JP2009017771A - 電磁アクチュエータ - Google Patents

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Abstract

【課題】電磁気的エネルギーを機械的運動エネルギーに変換する電磁石と弾性手段の連動構造によって、低電力、高出力を具現することができる電磁アクチュエータを提供する。
【解決手段】電磁アクチュエータはハウジング、コア、コイル、リターン手段及び弾性手段でなる。コアは、ハウジングの内側に装着され、ハウジングの長手方向に沿って先端がハウジングに没入している第1位置とハウジングから突出している第2位置との間で運動する。コイルは、コアの外側に円筒状に巻きつけられ、電流の印加によって、第1位置と第2位置との間でコアを運動させることができる磁場を形成する。リターン手段は、ハウジングの内側に装着され、コアを第2位置から第1位置に復帰させる。弾性手段は、ハウジングの一端とコアとの間に装着され、コアと連動するように、コアが固定的に貫通し、コアの没入の際に弾性変形して弾性エネルギーを有する。
【選択図】図3

Description

本発明は電磁アクチュエータに係り、より詳しくは電磁石の機械的運動エネルギーと弾性手段の弾性エネルギーによって低電力・高出力を具現することができる電磁アクチュエータに関するものである。
アクチュエータは、電気、油圧、圧縮空気などの多様なエネルギーを機械的運動エネルギーに変換する装置であって、多様な形態及び構造に開発されて産業現場の各分野で広範囲に活用されている。アクチュエータの一例として、電磁アクチュエータは、電磁気的エネルギーを機械的運動エネルギーに変換する。電磁アクチュエータはソレノイドアクチュエータ(Solenoid Actuator)とも言われている。
特許文献1の電磁アクチュエータは、ハウジングの内側にロッドが運動するように装着されている。ロッドの外面には、中央シリンダー(CentralCylinder)、第1及び第2末端シリンダー(End Cylinder)が装着されている。中央シリンダー、第1及び第2末端シリンダーのそれぞれの外側に円筒状に巻きつけられているメーン励磁コイル(Main Excitation Coil)、第1及び第2励磁コイルが装着されている。メーン励磁コイル、第1及び第2励磁コイルは、ワッシャによってそれぞれ分離されている。コントローラーの制御によって、メーン励磁コイル、第1及び第2励磁コイルに電流が印加されれば、中央シリンダー、第1及び第2末端シリンダーが磁化して極性を有する。ロッドは、中央シリンダー、第1及び第2末端シリンダーの極性による相互磁力作用によって作動する。
米国特許第7,227,440号明細書
しかし、前述した特許文献1の電磁アクチュエータは、中央シリンダー、第1及び第2末端シリンダー、メーン励磁コイル、第1及び第2励磁コイル、ワッシャ、スプリングなどの多数の部品で構成されるため、組立性が低下するだけでなく、生産費が上昇する問題がある。また、メーン励磁コイル、第1及び第2励磁コイルの駆動に大電力が必要になり、発熱量が大きく、小型製作が非常に困る欠点がある。
本発明は前記のような従来技術のいろいろの問題点を解決するためになされたもので、本発明の目的は、電磁気的エネルギーを機械的運動エネルギーに変換する電磁石と弾性手段の連動構造によって、低電力・高出力を具現することができる電磁アクチュエータを提供することにある。
本発明の他の目的は、簡便に小型化することができ、制御性を向上させることができる電磁アクチュエータを提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、簡単な構造によって生産性が向上し、生産費が節減される電磁アクチュエータを提供することにある。
このような目的を達成するための本発明の特徴は、一端を有するハウジングと;前記ハウジングの内側に装着されており、前記ハウジングの長手方向に沿って先端が前記ハウジングに没入している第1位置と前記ハウジングから突出している第2位置との間で運動するコアと;前記コアの外側に円筒状に巻きつけられており、電流の印加によって前記第1位置から前記第2位置に前記コアを運動させることができる磁場を形成するコイルと;前記ハウジングの内側に装着されており、前記コアを前記第2位置から前記第1位置に復帰させるリターン手段と;前記ハウジングの一端と前記コアとの間に装着されており、前記コアと連動するように前記コアが固定的に貫通し、前記コアの没入の際に弾性変形して弾性エネルギーを有する弾性手段と;を含む電磁アクチュエータにある。
