希フッ酸供給モジュール50からの希フッ酸供給管51が接続されている。また、三方弁46は、希フッ酸供給モジュール50へと希フッ酸を循環させる循環路52に分岐接続されている。さらに、処理カップ41には、希フッ酸供給モジュール50へと使用済の希フッ酸を帰還させて回収するための回収路53が接続されている。
炭酸水供給管80は、炭酸水供給源に接続されているとともに、その途中部には、第5炭酸水バルブ81、流量計82および流量調整弁83が介装されている。
回収路62は、希フッ酸供給モジュール50の内部に備えられた回収タンク70に接続されていて、その途中部には、希フッ酸中の異物を取り除くフィルタ71、ポンプ72および回収弁73が介装されている。回収タンク70には、処理モジュール40からの使用済の希フッ酸が導かれる回収路53が接続されている。さらに、この回収タンク70には、不活性ガス供給源からの不活性ガス(窒素ガスなど)が不活性ガスバルブ74を介して不活性ガス供給路75から供給されるようになっているとともに、その内部空間の雰囲気が排気路76を介して排気されるようになっている。
基板Wの処理に用いられた後の希フッ酸は、処理カップ41によって受け止められ、回収路53を経て回収タンク70へと至る。この回収タンク70には、不活性ガス供給路75からの不活性ガスが供給されているとともに、その内部の、希フッ酸および不活性ガスを含む雰囲気が排気路76を介して排気されている。不活性ガス供給路75に介装された不活性ガスバルブ74は、この基板処理装置31の運転中常時開放されており、したがって、回収タンク70の内部は、終始不活性ガス雰囲気に保持される。したがって、回収タンク70内において、回収された希フッ酸中に酸素が溶け込んでいくことを抑制または防止することができるので、この回収タンク70における希フッ酸中の溶存酸素量の増加は実質的に生じない。
調製タンク54では、その内部空間に不活性ガス供給路63からの不活性ガスが供給されるとともに、内部空間の、希フッ酸および不活性ガスを含む雰囲気が排気路64を介して排気される。不活性ガスバルブ65は、当該基板処理装置31の運転中常時開成されており、したがって、調製タンク54内は常時不活性ガス雰囲気に保持されることになる。そのため、この調製タンク54内で、希フッ酸中に酸素が溶け込むことを抑制または防止できるので、希フッ酸中の溶存酸素量が当該調製タンク54内で実質的に増加することはない。
処理モジュール40では、希フッ酸供給管51から供給される希フッ酸は、その液中の溶存酸素が第1脱気ユニット43により脱気された後に、希フッ酸供給管42を介して三方弁46へと向かう。この三方弁46は、スピンチャック3に保持された基板Wに希フッ酸を供給すべきときには希フッ酸ノズル4へと希フッ酸を供給し、それ以外のときには循環路52へと希フッ酸を送り出すように制御される。三方弁46が希フッ酸ノズル4側に開いているとき、希フッ酸供給管42を通る希フッ酸は、希フッ酸ノズル4から基板Wに向けて吐出される直前に、第2脱気ユニット47による脱気処理を受ける。すなわち、基板Wに供給される直前に、溶存酸素量を低減するための処理を受けることになる。
基板Wの表面に供給された希フッ酸は、基板Wの表面の全域に拡がる。基板Wの表面に供給された希フッ酸が基板Wの表面のポリマーに作用する。希フッ酸ノズル4からの希フッ酸が極めて低い濃度(たとえば、0.016〜0.05wt%)に調製されているため、希フッ酸による基板Wの表面の銅膜がエッチングされることなく、基板Wの表面からポリマーだけが除去される。
以上のように、この実施形態(第2の実施形態)によれば、希フッ酸ノズル4から基板Wに供給される希フッ酸は、フッ酸を炭酸水で希釈して調製されたものである。そのため、基板Wに供給される希フッ酸は、多数のイオンを含み、その比抵抗が比較的低い。このため、基板Wの帯電を抑制することができ、これにより、酸化還元電位の反応を抑制することができ、銅膜の腐食を防止することができる。したがって、銅膜に悪影響を与えることを回避しつつ、希フッ酸を用いたポリマー除去処理を、基板Wに施すことができる。
