JP2009014097A - 静圧軸受パッド - Google Patents

Abstract

【課題】ハウジングとパッド部材との間の剥離および接着剤の給気溝への入り込みを防止し、安定した軸受性能を得る静圧軸受パッドを提供する。
【解決手段】この静圧軸受パッドは、静圧軸受を形成する軸受面を含み内部に給気孔３が形成されているパッド部材１と、接着剤によってパッド部材１と接着されているハウジング２とを備える。パッド部材１に圧縮気体を供給するための給気溝４は、ハウジング２のパッド部材１に接着している面において、給気孔３の配置に対応するように形成されている。接着剤を介在させてハウジング２とパッド部材１とが接着している接着部１１、１２と、給気溝４との間には、接着剤逃げ溝７、８が形成されている。接着剤逃げ溝７、８は、ハウジング２のパッド部材１に接着している面において、給気溝４に沿って形成されている。
【選択図】図２

Description

この発明は、静圧軸受パッドに関し、特に、対向する面との間の隙間に供給される圧縮気体の静圧によって可動部を支持する、静圧軸受パッドに関する。

従来、回転体の支持に転がり軸受を使用してきた分野において、高速高精度回転・低騒音・低振動・長寿命などを実現するために、静圧気体軸受を採用する例が増えている。

たとえば、医療診断用撮像の分野におけるＣＴスキャナにおいて、回転ガントリの回転スピードの向上、回転時の静粛化、支持部の磨耗防止などのために、可動部を支持する軸受として、パッド型の静圧空気軸受（静圧軸受パッド）が用いられる。また精密工作機械や半導体露光装置においても、加工工具や被加工物の高精度な位置決め、支持部の磨耗防止などのために、静圧軸受パッドが用いられる。静圧軸受パッドは、可動部および固定部からなる一対の対向面の少なくとも一方に取り付けられ、静圧軸受パッドに形成されたノズルまたは絞り孔から対向する面に向かって加圧流体を噴出し、静圧軸受を形成している。

このような静圧軸受パッドの構造は、たとえば特許文献１で提案されている。特許文献１では、多孔質の軸受部材と、軸受部材に加圧空気を供給するための空気溝が刻設されたハウジングとを備え、軸受部材とハウジングとは、軸受部材の外周面、および、ハウジングの空気溝間に形成された隆起面において、接着剤で接着されている、静圧軸受パッドが開示されている。
特開昭６３−２３１０２０号公報

上記の従来技術においては、空気溝間の隆起面に塗布された接着剤が、軸受部材とハウジングとを接着するときに横方向の空気溝にはみ出し、はみ出した接着剤が空気溝を塞ぐ場合があった。その結果、多孔質の軸受部材への加圧空気の供給状態が不均一となり、本来の静圧軸受の性能が発揮できない場合があった。

また、空気溝間の隆起面の面積が小さいために、隆起面における接着剤の塗布量が少ない場合には、加圧流体の圧力および温度変化によって発生する内部応力が接着剤の薄い部分を劣化させ、そのためハウジングと軸受部材との間において剥離が発生する場合があった。

それゆえに、この発明の主たる目的は、ハウジングと軸受部材（以下、本発明ではパッド部材と称する）との間の剥離を防止し、かつ空気溝（以下、本発明では給気溝と称する）に対して接着剤が入り込むことを防止し、安定した軸受性能を得ることを可能とする、静圧軸受パッドを提供することである。

この発明に係る静圧軸受パッドは、圧縮気体の静圧によって回転体を支持する静圧軸受パッドであって、静圧軸受を形成する軸受面を含むパッド部材と、接着剤によってパッド部材と接着されているハウジングとを備える。接着剤を介在させてハウジングとパッド部材とが接着している接着部と、パッド部材に圧縮気体を供給するための給気路との間に、接着剤逃げ溝が形成されている。接着剤逃げ溝は、ハウジングのパッド部材に接着している面と連なる面と、パッド部材のハウジングに接着している面と連なる面との、少なくともいずれか一方に形成されている。

