JP2009003210A - 二次高調波発生装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】SHG素子内部の熱分布に大きな偏りを生じさせず、高い波長変換効率の二次高調波発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】レーザ光を放出するレーザ光源と、前記レーザ光の二次高調波を作成するためのSHG素子と、前記レーザ光を前記SHG素子の分極方向と垂直な方向に前記SHG素子に入射するように配置するとともに前記SHG素子を前記レーザ光の光軸と垂直な方向に移動させるための駆動ユニットと、を備えた二次高調波発生装置。
【選択図】図1
【解決手段】レーザ光を放出するレーザ光源と、前記レーザ光の二次高調波を作成するためのSHG素子と、前記レーザ光を前記SHG素子の分極方向と垂直な方向に前記SHG素子に入射するように配置するとともに前記SHG素子を前記レーザ光の光軸と垂直な方向に移動させるための駆動ユニットと、を備えた二次高調波発生装置。
【選択図】図1
Description
本発明は、非線形光学結晶素子によって二次高調波が発生するように構成されたレーザ装置に関するものである。
二次高調波発生装置は、励起されたレーザ媒質から発生した基本波となるレーザ光を、LiNbO3などの強誘電体非線形結晶を周期的に分極反転させたSHG(Second Hermonic Generation)素子内を通過させることによって、半分の波長のレーザ光へ変換させる素子である。可視光や紫外光等の短波長の光を、簡便な構成で効率良く得られるため、映像用や医療用のレーザとして広く用いられている。
図6は一般的な二次高調波発生装置の構造を示す図である。レーザ媒質を電気的または光学的に励起することによってレーザ光源1から出射したレーザ光は、偏光フィルタ102によりSHG素子107の受け入れ偏光方向に対応した直線偏光に揃えられ、全反射ミラー103および出力ミラー104の間を何度も往復することにより増幅され、基本波レーザ光となり出力ミラー104から出射する。出力ミラー104から出射した基本波レーザ光はコリメートレンズ105によって平行光にされ、集光レンズ106によって、SHG素子107の端面より進入して内部に集光され、二次高調波レーザ光への変換が行われる。その後、SHG素子107の反対端面から出射したレーザ光は、変換されなかった基本波レーザ光成分が波長分割フィルタ108により取り除かれ、レーザ装置外へと出射される(例えば、特許文献1参照。)。
また図7はLiNbO3を用いて作製されたSHG素子の温度特性を示す図である。横軸に温度、縦軸は基本波レーザ光の波長1064nmから532nmへの波長変換効率を示すもので、もっとも高い波長変換効率を1として規格化した図である。この図で明らかなようにSHG素子の基本波レーザに対する波長位相整合温度範囲は±1℃以内と非常に狭い。そのため、二次高調波発生装置内ではペルチェ素子などの温度調節機構を用いてSHG素子の温度制御が行われている(例えば、特許文献2参照。)。
特開2002−164616号公報
特開平4−155320号公報
しかしながら、温度調節機構による温度制御が行われていても、基本波であるレーザ光および二次高調波が集中するSHG素子中央部ではエネルギー密度が高くなるので、周辺の光路部分と比べてSHG素子内部の熱分布に大きな偏りが生じる。そのため、SHG素子の材料の形状や屈折率の変化が起こり、光路上で部分的に位相整合波長がずれ、波長変換効率が低下するという課題を有している。
本発明は、前記従来の課題を解決するものであり、SHG素子内部の熱分布に大きな偏りを生じさせず、高い波長変換効率の二次高調波発生装置を提供することを目的とする。
前記従来の課題を解決するために、本発明の二次高調波発生装置は、レーザ光を放出するレーザ光源と、前記レーザ光の二次高調波を作成するためのSHG素子と、前記レーザ光を前記SHG素子の分極方向と垂直な方向に前記SHG素子に入射するように配置するとともに前記SHG素子を前記レーザ光の光軸と垂直な方向に移動させるための駆動ユニットと、を備えたことを特徴としたものである。
本発明の二次高調波発生装置によれば、SHG素子内の温度分布による屈折率分布や材料形状の変化に起因する光路内における位相整合波長のずれを解消し、常に高い変換効率のSHG光を出力することが可能である。
以下に本発明の二次高調波発生装置の実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
(実施の形態1)
図1は本発明の実施例における二次高調波発生装置の内部の構成を示すものである。本実施例の二次高調波発生装置はポンプレーザダイオード1と、ファイバレーザ共振器2と、コリメートレンズ3と、集光レンズ4と、SHG素子5と、ペルチェ素子6と、波長分割フィルタ7と、SHG素子を移動させる直動モータ8から構成されている。
次に本実施例の二次高調波発生装置の動作について説明する。ポンプレーザダイオードに直流電流を駆動することによって発生した波長915nmの励起レーザ光は、ファイバレーザ共振器2によって波長1064nmの基本波レーザへと変換される。
