JP2008310043A - Planar electromagnetic actuator - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromagnetic actuator structure in which a movable plate can be upsized without raising the manufacturing cost of a planar electromagnetic actuator. <P>SOLUTION: The movable plate 10 comprises a flexible sheet 11 on which a driving coil 4 is formed, a rigid turning plate 12 and a mirror plate 13, the central part 3b of a torsion bar 3 is bonded on a first groove part 12a of the central part of the turning plate 12, and the shaft part 3c of the torsion bar 3 is floated in a second groove part 12b of the turning plate 12. The mirror plate 13 is built on the upper face of the turning plate 12, the flexible sheet 11 on which the driving coil 4 is formed is bonded on the lower face of the turning plate 12 to assembly the movable plate 10. Thus the torsion bar 3 is connected to the central part of the movable plate 10 and the torsion bar 3 is inserted under the movable plate 10. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体製造技術を利用して製造するプレーナ型電磁アクチュエータに関し、特に、可動板の大型化と製造コストの低減を可能とするプレーナ型電磁アクチュエータに関する。   The present invention relates to a planar electromagnetic actuator manufactured using a semiconductor manufacturing technique, and more particularly to a planar electromagnetic actuator that enables an increase in the size of a movable plate and a reduction in manufacturing cost.

従来、半導体製造技術を利用して製造するプレーナ型電磁アクチュエータとして、例えば特許文献１に記載されているものがある。このものは、半導体基板をエッチングして、枠状の固定部と、可動板と、固定部に可動板を揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成する。更に、可動板にスパッタリング等により駆動コイルを形成し、トーションバーの軸方向と平行な可動板両端縁部の駆動コイル部分に静磁界を作用させる静磁界発生手段（例えば、永久磁石や電磁石等）を設ける。そして、駆動回路から駆動コイルに電流を供給し、駆動コイルに発生する磁界と静磁界発生手段による静磁界との相互作用により、トーションバーの軸方向と平行な可動板両対辺部に電磁力（ローレンツ力）を作用させて、可動板をトーションバーの軸回りに駆動する構成である。可動板に反射ミラーを設ければ、可動板の回動動作で光ビームを走査することができ、光走査用電磁アクチュエータとして光スイッチや光スキャナ等の光走査デバイス等に適用することができる。
特許第２７２２３１４号公報 Conventionally, as a planar type electromagnetic actuator manufactured using a semiconductor manufacturing technique, for example, there is one described in Patent Document 1. In this device, a semiconductor substrate is etched to integrally form a frame-shaped fixed portion, a movable plate, and a torsion bar that pivotally supports the movable plate so as to be able to swing on the fixed portion. Further, a static magnetic field generating means (for example, a permanent magnet or an electromagnet) that forms a drive coil on the movable plate by sputtering or the like and applies a static magnetic field to the drive coil portions at both ends of the movable plate parallel to the axial direction of the torsion bar. Is provided. Then, current is supplied to the drive coil from the drive circuit, and electromagnetic force (on the opposite sides of the movable plate parallel to the axial direction of the torsion bar is generated by the interaction between the magnetic field generated in the drive coil and the static magnetic field generated by the static magnetic field generating means. Lorentz force) is applied to drive the movable plate around the axis of the torsion bar. If a reflecting mirror is provided on the movable plate, the light beam can be scanned by rotating the movable plate, and can be applied to an optical scanning device such as an optical switch or an optical scanner as an optical actuator for optical scanning.
Japanese Patent No. 2722314

ところで、例えば光スキャナ等に利用する場合に反射ミラーの大型化の要求が多く、可動板面積の大きいアクチュエータが要求される。しかしながら、従来のプレーナ型電磁アクチュエータでは、半導体ウエハをエッチングして枠状固定部、可動板及びトーションバーを一体形成するので、半導体ウエハ上にレイアウトしたときのチップ面積は、可動板サイズの増大に伴って大きくなり、１枚の半導体ウエハからのチップの取り数が減少し、チップ単価が上昇する。前記半導体ウエハには、可動板の回動運動によって捩れが発生するトーションバー部分の耐久性確保のために、高価な単結晶シリコンの半導体ウエハを使用するので、チップ単価の上昇は、電磁アクチュエータの製造コストの上昇を招くという問題があった。   Incidentally, for example, when used in an optical scanner or the like, there is a large demand for an increase in the size of the reflection mirror, and an actuator having a large movable plate area is required. However, in the conventional planar type electromagnetic actuator, the semiconductor wafer is etched to integrally form the frame-shaped fixed portion, the movable plate, and the torsion bar. Therefore, the chip area when laid out on the semiconductor wafer increases the size of the movable plate. With this increase, the number of chips taken from one semiconductor wafer decreases, and the chip unit price increases. As the semiconductor wafer, an expensive single crystal silicon semiconductor wafer is used to ensure the durability of the torsion bar portion where the torsion bar is twisted due to the rotational movement of the movable plate. There was a problem in that the manufacturing cost was increased.