この場合は、パッド部材とハウジングとを接着するとき接着部からはみ出した余分な接着剤は、接着部と給気路との間に形成されている接着剤逃げ溝の内側へ流れる。これにより、接着時に接着剤が給気路に入り込むことを防止し、静圧軸受パッドの性能低下を防止することができる。接着剤逃げ溝は、ハウジングとパッド部材とのいずれか一方に形成されていてもよく、両方に形成されていてもよい。

接着剤逃げ溝は、接着部と同一の平面または曲面に形成されていてもよい。また接着剤逃げ溝は、ハウジングとパッド部材とが互いに面接触している面であって、ハウジングとパッド部材とが接着している接着部と、ハウジング側の給気路とパッド部材側の給気路との接続箇所と、の間に存在する面（すなわち、ハウジングとパッド部材との接着している面と連なる面）内であれば、接着部と異なる面に形成されてもよい。つまり、ハウジング側の給気路とパッド部材側の給気路との接続箇所が接着部と異なる面内に存在する場合、接着剤逃げ溝は、ハウジング側の給気路とパッド部材側の給気路との接続箇所と同一の面に形成されてもよい。

上記静圧軸受パッドにおいて好ましくは、給気路は、ハウジングのパッド部材に接着している面と連なる面と、パッド部材のハウジングに接着している面と連なる面との、少なくともいずれか一方に形成されている、給気溝を含む。この場合は、ハウジングとパッド部材とが面接触している一または複数の面の内いずれかの面において、接着部と給気溝との間に接着剤逃げ溝が形成されていることによって、接着時に接着剤が給気溝に入り込むことを防止し、静圧軸受パッドの性能低下を防止することができる。

また好ましくは、パッド部材は、内部に複数個の給気孔が、給気溝から軸受面に到達するように形成されている、中実体である。この場合は、パッド部材の内部に形成されている給気孔を、たとえば矩形状、円形状など、パッド部材の軸受面の形状に合わせて、軸受面の平面形状の外周部に配置することができる。給気孔の配置と対応するように、ハウジングとパッド部材とのいずれかに給気溝を形成すれば、パッド部材に圧縮気体を供給することができる。

パッド部材が多孔体である場合、軸受面に均一に給気するためには、パッド部材全体に均一に給気する必要がある。その場合、ハウジングとパッド部材との接触面に多数の給気溝を形成する必要があり、そのため接着部の面積が小さくなっていた。その結果、圧縮気体の圧力などによって発生する内部応力によって、接着部の剥離が発生しやすかった。これに対し、パッド部材を中実体とすると、給気孔に対応して給気溝を形成するのみでよいため、大面積の接着部を確保することができるので、ハウジングとパッド部材との剥離の発生を防止することができる。

上記静圧軸受パッドにおいて好ましくは、接着剤逃げ溝は、給気溝に沿って形成されている。この場合は、給気溝の近傍において、給気溝の延在方向と接着剤逃げ溝の延在方向とを略同一の方向とするように、接着剤逃げ溝を形成することができる。そのため、接着部の面積をより大きくすることができる。

また好ましくは、接着剤逃げ溝は、接着部を複数に分割するように形成されている。接着部の面積が大きいと、ハウジングとパッド部材とを接着するときに接着剤が接着部の全体に広がらず、接着性能が低下する場合がある。このため、接着剤逃げ溝によって接着部を複数に分割することにより、接着剤を接着部の全体に広がりやすくすることができる。

また好ましくは、ハウジングの内部に、接着剤逃げ溝と外部空間とを連通する排気孔が形成されており、排気孔の外部空間側の開口部を封止する封止体をさらに備える。この場合は、ハウジングとパッド部材とを接着するときに、排気孔を通して空気を排出することができる。そのため、接着部に気泡が残存することによる接着性能の低下を防止することができる。また、接着後に排気孔の外部空間側の開口部を封止することによって、外部への接着剤の漏れや、排気孔を通じた静圧軸受パッド内部への異物混入を防止することができる。