本発明の他の特徴は、一端を有するハウジングと;前記ハウジングの内側に装着されており、前記ハウジングの長手方向に沿って先端が前記ハウジングに没入している第1位置と前記ハウジングから突出している第2位置との間で運動し、永久磁石でなるコアと;前記ハウジングの内面に固定されており、前記コアの外側に円筒状に巻きつけられ、電流の印加によって、前記第1位置と前記第2位置との間で前記コアを運動させることができる磁場を形成するコイルと;前記ハウジングの一端と前記コアとの間に装着されており、前記コアと連動するように前記コアが固定的に貫通し、前記コアの没入の際に弾性変形して弾性エネルギーを有する弾性手段と;を含む電磁アクチュエータにある。
以上説明したように、本発明による電磁アクチュエータによれば、電磁気的エネルギーを機械的運動エネルギーに変換する電磁石と弾性手段の連動構造によって、低電力、高出力の駆動を具現することができ、簡便に小型化することができ、コアの運動力に対する分解能を高めてコアの制御性を向上させることができる。また、簡単な構造によって生産性が向上して、生産費が大きく節減される効果がある。
本発明のその他の目的、特定の利点、及び新規の特徴は、添付図面を参照する以下の詳細な説明及び好ましい実施例からより明らかになるであろう。
以下、本発明による電磁アクチュエータの好ましい実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。
まず、図1〜図3を参照すれば、本発明の電磁アクチュエータは、外観(外装)を構成するハウジング10を備える。ハウジング10は、本体12、第1カバー14及び第2カバー16で構成されている。本体12の横断面は、中空の空間12aを有する六角形に形成され、一端及び他端は開放されている。本体12の横断面は六角形に形成されたものを示して説明するが、これは例示的なものに過ぎず、多角形、楕円形、円形などの多様な形状に形成できる。使用者の皮膚、例えば手、指はハウジング10の一端に接近している。第1及び第2カバー14、16は、本体12の両端に、空間12aを閉塞するように、装着されている。第1カバー14には孔14aが形成されている。ハウジング10の本体12、第1及び第2カバー14、16は、磁性体、例えば鋼を素材として製作される。
図1〜図4を参照すれば、ハウジング10の内側に電磁気的エネルギーを機械的運動エネルギーに変換する電磁石20が装着されている。電磁石20は、コア22とコイル24で構成されている。コア22は、ハウジング10の内側にハウジング10の長手方向に沿って運動するように装着されている。コア22は、先端がハウジング10の内側に没入している第1位置P1と第1カバー14の孔14aを通じてハウジング10の外側に突出している第2位置P2との間で運動する。コア22の横断面は、円形、多角形などの多様な形状に形成できる。コア22は、磁性体に製作されることが好ましいが、必要によって非磁性体で製作されることもできる。
コア22の先端には、細長い作動ピン22aが結合されている。作動ピン22aの先端は、第2位置P2で、第1カバー14の孔14aを通じてハウジング10の一端から突出し、第1位置P1で、第1カバー14の孔14aを通じてハウジング10に没入している。作動ピン22aは、コア22に対して分離型に構成されているものを示して説明しているが、作動ピン22aは、コア22の先端に一体型に構成されることもできる。コア22の一端に近い外面には第1フランジ22bが形成され、他端に第2フランジ22cが形成されている。
コイル24は、第1及び第2フランジ22b、22c間のコア22の外側に円筒状に巻きつけられており、電圧が印加されることによってコイル24を流れる電流により磁場を形成する。コイル24は、本体12の外面に装着されたコネクター26に連結されている。コネクター26はコイル24に印加される電流を制御する制御手段で、コントローラー28、マイクロプロセッサー、コンピューターなどに連結されている。
本発明の電磁アクチュエータは、電磁石20のコア22を第2位置P2から第1位置P1に復帰させるリターン手段30を備えている。リターン手段30は、電磁石20のコア22が第2位置P2から第1位置P1、つまり初期位置に復帰するように磁力を提供する磁石32で構成されている。磁石32は、コア22と整列するように第2カバー16の一面に装着されている。磁石32の極性は、磁場の形成によってコア22が帯びる極性に対して斥力を発生するように構成されている。
図2〜図4に示すように、本発明の電磁アクチュエータは、コア22の運動を直線運動に案内するリニアモーションガイド40を備えている。リニアモーションガイド40は、ハウジング10の内側に装着され、コア22の一端が貫通するガイド孔42を有する。リニアモーションガイド40の横断面は、ハウジング10の内側での回転を防止するために、ハウジング10の横断面と対応する六角形に形成されている。電磁石20のリターン手段30は、コア22の第2フランジ22bとリニアモーションガイド40との間に装着されるリターンスプリングで構成できる。
