JP2009036753A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成する本発明の請求項１に記載の計測装置は、被検物の形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状を測定する形状測定手段と、前記被検物の温度を計測する温度計測部を備えてなることを特徴とする。

本発明の請求項２に記載の計測装置は、更に、前記形状測定手段による測定の実行の有無又は前記形状測定手段により得られた測定情報と共に出力する内容を変更する制御部を備えてなることを特徴とする。

本発明の請求項３に記載の計測装置は、前記温度計測部は、前記被検物の領域毎に温度を計測することが可能であることを特徴とする。

本発明の請求項４に記載の計測装置は、前記温度計測部は、赤外線カメラであることを特徴とする。

本発明の請求項５に記載の計測装置は、更に温度範囲を指定する温度指定部を有し、
前記制御部は、前記温度計測部で計測した前記被検物の温度が、前記温度指定部が指定する温度範囲にあるか否かに応じて前記測定実行の有無又は出力内容の変更を制御することを特徴とする。

本発明の請求項６に記載の計測装置は、前記被検物の温度を計測する位置を指定する位置指定部を有し、前記温度計測部は前記位置指定部で指定された位置の温度を計測し、前記制御部は、前記位置指定部で指定する前記被検物の位置の温度が、前記温度指定部が指定する温度範囲内にあるか否かに応じて、前記測定実行の有無又は出力内容の変更を制御することを特徴とする。

本発明の請求項７に記載の計測装置は、前記制御部は、前記温度計測部で計測した、前記位置指定部で指定する前記被検物の位置での温度が、前記温度指定部で指定する温度範囲から外れるか否かに応じて警報の出力を制御することを特徴とする。
本発明の請求項８に記載の計測装置は、更に前記被検物を保持する保持部の温度を計測する周囲温度計測部を備え、前記制御部は、前記周囲温度計測部で計測された温度と、前記温度計測部で計測された前記被検物の温度との差が所定の温度範囲にあるか否かに応じて前記形状測定手段による測定の実行の有無又前記形状測定手段により得られた測定情報と共に出力する内容を変更することを特徴とする。
本発明の請求項９に記載の計測装置は、前記形状測定手段は、前記被検物に光線を投影する投影ユニットと、前記被検物の画像を撮像する撮像ユニットと、前記撮像ユニットから出力された画像データを基に前記被検物の形状を求め、出力する形状データ出力部を有することを特徴とする。
本発明の請求項１０に記載の計測装置は、更に、前記被検物と前記形状測定手段を覆い、かつ前記温度計測部で感受可能なエネルギー線を減衰する減衰部材を備えたことを特徴とする。
本発明の請求項１１に記載の計測装置は、前記温度計測部は、前記被検物から離れた位置に配置されていることを特徴とする

図２はモニター５１の表示内容（モニター画面５１ａ）の一例を示している。図２に示すように、赤外線カメラ３０の出力は、モニター５１上に画像で表示される。温度は色に変換されてモニター５２上に表示される。また、操作卓５０には被検物Ｍの温度を計測する位置を指定する位置指定部としてのジョイスティック５３（図３参照）が設けられており、このジョイスティック５３によりモニター画面５１ａに表示されるカーソル５１ｂの位置を変更できる。カーソル５１ｂが示す位置が温度を計測する位置で、その温度が、色と温度の対応を表示する温度指標５１ｃに数値で表示される。図２では、Ｘステージ１４上に載置された被検物Ｍの画像５１ｄがＸステージ１４の画像５１ｅと共に表示され、この被検物Ｍの上面Ｍａに相当する画像５１ｄ中の部位５１ｆの温度が１８℃であることが図示されている。Ｘステージ１４は被検物Ｍの保持部として機能し、このＸステージ１４の赤外線画像を撮影する赤外線カメラ３０は被検物Ｍの温度を計測する温度計測部として機能する他にＸステージ１４等の被検物Ｍの設置場所の周囲の温度を計測する周囲温度計測部としても機能する。

Claims (11)

1. 被検物の形状を測定する計測装置であって、
   前記被検物の形状を測定する形状測定手段と、
   前記被検物の温度を計測する温度計測部を備えてなることを特徴とする計測装置。
2. 更に、前記形状測定手段による測定の実行の有無又は前記形状測定手段により得られた測定情報と共に出力する内容を変更する制御部を備えてなることを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
3. 前記温度計測部は、前記被検物の領域毎に温度を計測することが可能であることを特徴とする請求項２に記載の計測装置。
4. 前記温度計測部は、赤外線カメラであることを特徴とする請求項３に記載の計測装置。
5. 更に温度範囲を指定する温度指定部を有し、
   前記制御部は、前記温度計測部で計測した前記被検物の温度が、前記温度指定部が指定する温度範囲にあるか否かに応じて前記測定実行の有無又は出力内容の変更を制御することを特徴とする請求項３に記載の計測装置。
6. 前記被検物の温度を計測する位置を指定する位置指定部を有し、
   前記温度計測部は前記位置指定部で指定された位置の温度を計測し、
   前記制御部は、前記位置指定部で指定する前記被検物の位置の温度が、前記温度指定部が指定する温度範囲内にあるか否かに応じて、前記測定実行の有無又は出力内容の変更を制御することを特徴とする請求項５に記載の計測装置。
7. 前記制御部は、前記温度計測部で計測した、前記位置指定部で指定する前記被検物の位置での温度が、前記温度指定部で指定する温度範囲から外れるか否かに応じて警報の出力を制御することを特徴とする請求項５又は６に記載の計測装置。
8. 更に前記被検物を保持する保持部の温度を計測する周囲温度計測部を備え、
   前記制御部は、前記周囲温度計測部で計測された温度と、前記温度計測部で計測された前記被検物の温度との差が所定の温度範囲にあるか否かに応じて前記形状測定手段による測定の実行の有無又前記形状測定手段により得られた測定情報と共に出力する内容を変更することを特徴とする、請求項１から７のうち、何れか一項に記載の計測装置。
9. 前記形状測定手段は、前記被検物に光線を投影する投影ユニットと、前記被検物の画像を撮像する撮像ユニットと、前記撮像ユニットから出力された画像データを基に前記被検物の形状を求め、出力する形状データ出力部を有することを特徴とする、請求項１から８のうち、何れか一項に記載の計測装置。
10. 更に、前記被検物と前記形状測定手段を覆い、かつ前記温度計測部で感受可能なエネルギー線を減衰する減衰部材を備えたことを特徴とする、請求項１から９のうち、何れか一項に記載の計測装置。
11. 前記温度計測部は、前記被検物から離れた位置に配置されていることを特徴とする、請求項１から１０のうち、何れか一項に記載の計測装置。