JP2008533467A

JP2008533467A - 変換器

Info

Publication number: JP2008533467A
Application number: JP2008500680A
Authority: JP
Inventors: パトモン，ブライヤン・キース; グリフィン，クリストファー・ジョン
Original assignee: センスファブ・ピーティーイー・リミテッド
Priority date: 2005-03-08
Filing date: 2006-03-08
Publication date: 2008-08-21
Also published as: KR20070118243A; WO2006096136A1; TW200639386A; DE112006000556T5; US7080559B1; CN101184977A; MY148037A

Abstract

流体の圧力を測定するための変換器は、流体接触領域と、隔壁によって流体接触領域から分離された空洞と、隔壁を貫通する開口とを有するハウジングを有する。センサ構成要素が空洞内に設置され、このセンサ構成要素は、圧力センサを積載する基板を有する。剛性支持ブロックが基板上に装着され、この剛性支持ブロックは、ハウジングの隔壁に面する表面を有する。この表面からの差込口が隔壁の開口内に延びる。通路が差込口および支持ブロックを貫通して基板上のセンサまで延びる。この通路は圧力伝達媒体で充填されている。弾性シールが差込口の周りを囲んで設置され、支持ブロック表面とハウジングの隔壁との間に挟まれる。受信器がハウジングの中に固定される。この受信器は、開口内の差込口とともにシールを保持する。
【選択図】図２

Description

医療用途を含む、流体圧力測定が必要な用途向けの変換器

本発明は、基板上に取り付けられた検知素子を含む圧力変換器に関し、この圧力変換器では、流体の圧力が、通常はポリジメチルシロキサンまたは類似物である医療等級媒体分離ソフトゲルなどの可撓性媒体分離材料によって、セラミック検知素子に伝達される。

この種の従来技術の１つの変換器が図４に示されており、この変換器は、流体チャネル４０２を備えたハウジング４００を含み、流体チャネルは、ハウジング４００の外側の一方に亘り延びている。この流体チャネルは、流体伝達ラインを各端部に接続するためのルアーコネクタまたは類似物（図示せず）で終端される。使用の際、このチャネルは、圧力が監視される流体で占められる。ハウジングは、このチャネルから離れる方向に面する空洞４０４を含む。隔壁４８０がチャネル４０２を空洞４０４から分離する。小さな直立壁４０８が、空洞４０４の内面に開口４０６の周囲に沿って形成される。直立壁４０８は、幅が狭い内側フランジを残すように開口４０６から少し距離を置いて配置される。発泡ポリマーガスケット４１０が、空洞４０４の内部で隔壁４８０に隣接して配置される。ガスケット４１０は、直立壁４０８上に、その周囲に沿って嵌合する開口部４２０を有する。このガスケットは隆起パッドを含む。このパッドの上部に、直線状導体のアレイ４２４が固定される。センサ構成要素が空洞内に、発泡ガスケットに隣接して配置される。このセンサ構成要素は、検知素子４３２と、関連する電気および電子回路とを備えるシリコンウェハ基板４３０を含む。弾性Ｏリング４２８が基板４３０の一方の側に接合される。ウェハの他方の側には、剛性キャップ４２６が、検知素子４３２を覆って接合される。キャップの中心の小さな穴４４０により、包囲された空間内の圧力の均一化が可能になる。媒体分離ゲル４４２が、Ｏリング４２８の中央開口部を検知素子に至るまで満たす。センサ構成要素は、空洞４０４内に、直立壁４０８の内部に配置されたＯリング４２８が内側フランジに対して圧縮された状態で配置される。これにより、チャネル内の流体が開口を通り抜け分離ゲル４４２の露出領域を押圧しても、Ｏリングでシールすることができる。基板４３０上の電気接点は、ガスケット上の電気接点アレイ４２４の別々の群と接触する。ケーブル構成要素４５０が一方の端部で、空洞４０４内に嵌合する受信器構成要素４５２によって終端される。受信器本体の各側面に沿って１対のクリップがハウジング４０４の相補形のクリップと相互作用して、受信器本体を空洞内の所定の位置に保持する。受信器は、隔壁４８０に面する側に凹部４５４を有する。センサ構成要素は、Ｏリング４２８が突出した状態で、この凹部内に嵌合する。凹部の底面４５６が剛性キャップの外面を押圧するが、キャップを貫通する穴は凹部の延長部分４６４と整合している。受信器は、受信器本体に封入されたケーブル端部４６２の導電体から延びる電気接点４６０を含む。電気接点４６０は、ガスケットの隆起パッド上で、導電体アレイ４２４の別々の群を押圧する。これら別々の群は、センサ構成要素接点と接触している同じ別々の群と少なくとも大体一致して、センサ接点と受信器接点の間の電気接続を完成させる。この変換器の設計では、ソフトゲル分離材料は可撓性Ｏリングに収容されている。本発明の発明者は、これが潜在的なエラーの原因であると判断した。

