JP2009026791A - Mold package, and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、モールド樹脂の上面からパッケージをみたとき、モールド樹脂の外周端部からリードフレームが外側に突出していないモールドパッケージ、すなわち、アウターリードレスタイプのモールドパッケージ、および、そのようなモールドパッケージの製造方法に関する。 The present invention relates to a mold package in which a lead frame does not protrude outward from an outer peripheral end of the mold resin when viewed from the upper surface of the mold resin, that is, an outer leadless type mold package, and such a mold package. It relates to a manufacturing method.
従来より、この種のモールドパッケージとしては、電子部品とリード部とを電気的に接続し、電子部品とリード部とをモールド樹脂にて封止したパッケージであって、当該パッケージを被接合部材に接続するときに被接合部材に対向するモールド樹脂の下面、すなわちモールド樹脂の対向面にて、リード部の一面が露出しているものが提案されている(たとえば、特許文献1参照)。 Conventionally, as this type of mold package, an electronic component and a lead portion are electrically connected, and the electronic component and the lead portion are sealed with a mold resin, and the package is used as a member to be joined. There has been proposed a structure in which one surface of the lead portion is exposed on the lower surface of the mold resin facing the member to be joined when connecting, that is, on the opposite surface of the mold resin (for example, see Patent Document 1).
このものは、モールド樹脂において上記対向面とは反対側に位置する上面側からパッケージをみたとき、モールド樹脂の側面すなわち外周端部からリード部が外側に突出していないアウターリードレスタイプのモールドパッケージである。典型的には、QFN(クワッドフラットノンリードパッケージ)などが知られている。 This is an outer leadless mold package in which the lead portion does not protrude outward from the side surface of the mold resin, that is, the outer peripheral end when the package is viewed from the upper surface side opposite to the facing surface in the mold resin. is there. Typically, QFN (quad flat non-lead package) or the like is known.
そして、このものを、たとえばリード部材やバスバーなどの被接合部材に接続するときには、モールド樹脂の対向面を当該被接合部材に対向させ、そこから露出するリード部の一面にて、当該被接合部材とはんだ付けを行うようにしている。このようなモールドパッケージは、アウターリードを持たないため、実装面積を小さくすることができ、高密度実装に適したものである。
ところで、このようなアウターリードレスタイプのモールドパッケージを、被接合部材にはんだ付けした場合、各部の熱膨張係数差によって発生するせん断応力が、リード部とはんだとの界面における剥離やクラックなどを発生させ、それによって、接続信頼性が低下してしまう恐れがある。 By the way, when such an outer leadless mold package is soldered to a member to be joined, the shear stress generated by the difference in coefficient of thermal expansion of each part generates peeling or cracking at the interface between the lead part and the solder. As a result, connection reliability may be reduced.
今後、電子部品の大電流化への対応が進むことが予測される。そして、このような場合には、リード部と被接合部材との接続は、従来のはんだに代えて、より接続信頼性の高い溶接により行うことが好ましいと、本発明者は考えた。 In the future, it is predicted that the response to the increase in current of electronic components will progress. In such a case, the present inventor considered that the connection between the lead portion and the member to be joined is preferably performed by welding with higher connection reliability instead of the conventional solder.
また、パッケージを直接アクチュエータなどの作動機器に取り付けて使用する場合は、作業効率、強度確保などの面から、はんだよりも溶接による接合が好ましく、さらに、場合によっては、はんだ接合が不可能な場合もある。 Also, when the package is directly attached to an actuator or other actuator, it is preferable to join by welding rather than solder from the viewpoint of work efficiency and strength, and in some cases, soldering is impossible. There is also.
ここで、アウターリードレスタイプのモールドパッケージにおいては、リード部におけるモールド樹脂からの露出部位は、実質的に当該モールド樹脂の対向面から露出する面のみである。そのため、実質的に可能な溶接方向は、モールド樹脂の対向面側の方向に限られる。 Here, in the outer leadless type mold package, the exposed portion of the lead portion from the mold resin is substantially only the surface exposed from the facing surface of the mold resin. Therefore, the welding direction which is possible substantially is limited to the direction on the opposite surface side of the mold resin.
この場合、リード部における溶接部位の直上にモールド樹脂が密着している構造となっているため、モールド樹脂が溶接の熱によりダメージを受けてしまう。このことは、ひいては、モールド樹脂の溶出、クラック、ボイドなど封止構造体としては、致命的な欠陥を生じる危険性が極めて高くなるという問題につながる。 In this case, since the mold resin is in close contact with the welded portion in the lead portion, the mold resin is damaged by the heat of welding. This in turn leads to a problem that the risk of causing fatal defects becomes extremely high as a sealing structure such as elution of mold resin, cracks and voids.
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、アウターリードレスタイプのモールドパッケージにおいて、リード部と被接合部材とを溶接するにあたって当該溶接時の熱をモールド樹脂に伝わりにくくすることを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and in an outer leadless mold package, when welding a lead portion and a member to be joined, the object is to make it difficult to transfer heat during the welding to the mold resin. And
上記目的を達成するため、本発明は、モールド樹脂(40)の一面(42)にて露出するリード部(30)の一面(32)が、被接合部材(200)と溶接されるようになっているアウターリードレスタイプのモールドパッケージにおいて、リード部(30)の一面(32)とは反対側の他面(31)とモールド樹脂(40)との間に、モールド樹脂(40)よりも熱伝導性の低い低熱伝導部(60、61)を設けたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, according to the present invention, one surface (32) of the lead portion (30) exposed at one surface (42) of the mold resin (40) is welded to the member to be joined (200). In the outer leadless mold package, the heat is higher than the mold resin (40) between the other surface (31) opposite to the one surface (32) of the lead portion (30) and the mold resin (40). A low thermal conductivity portion (60, 61) having low conductivity is provided.
それによれば、リード部(30)の一面(32)に被接合部材(200)を溶接するときに、当該溶接時の熱がリード部(30)の他面(31)からモールド樹脂(40)へ伝わろうとするが、リード部(30)の他面(31)とモールド樹脂(40)との間に、モールド樹脂(40)よりも熱伝導性の低い低熱伝導部(60、61)を設けているため、この熱の伝わりは低熱伝導部(60、61)にて阻害され、従来よりも、溶接時の熱をモールド樹脂(40)に伝わりにくくできる。 According to this, when the joined member (200) is welded to one surface (32) of the lead portion (30), the heat during the welding is transferred from the other surface (31) of the lead portion (30) to the mold resin (40). A low thermal conductive portion (60, 61) having lower thermal conductivity than the mold resin (40) is provided between the other surface (31) of the lead portion (30) and the mold resin (40). Therefore, this heat transfer is hindered by the low heat conduction parts (60, 61), and heat during welding can be made harder to transfer to the mold resin (40) than in the prior art.
ここで、低熱伝導部は、リード部(30)の他面(31)とモールド樹脂(40)との間に介在する隙間としての隙間部(60)により構成することができる(後述の図1等参照)。 Here, the low heat conduction part can be constituted by a gap part (60) as a gap interposed between the other surface (31) of the lead part (30) and the mold resin (40) (FIG. 1 described later). Etc.).
