JP2008508110A - Memsデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の一局面に従うと、MEMSデバイスを製造する方法は、デバイスウェハの可動構造が形成された後に、デバイスウェハのボトム側を除去する。その目的のために、この方法は、初期ボトム側を有するデバイスウェハを提供する。次いで、この方法は、そのデバイスウェハ上に、可動構造を形成し、続いて、このデバイスウェハの初期ボトム側全体を実質的に除去する。初期ボトム側全体を効率的に除去することによって、最終ボトム側が形成される。
Claims (21)
- 初期ボトム側を有するデバイスウェハを提供することと、
該デバイスウェハ上に、可動構造を形成することと、
該可動構造が、該デバイスウェハ上に形成された後、該デバイスウェハの該初期ボトム側全体を実質的に除去することであって、除去することは、最終ボトム側を形成することであることと
を包含する、MEMSデバイスの製造方法。 - 除去することは、前記初期ボトム側を裏面研削することを含む、請求項1に記載の方法。
- 除去することは、ケミカルを使用し、前記初期ボトム側を化学エッチングすることを含み、前記構造は、該ケミカルから密封される、請求項1に記載の方法。
- 前記デバイスウェハは、少なくとも1つのキャップを有するトップ側を有し、該キャップは、該トップ側上に固定され、該キャップは、前記構造を実質的に密封する、請求項3に記載の方法。
- 除去することは、前記デバイスウェハを、クリアランスホールを有する保護フィルムに固定することを含み、前記構造は、該クリアランスホール内に密封される、請求項1に記載の方法。
- キャップウェハを前記デバイスウェハに結合することをさらに含み、該キャップウェハは、前記構造をカプセル封入する、請求項1に記載の方法。
- 前記初期ボトム側を除去する前に、前記キャップウェハをシングル化することをさらに包含する、請求項6に記載の方法。
- 前記初期ボトム側を除去した後に、前記キャップウェハをシングル化することをさらに包含する、請求項6に記載の方法。
- 初期ボトム側および可動構造を有するデバイスウェハを提供することと、
該デバイスウェハの該初期ボトム側全体を実質的に除去して、最終ボトム側を形成することであって、
該可動構造の動作は、該デバイスウェハの該初期ボトム側全体を実質的に除去することによって、実質的に影響を受けない、ことと
を包含する、MEMSデバイスの製造方法。 - 除去することは、前記初期ボトム側を裏面研削することを含む、請求項9に記載の方法。
- 除去することは、ケミカルを使用し、前記初期ボトム側を化学エッチングすることを含み、前記構造は、該ケミカルから密封される、請求項9に記載の方法。
- 前記デバイスウェハは、少なくとも1つのキャップを有するトップ側を有し、該キャップは、該トップ側上に固定され、前記構造を実質的に密封する、請求項11に記載の方法。
- 除去することは、前記デバイスウェハを、クリアランスホールを有する保護フィルムに固定することを含み、前記構造は、該クリアランスホール内に密封される、請求項9に記載の方法。
- キャップウェハを前記デバイスウェハに結合することをさらに含み、該キャップウェハは、前記構造をカプセル封入する、請求項9に記載の方法。
- 前記初期ボトム側を除去する前に、前記キャップウェハをシングル化することをさらに包含する、請求項14に記載の方法。
- 前記初期ボトム側を除去した後に、前記キャップウェハをシングル化することをさらに包含する、請求項14に記載の方法。
- 初期ボトム側および可動構造を有するデバイスウェハを提供することと、
該デバイスウェハを、クリアランスホールを有する保護フィルムに固定することであって、該可動構造は、該クリアランスホール内に密封される、ことと、
該デバイスウェハが、該保護フィルムに固定された後に、該デバイスウェハの該初期ボトム側全体を実質的に除去して、最終ボトム側を形成することであって、除去することは、該初期ボトム側の裏面研削および化学エッチングの少なくとも一方を含む、ことと
を包含する、MEMSデバイスの製造方法。 - 前記フィルムを除去することと、
キャップウェハを前記デバイスウェハに結合することと
をさらに含む、請求項17に記載の方法。 - 前記初期ボトム側を除去する前に、前記キャップウェハをシングル化することをさらに包含する、請求項18に記載の方法。
- 前記初期ボトム側を除去した後に、前記キャップウェハをシングル化することをさらに包含する、請求項18に記載の方法。
- 請求項17に記載の方法に従って製造される、MEMSデバイス。
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