別の従来技術の圧力変換器が米国特許第５，５４０，１００号に記載されている。これは、セラミック基板上に圧力測定素子を有する圧力変換器の別の例である。この素子は、流体チャネルと流体連通するように設けられる。この従来技術の設計では、検知素子および基板はチャネル内の流体から分離されない。

本発明の一つの目的は、従来技術のこれらの欠点を克服するために何らか役立つ、あるいは少なくともこのような変換器の使用者に有用な選択肢をもたらす、流体圧力を測定するための圧力変換器を提供することである。

第１の態様では、本発明は、流体の圧力を測定するための変換器にあり、この変換器は、
流体接触領域と、流体接触領域から隔壁によって分離された空洞と、隔壁を貫通する開口とを有する、ハウジングと、
前記空洞内に配置されるセンサ構成要素であって、圧力センサを有する基板と、前記基板上に取り付けられた剛性支持ブロックとを有し、前記剛性支持ブロックが、前記隔壁と向き合う表面と、前記表面から前記開口内に延びる差込口と、前記差込口および前記支持ブロックを貫通して基板上のセンサまで延びる通路とを含み、前記通路が圧力伝達媒体で充填されている、センサ構成要素と、
前記差込口の周りに配置され、前記支持ブロックの表面と前記隔壁の間に挟持される弾性シールと、
前記ハウジング内に固定され、且つ、前記センサ構成要素を、前記差込口が前記開口内にある状態で、前記シールに隣接させて保持する受信器とを備える。

別の態様では、本発明は、流体の圧力を測定するための変換器にあり、この変換器は、
流体接触領域と、流体接触領域から隔壁によって分離された空洞と、隔壁を貫通する開口とを有するハウジングと、
前記空洞内に設置されたセンサ構成要素であって、圧力センサと、前記隔壁と向き合う表面を有する剛性ブロックと、前記表面から前記開口内に延びる差込口と、前記差込口および前記ブロックを貫通してセンサまで延びる通路とを含み、前記通路が圧力伝達媒体で充填されている、センサ構成要素と、
前記差込口の周りに配置され、前記ブロックの表面と前記隔壁の間に挟持される弾性シールと、
前記センサ構成要素を、前記差込口が前記開口内にある状態で、前記シールに隣接させて保持する手段とを備える。

さらに別の態様では、本発明は、流体の圧力を測定するための変換器にあり、この変換器は、
セラミックウェハを有するセンサ構成要素であって、前記セラミックウェハが圧力センサと、前記ウェハ上に装着された剛性支持ブロックと、前記支持ブロックから延びる差込口と、前記差込口および前記支持ブロックを貫通してウェハ上のセンサまで延びる通路とを含み、前記チャネルが圧力伝達ゲルで充填されている、センサ構成要素と、
前記差込口の周りに配置され、前記支持ブロックの表面とハウジングの間に挟持される弾性シールとを備える。

本発明と関わりがある当業者なら、添付の特許請求の範囲に定義された本発明の範囲から逸脱することなく、本発明の構成の変更、ならびに広範にわたる様々な実施形態および応用例を思いつくことであろう。本明細書での開示および記述は純粋に説明的なものであり、いかなる意味においても限定的なものではない。

本発明の好ましい実施形態による変換器を図１から３に示す。全体の構成において、この変換器は、図４の従来技術の変換器と類似している。変換器は、流体チャネル（ｃｈａｎｎｅｌ）１０２と、隔壁によって流体チャネルから分離された空洞とを備えたハウジング１００を含む。センサ構成要素１１０が空洞内に設置される。センサ構成要素内の圧力感知素子に流体圧力が分離媒体１１８を介して伝達される。センサ構成要素１１０は、受信器（ｒｅｃｅｉｖｅｒ）１２２によって空洞内部に保持される。受信器１２２はケーブル１３０を終端させ、センサ構成要素１１０の基板上の接点と電気的に接続している。