この発明の静圧軸受パッドによれば、ハウジングとパッド部材との間の剥離を防止し、かつ給気路に接着剤が入り込むことを防止することができるので、安定した軸受性能を得ることができる。

以下、図面に基づいてこの発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。

図１は、この発明の静圧軸受パッドの平面図である。図２は、図１に示すＩＩ−ＩＩ線による断面における静圧軸受パッドの断面図である。図１および図２に示すように、この静圧軸受パッドは、カーボンの中実体からなるパッド部材１と、表面に形成された凹部にパッド部材１を収容するハウジング２と、ハウジング２においてパッド部材１を収容する側と反対側の背後側からハウジング２を支持するボールスタッド６と、によって構成されている。

図２に示すように、パッド部材１の軸受面を形成する表面は、回転体の外周部の曲率に合わせた曲率を有する、曲面として形成されている。また図２に示すように、パッド部材１の内部には、複数個の給気孔３が、給気溝４から曲面の軸受面に到達するように、形成されている。給気孔３は、図１に示すように、平面形状矩形のパッド部材１に合わせて、パッド部材１の外周部付近において矩形状に配置されている。パッド部材１は、金属材料により成形されてもよく、その場合、パッド部材１が誤って回転体に接触したときの焼付きの発生を防止するために、軸受面を形成する金属表面に潤滑性のある表面処理を施して使用してもよい。

図２に示すように、ハウジング２の表面に形成された凹部には、給気溝４が形成されている。給気孔３は、給気溝４に連結している。圧縮気体は、外部に設けられた図示しない圧縮気体源から、給気口５、給気溝４へと順に導かれ、さらに給気孔３の軸受面における絞られた開口部から噴出するように、供給される。

ハウジング２の背後側には、球面形状またはテーパ状の凹み部が形成されている。凹み部には、ボールスタッド６の球状の先端部が挿入されている。後述するように、たとえばボールスタッド６の基部を非回転部に固定し、パッド部材１の軸受面を回転部に対向するように配置して回転部を非接触支持する場合、ボールスタッド６によって、静圧軸受パッドは非回転部に対して揺動可能に結合されている。つまり、静圧軸受パッドは、ボールスタッド６を介在させて支持されていることにより、パッド部材１が対向する回転部の位置に対して最適な角度に自動調整される。

図３は、図１に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線による断面における静圧軸受パッドの断面図である。図４は、ハウジングの平面図である。図４では、図１に示す静圧軸受パッドの平面図から、パッド部材１が除かれている状態を示す。そのため、図４では、ハウジング２の表面にパッド部材１を収容するために形成された凹部の底面に、給気溝４、接着剤逃げ溝７、８が形成されている様子が示されている。給気溝４は、給気孔３の配置された形状に合わせた形状に形成されている。つまり、給気溝４は、平面形状矩形のパッド部材１に合わせて矩形状に配置されている給気孔３の配置（図１参照）と同じく矩形状に、ハウジング２のパッド部材１と接触する面において形成されている。

ハウジング２の表面の凹部底面において、接着剤逃げ溝８が、矩形状の給気溝４の内側に形成されている。接着剤逃げ溝８は、接着部を複数に分割するように形成されている。つまり図３に示すように、パッド部材１とハウジング２とは、矩形状の給気溝４の内側では、パッド部材の接着面１１ａおよびハウジングの接着面１１ｂにおいて、接着剤を介在させて接着しており、接着部１１を構成している。接着剤逃げ溝８は、ハウジングの接着面１１ｂと給気溝４との間に形成されている。図４に示すように、給気溝４の内側におけるハウジングの接着面１１ｂは、接着剤逃げ溝８によって、８箇所に分割されている。