図1は本発明の実施例における二次高調波発生装置の内部の構成を示すものである。本実施例の二次高調波発生装置はポンプレーザダイオード1と、ファイバレーザ共振器2と、コリメートレンズ3と、集光レンズ4と、SHG素子5と、ペルチェ素子6と、波長分割フィルタ7と、SHG素子を移動させる直動モータ8から構成されている。
次に本実施例の二次高調波発生装置の動作について説明する。ポンプレーザダイオードに直流電流を駆動することによって発生した波長915nmの励起レーザ光は、ファイバレーザ共振器2によって波長1064nmの基本波レーザへと変換される。
ファイバレーザ共振器2は、Yb添加ダブルクラッドファイバ9の両端に第1および第2のブラッグ回折格子10、11がライディングされることでファブリーペロー共振器を形成している。ポンプレーザダイオード1から発生した波長915nmのレーザ光によってYb添加ダブルクラッドファイバ9内のYbイオンが励起され、1000nmおよび1100nmの間の波長が発振する。本実施例ではブラッグ回折格子10、11の反射波長を1064nmにすることで、1064nmの波長をファイバレーザ共振器2内部に閉じ込め、何度も往復させることにより、増幅させる構成を有している。さらにファイバレーザ共振器2から発振される基本波レーザ光を高い変換効率で二次高調波に変換するために、ファイバレーザ共振器2内にポラライザ12を配置し、発生する基本波の偏光方向を直線偏光にした。
なお、本実施例ではファイバレーザ共振器2を用いて、波長1064nmの基本波レーザ光を得たが、同様の構成で第1および第2のブラッグ回折格子10、11の特性を変化させて、他の波長の基本波レーザ光を得ることや、YAGレーザや半導体レーザといった他のレーザ媒体によって基本波レーザ光を得ることも出来る。
ファイバレーザ共振器2によって波長変換、出射された基本波レーザ光はコリメートレンズ3によって平行光にされ、集光レンズ4によってSHG素子5の端面を通過し、素子内部に集光される。SHG素子5内部にて基本波レーザ光は二次高調波に変換され、素子5の反対端面より出射される。その後、変換されなかった基本波成分が波長分割フィルタ8によって取り除かれ、二次高調波のみ装置外部へと出射される。
図2は本実施例のSHG素子を模式的に表した図である。本実施例のSHG素子は、Z方向単一分極化された非線形光学結晶LiNbO3を、電界印加法によって、部分的に分極反転して作製されたものであり、素子の+Z面に平行で、光軸に直角なY方向に一様な変換効率ももったものである。本実施例においては、幅5mmのSHG素子を作製し、使用した。なお、本実施例では非線形光学結晶としてLiNbO3を使用したが、たとえばKTP結晶やBBO結晶といった他の非線形光学結晶を使用しても良い。
図3は本実施例のSHG素子の移動機構の詳細を示した図である。SHG素子5はベースプレート13に上面に、例えば接着剤や粘着性熱伝導シート、銀ペーストなどの接合方法で固着され、ベースプレート13下面にペルチェ素子6が固着され、ペルチェ素子6の反対面にプレート14が固着され、プレート14はネジによって直動モータ8に固定されている。直動モータはモータ駆動回路により制御され、素子の+Z面に水平で、光軸に垂直なY方向に往復移動が可能となるように取り付けられている。なお、本実施例では直動モータによりSHG素子の移動を行ったが、例えば歯車やカムなど他の機構を使用して移動させても問題ない。さらに、本実施例はSHG素子の移動方向を素子の+Z面に水平で、光軸に直角な方向としたが、素子の+Z面に垂直な方向、あるいは光軸の方向に移動させても良い。またベースプレートはペルチェ素子6により、SHG素子5の波長位相整合が最大となるように温度調節が行われている。
本発明の特徴は、SHG素子5を直動モータ8などの移動機構によって、SHG素子の分極反転の方向に垂直で、且つ光軸に直角な方向へ移動させることによって、レーザ光による素子内部のエネルギー密度の偏りを緩和するものである。この移動機構により、常にレーザ光はSHG素子内部を移動するので、素子内部の温度分布の偏りを解消することが出来、SHG素子内の温度分布に起因する光軸上の波長位相整合のずれを解消し、常に高い変換効率を得ることである。以下その詳細を説明する。
図4はSHG素子5を移動させない場合と、本実施例の方法の移動機構により移動させた場合の二次高調波出力の比較を行った図である。横軸にSHG素子5を移動させない場合の二次高調波の出力、縦軸に移動させない場合のSHG光の出力を1として規格化した上で、移動させた場合の出力をプロットしている。SHG素子を固定した場合の二次高調波光出力は1、10、100、1000mWとし、移動機構による移動速度は毎秒0.5mmとした。
この図より、どの出力においても3%以上の出力増加が確認出来た。また出力が小さい場合と、大きい場合にそれぞれ温度分布解消の効果が小さくなっていることが確認できる。これは、出力が小さい場合においては、レーザ通過による発熱が少ないことやペルチェ素子による排熱が十分に機能していることから、SHG素子の移動による温度分布解消効果が小さくなり、逆に出力が大きい場合においては、素子内を通過するレーザ光の量や集光度が増したことにより、SHG素子が時間当たりに吸収、発生する熱量、発熱する範囲が増加したため、移動による温度分布の解消効果が低下していることが確認出来る。