しかし、本発明によればセンサ構成要素１１０は、基板１１２の、隔壁２００と向き合う面に接合された剛性ブロック１１４を含む。差込口１１６がブロック１１４の面から延び、隔壁２００の開口２０２内に突出する。弾性シール１０８は、差込口１１６に沿って配置される。通路が差込口１１６の開口端から基板１１２までブロック１１４を貫通して延びて、検知素子２０６を包囲している。この通路は、圧力を流体チャネルからセンサまで伝達する分離媒体を含む。剛性ブロック１１４および差込口１１６は、Ｏリング１０８の圧縮によって分離媒体１１８が影響を受けることを防ぎ、またセンサ構成要素をハウジング内部に保持する締付け圧力のために基板１１２が曲がらないようにする。

変換器の好ましい実施形態の詳細な構造を図１から３に示す。ハウジング１００は、流体流チャネルを管路１０２の形で含む。連結器１０３および１０５が管路の両端部に設けられる。ハウジング１００は、管路１０２から離れる方向に面する空洞２０９を含む。空洞２０９は、周囲壁によって、また隔壁２００によって形成される。この周囲壁は、対向する２つの面にクリップ１３６を含み、１つの端部に切欠き２１２を含む。変換器が組み立てられるとき、クリップ１３６は、受信器１２２上の相補形の当接部１３８と協働して受信器１２２を空洞内部に保持する。切欠き２１２は、受信器１２２から延びるケーブル１３０を収容する。空洞２０９は、隔壁２００によって管路１０２の内部から分離される。開口２０２が、流体圧力をセンサ構成要素まで伝達するように隔壁２００を貫通して設けられる。

図１に示されるように、変換器と接触する流体領域は、管路またはチャンバの形をとることができ、あるいは、それ自体がハウジングの一部を形成しなくてもよい。たとえば、ハウジングの外壁が、流体が入るチャンバの壁の一部、または流体が入る管路の一部を形成してもよい。しかし、医療分野で有用な少なくとも１つの形状では、流体接触領域は、一端または両端で組み合わされる連結器と一体化された管路１０２の内側を含む。適切な端部連結器は、変換器の意図された用途によって決まる。

図示の実施形態では、ハウジングは、受信器１２２を保持するためのクリップ１３６を備える。これに代えて、ハウジング１００は、センサ構成要素１１０を直接空洞２０９内に、あるいは空洞自体を設けないで隔壁２００に隣接して配置することもできる。

再び図１および図２を参照すると、センサ構成要素１１０は基板１１２を有する。基板１１２は、電気部品および／または電子部品をその上に形成または取り付けるのに適したセラミックウェハであることが好ましい。たとえばシリコンベースの圧電ひずみゲージであるセンサ２０６が、基板１１２の、隔壁２００に面する側に取り付けられて図示されている。このセンサを従来技術の実施形態のように基板の別の側に取り付け、適切な剛性のカバーまたはキャップを用いてセンサを保護することも可能である。その場合には、基板を通して流体圧力をセンサまで伝達するために、基板を貫通する大きな開口が必要になる。

図示した実施形態では、センサ２０６は、全体が通路２０４の内部に配置されている。通路２０４は、分離媒体１１８で実質的に満たされている。分離媒体１１８は、好ましくはポリジメチルシロキサンまたは類似物などのソフトゲルである。この分離媒体は、圧力をセンサに伝達すると共に、監視される流体からセンサを分離するために必要とされる。

小さな開口２０８がセンサ２０６の背面側に基板１１２を貫通して設けられる。この開口は、センサダイアフラムの背面側の圧力が基準圧力としての大気圧と等しくなるようにする。

差込口１１６は、ハウジング１００の開口２０２の内部に密に嵌るように寸法設定される。
弾性シール１０８は、差込口１１６の周りに嵌合する。弾性シール１０８は、フッ素エラストマーまたはシリコンゴムなどのエラストマー材料からなるＯリングであることが好ましい。あるいは、このシールは、組立ての前または後に硬化させることができるシリコンＲＴＶ（室温加硫）ポリマーなどの供給（ｄｉｓｐｅｎｓｅｄ）材料でもよい。シールが、組立て後に硬化される供給材料である場合には、それはまた、センサ構成要素と隔壁２００の間に弱い接着性も与える。センサ構成要素１１０がハウジング内部で或る既知の高さに保持される場合に、このシールが安定した寸法および形状を有し、且つ、或る既知量の予備圧縮量を加えられることができるように、シールはＯリングまたは類似物であることが好ましい。Ｏリング１０８は、差込口１１６の基部を取り囲む浅い凹部１２０内に位置し、隔壁２００上の対向する小さな隆起部２３０によって圧縮されてよい。