さらに、調製タンク54および回収タンク70内の空間を不活性ガス雰囲気としていることから、いずれの箇所においても、酸素濃度の高い大気に希フッ酸が晒されることがなく、これにより、希フッ酸中への酸素の混入がより一層確実に低減されるようになっている。これによっても、基板Wの表面の銅膜の腐食を防止することができる。
以上、この発明の2つの実施形態について説明したが、この発明は他の形態で実施することもできる。
また、前述の第2の実施形態では、基板Wの裏面に対して希フッ酸を用いた処理を施す構成とはしていないが、第1の実施形態のように、基板Wの表面および裏面の双方に希フッ酸を用いた処理を施す構成が採用されていてもよい。
HCl ⇔ H+ + Cl- ・・・(8)
そのため、希フッ酸の比抵抗が比較的低い。このため、基板Wの帯電を抑制することができ、これにより、酸化還元電位の反応を抑制することができ、銅膜の腐食を防止することができる。したがって、銅膜に悪影響を与えることを回避しつつ、希フッ酸を用いたポリマー除去処理を、基板Wに施すことができる。また、塩酸濃度が低濃度であるので、希フッ酸ノズル4からの希フッ酸によって基板W上の銅膜がほとんど溶解しない。
さらに、希釈水として、水素水(カソード水)(ph値=6〜7)が用いられていてもよい。この場合、希フッ酸中では、水素が解離し、イオン化している。このため、基板Wの表面の銅膜の銅が安定化するとともに、基板Wの帯電を抑制することができる。これにより、酸化還元電位の反応を抑制することができる。
さらに、基板処理装置1,31が、基板Wの表面に付着しているポリマーを除去するものではなく、基板Wの表面(主面)に付着しているパーティクルを除去するものであってもよい。かかる場合、希釈薬液としては、所定濃度に希釈されたSC1(アンモニア過酸化水素水混合液)、TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液)、あるいはCholine(水酸化2-ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウム)等を用いることができる。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
4 希フッ酸ノズル(希釈薬液供給手段)
11 裏面ノズル
12 第1混合部
13 希フッ酸裏面側供給管
16 フッ酸裏面側供給管
17 第2炭酸水供給管
18 フッ酸裏面側バルブ
19 第2炭酸水バルブ
20 希フッ酸表面側供給管
21 フッ酸表面側供給管
22 第3炭酸水供給管
23 フッ酸表面側バルブ
24 第3炭酸水バルブ
30 制御装置
32 第2混合部(希釈薬液調製手段)
42 希フッ酸供給管
54 調製タンク(希釈薬液調製手段)
61 フッ酸供給管
66 フッ酸バルブ
80 炭酸水供給管
81 炭酸水バルブ
W 基板
Claims (6)
- 表面に金属膜が形成された基板に対し、その表面を処理する基板処理装置であって、
イオンを含有する希釈水で薬液を希釈して希釈薬液を調製する希釈薬液調製手段と、
前記希釈薬液調製手段によって調整された希釈薬液を、基板の表面に対して供給する希釈薬液供給手段を含む、基板処理装置。 - 前記希釈水は、炭酸水を含む、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記希釈水は、純水に塩酸が添加されて生成された塩酸水を含む、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記希釈水は、水素水を含む、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記希釈薬液調製手段は、基板の表面のポリマーを除去するための希釈薬液を調製するものである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 表面に金属膜が形成された基板に対し、その表面を処理する基板処理方法であって、
イオンを含有する希釈水で薬液を希釈して希釈薬液を調製する希釈薬液調製工程と、
調整された希釈薬液を、基板の表面に対して供給する希釈薬液供給工程とを含む、基板処理方法。
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