図5は移動速度とSHG出力の関係を示した図である。横軸に移動速度、縦軸にSHG素子を固定した場合の出力を1として規格化し、各移動速度におけるSHG光出力をプロットした。SHG素子を固定した場合のSHG光出力は1、10、100、1000mWとし、直動モータにより、SHG素子の移動速度を毎秒0から3.0mmと変化させた。
この図より、どの出力においてもSHG素子を動作させることによって、一定の効果があり、その効果はSHG素子内で変換、出力されるレーザ光出力に対応した速度まで向上した後、その速度以上では効果の向上が見られなくなることが確認出来る。
以上のように、本実施例のような構成で、SHG素子5をSHG素子5の分極反転の方向に垂直で、且つ光軸を横切る方向に移動させることにより、優れた変換効率を持つ二次高調波発生装置を得ることが出来る。加えて、移動速度を0.5mm/秒以上とすることで、大きなSHG光の出力時においても、十分な効果が得られる。
本発明に係る二次高調波発生装置は、SHG素子を常に移動させることで、SHG素子内の温度分布による光路上の位相整合波長のずれを解消し、常に高いSHG光出力を得ることができるので、SHG素子を用いた映像用や医療用のレーザに好適である。
1 ポンプレーザダイオード
2 ファイバレーザ共振器
3 コリメートレンズ
4 集光レンズ
5 SHG素子
6 ペルチェ素子
7 波長分割フィルタ
8 直動モータ
9 Yb添加ダブルクラッドファイバ
10 第1のブラッグ回折格子
11 第2のブラッグ回折格子
12 ポラライザ
13 ベースプレート
14 プレート
101 レーザ媒質
102 偏光フィルタ
103 全反射ミラー
104 出力ミラー
105 コリメートレンズ
106 集光レンズ
107 SHG素子
108 波長分割フィルタ
2 ファイバレーザ共振器
3 コリメートレンズ
4 集光レンズ
5 SHG素子
6 ペルチェ素子
7 波長分割フィルタ
8 直動モータ
9 Yb添加ダブルクラッドファイバ
10 第1のブラッグ回折格子
11 第2のブラッグ回折格子
12 ポラライザ
13 ベースプレート
14 プレート
101 レーザ媒質
102 偏光フィルタ
103 全反射ミラー
104 出力ミラー
105 コリメートレンズ
106 集光レンズ
107 SHG素子
108 波長分割フィルタ
Claims (5)
- レーザ光を放出するレーザ光源と、
前記レーザ光の二次高調波を作成するためのSHG素子と、
前記レーザ光を前記SHG素子の分極方向と垂直な方向に前記SHG素子に入射するように配置するとともに前記SHG素子を前記レーザ光の光軸と垂直な方向に移動させるための駆動ユニットと、を備えた二次高調波発生装置。 - 前記SHG素子へのレーザ光の導入を、集光レンズを用いて行うことを特徴とする請求項1記載の二次高調波発生装置。
- 前記駆動ユニットは、前記レーザ光が前記SHG素子を通過するように前記往復運動を行う請求項1記載の二次高調波発生装置。
- 前記駆動ユニットに取り付けられた前記SHG素子には前記SHG素子を冷却するためのペルチェ素子が結合している請求項3記載の二次高調波発生装置。
- 前記移動速度が毎秒0.5mm以上であることを特徴とする請求項1記載の二次高調波発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007164618A JP2009003210A (ja) | 2007-06-22 | 2007-06-22 | 二次高調波発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007164618A JP2009003210A (ja) | 2007-06-22 | 2007-06-22 | 二次高調波発生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009003210A true JP2009003210A (ja) | 2009-01-08 |
Family
ID=40319656
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007164618A Pending JP2009003210A (ja) | 2007-06-22 | 2007-06-22 | 二次高調波発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009003210A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022249234A1 (ja) * | 2021-05-24 | 2022-12-01 | 日本電信電話株式会社 | 波長変換装置及び波長変換装置の製造方法 |
-
2007
- 2007-06-22 JP JP2007164618A patent/JP2009003210A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2022249234A1 (ja) * | 2021-05-24 | 2022-12-01 | 日本電信電話株式会社 | 波長変換装置及び波長変換装置の製造方法 |
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