図2〜図5、図6(A)〜(E)、及び図7(A)〜(F)を参照すれば、本発明の電磁アクチュエータは、ハウジング10の一端と電磁石20との間に装着される弾性手段50を備える。弾性手段50は、ハウジング10の内側に作動ピン22aが没入するとき、弾性変形して弾性エネルギーを有する。弾性手段50は、一つ以上の弾性プレート52で構成されている。弾性プレート52は、合成ゴム、弾性力を有するプラスチック、スプリング板などで製造できる。弾性プレート52の中央には孔52aが形成され、孔52aの周囲には、弾性プレート52が円滑に弾性変形するように、スロット52bが形成されている。弾性プレート52は、スロット52bの形成によって、第2フランジ22bの周囲に弾性変形部52cを有する。弾性プレート52の孔52aに作動ピン22aが固定的に貫通している。したがって、弾性プレート52は作動ピン22aと連動する。作動ピン22aが弾性プレート52と連動するように、孔52aに固定されているものを示して説明しているが、作動ピン22aが除去される場合、コア22が弾性プレート52の孔52aに締まりばめしてもよい。
図6(A)〜(E)及び図7(A)〜(D)は、弾性プレート52のスロット52bが孔52aの周囲に弾性変形部52cを形成するように螺旋状に形成されているものを例示している。図7(E)は、弾性プレート52のスロット52bが孔52aの周囲に弾性変形部52cを形成するようにジグザグに形成されているものを例示している。図7(F)に示す弾性プレート52の弾性変形部52cは、孔52aの周囲に放射状に伸びているリブ状に形成され、スロット52bは弾性変形部52c間に孔形状に形成されている。図6(A)〜(E)に示す孔52aの周囲は、弾性変形部52cによって一点支持されている。図7(A)〜(E)に示す孔52aの周囲は、弾性変形部52cによって二点支持されている。図7(F)に示す孔52aの周囲は弾性変形部52cによって三点支持されている。
図2〜図5を参照すれば、弾性プレート52は、単層又は複層に積層することができる。複数の弾性プレート52は間隔を置いて積層されている。磁石32の引力は積層されている弾性プレート52が保有する弾性力より大きい。したがって、磁石32の引力によって、コア22は弾性プレート52の弾性力を克服して、第2位置P2から第1位置P1に円滑に復帰する。図6(A)〜(E)に示す孔52aの周囲が弾性変形部52cによって一点支持されている場合、複数の弾性プレート52のそれぞれは、弾性変形部52cがそれぞれの孔52aを中心に放射状に等間隔で積層されている。弾性プレート52の弾性変形部52cが放射状に等間隔で配列されることにより、作動ピン22aの正確な直線運動が具現される。弾性変形部52cの二点又は三点支持構造の場合にも、複数の弾性プレート52は、弾性変形部52cが放射状に等間隔を有するように積層される。
図2〜図5をさらに参照すれば、メーンスペーサ60が弾性プレート52間の間隔を維持するために装着されている。メーンスペーサ60には、作動ピン22aが貫通する孔60aが形成されている。メーンスペーサ60は、弾性プレート52の外縁を支持するリングの形状に形成されている。メーンスペーサ60は、弾性変形部52cの弾性変形を許すように、弾性プレート52の一面又は両面の外縁に環状に突出する突出部で構成できる。図2に示すように、弾性プレート52とメーンスペーサ60のそれぞれの横断面は、本体12の横断面と一致する六角形に形成されている。リニアモーションガイド40、弾性プレート52及びメーンスペーサ60は、本体12の空間12aに締まりばめされるか、あるいは固定手段、例えば接着剤、エポキシ樹脂によって固定できる。
弾性手段50の弾性プレート52は、ハウジング10の一端とリニアモーションガイド40との間に配置されている。弾性プレート52のうち、最下層の弾性プレート52とリニアモーションガイド40との間に、間隔の維持のために、サブスペーサが装着されている。サブスペーサ62の孔62aに作動ピン22aが貫通している。
これから、このような構成を有する本発明による電磁アクチュエータの作用を説明する。
図1、図2及び図8を参照すれば、コントローラー28の制御によって、電磁石20のコイル24に印加された電流が遮断されれば、磁性体、例えば鋼で製作されたコア22は磁石32の引力を受けて磁石32に付き、作動ピン22aは第1カバー14の孔14aを通じてハウジング10の内側に没入することになる。コア22が磁石32に付いている第1位置P1で、弾性プレート52の弾性変形部52cは弾性変形して弾性エネルギーを保有する。