接着剤逃げ溝８がハウジングの接着面１１ｂを複数に分割していることにより、ハウジングの接着面１１ｂの面積は相対的に小さくなっている。よって、ハウジングの接着面１１ｂに塗布された接着剤は、ハウジングの接着面１１ｂの全体に広がりやすくなっている。このため、ハウジング２とパッド部材１とを接着するときに、接着剤が接着部１１の全体に広がらず接着性能が低下する不具合の発生を、防止することができる。

また、パッド部材１とハウジング２とは、給気溝４の矩形形状の外側では、パッド部材の接着面１２ａおよびハウジングの接着面１２ｂにおいて、接着剤を介在させて接着しており、接着部１２を構成している。ハウジング２の表面の、矩形状の給気溝４の外側には、接着剤逃げ溝７が形成されている。図３および図４に示すように、給気溝４の外側の接着部１２においてパッド部材１とハウジング２が接着されている場合には、給気溝４の外側の、接着部１２と給気溝４との間に、接着剤逃げ溝７を形成することができる。

たとえば、図３、図４に示す、給気溝４と、ハウジング２の表面に形成された凹部周壁との間隔が、給気溝４の幅の２倍以上である場合には、接着部１２に塗布された余分な接着剤が給気溝４に入り込むことを防止するために、接着剤逃げ溝７を形成することができる。図４では接着剤逃げ溝７は図の左右側にのみ形成された例を示しているが、図４の上下側における給気溝４の外側にも接着部が設けられる場合には、給気溝４の図４の上下側における外側にも接着剤逃げ溝が形成される。

接着剤逃げ溝７、８は、給気溝４に沿って形成されている。つまり、給気溝４の近傍において、給気溝４の延在方向と接着剤逃げ溝７、８の延在方向とを略同一の方向とする（すなわち、給気溝４と接着剤逃げ溝７、８とは、略平行となる）ように、接着剤逃げ溝７、８は形成されている。たとえば、図４に示すように、接着剤逃げ溝７は、給気溝４と隙間９を隔てて形成されている。接着剤逃げ溝７と給気溝４との間隔（すなわち、隙間９の幅方向の寸法）が、給気溝４の幅以下となるように、接着剤逃げ溝７を形成することができる。このように接着剤逃げ溝７、８が給気溝４に沿って形成されていることにより、接着部１１、１２の面積をより大きくすることができるので、ハウジング２とパッド部材１との剥離の発生を防止することができる。

以上説明したように、この静圧軸受パッドでは、接着部１１、１２と給気溝４との間に接着剤逃げ溝７、８が形成されているために、パッド部材１とハウジング２とを接着するとき接着部１１、１２からはみ出した余分な接着剤は、接着剤逃げ溝７、８の内側へ流れる。これにより、パッド部材１とハウジング２との接着時に接着剤が給気溝４に入り込むことを防止し、静圧軸受パッドの性能低下を防止することができるので、安定した軸受性能を得ることができる。

また、パッド部材１の給気孔３の配置に対応して給気溝４が形成されているため、ハウジング２のパッド部材１と接触する面における、パッド部材１に圧縮気体を供給するための給気溝４が形成されている面積は小さい。さらに、接着剤逃げ溝７、８は、給気溝４に沿って形成されている。これにより、大面積の接着部１１、１２を確保することができるので、静圧軸受パッドの運転中のハウジング２とパッド部材１との剥離の発生を防止することができる。

図５は、図４に示すＶ−Ｖ線による断面におけるハウジングの断面図である。図４および図５に示すように、接着剤逃げ溝７、８には、排気孔１０が設けられている。排気孔１０は、接着剤逃げ溝７、８それぞれの少なくとも一箇所に設けられていればよい。排気孔１０は、ハウジング２の内部に形成された排気孔１３に連通する。排気孔１３はさらに、ハウジング２の背後側に到達するように形成されている。排気孔１３のハウジング２の背後側における開口部には、タップ加工が施されている。排気孔１３の上記開口部には、封止体としてのボルト１４が螺合している。ボルト１４は、排気孔１３のハウジング２の背後側に形成された開口部を塞ぐように、設けられている。