また、リード部(30)の一面(32)および他面(31)の外周に位置する側面(33)が、モールド樹脂(40)の一面(42)の外周に位置する側面(43)にて露出している場合、隙間部(60)は、モールド樹脂(40)の内部からモールド樹脂(40)の側面(43)に開口した空間として構成されたものにできる(図1等参照)。 Further, the side surface (33) positioned on the outer periphery of the one surface (32) and the other surface (31) of the lead portion (30) is the side surface (43) positioned on the outer periphery of the one surface (42) of the mold resin (40). When exposed, the gap (60) can be configured as a space opened from the inside of the mold resin (40) to the side surface (43) of the mold resin (40) (see FIG. 1 and the like).
このような開口空間としての隙間部(60)は、モールド樹脂(40)の一面(42)、側面(43)にてそれぞれリード部(30)の一面(32)、側面(33)が露出するようにモールド樹脂(40)による封止を行った後、モールド樹脂(40)のうちリード部(30)の他面(31)上に位置する部分を、モールド樹脂(40)の側面(43)から切削して除去することにより、形成できる(後述の図4参照)。 In the gap portion (60) as the opening space, one surface (32) and the side surface (33) of the lead portion (30) are exposed at the one surface (42) and the side surface (43) of the mold resin (40), respectively. After sealing with the mold resin (40) as described above, the part of the mold resin (40) located on the other surface (31) of the lead part (30) is the side surface (43) of the mold resin (40). It can form by cutting and removing from (refer FIG. 4 mentioned later).
また、このような開口空間としての隙間部(60)は、リード部(30)の他面(31)のうち隙間部(60)と接することになる部位に、熱により溶融する材料もしくは溶剤により溶解する材料よりなる溶融・溶解部材(70)を配置した後に、モールド樹脂(40)の一面(42)、側面(43)にてそれぞれリード部(30)の一面(32)、側面(33)が露出するようにモールド樹脂(40)による封止を行い、その後、溶融・溶解部材(70)に熱もしくは溶剤を加えて溶融・溶解部材(70)を除去することによっても、形成できる(後述の図6参照)。 Further, the gap portion (60) as such an opening space is made of a material or solvent that melts by heat at a portion of the other surface (31) of the lead portion (30) that comes into contact with the gap portion (60). After disposing the melting / dissolving member (70) made of the material to be melted, the one surface (32) and the side surface (33) of the lead portion (30) at the one surface (42) and the side surface (43) of the mold resin (40), respectively. It can also be formed by sealing with mold resin (40) so as to be exposed, and then removing the melting / dissolving member (70) by adding heat or solvent to the melting / dissolving member (70) (described later). FIG. 6).
ここで、溶融・溶解部材(70)を、熱により溶融する材料とした場合、隙間部(60)の型となる当該材料をモールド樹脂(40)の成型時に適切に存在させるためには、その溶融温度はモールド樹脂(40)の成形温度よりも高いことが好ましい。 Here, in the case where the melting / dissolving member (70) is a material that is melted by heat, in order for the material that becomes the mold of the gap (60) to appropriately exist when the mold resin (40) is molded, The melting temperature is preferably higher than the molding temperature of the mold resin (40).
また、低熱伝導部としての隙間部(60)は、リード部(30)の他面(31)のうち隙間部(60)と接することになる部位に、モールド樹脂(40)用の離型剤(80)を配置した後に、モールド樹脂(40)による封止を行うとともに、離型剤(80)の部分にて、リード部(30)の他面(31)からモールド樹脂(40)を剥離させることによっても、形成できる(後述の図7参照)。この場合、この剥離によりできあがった隙間が隙間部(60)として形成される。 Further, the gap portion (60) as the low heat conduction portion is a part of the other surface (31) of the lead portion (30) that is in contact with the gap portion (60), and a mold release agent for the mold resin (40). After placing (80), the mold resin (40) is sealed, and the mold resin (40) is peeled from the other surface (31) of the lead part (30) at the part of the release agent (80). Can also be formed (see FIG. 7 described later). In this case, a gap formed by this peeling is formed as a gap portion (60).
また、上記隙間部(60)を有する構成においては、リード部(30)の他面(31)のうち隙間部(60)以外のところに位置する部位に、凹凸部(30a、30b)を設けられ、この凹凸部(30a、30b)とモールド樹脂(40)とが噛み合った状態で密着したものとするのが好ましい(後述の図8参照)。 Moreover, in the structure which has the said clearance gap part (60), an uneven | corrugated | grooved part (30a, 30b) is provided in the site | part located in places other than a clearance gap part (60) among the other surfaces (31) of a lead part (30). It is preferable that the concavo-convex portions (30a, 30b) and the mold resin (40) are in close contact with each other (see FIG. 8 described later).
それによれば、リード部(30)の他面(31)とモールド樹脂(40)との剥離防止に好ましい。特に、上記離型剤(80)を用いた剥離により隙間部(60)を形成する場合には、この凹凸部(30a、30b)の部分で剥離の進行が止まるため、顕著な効果が期待される。 According to this, it is preferable for preventing peeling between the other surface (31) of the lead portion (30) and the mold resin (40). In particular, when the gap (60) is formed by peeling using the release agent (80), since the progress of peeling stops at the uneven portions (30a, 30b), a remarkable effect is expected. The
また、低熱伝導部は、上記隙間部(60)以外にも、モールド樹脂(40)よりも熱伝導性の低い固体もしくは液体よりなる低熱伝導材(61)により構成されるものであってもよい(後述の図9参照)。 Further, the low heat conductive portion may be constituted by a low heat conductive material (61) made of a solid or liquid having a lower thermal conductivity than the mold resin (40), in addition to the gap portion (60). (See FIG. 9 described later).
また、上記特徴を有するモールドパッケージ(100、101)を、リード部(30)の一面(32)にて被接合部材(200)に接触させ、被接合部材(200)におけるリード部(30)とは反対側の面(201)からリード部(30)に渡って溶融部(202)を形成することにより、リード部(30)と被接合部材(200)とを溶接すれば、溶接構造体が形成される。 Further, the mold package (100, 101) having the above characteristics is brought into contact with the member to be joined (200) on one surface (32) of the lead part (30), and the lead part (30) in the member to be joined (200) is contacted. If the lead part (30) and the member to be joined (200) are welded by forming the melted part (202) from the opposite surface (201) to the lead part (30), the welded structure is obtained. It is formed.
そして、このような溶接構造体において、低熱伝導部(60、61)の厚さをd(単位:m)、低熱伝導部(60、61)の熱伝導率をλ(単位:W・mK)、被接合部材(200)のリード部(30)とは反対側の面(201)における溶融部(202)の面積をS(単位:m2)としたとき、低熱伝導部(60、61)の厚さdは、(64×λ×S)m以上の大きさであることが好ましい(後述の図5参照)。 In such a welded structure, the thickness of the low thermal conductivity portion (60, 61) is d (unit: m), and the thermal conductivity of the low thermal conductivity portion (60, 61) is λ (unit: W · mK). When the area of the melted part (202) on the surface (201) opposite to the lead part (30) of the member to be joined (200) is S (unit: m 2 ), the low heat conduction part (60, 61) The thickness d is preferably (64 × λ × S) m or more (see FIG. 5 described later).