本発明は上記問題点に着目してなされたもので、製造コストの上昇を招くことなく、可動板の大型化を可能にする構造のプレーナ型電磁アクチュエータを提供することを目的とする。   The present invention has been made paying attention to the above problems, and an object of the present invention is to provide a planar electromagnetic actuator having a structure capable of increasing the size of the movable plate without causing an increase in manufacturing cost.

このため、本発明は、枠状の固定部にトーションバーを介して揺動可能に軸支した可動板を、通電により駆動コイルに発生する磁界と静磁界発生手段による静磁界との相互作用で発生する電磁力を用いて駆動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、前記可動板の中心部に前記トーションバーの中央部を連結し、当該トーションバーの両端部を前記固定部の互いに対向する枠部に組付けて、当該トーションバーを介して前記可動板を前記固定部に軸支する構成としたことを特徴とする。   For this reason, the present invention provides a movable plate that is pivotally supported on a frame-like fixed portion via a torsion bar by the interaction between the magnetic field generated in the drive coil by energization and the static magnetic field generated by the static magnetic field generating means. In a planar type electromagnetic actuator driven using generated electromagnetic force, a central portion of the torsion bar is connected to a central portion of the movable plate, and both end portions of the torsion bar are assembled to frame portions of the fixing portion facing each other. In addition, the movable plate is supported by the fixed portion via the torsion bar.

かかる構成では、可動板の回動動作に伴って捩られるトーションバーの軸部が、可動板の中心部と枠状の固定部との間を連結する構造となり、トーションバー軸方向と直交する可動板の両対辺部分がトーションバーの軸部上方にオーバーラップする。これにより、可動板の端にトーションバーが連結する従来構造と比べて、トーションバーの長さを変えることなく、電磁アクチュエータの可動板面積を大型化することが可能であり、また、可動板面積の同じ電磁アクチュエータを小型化することが可能となる。   In such a configuration, the shaft portion of the torsion bar that is twisted as the movable plate rotates is connected between the central portion of the movable plate and the frame-shaped fixed portion, and is movable perpendicular to the axial direction of the torsion bar. The opposite side portions of the plate overlap above the shaft portion of the torsion bar. This makes it possible to increase the area of the movable plate of the electromagnetic actuator without changing the length of the torsion bar, compared to the conventional structure in which the torsion bar is connected to the end of the movable plate. The same electromagnetic actuator can be miniaturized.

請求項２では、前記トーションバーは、前記可動板と連結する中央部及び前記固定部に組付ける両端部を、前記可動板の回動動作に伴って捩れる軸部より幅広に形成するようにした。   According to a second aspect of the present invention, the torsion bar is formed so that a central portion connected to the movable plate and both end portions assembled to the fixed portion are wider than a shaft portion that is twisted as the movable plate rotates. did.

請求項３では、前記可動板と前記トーションバーとを別体で形成し、前記トーションバーと前記可動板を組付ける構成とした。
かかる構成では、トーションバー部分のみを高価な単結晶シリコンの半導体ウエハで形成し、可動板部分を安価な部材で形成することができるようになる。
請求項３の構成において、請求項４のように、前記可動板の中心部に位置出し用の穴部を形成する一方、前記トーションバーの中央部に位置出し用の凸状部を形成し、前記穴部に前記凸状部の上部を嵌合して、前記可動板と前記トーションバーとを組付ける構成とするとよい。また、請求項５のように、前記可動板の一方の面に、当該可動板に前記トーションバーを組付けたときに可動板中心部とトーションバー中央部とだけが互いに連結するような溝部を形成する構成としてもよい。 According to a third aspect of the present invention, the movable plate and the torsion bar are formed separately, and the torsion bar and the movable plate are assembled.
In such a configuration, only the torsion bar portion can be formed of an expensive single crystal silicon semiconductor wafer, and the movable plate portion can be formed of an inexpensive member.
In the configuration of claim 3, as in claim 4, a positioning hole is formed at the center of the movable plate, while a positioning convex is formed at the center of the torsion bar. The upper part of the convex part may be fitted into the hole part, and the movable plate and the torsion bar may be assembled. Further, as in claim 5, a groove portion is formed on one surface of the movable plate so that only the central portion of the movable plate and the central portion of the torsion bar are connected to each other when the torsion bar is assembled to the movable plate. It is good also as a structure to form.