パッド部材１とハウジング２とを接着するときには、ボルト１４は排気孔１３の開口部に取り付けられていない。排気孔１３は、ハウジング２の背後側の開口部において、外部空間に連通している。このため、パッド部材１とハウジング２とを接着するときに、接着剤逃げ溝７、８から排気孔１０、１３を経由して、空気を外部に排出することができる。これにより、接着部に空気が残存し気泡を形成して接着部１１、１２に接着剤が塗布されている接着面積を低減させて、パッド部材１とハウジング２との接着性能を低下させる不具合の発生を防止することができる。

パッド部材１とハウジング２とを接着した後は、ボルト１４を排気孔１３の開口部のタップ加工部に螺合させることにより、排気孔１３は外部から遮断される。つまり、接着剤逃げ溝７、８は、外部空間と連通していないことになる。よって、接着剤の外部への漏れを防止することができる。また、排気孔１０、１３を経由して外部から静圧軸受パッド内部へごみなどの異物混入を防止することができる。

排気孔１３の開口部の止め栓として機能する封止体は、ボルト１４に限られない。たとえば、排気孔１３の開口部に樹脂などの封止部材を充填することによって、パッド部材１とハウジング２とを接着した後に排気孔１３の開口部を塞ぎ、排気孔１３を外部空間と遮断してもよい。

次に、上記の静圧軸受パッドを使用した回転装置の例について説明する。図６は、回転装置の一例としてのＣＴスキャナの構成を示す模式図である。図６に示すように、ＣＴスキャナは、非回転部２１と、回転体としての回転軸２２とを備える。非回転部２１の四隅には、テーブル支柱２１ａが設置されている。回転軸２２を半径方向に支持する複数の静圧軸受パッド２３は、傾いて設置されているテーブル支柱２１ａ上に設置されたテーブルベース２１ｂ上に固着された直動案内２１ｃ上に、直動案内２１ｃに沿って移動可能なように組み込まれている。

回転軸２２は、図の手前側に突き出した突き出し部を含み、先端面２２ａおよび外周面２２ｃは突き出し部を構成する。突き出し部の外周面２２ｃは、回転軸２２の軸方向に延在する、円筒形状を有する。突き出し部の基部は、フランジ状に形成された円環形状のベアリングレース２２ｂに固定されている。回転軸２２は、突き出し部およびベアリングレース２２ｂによって構成されている。

回転軸２２は、非回転部２１に固定された、複数の静圧軸受パッド２３によって支持されている。静圧軸受パッド２３は、突き出し部の外周面２２ｃにおいて、回転軸２２を半径方向に支持している。つまり、外部から供給された圧縮気体は、給気孔３の先端の絞られた開口部から回転軸２２の突き出し部の外周面２２ｃに向けて噴出する。静圧軸受パッド２３のパッド部材１の軸受面は、外周面２２ｃと同じ、または、パッド部材１と外周面２２ｃとの間の軸受隙間分だけ大きな曲率半径を有する。

静圧軸受パッド２３のパッド部材１と外周面２２ｃとの間の軸受隙間に供給された高圧の圧縮気体によって、軸受隙間に流体膜が形成され、その流体膜によって負荷を支える、静圧気体ジャーナル軸受が形成されている。静圧気体ジャーナル軸受によって、回転軸２２は半径方向に非接触支持されている。

図６に示すように、静圧軸受パッド２３は、回転軸２２の外周面２２ｃ上の５箇所に配置されており、回転軸２２の下側に３個、上側に２個の静圧軸受パッド２３が配置されている。このように、回転軸２２および回転軸２２への搭載物による重力が作用する方向に、より多くの静圧軸受パッド２３を配置することにより、最小個数の静圧軸受パッド２３によって効率よく回転軸２２の荷重を支持することができる。なお、静圧軸受パッド２３の配置を調整するだけでなく、たとえば給気孔３の直径や個数など、静圧軸受パッド２３の他の諸元を調整することによっても同様に、最小個数の静圧軸受パッド２３によって効率よく回転軸２２の荷重を支持できる効果を得ることができる。