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in the claim and this column is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings in order to simplify the description.
(第1実施形態)
図1(a)は、本発明の第1実施形態に係るアウターリードレスタイプのモールドパッケージ100の概略断面構成を示す図であり、本モールドパッケージ100を被接合部材200に接続した状態を示している。また、図1(b)は、図1(a)に示されるモールドパッケージ100におけるモールド樹脂40の下面42側の概略平面構成を示す図である。
(First embodiment)
FIG. 1A is a diagram showing a schematic cross-sectional configuration of an outer
なお、以下、各構成要素における上面、下面とは、図面と対応させてわかりやすくする目的で、図1(a)中の各構成要素において上側に位置する面、下側に位置する面を意味するものにすぎず、実際の天地方向に相当する上下関係まで限定するものではない。つまり、或る構成要素の上面は、当該構成要素の一面であり、下面は当該一面とは反対側に位置する他面であることを意味する。 Hereinafter, the upper surface and the lower surface of each component means a surface located on the upper side and a surface located on the lower side in each component in FIG. However, it is not limited to the vertical relationship corresponding to the actual top-and-bottom direction. That is, the upper surface of a certain component is one surface of the component, and the lower surface is the other surface located on the opposite side of the one surface.
本モールドパッケージ100は、大きくは、電子部品10とリード部30とをボンディングワイヤ50を介して電気的に接続したものを、封止材であるモールド樹脂40により封止してなるものである。
The
電子部品10は、ICチップ、コンデンサ、抵抗素子などの表面実装部品であれば、特に限定されるものではないが、図1に示される例では、電子部品10はシリコン半導体よりなるICチップとして示されている。
The
この電子部品10は、はんだやAgペーストなどよりなる図示しないダイマウント材などを介してダイパッド20の上面21に搭載され固定されている。このダイパッド20としては、リード部30と一体に形成されたリードフレームのアイランドよりなるものや、リードフレームにかしめなどにより固定されたヒートシンクなどが挙げられる。
The
ここで、ダイパッド20は、電子部品10を搭載するとともに電子部品10の熱を放熱する機能を有するものであり、放熱性に優れた銅、モリブデン、アルミニウム、鉄などの材料よりなることが好ましい。本実施形態では、ダイパッド20は矩形板状をなしており、ダイパッド20の下面22は、モールド樹脂40の下面42にて露出しており、放熱面として構成されている。
Here, the
また、リード部30は、銅などの一般的なリードフレーム材料よりなるものであり、モールド樹脂40の内部にてダイパッド20の周囲に配置されている。なお、リード部30は、本実施形態では複数個配置されているが、場合によっては1個であってもよい。
The
このリード部30は、表裏の板面である上面31および下面32がともに矩形状をなす矩形板状のものである。そして、電子部品10とリード部30の上面31とは、ボンディングワイヤ50により電気的に接続されている。
The
ここで、ボンディングワイヤ50は、一般的なAuやアルミニウムなどよりなるもので、通常のワイヤボンディングにより形成されるものである。そして、本モールドパッケージ100においては、電子部品10とリード部30とは、ボンディングワイヤ50を介して電気的に接続されている。
Here, the
また、モールド樹脂40は、通常、この種のモールドパッケージに用いられるモールド材料、例えばエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂などを採用できる。ここで、図1に示されるように、モールド樹脂40は、表裏の板面である上面41および下面42がともに矩形状をなす一般的な矩形板状のものである。そして、このモールド樹脂40の外形が、実質的に本パッケージ100の外形を構成している。
Further, as the
また、モールド樹脂40の下面42は、パッケージ100が被接合部材200に接続されるときに被接合部材200に対向する対向面42として構成されている。また、モールド樹脂40の上面41の外周および下面42の外周に位置する面43は、モールド樹脂40の外周端部を構成する側面43である。
Further, the
そして、本モールドパッケージ100においては、図1に示されるように、リード部30においてボンディングワイヤ50が接続された上面31がモールド樹脂40により被覆されており、このリード部30の上面31とは反対側の下面32が、モールド樹脂40の下面42にて露出している。さらに、リード部30において上面31および下面32の外周部に位置する側面33が、モールド樹脂40の側面43にて露出している。
In the
このように、本モールドパッケージ100は、アウターリードレスタイプのモールドパッケージの特徴として、モールド樹脂40の上面41または下面42からパッケージ100をみたとき、モールド樹脂40の側面43とリード部30の側面33とは実質的に同一平面上に位置しており、モールド樹脂40の側面43からリード部30が外側に突出していない。
As described above, the
そして、このモールドパッケージ100は、図1に示されるように、被接合部材200に接続されて使用されるが、このとき、モールド樹脂40の下面42にて露出するリード部30の下面32は、被接合部材200に接合される。ここでは、リード部30と被接合部材200とは溶接されている。
As shown in FIG. 1, the
ここで、被接合部材200としては、リードフレームあるいはバスバーなどが挙げられる。この溶接は、リード部30の下面32に被接合部材200を接触させた状態で、図1中の矢印Yに示されるように、モールドパッケージ100の下方すなわちモールド樹脂40の下面42側からレーザ溶接や電子ビーム溶接などを行うものである。
Here, examples of the bonded
このように、本実施形態では、アウターリードレスタイプのモールドパッケージ100において、モールド樹脂40の下面42側から、リード部30と被接合部材200とを溶接して接合するものである。そして、この場合、上述したように、リード部30における溶接部位の直上に位置するモールド樹脂40が溶接の熱によりダメージを受ける可能性があるが、本実施形態では、このダメージを低減する構成としている。
Thus, in this embodiment, in the outer leadless
すなわち、本実施形態では、独自の構成として、モールド樹脂40の下面42にて露出するリード部30の下面32とは反対側の上面31側にて、当該リード部30の上面31とモールド樹脂40との間に、隙間部60を設けている。
That is, in the present embodiment, as an original configuration, the
この隙間部60は、リード部30の上面31とモールド樹脂40との間に介在する隙間であって空気の層として構成されたものである。空気の熱伝導率はモールド樹脂40の熱伝導率よりも小さいため、当該隙間部60は、モールド樹脂40よりも熱伝導性の低い低熱伝導部として構成されている。
The
ここでは、隙間部60は、リード部30の上面31のうちボンディングワイヤ50との接続部位を除く部位に、設けられている。ここでは、リード部30の上面31におけるボンディングワイヤ50との接続部は、当該上面31のうち電子部品10寄りの部位であり、電子部品10とは反対側に位置するリード部30の側面33は、モールド樹脂40の側面43にて露出している。
Here, the
そして、本実施形態では、隙間部60も、リード部30の上面31のうちモールド樹脂40の側面43側の部位に設けられ、モールド樹脂40の側面43にて開口している。つまり、本実施形態の隙間部60は、モールド樹脂40の内部からモールド樹脂40の側面43に開口した空間として構成されている。
In the present embodiment, the
このように、本モールドパッケージ100は、低熱伝導部としての隙間部60を有する構成を採用しており、それによる効果は次の通りである。モールド樹脂40の下面42にて露出するリード部30の下面32に対して被接合部材200を溶接するときに、当該溶接時の熱がリード部30の上面31からモールド樹脂40へ伝わろうとする。