剛性ブロック１１４と差込口１１６は、ポリカーボネートなど剛性プラスチック材料から一体的に成形されることが好ましい。剛性材料からなるブロックは事前成形することができ、これらは、紫外線硬化性エポキシなどの接着剤、またはオーバーモールドなどを使用して基板１１２上に形成される。

センサ２０６から電気信号を出力するために、複数の接点パッドが基板１１２の裏面に設けられる。これらの接点パッドは、受信器１２２内の接点１３２（図３では３１２）と接続する。

受信器１２２はいくつかの機能を果たす。この受信器の第１の機能は、ハウジングの空洞２０９内部にセンサ構成要素を設置し固定することである。さらなる機能は、センサ２０６によって検知された圧力を示す電気信号をケーブル１３０を介して出力することができるように、基板１１２の出力パッドとの電気的接続を行うことである。さらなる機能は、センサ構成要素１１０を、たとえばアセンブリの外側からの水の侵入に対して保護することである。本発明によるこの種の変換器は、たとえば医療環境での使用を意図したものであり、食塩水または他の液体で外側をフラッシングすることができる。

受信器は、センサ構成要素１１０を密に収容するように寸法設定された空洞１２４を有する。この空洞は、底面および４つの周囲壁を有する。好ましい実施形態の側壁は、剛性ブロック１１４を越えて突出する基板１１２の縁部の上を固定できるクリップ１３４を有する。クリップ１３４は、基板１１２を凹部１２４の底部に隣接して保持する。わずかにテーパーが付けられた壁部３１４などの位置決め要素を壁の基部またはその近辺に設けて、著しい干渉を伴わずに検知素子１１０を挿入できるようにすると共に、検知素子を所定の位置に正確に位置決めすることができる。

受信器は、凹部１２４の１つの端部に隣接して凹部２１４を有する。これは、基板１１２内の小さな開口２０８の下で整合していることが好ましい。
受信器構成要素のより詳細な構造が図３で分かる。ケーブル１３０の端部が受信器の本体３１８内の細長い空洞に入る。このケーブルは、複数（たとえば４本）の導電体と（好ましくはケーブルの中心の）中空管２３４とを含み、中空管は、ケーブル内の該中空管を介して空洞２１４から大気に通じる、基準圧力を得るための通気孔を提供する。

複数（たとえば４つ）の金属接点３１０は、受信器本体３１８内の溝穴（ｓｌｏｔ）に押し込められる。歯３１６がケーブル１３０を貫き、ケーブルのそれぞれの導電体と接触する。各電気接点３１０は、ヘッドを備えたスプリングアーム３１２を含み、このヘッドは、弛緩状態では凹部１２４の底面の上方にある。それにより、これらの接点ヘッドは、変換器が組み立てられたとき、基板１１２上の接点パッドに押しつけられる。

ケーブル１３０はさらに、係合要素３０２によって所定の位置に固定される。係合要素３０２は、一体化されたヒンジによって本体３１８と連結される。本体３１８が（たとえば射出成形によって）成形されたとき、要素３０２は、破線３０３で示されるように上方の向きにある。要素３０２が係合位置に押されると、要素３０２の先端が本体３１８の突出先端３０３を越えて押される。次いで突出先端３０３は、要素３０２を係合位置に拘束する。この係合位置では、ケーブル１３０の表面でエッジがケーブルのシールドに食い込む。要素３０２は、それが係合位置にあるときにケーブル内の中空管を封止しないように、むしろ、中空管２３４を空洞２１４に接続する流路を設けるための切欠き２３２を有するように形成されている。空洞２１４では、小さな穴がケーブルを貫き、これにより、中空管２３４への開口が提供される。