請求項６のように、前記トーションバーと前記可動板とを一体形成してもよい。
請求項７のように、前記可動板が、前記駆動コイルと前記静磁界発生手段のどちらか一方を一体形成した剛体からなる構成としてもよい。
請求項８のように、前記可動板が、前記駆動コイルを一体形成した柔軟なフレキシブルシートと、該フレキシブルシートを貼り付ける剛体の回動板とを有し、前記回動板と前記トーションバーとを連結する構成とするとよい。
かかる構成では、駆動コイルの引出し配線部分をフレキシブルシートに形成することで、可動板の回動動作による捩れ応力が引出し配線部分に直接作用しないようになる。 As in claim 6, the torsion bar and the movable plate may be integrally formed.
According to a seventh aspect of the present invention, the movable plate may be composed of a rigid body integrally formed with either the drive coil or the static magnetic field generating means.
The movable plate includes a flexible flexible sheet integrally formed with the drive coil and a rigid rotating plate to which the flexible sheet is attached, and the rotating plate, the torsion bar, and the like. It is good to be the structure which connects.
In such a configuration, the lead-out wiring portion of the drive coil is formed on the flexible sheet, so that the torsional stress due to the rotational movement of the movable plate does not directly act on the lead-out wiring portion.

請求項９のように、前記可動板が、更に、ミラーを形成したミラー板を有し、該ミラー板を前記回動板に取付ける構成としてもよい。
請求項１０のように、前記可動板に、ミラーを一体形成するようにしてもよい。 According to a ninth aspect of the present invention, the movable plate may further include a mirror plate on which a mirror is formed, and the mirror plate may be attached to the rotating plate.
As in claim 10, a mirror may be formed integrally with the movable plate.

請求項１１では、前記可動板が、前記固定部に第１のトーションバーを介して揺動可能に軸支される枠状の第１の可動板と、該第１の可動板に前記第１のトーションバーと軸方向が直角な第２のトーションバーを介して揺動可能に軸支される第２の可動板とからなり、前記第２の可動板の中心部に前記第２のトーションバーの中央部を連結し、前記第１のトーションバーの両端部を前記固定部の互いに対向する枠部に組付ける構成とした。   In the eleventh aspect, the movable plate is a frame-shaped first movable plate that is pivotally supported by the fixed portion via a first torsion bar, and the first movable plate has the first movable plate. And a second movable plate pivotally supported via a second torsion bar whose axial direction is perpendicular to the second torsion bar, and the second torsion bar at the center of the second movable plate The center portions of the first torsion bar are connected to each other, and both end portions of the first torsion bar are assembled to the mutually opposing frame portions.

本発明のプレーナ型電磁アクチュエータによれば、可動板面積の拡大要求を満足させ、しかも、高価な単結晶シリコンはトーションバー部分だけでよく、半導体ウエハからの取り数を増大できるので、電磁アクチュエータの製造コストを低減できる。また、従来と同じ可動板面積の電磁アクチュエータを小型化することが可能である。   According to the planar type electromagnetic actuator of the present invention, the demand for expansion of the movable plate area is satisfied, and the expensive single crystal silicon may be only the torsion bar portion, and the number of semiconductor wafers can be increased. Manufacturing cost can be reduced. In addition, it is possible to reduce the size of the electromagnetic actuator having the same movable plate area as the conventional one.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図３に、本発明に係るプレーナ型電磁アクチュエータの第１実施形態を示し、光走査用電磁アクチュエータに適用した場合の例を示す。図１は平面図、図２は図１のＡ−Ａ矢視断面図、図３は分解図である。
図１〜図３において、本実施形態のプレーナ型電磁アクチュエータ１は、枠状の固定部２にトーションバー３を介して揺動可能に軸支される可動板１０と、通電により磁界を発生する駆動コイル４（図３参照）と、可動板１０の下方に配置されて駆動コイル４に静磁界を作用する静磁界発生手段５とを備え、駆動コイル４に発生する磁界と静磁界発生手段５の静磁界との相互作用によりトーションバー３の軸方向と平行な可動板１０の両端縁部に電磁力（ローレンツ力）を作用させて可動板１０を回動させる構成である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 to 3 show a first embodiment of a planar electromagnetic actuator according to the present invention, and shows an example in which the present invention is applied to an optical scanning electromagnetic actuator. 1 is a plan view, FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 1, and FIG. 3 is an exploded view.
1 to 3, the planar electromagnetic actuator 1 of the present embodiment generates a magnetic field by energizing a movable plate 10 that is pivotally supported by a frame-like fixed portion 2 via a torsion bar 3. A drive coil 4 (see FIG. 3) and a static magnetic field generating means 5 that is disposed below the movable plate 10 and applies a static magnetic field to the drive coil 4. The magnetic field generated in the drive coil 4 and the static magnetic field generating means 5 are provided. In this configuration, the movable plate 10 is rotated by applying an electromagnetic force (Lorentz force) to both end edges of the movable plate 10 parallel to the axial direction of the torsion bar 3 by the interaction with the static magnetic field.