直動案内２１ｃの往復直進運動によって、直動案内２１ｃに固定されているボールスタッド２４も移動し、これに伴い静圧軸受パッド２３も移動する。直動案内２１ｃは、回転軸２２を半径方向に支持する静圧軸受パッド２３を移動させる、移動部材として機能している。直動案内２１ｃが静圧軸受パッド２３を異動させる方向は、回転軸２２の回転中心とボールスタッド２４とを結ぶ方向に対して交差している。そのため、静圧軸受パッド２３の移動によって、回転軸２２の回転中心とボールスタッド２４との距離、すなわち軸受隙間も変化する。静圧軸受パッド２３では、軸受隙間の変化量に対して、直動案内２１ｃが静圧軸受パッド２３を移動させる移動調整量がより大きい。よって、回転軸２２の半径方向における軸受隙間の微細な量の調整を、精度よく行なうことができる。

また回転軸２２は、ベアリングレース２２ｂにおいて、複数の静圧軸受パッド２６によって、軸方向に支持されている。静圧軸受パッド２６は、図６に示すベアリングレース２２ｂの手前側の面と、図示されていないベアリングレース２２ｂの反対面とにおいて、それぞれ複数、ベアリングレース２２ｂに対向して設置されている。静圧軸受パッド２６の、ベアリングレース２２ｂに対向する軸受面は、平面状に形成されている。

静圧軸受パッド２６には圧縮空気が供給され、供給された圧縮空気が回転軸２２のベアリングレース２２ｂの両面に向けて噴出される。静圧軸受パッド２６のパッド部材とベアリングレース２２ｂとの間の軸受隙間に供給された圧縮気体によって、静圧気体スラスト軸受が形成されている。静圧気体スラスト軸受によって、回転軸２２は軸方向に非接触支持されている。

医療診断用のＣＴスキャナにおいては、撮像される対象が配置される所定の検査領域を有する。たとえばＸ線管のような放射線源２９によって放射線ビームが生成される。放射線ビームは、コリメータ・シャッタ組立体３０を貫通する際に平行光とされる。放射線ビームは、薄い扇形状をなし、検査領域を横切って対向配置された放射線検出器３１へ照射される。撮像時には、放射線源２９が放射線ビームを放射しつつ検査領域の周りを回転し、撮像される対象（たとえば検査領域内の患者など）を通過した放射線ビーム（たとえばＸ線）は放射線検出器３１に入射し、その放射線ビームの強度などのデータが収集される。上記の放射線源２９、コリメータ・シャッタ組立体３０および放射線検出器３１は、一般に回転軸２２の突き出し部の先端面２２ａに搭載され、放射線源２９およびコリメータ・シャッタ組立体３０は放射線検出器３１と対向配置される。つまり、回転軸２２は、先端面２２ａにおいて被搭載物としての放射線源２９などを搭載し、回転する。

このように、静圧軸受パッドによって回転軸２２は軸方向および半径方向において非接触支持されている。そのため、回転軸２２の静粛な高速運転が可能である。また、非接触であるため、摩耗部もなく、メンテナンスフリーとなる。静圧軸受パッド２３、２６では、ハウジング２とパッド部材１との間の剥離を防止し、かつ給気溝４に接着剤が入り込むことを防止することができるので、安定した軸受性能を得ることができる。

以上、ＣＴスキャナの回転軸を静圧軸受パッドによって支持する例について説明したが、この発明の静圧軸受パッドは、他の大型の回転体を備える回転装置または直進案内部の非接触支持部に利用されるすべての静圧軸受パッドについて、適用することができる。また、非回転部に固定された静圧軸受パッドの軸受面が回転部と対向するように配置され、回転部を非接触支持する例について説明したが、静圧軸受パッドを回転部に固定する構造とし、非回転部の円環形状の壁面に対向するように静圧軸受パッドを配置して、回転部を半径方向に支持することも可能である。