図2及び図9を参照すれば、コントローラー28の制御によって、電磁石20のコイル24に電流が印加されて磁場が形成され、磁場の形成によって、コア22が磁石32の斥力を受ける極性を帯びるように磁化する。すなわち、磁石32がN極の磁力を発生する場合、コア22はN極を帯びるように磁化する。
コア22と磁石32の相互磁力作用によって、コア22は第1位置P1から第2位置P2に運動する。コア22はリニアモーションガイド40のガイド孔42に沿って直線運動し、コア22と作動ピン22aが共に直線運動する。ハウジング10の本体12が鋼で製作された場合、本体12は磁場によって磁化しながらコア22と磁石32の相互磁力作用を増大させる。一方、作動ピン22aの先端は、電磁石20のコイル24に印加されている電流が遮断されれば、第1カバー14の孔14aを通じて没入し、コア22は磁石32の引力によって第2位置P2から第1位置P1に復帰する。
ついで、作動ピン22aの直線運動と連動して、弾性プレート52の弾性変形部52cは弾性エネルギーによって復元されながら作動ピン22aの運動力を増大させる。このように、コア22と磁石32間の斥力と弾性プレート52の弾性エネルギーによって作動ピン22aの運動力が増大されるので、電磁石20の低電力駆動が可能である。また、電磁石20の低電力駆動によっても作動ピン22aの高出力が可能であるので、本発明の電磁アクチュエータを簡便に小型化することができる。
電磁石20のコア22が第2位置P2に到達すれば、作動ピン22aの先端は第1カバー14の孔14aを通じて突出し、突出した作動ピン22aの先端と接触する機械要素、物体などは作動ピン22aの運動力を受ける。電磁石20と弾性手段50の連動によっては、作動ピン22aの運動力に対する分解能を高めて作動ピン22aの制御性を向上させることができる。コントローラー28は、コイル24に印加される電流の周期と強度を制御してコア22の作動を制御することができる。
一方、電磁石20のコア22が非磁性体で製作される場合、非磁性体のコア22は、コイル24に電流が印加されれば、磁化して磁石32の引力によって磁石32に引っ付く。非磁性体のコア22は、コイル24に印加された電流が遮断されれば、弾性手段50の弾性エネルギーによって磁石32から離れて第1位置P1から第2位置P2に運動する。
このように、本発明の電磁アクチュエータは、低電力、高出力及び小型化によって、仮想現実、シミュレーション(Simulation)、着用コンピューター(Wearable Computers)、ロボット工学(Robotics)、医療用などの多様な分野に活用される触覚装置(Haptic Device)、微細電気機械システム(Micro Electro Mechanical System;MEMS)、超精密位置決め装置、微細測定装置などの広範囲な分野に応用できる。
図10及び図11は本発明による電磁アクチュエータの第2実施例を示す。図10及び図11を参照すれば、第2実施例の電磁アクチュエータは、ハウジング10、電磁石120、リニアモーションガイド40、弾性手段50及びメーンスペーサ60で構成されている。第2実施例の電磁アクチュエータのハウジング10、リニアモーションガイド40、弾性手段50及びメーンスペーサ60は第1実施例の電磁アクチュエータのハウジング10、リニアモーションガイド40、弾性手段50及びメーンスペーサ60と同様に構成されているので、同一符号を付け、それについての詳細な説明は省略する。
第2実施例の電磁アクチュエータの電磁石120のコア122は永久磁石でなっている。コア122の先端は作動ピン122aの孔122bに結合されており、作動ピン122aは鋼で製作されている。作動ピン122aは、コア122の先端に一体型に構成されることができる。この場合、作動ピン122aは、コア122と同一の永久磁石で製作できる。電磁石120のコイル124はハウジング10の内側に固定され、円筒状に巻きつけられている。円筒状コイル124の内側には、コア122が運動するように収容されている。
このような構成を有する第2実施例の電磁アクチュエータは、電磁石120のコイル124に電流が印加されれば、コイル124の周囲に磁場が形成される。磁場の極性とコア122の極性による相互磁力作用によって、コア122は第1位置P1から第2位置P2に運動する。コア122はリニアモーションガイド40のガイド孔42に沿って直線運動し、コア22と作動ピン22aが共に直線運動する。電磁石120のコア122が第2位置P2に到達すれば、作動ピン122aの先端は第1カバー14の孔14aを通じて突出し、突出する作動ピン122aの先端に接触する機械要素、物体などは作動ピン122aの運動力を受ける。