好ましくは軟質ポリ塩化ビニルの栓３０８が、本体３１８への挿入前のケーブル上にスリーブのようにはめ込まれ、あるいはオーバーモールドされる。ケーブルが本体３１８に挿入されると、栓３０８は、ケーブル受入れ空洞の開口端を実質的に塞ぐ。その後カバー３０４が、たとえば超音波溶接によって本体３１８の裏面に接合される。こうすることにより、本体を製造するのに必要ないくつかの開口が図示のように閉鎖される。次いで栓の端部が、たとえばオーバーモールドによって封止されてカバー部３０６を形成する。これに代えて、ケーブル上に柔軟なスリーブを使用して、または使用しないで、単一のオーバーモールド工程で開口をすべて封止することもできる。したがって、（空洞２１４が大気圧のままであるように）ケーブルを通って空洞２１４に至る抽気孔を除いて、受信器はそれ以外、外表面と空洞２１４の内部との間で良好にシールされる。

受信器１２２と隔壁２００の間（センサの領域への流体侵入が起こる可能性のある別の経路）を封止するために、好ましくはガスケットが、受信器１２２の上面と隔壁２００の表面との間に設けられる。ガスケット１０４は本質的に、空洞２０９の内側に嵌まるように寸法設定され成形される、開放された枠（ｆｒａｍｅ）であり、少なくともセンサ構成要素１１０の剛性ブロック１１４を収容するように寸法設定された開口１０６を備える。このガスケットは、たとえばシリコンゴムまたはＲＴＶポリマーから成形することができる。ガスケットは、ハウジングと受信器の間に単に挟持することができ、あるいはハウジングまたは受信器の一方に接合してもよい。好ましくは、ハウジングと受信器の一方または両方が、良好なシールを促進するために、ガスケットに押し付けられる環状の隆起部を有する。たとえば図示の実施形態では、隆起部１２８が受信器の面の外周部に沿って設けられている。

図２に示すように組み立てられると、受信器１２２はハウジング１００にクリップ留めされ、ハウジングのクリップ１３６が受信器本体上の当接部１３８と係合する。各クリップの相対的な位置により、確実に受信器の上面と隔壁２００の間の隙間がガスケット１０４に対して周知の締まり嵌め（ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｆｉｔ）になり、それらの間でガスケット１０４が圧縮されるようになる。さらに隆起部１２８がガスケット１０４に押し付けられる。空洞１２４の底面は、基板１１２の下面を押圧する。この底面の高さとセンサ構成要素の厚さは、Ｏリング１０８が隔壁２００と剛性ブロック１１４の上面との間で挟まれるようなものである。こうすると、分離ゲル１１８に影響を及ぼすことなく、開口２０２の領域での優れた封止が提供される。センサ構成要素は、外周ガスケット１０４を押圧しない。

本発明の変換器の構成要素を示す組立図である。図１の実施形態による組立て後の変換器の断面側面図である。さらなる構造的詳細を示す、図２の断面と異なる平面における、図１の実施形態の受信器構成要素の断面側面図である。上記で詳細に説明した従来技術の変換器の断面側面図である。