Thus, this
しかし、リード部30の上面31とモールド樹脂40との間には、モールド樹脂40よりも熱伝導性の低い低熱伝導部としての隙間部60が設けられているため、この熱は、従来のようにリード部30から直接モールド樹脂40に伝わることはない。そして、本実施形態では、モールド樹脂40へ伝わる熱は従来に比べて大幅に低減される。
However, since a
ここで、図2は、比較例としての従来の一般的なモールドパッケージを試作し、本実施形態のものと同様の要領でレーザ溶接したときのモールド樹脂40のダメージの様子を示す概略断面図である。
Here, FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the damage of the
従来の構造の場合、溶接されるリード部30の直上にはモールド樹脂40が密着した構造であるため、当該溶接の熱によってモールド樹脂40もダメージを受ける。このモールド樹脂40のダメージ部分Kは、図2中に図示してある。それに比べて、本実施形態では、従来ならばダメージを受けていた上記部分Kを隙間としている。
In the case of the conventional structure, since the
そのため、本パッケージ100では、上述した隙間部60の熱伝導の阻害作用により、モールド樹脂40がリード部30の上面31に直接接触していた従来の構成よりも、溶接時の熱をモールド樹脂40に伝わりにくい構成を実現することができる。
Therefore, in this
そして、本実施形態によれば、当該溶接時の熱のモールド樹脂40への伝導が阻害される結果、モールド樹脂40のダメージを大幅に低減し、樹脂の溶出、クラック、ボイドといった欠陥を防止することが可能になる。
And according to this embodiment, as a result of the conduction to the
次に、図3を参照して、本実施形態のモールドパッケージ100の製造方法について述べる。図3(a)は、本製造方法においてモールド樹脂40による封止工程を示す工程図、図3(b)は、封止後のワークをダイシングカットする切断工程を示す工程図であり、それぞれ当該工程中のワークを断面的に示している。
Next, with reference to FIG. 3, the manufacturing method of the
本製造方法は、一般的なMAP成型技術に基づくものである。ここでは、ダイパッド20は、リード部30とともに多連のリードフレームのアイランド部として構成されたものとする。このリードフレームは、図3に示されるように、複数のパッケージ単位のリード部30およびダイパッド20が、リード部30の間で連結したものであり、最終的には、図3中のダイシングラインDLにて、各パッケージ単位に分断される。
This manufacturing method is based on a general MAP molding technique. Here, it is assumed that the
まず、電子部品10をダイパッド20の上面21に搭載し、上記ダイマウント材などを介して固定する。一方で、リード部30の上面31と電子部品10との間でワイヤボンディングを行い、これら両者10、30をボンディングワイヤ50により結線し電気的に接続する。
First, the
次に、図3(a)に示されるように、ワークをモールド型300に設置し、モールド樹脂40による封止を行う。この封止工程では、ワークが固定されたモールド型300のキャビティ内に、図示しないゲートからエポキシ樹脂などよりなるモールド樹脂40を注入し、充填する。
Next, as shown in FIG. 3A, the work is placed on the
これにより、図3(a)に示されるように、ワイヤボンディングによって接続された電子部品10およびリード部30、さらにはダイパッド20が、モールド樹脂40により封止される。モールド樹脂40を冷却して固化させた後、ワークをモールド型300から取り出す。この封止後のワークにおいては、モールド樹脂40の下面42にてリード部30の下面32が露出している。
As a result, as shown in FIG. 3A, the
また、この封止工程後のワークにおいては、複数個のパッケージ単位のワークが、リード部30を介して連結されている。そこで、図3(b)に示されるように、次に、ワークを各パッケージ単位に個片化するために、ダイシングラインDLに沿って、リード部30の連結部を、モールド樹脂40とともにダイシングカットする。
In the work after the sealing step, a plurality of work pieces in package units are connected via the
ここまでは、一般的なMAP成形と同様である。このMAP成型の利点を述べておく。図3のように複数のパッケージが連なった状態で一括してモールドを行うが、その際用いられるモールド型300は、複数パッケージを連結したワーク全体が封止できる大きさを備えていればよく、個々のパッケージのサイズ、形状によって金型設計が変更されるものではない。そのため、モールド型300は複数のパッケージで共用することができ、低コスト化に貢献するものとなっている。
Up to this point, it is the same as general MAP molding. The advantages of this MAP molding will be described. As shown in FIG. 3, the molds are collectively performed in a state where a plurality of packages are connected, and the
そして、本実施形態では、ここまでの工程により、上記図1において隙間部60を持たない構成のもの、すなわち、一般的なQFN構造のものができあがる。次に、本製造方法においては、図4に示されるように、隙間部60を形成する工程を行う。
In the present embodiment, the process up to this point completes the structure having no
この隙間部60の形成工程では、個片化された各ワークにおいて、モールド樹脂40の側面43から機械的な切削により切り込みを入れる。ここでは、刃具310を用いてモールド樹脂40とリード部30の上面31との界面から上の部分のモールド樹脂40を削り取る。
In the step of forming the
それによって、モールド樹脂40のうちリード部30の上面31の上に位置する部分を除去する。このとき、刃具310の厚さが、実質的に隙間部60の厚さに相当する。つまり、隙間部60の厚さは、刃具310の厚さにより所望の値に調整される。このようにして、本実施形態では、隙間部60が形成され、上記図1に示したモールドパッケージ100ができあがる。
Thereby, a portion of the
なお、ここでは、隙間部60は、上記図1(b)に示されるように、モールド樹脂40の周辺部にてモールド樹脂40の辺に沿って複数個のリード部30に渡って連続的に延びる空間として形成されている。これは、隙間部60の形成工程において、上記切削によりリード部30間に位置するモールド樹脂40も除去するためである。
Here, as shown in FIG. 1 (b), the
これに対して、刃具310の形状を変えるなどにより、リード部30の上面31上に位置するモールド樹脂40のみを切削して除去してもよい。この場合、リード部30間に位置するモールド樹脂40は残るが、リード部30の上面31上においては、上記図1(a)と同様の隙間部60が形成される。
On the other hand, only the
次に、このモールドパッケージ100を、上記図1に示したように、被接合部材200に溶接する。具体的には、リード部30の下面32を被接合部材200に接触させた状態で、上記図1中の矢印Yに示されるように、被接合部材200におけるリード部30とは反対側の面201側からレーザを照射する。
Next, the
それにより、レーザが照射された部位にてリード部30と被接合部材200とが溶け合って溶融部202(後述の図5参照)が形成され、モールドパッケージ100と被接合部材200との溶接が完了する。なお、この溶接は、レーザ以外にも、電子ビームなどにより行うものであってもよい。
As a result, the
そして、この溶接工程においては、上述した隙間部60の熱伝導の阻害作用により、溶接時の熱のモールド樹脂40への伝導を抑制することができるため、モールド樹脂40の溶接の熱によるダメージの発生が防止される。そして、信頼性の高いモールドパッケージ100を被接合部材200に溶接してなる溶接構造体が製造される。
And in this welding process, since the conduction | electrical_connection to the
この本実施形態における溶接構造体は、本モールドパッケージ100と被接合部材200とを備え、モールドパッケージ100を、リード部30の下面32にて被接合部材200に接触させ、被接合部材200におけるリード部30とは反対側の面201からリード部30に渡って溶融部202(後述の図5参照)を形成することにより、リード部30と被接合部材200とが溶接されてなる溶接構造体である。