電磁石120のコイル124に印加された電流が遮断されれば、磁場が消滅する。磁場の消滅の際、第2カバー16とコア122との間にコア122の磁力によって引力が作用し、コア122は第2位置P2から第1位置P1に運動して第2カバー16に引っ付くことになる。また、作動ピン122aは第1カバー14の孔14aを通じてハウジング10の内側に没入することになる。コア122が第2カバー16に付いている第1位置P1で弾性プレート52の弾性変形部52cは弾性変形して弾性エネルギーを保有する。
以上は本発明の好ましい実施例を説明したもので、本発明の権利範囲は前述した実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想と特許請求範囲内でこの分野の当業者によって多様な変更、変形又は置換が可能であり、そのような実施例は、本発明の範囲に属するものと理解しなければならない。
本発明は、電磁気的エネルギーを機械的運動エネルギーに変換する電磁石と弾性手段の連動構造によって、低電力・高出力を具現する電磁アクチュエータに適用可能である。
本発明による電磁アクチュエータの第1実施例の構成を示す斜視図である。 本発明による電磁アクチュエータの構成を分離して示す断面図である。 本発明の電磁アクチュエータにおいて、アクチュエータ、弾性手段、リニアモーションガイド、弾性手段及びメーンスペーサが分解されている構成を示す斜視図である。 本発明の電磁アクチュエータにおいて、アクチュエータ、タッチピン、弾性手段、リニアモーションガイド、弾性手段及びメーンスペーサが組み立てられている構成を示す斜視図である。 本発明の電磁アクチュエータにおいて、弾性手段とメーンスペーサの構成を部分的に示す断面図である。 本発明の電磁アクチュエータにおいて、弾性手段の構成を部分的に示す平面図である。 本発明の電磁アクチュエータにおいて、弾性手段の構成を部分的に示す平面図である。 本発明の電磁アクチュエータにおいて、タッチピンがハウジングの内側に没入している構成を説明する作動図である。 本発明の電磁アクチュエータにおいて、タッチピンがハウジングから突出している構成を説明する作動図である。 本発明による電磁アクチュエータの第2実施例構成を分離して示す斜視図である。 本発明による第2実施例の電磁アクチュエータの構成を示す断面図である。
符号の説明
10 ハウジング、12 本体、12a 空間、14 第1カバー、14a 孔、16 第2カバー、20,120 電磁石、22,122 コア、22a,122a 作動ピン、22b 第1フランジ、22c 第2フランジ、26 コネクター、28 コントローラー、124 コイル、30 リターン手段、32 磁石、40 リニアモーションガイド、42 ガイド孔、50 弾性手段、52 弾性プレート、52a 孔、52b スロット、52c 弾性変形部、60 メーンスペーサ、60a 孔、62 サブスペーサ、62a 孔、P1 第1位置、P2 第2位置。

Claims (17)

  1. 一端を有するハウジングと;
    前記ハウジングの内側に装着されており、前記ハウジングの長手方向に沿って先端が前記ハウジングに没入している第1位置と前記ハウジングから突出している第2位置との間で運動するコアと;
    前記コアの外側に円筒状に巻きつけられており、電流の印加によって前記第1位置から前記第2位置に前記コアを運動させることができる磁場を形成するコイルと;
    前記ハウジングの内側に装着されており、前記コアを前記第2位置から前記第1位置に復帰させるリターン手段と;
    前記ハウジングの一端と前記コアとの間に装着されており、前記コアと連動するように前記コアが固定的に貫通し、前記コアの没入の際に弾性変形して弾性エネルギーを有する弾性手段と;を含むことを特徴とする、電磁アクチュエータ。
  2. 前記ハウジングは、
    前記コア、前記コイル、前記リターン手段と前記弾性手段が装着される空間を有する本体と;
    前記ハウジングの一端に装着されており、前記コアが通過することができる孔が形成されている第1カバーと;
    前記ハウジングの他端に装着されている第2カバーと;を含んでなることを特徴とする、請求項1に記載の電磁アクチュエータ。
  3. 前記リターン手段は、前記コアの後端に近づいて装着されている磁石でなり、前記磁石の極性は前記磁場によって前記コアが帯びる極性に対して斥力を発生するように構成されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の電磁アクチュエータ。