またこれまでの説明では、給気溝４および接着剤逃げ溝７、８がハウジング２に形成された凹部の底面の同一平面上にのみ形成されていたが、この発明の静圧軸受パッドはこのような構造に限られるものではない。給気溝４、接着剤逃げ溝７、８は、パッド部材１の、ハウジング２と接触する面に掲載されていてもよく、この場合ハウジング２のパッド部材と接触する面における接着剤逃げ溝７、８と対向する位置に、排気孔１０が形成されていればよい。また、給気溝４は、ハウジング２の表面に形成された凹部の底面ではなく、壁面に形成されていてもよく、この場合接着剤逃げ溝は、当該凹部の底面または壁面のいずれに形成されていてもよい。つまり接着剤逃げ溝は、ハウジング２とパッド部材１との接着している面と連なる面である、凹部の底面または壁面のいずれかに形成されていればよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。この発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

この発明の静圧軸受パッドは、医療診断用撮像の分野におけるＣＴスキャナの回転ガントリ支持部や、工作機および測定機のテーブル支持部などに使用される静圧軸受パッドに、特に有利に適用され得る。

この発明の静圧軸受パッドの平面図である。 図１に示すＩＩ−ＩＩ線による断面における静圧軸受パッドの断面図である。 図１に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線による断面における静圧軸受パッドの断面図である。 ハウジングの平面図である。 図４に示すＶ−Ｖ線による断面におけるハウジングの断面図である。 ＣＴスキャナの構成を示す模式図である。

符号の説明

１ パッド部材、２ ハウジング、３ 給気孔、４ 給気溝、５ 給気口、６ ボールスタッド、７，８ 接着剤逃げ溝、９ 隙間、１０，１３ 排気孔、１１，１２ 接着部、１１ａ，１２ａ パッド部材の接着面、１１ｂ，１２ｂ ハウジングの接着面、１４ ボルト、２１ 非回転部、２１ａ テーブル支柱、２１ｂ テーブルベース、２１ｃ 直動案内、２２ 回転軸、２２ａ 先端面、２２ｂ ベアリングレース、２２ｃ 外周面、２３，２６ 静圧軸受パッド、２４ ボールスタッド、２９ 放射線源、３０ コリメータ・シャッタ組立体、３１ 放射線検出器。

Claims (6)

1. 圧縮気体の静圧によって回転体を支持する静圧軸受パッドであって、
   静圧軸受を形成する軸受面を含むパッド部材と、
   接着剤によって前記パッド部材と接着されているハウジングとを備え、
   前記接着剤を介在させて前記ハウジングと前記パッド部材とが接着している接着部と、前記パッド部材に前記圧縮気体を供給するための給気路との間に、接着剤逃げ溝が形成されており、
   前記接着剤逃げ溝は、前記ハウジングの前記パッド部材に接着している面と連なる面と、前記パッド部材の前記ハウジングに接着している面と連なる面との少なくともいずれか一方に形成されている、静圧軸受パッド。
2. 前記給気路は、前記ハウジングの前記パッド部材に接着している面と連なる面と、前記パッド部材の前記ハウジングに接着している面と連なる面との、少なくともいずれか一方に形成されている給気溝を含む、請求項１に記載の静圧軸受パッド。
3. 前記パッド部材は、内部に複数個の給気孔が、前記給気溝から前記軸受面に到達するように形成されている中実体である、請求項２に記載の静圧軸受パッド。
4. 前記接着剤逃げ溝は、前記給気溝に沿って形成されている、請求項２または請求項３に記載の静圧軸受パッド。
5. 前記接着剤逃げ溝は、前記接着部を複数に分割するように形成されている、請求項１から請求項４のいずれかに記載の静圧軸受パッド。
6. 前記ハウジングの内部に、前記接着剤逃げ溝と外部空間とを連通する排気孔が形成されており、
   前記排気孔の前記外部空間側の開口部を封止する封止体をさらに備える、請求項１から請求項５のいずれかに記載の静圧軸受パッド。

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