The welded structure in this embodiment includes the
そして、この溶接構造体中のモールドパッケージ100において、リード部30の下面32とモールド樹脂40との間に、低熱伝導部としての隙間部60が介在している。つまり、本実施形態によれば、上述した隙間部60の熱伝導の阻害作用を有する信頼性の高いモールドパッケージ100を備えた溶接構造体を提供できる。
In the
ここで、この溶接構造体において、上述した隙間部60の熱伝導の阻害作用を適切に発揮させるための好ましい寸法構成について、図5(a)、(b)を参照して述べておく。図5(a)は、従来の一般的なアウターリードを有するモールドパッケージJ100と被接合部材200との溶接構造を示す概略断面図、(b)は本実施形態の溶接構造体を示す概略断面図である。
Here, in this welded structure, a preferable dimensional configuration for appropriately exerting the above-described effect of inhibiting the heat conduction of the
図5(a)に示されるように、従来の溶接構造では、モールド樹脂40の側面43から突出するアウターリード30に被接合部材200を接触させ、溶接して溶融部202を形成することにより両部材30、200を接合する。ここで、従来では、溶接の熱からモールド樹脂40を保護するため、溶融部202とモールド樹脂40の側面43との間に、許容距離Lを設けている。
As shown in FIG. 5 (a), in the conventional welding structure, the welded
一方、図5(b)に示される本実施形態の溶接構造体において、低熱伝導部である隙間部60の厚さをd(単位:m)、隙間部60の熱伝導率をλ(単位:W・mK)、被接合部材200のリード部30とは反対側の面201における溶融部202の面積をS(単位:m2)とする。
On the other hand, in the welded structure of the present embodiment shown in FIG. 5B, the thickness of the
ここで、隙間部60の厚さdは、図5(b)に示されるように、リード部30の下面32から上面31に向かう方向に沿った隙間部60の寸法に相当する。さらに言えば、隙間部60の厚さdは、隙間部60を介して隔てられたリード部30の上面31とモールド樹脂40との距離に相当する。
Here, the thickness d of the
また、隙間部60の熱伝導率λは空気の熱伝導率に相当する。また、被接合部材200のリード部30とは反対側の面201における溶融部202の形状は、レーザや電子ビームにより形成される一般的な溶融部と同様に、円形または角形である。そして、上記溶融部202の面積は、この円形または角形の溶融部202の面積に相当する。
Further, the thermal conductivity λ of the
このように、隙間部60の厚さd、熱伝導率λ、溶融部202の面積Sを定義したとき、本実施形態の溶接構造体においては、次の数式1に示される不等式(A)の関係が満足されている。
As described above, when the thickness d of the
(数1)
d≧64・λ・S ………(A)
この不等式(A)の中で、右辺における「64」は、この溶融部202からモールド樹脂40までの熱抵抗Rであり、その単位は、℃/Wである。
(Equation 1)
d ≧ 64 · λ · S (A)
In this inequality (A), “64” on the right side is the thermal resistance R from the
この不等式(A)は、下記の数式2の変形から導かれる。
This inequality (A) is derived from a modification of
(数2)
熱抵抗R=(1/λ)・(d/S)
ここで、目安とする熱抵抗Rは、図5(a)に示される従来構造における溶接の実績から求めた。この場合、上記した溶融部202からモールド樹脂40までの許容距離Lは、概略決まった実績値がある。この値をもとに、溶融部202からモールド樹脂40までのリード部30の熱抵抗Rを試算すると、下記の数式3のようになる。
(Equation 2)
Thermal resistance R = (1 / λ) · (d / S)
Here, the reference thermal resistance R was obtained from the results of welding in the conventional structure shown in FIG. In this case, the allowable distance L from the
(数3)
熱抵抗R=(1/λ)・(L/S0)=64(℃/W)
ここで、代表的な例として下記の数値を用いた。
(Equation 3)
Thermal resistance R = (1 / λ) · (L / S0) = 64 (° C./W)
Here, the following numerical values were used as typical examples.
λ:銅の熱伝導率390(W・mK)
L:3mm
図5(a)における溶融部201の面積S0:0.2mm×0.6mm。
λ: thermal conductivity of copper 390 (W · mK)
L: 3mm
The area S0 of the
そして、本実施形態の溶接構造体においても、実績のある従来と同程度の熱抵抗Rを持たせれば、溶接時の熱をモールド樹脂40に伝わりにくい構成を実現し、モールド樹脂40の溶出などの不具合を防止できると考えられる。そこで、本実施形態においても、熱抵抗Rを64℃/W以上とすればよく、このことから、上記不等式(A)の関係を満足するようにしている。
And also in the welding structure of this embodiment, if it has thermal resistance R comparable as the past with a track record, the structure which is hard to transmit the heat at the time of welding to mold
限定するものではないが、本実施形態における隙間部60の厚さdの一計算例を述べておく。隙間部60の熱伝導率λを空気の熱伝導率0.0244(W/mK)とし、溶融部202の面積Sをφ0.5mm相当のものとすると、上記不等式(A)から、隙間部60の厚さdは、0.4μm以上となる。
Although it does not limit, the example of calculation of the thickness d of the
この0.4μmという厚さdの大きさは、モールド樹脂40がリード部30の上面31から剥離した程度のレベルに相当する。つまり、本実施形態における隙間部60は、その程度の小さな隙間であれば充分な熱抵抗Rが確保でき、上述した隙間部60の熱伝導の阻害作用が適切に発揮される。
The thickness d of 0.4 μm corresponds to a level at which the
(第2実施形態)
図6は、本発明の第2実施形態に係るモールドパッケージ100の製造方法を示す工程図であり、各ワークの概略断面を示している。本実施形態も、最終的に上記図1に示されるモールドパッケージ100を製造する製造方法を提供するものであるが、隙間部60の形成工程が上記第1実施形態とは相違するものである。
(Second Embodiment)
FIG. 6 is a process diagram showing the method for manufacturing the
本製造方法では、図6(a)に示されるように、リード部30の上面31のうち隙間部60と接することになる部位に、熱により溶融する材料もしくは溶剤により溶解する材料よりなる溶融・溶解部材70を配置する。また、一方で、電子部品10およびリード部30を互いにボンディングワイヤ50により接続する。
In this manufacturing method, as shown in FIG. 6 (a), a portion of the
この溶融・溶解部材70は隙間部60の型となるものであり、リード部30の上面31上における隙間部60と実質的に同一形状且つ同一サイズとなるように形成する。この溶融・溶解部材70は、塗布・硬化もしくはシート状に成形されたものを貼り付けるなどの方法で、リード部30の上面31に配置する。
The melting / dissolving
なお、隣り合うリード部30の間には、溶融・溶解部材70は設けてもよいし、設けなくてもよい。当該隣り合うリード部30の間にも溶融・溶解部材70を設ける場合には、上記したシート状の溶融・溶解部材70を貼り付けるなどの方法が採用される。
Note that the melting / dissolving