Claims

流体の圧力を測定するための変換器であって、
流体接触領域と、前記流体接触領域から隔壁によって分離された空洞と、前記隔壁を貫通する開口とを有する、ハウジングと、
前記空洞内に配置されるセンサ構成要素であって、圧力センサを有する基板と、前記基板上に取り付けられた剛性支持ブロックとを有し、前記剛性支持ブロックが、前記隔壁と向き合う表面と、前記表面から前記開口内に延びる差込口と、前記差込口および前記支持ブロックを貫通して前記基板上の前記圧力センサまで延びる通路とを含み、前記通路が圧力伝達媒体により充填されている、センサ構成要素と、
前記差込口の周りに配置され、前記支持ブロックの前記表面と前記隔壁の間に挟持される弾性シールと、
前記ハウジング内に固定され、且つ、前記センサ構成要素を、前記差込口が前記開口内にある状態で、前記シールに隣接させて保持する受信器とを備える、変換器。
前記弾性シールが、前記差込口の上に嵌合されたＯリングである、請求項１に記載の変換器。
前記支持ブロックの前記表面が、前記差込口の周りに延びる環状の凹部を含み、前記Ｏリングが前記凹部内に配置される、請求項２に記載の変換器。
前記隔壁が、前記センサ構成要素に面する前記開口の周縁に沿って延びる小さな環状隆起部を含み、前記小さな環状隆起部が前記弾性シールを押圧する、請求項１に記載の変換器。
前記受信器が、前記センサ構成要素を収容する寸法および形状の凹部を有し、前記センサ構成要素が前記凹部内に収容され、第２の弾性シールが、前記受信器と前記ハウジングの間で前記凹部の周縁に沿って狭持される、請求項１に記載の変換器。
前記ハウジングと前記受信器の少なくとも一方が、前記ハウジングと前記受信器の他方に面する小さな環状隆起部を含み、前記隆起部が前記第２の弾性シールを押圧する、請求項５に記載の変換器。
前記受信器が伝送ケーブルを含み、前記ケーブルが、その長手方向に延びる中空管を含み、前記中空管が前記凹部と気体連通している、請求項５に記載の変換器。
前記弾性シールが前記支持ブロックの前記表面と前記隔壁の間に挟持されるような前記空洞内の位置に前記センサ構成要素が配置されるように、前記センサ構成要素と前記受信器の間のクリップ、及び前記受信器と前記ハウジングの間のクリップが、それらの対応する構成要素に対して配置されており、これらクリップによって、前記センサ構成要素が前記受信器内の前記凹部内にクリップ留めされ、且つ、前記受信器が前記ハウジング内にクリップ留めされている、請求項５に記載の変換器。
流体の圧力を測定するための変換器であって、
流体接触領域と、前記流体接触領域から隔壁によって分離された空洞と、前記隔壁を貫通する開口とを有するハウジングと、
前記空洞内に配置されたセンサ構成要素であって、圧力センサと、前記隔壁と向き合う表面を有する剛性ブロックと、前記表面から前記開口内に延びる差込口と、前記差込口および前記ブロックを貫通して前記センサまで延びる通路とを含み、前記通路が圧力伝達媒体で充填されている、センサ構成要素と、
前記差込口の周りに配置され、前記ブロックの前記表面と前記隔壁の間に挟持される弾性シールと、
前記センサ構成要素を、前記差込口が前記開口内にある状態で、前記シールに隣接させて保持する手段とを備える、変換器。
前記弾性シールが、前記差込口の上に嵌合されたＯリングである、請求項９に記載の変換器。
前記ブロックの前記表面が、前記差込口の周りに延びる環状の凹部を含み、前記Ｏリングが前記凹部内に配置された、請求項１０に記載の変換器。
前記隔壁が、前記センサ構成要素に面する前記開口の周縁に沿って延びる小さな環状隆起部を含み、前記小さな環状隆起部が前記弾性シールを押圧する、請求項９に記載の変換器。
セラミックウェハを有するセンサ構成要素であって、前記セラミックウェハが圧力センサと、前記ウェハ上に取り付けられた剛性支持ブロックと、前記支持ブロックから延びる差込口と、前記差込口および前記支持ブロックを貫通してウェハ上の前記圧力センサまで延びる通路とを含み、前記通路が圧力伝達ゲルで充填されている、センサ構成要素と、
前記差込口の周りに配置され、前記支持ブロックの前記表面とハウジングの間に挟持された弾性シールとを備える、流体の圧力を測定するための変換器。
前記弾性シールが、前記差込口の上に嵌合されたＯリングである、請求項１３に記載の変換器。
前記支持ブロックの前記表面が、前記差込口の周りに延びる環状の凹部を含み、前記差込口が前記凹部内に配置された、請求項１４に記載の変換器。
隔壁が、前記センサ構成要素に面する開口の周縁に沿って延びる小さな環状隆起部を有し、前記小さな環状隆起部が前記弾性シールを押圧する、請求項１５に記載の変換器。
受信器が、前記センサ構成要素を収容する寸法および形状の凹部を有し、前記センサ構成要素が前記凹部内に収容され、第２の弾性シールが、前記受信器と前記ハウジングの間で前記凹部の周縁に沿って挟持される、請求項１３に記載の変換器。
前記ハウジングと前記受信器の少なくとも一方が、前記ハウジングと前記受信器の他方に面する小さな環状隆起部を含み、前記隆起部が前記第２の弾性シールを押圧する、請求項１７に記載の変換器。
前記受信器が伝送ケーブルを含み、前記ケーブルが、その長手方向に延びる中空管を含み、前記中空管が前記凹部と気体連通している、請求項１７に記載の変換器。
前記弾性シールが前記支持ブロックの前記表面と前記隔壁の間に挟持されるような前記空洞内の位置に前記センサ構成要素が配置されるように、前記センサ構成要素と前記受信器の間のクリップ、及び前記受信器と前記ハウジングの間のクリップが、それらの対応する構成要素に対して配置されており、これらクリップによって、前記センサ構成要素が前記受信器内の前記凹部内にクリップ留めされ、且つ、前記受信器が前記ハウジング内にクリップ留めされている、請求項１７に記載の変換器。