  4. 前記アクチュエータは、前記コアの運動を直線運動に案内するために、前記ハウジングの内側に装着されているリニアモーションガイドをさらに含み、前記リニアモーションガイドは、前記コアが挿入されて案内されるガイド孔を有することを特徴とする、請求項3に記載の電磁アクチュエータ。
  5. 前記弾性手段は、前記ハウジングの一端と前記リニアモーションガイドとの間に配置されており、前記弾性手段と前記リニアモーションガイドとの間に、間隔の維持のために、前記コアが貫通するサブスペーサが装着されていることを特徴とする、請求項4に記載の電磁アクチュエータ。
  6. 前記弾性手段は弾性プレートでなり、前記弾性プレートは、前記コアが固定的に貫通する孔を有し、前記弾性プレートの孔の周囲に、前記弾性プレートの弾性変形のために、スロットが形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の電磁アクチュエータ。
  7. 前記コアの先端に作動ピンが構成され、前記作動ピンは、前記ハウジングの一端に出没できるように、前記弾性プレートの孔に固定的に貫通していることを特徴とする、請求項6に記載の電磁アクチュエータ。
  8. 前記弾性プレートは複数が積層されており、前記複数の弾性プレートの間には、間隔の維持のために、メーンスペーサがそれぞれ介設されていることを特徴とする、請求項7に記載の電磁アクチュエータ。
  9. 前記複数の弾性プレートのそれぞれは、前記スロットの形成によって、前記孔の周囲に一点支持される弾性変形部を有し、前記複数の弾性プレートのそれぞれは、前記孔を中心に前記弾性変形部が等間隔を有するように積層されていることを特徴とする、請求項8に記載の電磁アクチュエータ。
  10. 一端を有するハウジングと;
    前記ハウジングの内側に装着されており、前記ハウジングの長手方向に沿って先端が前記ハウジングに没入している第1位置と前記ハウジングから突出している第2位置との間で運動し、永久磁石でなるコアと;
    前記ハウジングの内面に固定されており、前記コアの外側に円筒状に巻きつけられ、電流の印加によって、前記第1位置と前記第2位置との間で前記コアを運動させることができる磁場を形成するコイルと;
    前記ハウジングの一端と前記コアとの間に装着されており、前記コアと連動するように前記コアが固定的に貫通し、前記コアの没入の際に弾性変形して弾性エネルギーを有する弾性手段と;を含むことを特徴とする、電磁アクチュエータ。
  11. 前記ハウジングは、
    前記コア、前記コイル及び前記弾性手段が装着される空間を有する本体と;
    前記ハウジングの一端に装着されており、前記コアが通過することができる孔が形成されている第1カバーと;
    前記ハウジングの他端に装着されている第2カバーと;を含んでなることを特徴とする、請求項10に記載の電磁アクチュエータ。
  12. 前記ハウジングの第2カバーは、前記永久磁石でなる前記コアが前記磁場の消滅の際、前記コアが引力によって引っ付くように鋼でなることを特徴とする、請求項11に記載の電磁アクチュエータ。
  13. 前記アクチュエータは、前記コアの運動を直線運動に案内するために、前記ハウジングの内側に装着されているリニアモーションガイドをさらに含み、前記リニアモーションガイドは、前記コアが挿入されて案内されるガイド孔を有することを特徴とする、請求項12に記載の電磁アクチュエータ。
  14. 前記弾性手段は、前記ハウジングの一端と前記リニアモーションガイドとの間に配置され、前記弾性手段と前記リニアモーションガイドとの間に、間隔の維持のために、前記コアが貫通するサブスペーサが装着されることを特徴とする、請求項10に記載の電磁アクチュエータ。
  15. 前記弾性手段は弾性プレートでなり、前記弾性プレートは前記コアが固定的に貫通する孔を有し、前記弾性プレートの孔の周囲に、前記弾性プレートの弾性変形のために、スロットが形成されることを特徴とする、請求項10に記載の電磁アクチュエータ。
  16. 前記コアの先端に作動ピンが構成され、前記作動ピンは、前記ハウジングの一端に出没できるように、前記弾性プレートの孔に固定的に貫通していることを特徴とする、請求項15に記載の電磁アクチュエータ。
  17. 前記複数の弾性プレートのそれぞれは、前記スロットの形成によって前記孔の周囲に一点支持される弾性変形部を有し、前記複数の弾性プレートのそれぞれは、前記孔を中心に前記弾性変形部が等間隔を有するように積層されていることを特徴とする、請求項16に記載の電磁アクチュエータ。
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