この溶融・溶解部材70において熱により溶融する材料としては、たとえば、はんだ等の低融点金属が挙げられる。この場合、たとえば、部分めっきによりリード部30の上面31に被着させればよい。このような低融点金属は、融点が200℃前後とエポキシ樹脂の融点よりは低いものであり、モールド樹脂40の成形温度(通常170〜180℃)では溶融しない。
Examples of the material that melts by heat in the melting / dissolving
また、溶剤により溶解する材料としては、たとえば、半導体のフォトプロセスで用いられるフォトレジストなどが挙げられる。この場合、フォトレジストをリード部30の上面31に塗布・硬化すればよい。このようなフォトレジストは、その専用剥離液で洗浄することで溶解する。また、フォトレジストの耐熱性は200℃程度あるものが多く、またその熱を受けた後でも。上記専用剥離液で剥離可能である。
Examples of the material that can be dissolved by the solvent include a photoresist used in a semiconductor photo process. In this case, a photoresist may be applied and cured on the
本製造方法では、このような溶融・溶解部材70を配置した後、図6(b)に示されるように、モールド樹脂40による封止を行い、ダイシングカットを行い、パッケージ単位に個片化する。このカットにより、切断面であるモールド樹脂40の側面43には、溶融・溶解部材70が露出する。
In this manufacturing method, after disposing such a melting / dissolving
その後、溶融・溶解部材70が熱により溶融する材料である場合には、溶融・溶解部材70の溶融温度まで加熱する。それにより、図6(c)に示されるように、モールド樹脂40の側面43から溶融・溶解部材70が流出し、当該流出後の空間が隙間部60として形成される。
Thereafter, when the melting / dissolving
また、溶融・溶解部材70が溶剤により溶解する材料よりなる場合には、樹脂封止されたワークにおいてモールド樹脂40の側面43から露出する溶融・溶解部材70を、溶剤で洗浄する。それにより、モールド樹脂40の側面43から溶融・溶解部材70が溶け出し、その後の空間が隙間部60として形成される。
When the melting / dissolving
このように、溶融・溶解部材70は隙間部60の型となるものであり、溶融・溶解部材70が熱により溶融する材料である場合には、モールド樹脂40の成型時に溶けてしまわないように、溶融・溶解部材70の溶融温度はモールド樹脂40の成形温度よりも高いことが望ましい。たとえば190℃以上とする。もちろん、その溶融温度は、モールド樹脂40の耐熱温度よりも低いものとする。
As described above, the melting / dissolving
こうして、本実施形態の製造方法においても、隙間部60が形成されたモールドパッケージ100ができあがる。なお、上記溶融・溶解部材70としては、熱により昇華する材料であってもよい。
Thus, also in the manufacturing method of the present embodiment, the
このような昇華材料としては、たとえば印刷用の昇華インクなどと同等の材料などが挙げられる。ただし、染料を含まないものにアレンジされたものがよい。このような材料は、昇華温度が200℃前後のものが多く、上記した熱により溶融する材料と同様の要領で使用することが可能である。 Examples of such a sublimation material include a material equivalent to a sublimation ink for printing. However, it should be arranged in a dye-free one. Many of these materials have a sublimation temperature of around 200 ° C., and can be used in the same manner as the above-described materials that melt by heat.
(第3実施形態)
上述したように、上記不等式(A)の関係から、隙間部60としては、モールド樹脂40の剥離程度のレベルで十分である。そこで、本発明の第3実施形態では、モールド樹脂40の剥離により隙間部60を形成する製造方法を提供する。
(Third embodiment)
As described above, due to the relationship of the inequality (A), the level of the
図7は、本発明の第3実施形態に係るモールドパッケージ100の製造方法を示す工程図であり、ワークの概略断面を示している。本実施形態も、最終的に上記図1に示されるモールドパッケージ100を製造する製造方法である。
FIG. 7 is a process diagram showing a method of manufacturing a
本実施形態の製造方法では、隙間部60の形成工程としてモールド樹脂40用の離型剤80を用いるものである。このような離型剤80は、封止工程後にモールド樹脂40とモールド型とを離すためにものである。具体的な離型剤80としては、金型専用の市販の離型剤として、主成分がパラフィン系炭化水素、フッ素化合物とされたものがある。
In the manufacturing method of the present embodiment, the
そして、本実施形態の製造方法では、リード部30の上面31のうち隙間部60と接することになる部位に、離型剤80を配置するとともに、電子部品10およびリード部30を互いにボンディングワイヤ50により接続する。
In the manufacturing method according to the present embodiment, the
次に、上記同様に、モールド樹脂40による封止を行う。この封止工程においては、通常の熱履歴としてモールド樹脂40の溶融温度からモールド樹脂40の固化温度まで冷却が行われる。このときの熱履歴により、離型剤80の部分にてリード部30の上面31からモールド樹脂40が剥離する。そして、この剥離によりできあがった隙間が隙間部60として形成される(図7参照)。
Next, similarly to the above, sealing with the
ここまでは、まだダイシングカット前であるが、このようにモールド樹脂40が剥離した部分としての隙間部60を形成した後、上記同様にダイシングカットを行い、パッケージ単位に個片化する。
Up to this point, it is still before dicing cut, but after forming the
それにより、本実施形態においても、図7に示されるように、モールドパッケージ100ができあがる。この場合、隙間部60においては、離型剤80は薄い膜として残るが、パッケージ特性への実質的な影響は無い。
Thereby, also in this embodiment, as FIG. 7 shows, the
なお、上記例では、上記封止工程における熱履歴のような通常の製造工程で加わる熱履歴によって、離型剤80による剥離を行ったが、当該剥離のための熱衝撃や機械的衝撃をワークに対して印加する工程を、ダイシング前もしくはダイシング後に、別途設けてもよい。たとえば、ワークに対して低温と高温の温度サイクルを印加したり、振動を与えたりする方法などが挙げられる。
In the above example, the
(第4実施形態)
ところで、上記各実施形態のように、低熱伝導部としての隙間部60を設けると、そこからモールド樹脂40の剥離が、ワイヤボンディング部へ向かって進行するおそれがある。本発明の第4実施形態は、上記各実施形態において、このモールド樹脂40の剥離の進行を極力防止する構成を付加したものである。
(Fourth embodiment)
By the way, when the
図8は、本実施形態に係るモールドパッケージの要部を示す概略断面図である。図8に示されるように、リード部30の上面31のうち隙間部60以外のところに位置する部位に、凹凸部30a、30bが設けられており、この凹凸部30a、30bとモールド樹脂40とが噛み合った状態で密着している。
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing the main part of the mold package according to the present embodiment. As shown in FIG. 8,
この凹凸部30a、30bは、凹凸形状をなすものであればよいが、たとえば図8(a)に示されるような段差30aでもよいし、図8(b)に示されるように溝30bであってもよい。これらの段差30aや溝30bは、プレスやエッチングなどにより形成することが可能である。
The concavo-
本実施形態によれば、モールド樹脂40の剥離が隙間部60側からワイヤボンド部の方向に進展してきても、凹凸部30a、30bによって、それ以上の進展が防止される。そのため、リード部30の上面31とモールド樹脂40との剥離防止に好ましい。
According to the present embodiment, even if the peeling of the
また、上記第1実施形態に示した溶接構造体において、本実施形態の構成を適用してもよいことはもちろんである。つまり、上記図1に示した溶接構造体中のモールドパッケージ100において、リード部30の上面31のうち隙間部60以外のところに位置する部位に、凹凸部30a、30bを設け、この凹凸部30a、30bとモールド樹脂40とが噛み合った状態で密着している構成としてもよい。
Of course, the configuration of the present embodiment may be applied to the welded structure shown in the first embodiment. That is, in the
(第5実施形態)
図9は、本発明の第5実施形態に係るアウターリードレスタイプのモールドパッケージ101の概略断面構成を示す図である。低熱伝導部としては、モールド樹脂40よりも熱伝導性の低いものであればよく、上記隙間部60に限定されるものではない。
(Fifth embodiment)
FIG. 9 is a view showing a schematic cross-sectional configuration of an outer
本実施形態では、図9に示されるように、低熱伝導部を、隙間ではなく、モールド樹脂40よりも熱伝導性の低い固体もしくは液体よりなる低熱伝導材61により構成している。このような低熱伝導材61としては、銀や銅などのフィラーを含むエポキシ樹脂や、ポリテトラフルオロエチレンなどの樹脂材料が挙げられる。また、液体としてはオイルなどが挙げられる。
In the present embodiment, as shown in FIG. 9, the low thermal conductivity portion is not a gap, but is constituted by a low
ここで、モールド樹脂40は、通常、上記フィラーを含むエポキシ樹脂であるが、このフィラーの含有量をモールド樹脂40よりも少なくしてやれば、モールド樹脂40よりも熱伝導性の低い樹脂となる。そして、この樹脂を、低熱伝導材61とすればよい。
Here, the
この場合、塗布・硬化もしくは接着などによって、低熱伝導材61をリード部30に配置した後、この状態で、モールド樹脂40による封止を行い、ダイシングカットを行えば、図9に示されるようなモールドパッケージ101ができあがる。
In this case, after the low thermal
また、上記第1実施形態に示した溶接構造体において、本実施形態の構成を適用してもよい。つまり、当該溶接構造体中のモールドパッケージとして、図9に示されるモールドパッケージ101を用いた構成としてもよい。
In addition, the configuration of the present embodiment may be applied to the welded structure shown in the first embodiment. That is, it is good also as a structure using the
本実施形態のモールドパッケージ101および溶接構造体によっても、溶接時の熱の伝わりは低熱伝導部としての低熱伝導材61にて阻害され、従来よりも、溶接時の熱をモールド樹脂40に伝わりにくくできる。
Also with the
また、本実施形態のモールドパッケージ101においても、上記したd≧64・λ・S、という不等式(A)の関係が満足されていることが望ましい。この場合、低熱伝導部としての低熱伝導材61の厚さdは、リード部30の下面32から上面31に向かう方向に沿った低熱伝導材61の寸法に相当する。また、上記熱伝導率λは、低熱伝導材61を構成する材料の熱伝導率に相当する。
Also in the
(他の実施形態)
なお、上記各実施形態では、低熱伝導部としての隙間部60は、リード部30の側面33とともにモールド樹脂40の側面43にて露出するものであった。つまり、隙間部60は、モールド樹脂40の内部からモールド樹脂40の側面43に開口した空間として構成されていた。
(Other embodiments)
In each of the above embodiments, the
しかし、図10に示されるように、当該隙間部60としては、モールド樹脂40の側面43に開口せずに、モールド樹脂40内に閉じ込められた空間であってもよい。このような閉空間としての隙間部60は、たとえば上記した離型剤80を用いた方法により形成が可能である。
However, as shown in FIG. 10, the
また、リード部30の上面31とモールド樹脂40との間に、低熱伝導部としての隙間部60を介在させることは、リード部30の上面31に薄い層状のモールド樹脂40が付着している場合も含むものである。
Further, the interposition of the
これは、上述したように、切削により隙間部60を形成するときに、加工誤差などにより、リード部60の上面31とモールド樹脂40との界面から若干外れて切削が行われた場合などを考慮したものである。つまり、この場合、薄く残るモールド樹脂40は、溶接の熱によってダメージを受けても何らかまわないものである。たとえば、薄い層状のモールド樹脂40の厚さは、0.数mm以下程度であればかまわない。
This is because, as described above, when the
また、上記各実施形態では、電子部品10とリード部30とは、ボンディングワイヤ50により電気的に接続されていたが、ワイヤボンディング以外、たとえばバンプなどにより両者10、30が接続されていてもよい。
Moreover, in each said embodiment, although the
また、上記各実施形態では、ダイパッド上に直接、電子部品としてのICチップを搭載してなるモノリシックICを例にとったが、回路基板を搭載したモールドハイブリッドICにも、本発明は同様に適用することができる。 In each of the above embodiments, a monolithic IC in which an IC chip as an electronic component is directly mounted on a die pad is taken as an example. However, the present invention is similarly applied to a mold hybrid IC in which a circuit board is mounted. can do.
また、アウターリードレスタイプのモールドパッケージとしては、モールド樹脂40の下面42および側面43にてリード部30が露出するQFNに限定されるものではなく、モールド樹脂40の下面42からリード部30の下面32が露出していれば、モールド樹脂40の側面43ではリード部30は露出していないものであってもよい。
Further, the outer leadless mold package is not limited to the QFN in which the
10…電子部品、30…リード部、30a…凹凸部としての段差、
30b…凹凸部としての溝、31…リード部の上面、32…リード部の下面、
33…リード部の側面、40…モールド樹脂、41…モールド樹脂の上面、
42…モールド樹脂の下面、43…モールド樹脂の側面、
60…低熱伝導部としての隙間部、61…低熱伝導部としての低熱伝導材、
70…溶融・溶解部材、80…離型剤、100、101…モールドパッケージ、
200…被接合部材、201…被接合部材のリード部とは反対側の面、
202…溶融部。
DESCRIPTION OF
30b: Grooves as concavo-convex portions, 31: upper surface of lead portion, 32 ... lower surface of lead portion,
33: Side surface of the lead part, 40 ... Mold resin, 41 ... Upper surface of the mold resin,
42 ... lower surface of the mold resin, 43 ... side surface of the mold resin,
60 ... a gap part as a low heat conduction part, 61 ... a low heat conduction material as a low heat conduction part,
70 ... Melting / dissolving member, 80 ... Release agent, 100, 101 ... Mold package,
200 ... Member to be joined, 201 ... Surface opposite to the lead portion of the member to be joined,
202 ... melting part.
Claims (10)
当該パッケージを被接合部材(200)に接続するときに前記被接合部材(200)に対向する前記モールド樹脂(40)の一面(42)にて、前記リード部(30)の一面(32)が露出するアウターリードレスタイプのモールドパッケージにおいて、
前記リード部(30)の前記一面(32)は、前記被接合部材(200)と溶接されるようになっており、
前記リード部(30)の前記一面(32)とは反対側の他面(31)と前記モールド樹脂(40)との間には、前記モールド樹脂(40)よりも熱伝導性の低い低熱伝導部(60、61)が設けられていることを特徴とするモールドパッケージ。 An electronic component (10), a lead portion (30) electrically connected to the electronic component (10), and a mold resin (40) for sealing the electronic component (10) and the lead portion (30). A package comprising:
When the package is connected to the member to be joined (200), one surface (32) of the lead portion (30) is formed on one surface (42) of the mold resin (40) facing the member to be joined (200). In the exposed outer lead type mold package,
The one surface (32) of the lead portion (30) is welded to the member to be joined (200),
Low thermal conductivity between the other surface (31) opposite to the one surface (32) of the lead portion (30) and the mold resin (40) is lower than that of the mold resin (40). Part (60, 61) is provided, The mold package characterized by the above-mentioned.
前記隙間部(60)は、前記モールド樹脂(40)の内部から前記モールド樹脂(40)の前記側面(43)に開口した空間として構成されていることを特徴とする請求項2に記載のモールドパッケージ。 The side surface (33) of the lead portion (30) located on the outer periphery of the one surface (32) and the other surface (31) of the lead portion (30) is the surface of the one surface (42) of the mold resin (40). Exposed at the side surface (43) of the mold resin (40) located on the outer periphery,
The mold according to claim 2, wherein the gap portion (60) is configured as a space opened from the inside of the mold resin (40) to the side surface (43) of the mold resin (40). package.
前記モールドパッケージ(100、101)を、前記リード部(30)の前記一面(32)にて前記被接合部材(200)に接触させ、前記被接合部材(200)における前記リード部(30)とは反対側の面(201)から前記リード部(30)に渡って溶融部(202)を形成することにより、前記リード部(30)と前記被接合部材(200)とが溶接されてなる溶接構造体であって、
前記低熱伝導部(60、61)の厚さをd(単位:m)、前記低熱伝導部(60、61)の熱伝導率をλ(単位:W・mK)、前記被接合部材(200)の前記リード部(30)とは反対側の面(201)における前記溶融部(202)の面積をS(単位:m2)としたとき、
d≧64・λ・S
、という関係が満足されていることを特徴とする溶接構造体。 A mold package (100, 101) according to any one of claims 1 to 5,
The mold package (100, 101) is brought into contact with the member to be joined (200) at the one surface (32) of the lead part (30), and the lead part (30) in the member to be joined (200) Is a weld formed by welding the lead portion (30) and the member to be joined (200) by forming a melted portion (202) from the opposite surface (201) to the lead portion (30). A structure,
The thickness of the low thermal conduction part (60, 61) is d (unit: m), the thermal conductivity of the low thermal conduction part (60, 61) is λ (unit: W · mK), and the joined member (200) When the area of the melted part (202) on the surface (201) opposite to the lead part (30) is S (unit: m 2 ),
d ≧ 64 · λ · S
A welded structure characterized by satisfying the relationship.
互いに接続された前記電子部品(10)および前記リード部(30)を、前記モールド樹脂(40)の前記一面(42)、前記側面(43)にてそれぞれ前記リード部(30)の前記一面(32)、前記側面(33)が露出するように前記モールド樹脂(40)によって封止した後、
前記モールド樹脂(40)のうち前記リード部(30)の前記他面(31)上に位置する部分を、前記モールド樹脂(40)の前記側面(43)から切削して除去することにより、前記隙間部(60)を形成することを特徴とするモールドパッケージの製造方法。 A mold package manufacturing method for manufacturing the mold package according to claim 3,
The electronic component (10) and the lead part (30) connected to each other are connected to the one surface (42) and the side surface (43) of the mold resin (40). 32) After sealing with the mold resin (40) so that the side surface (33) is exposed,
A portion of the mold resin (40) positioned on the other surface (31) of the lead portion (30) is removed by cutting from the side surface (43) of the mold resin (40). A method for producing a mold package, comprising forming a gap (60).
前記リード部(30)の前記他面(31)のうち前記隙間部(60)と接することになる部位に、熱により溶融する材料もしくは溶剤により溶解する材料よりなる溶融・溶解部材(70)を配置するとともに、前記電子部品(10)および前記リード部(30)を互いに接続し、
次に、互いに接続された前記電子部品(20)および前記リード部(30)を、前記モールド樹脂(40)の前記一面(42)、前記側面(43)にてそれぞれ前記リード部(30)の前記一面(32)、前記側面(33)が露出するように前記モールド樹脂(40)によって封止した後、
前記溶融・溶解部材(70)に熱もしくは溶剤を加えて前記溶融・溶解部材(70)を除去することにより、前記隙間部(60)を形成することを特徴とするモールドパッケージの製造方法。 A mold package manufacturing method for manufacturing the mold package according to claim 3,
A melting / dissolving member (70) made of a material that melts by heat or a material that dissolves by a solvent is formed on a portion of the other surface (31) of the lead portion (30) that comes into contact with the gap portion (60). And arranging the electronic component (10) and the lead part (30) to each other,
Next, the electronic component (20) and the lead part (30) connected to each other are connected to the lead part (30) on the one surface (42) and the side face (43) of the mold resin (40), respectively. After sealing with the mold resin (40) so that the one surface (32) and the side surface (33) are exposed,
A mold package manufacturing method, wherein the gap (60) is formed by adding heat or a solvent to the melting / dissolving member (70) to remove the melting / dissolving member (70).
前記リード部(30)の前記他面(31)のうち前記隙間部(60)と接することになる部位に、前記モールド樹脂(40)用の離型剤(80)を配置するとともに、前記電子部品(10)および前記リード部(30)を互いに接続し、
次に、互いに接続された前記電子部品(10)および前記リード部(30)を、前記モールド樹脂(40)の前記一面(42)、前記側面(43)にてそれぞれ前記リード部(30)の前記一面(32)、前記側面(33)が露出するように前記モールド樹脂(40)によって封止するとともに、
前記離型剤(80)の部分にて、前記リード部(30)の前記他面(31)から前記モールド樹脂(40)を剥離させ、この剥離によりできあがった隙間を前記隙間部(60)として形成することを特徴とするモールドパッケージの製造方法。 A mold package manufacturing method for manufacturing the mold package according to claim 2 or 3,
A mold release agent (80) for the mold resin (40) is disposed on a portion of the other surface (31) of the lead portion (30) that comes into contact with the gap portion (60), and the electron Connecting the part (10) and the lead part (30) to each other;
Next, the electronic component (10) and the lead part (30) connected to each other are connected to the lead part (30) on the one surface (42) and the side face (43) of the mold resin (40), respectively. Sealing with the mold resin (40) so that the one side (32) and the side surface (33) are exposed,
The mold resin (40) is peeled off from the other surface (31) of the lead part (30) at the part of the release agent (80), and a gap formed by the peeling is defined as the gap part (60). A method of manufacturing a mold package, comprising: forming a mold package.
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