本実施形態のプレーナ型電磁アクチュエータ１は、トーションバー３と可動板１０を別体で形成し、図２に示すように、可動板１０の中心部にトーションバー３の中央部を連結して組付け、このトーションバー３の両端部を固定部２に組付けることにより、トーションバー３を介して可動板１０を固定部２に軸支する構造である。   The planar electromagnetic actuator 1 of the present embodiment is formed by separately forming the torsion bar 3 and the movable plate 10 and connecting the central portion of the torsion bar 3 to the central portion of the movable plate 10 as shown in FIG. In addition, by attaching both ends of the torsion bar 3 to the fixed part 2, the movable plate 10 is pivotally supported on the fixed part 2 via the torsion bar 3.

図３を参照して更に具体的に説明する。
前記固定部２は、四角の枠状に形成され、互いに対向する一対の枠辺部に、トーションバー３の端部３ａ，３ａを貼り付ける等して組付ける切欠部２ａ，２ａを形成してある。
前記トーションバー３は、耐久性を確保するために機械的強度の高い単結晶シリコンウエハから形成し、固定部２に組付ける各端部３ａ，３ａ及び後述の回動板１２との位置出しのための中央部３ｂを、可動板１０の回動動作に伴って捩られる軸部３ｃ，３ｃより幅広に形成する。また、各端部３ａ，３ａは、組立工程におけるハンドリング性を向上させるために他の部位より厚くしてある。尚、トーションバー３は、必ずしも端部３ａ，３ａを厚く形成する必要はなく、一様な厚さに形成してもよい。 This will be described more specifically with reference to FIG.
The fixing portion 2 is formed in a square frame shape, and is formed with notches 2a and 2a that are assembled by attaching the end portions 3a and 3a of the torsion bar 3 to a pair of frame sides facing each other. is there.
The torsion bar 3 is formed of a single crystal silicon wafer having high mechanical strength in order to ensure durability, and is positioned with respect to each of the end portions 3a and 3a assembled to the fixed portion 2 and a rotating plate 12 described later. The central portion 3b for this purpose is formed wider than the shaft portions 3c, 3c that are twisted as the movable plate 10 rotates. Each end 3a, 3a is thicker than the other parts in order to improve handling in the assembly process. The torsion bar 3 does not necessarily need to be thick at the end portions 3a, 3a, and may be formed at a uniform thickness.

前記可動板１０は、駆動コイル４を一体形成した柔軟なフレキシブルシート１１と、該フレキシブルシート１１を貼り付ける剛体の回動板１２と、該回動板１２に貼り付けるミラー板１３とで構成されている。
前記フレキシブルシート１１は、ポリイミド等の絶縁体シートに導体箔で駆動コイル４と当該駆動コイル４の引出し配線部４Ａを一体形成したもので、例えばＦＰＣ（Flexible printed circuits）を用いる。
前記回動板１２は、例えば単結晶シリコンより安価な通常のシリコンウエハで形成し、一方の面（図３の上面側）に、トーションバー３を組付けたときに回動板中心部とトーションバー中央部とだけが互いに連結するような溝部が形成されている。前記溝部は、トーションバー３の中央部３ｂを貼り付ける第１の溝部１２ａと、トーションバー３の軸部３ｃ，３ｃを回動板１２から浮遊状態にするための第２の溝部１２ｂとからなる。前記第１の溝部１２ａの深さを、トーションバー中央部３ｂの厚さより深く形成し、該第１の溝部１２ａの両側に当該第１の溝部１２ａと直交するように形成された第２の溝部１２ｂは、第１の溝部１２ａより更に深く形成する。 The movable plate 10 includes a flexible flexible sheet 11 integrally formed with the drive coil 4, a rigid rotating plate 12 to which the flexible sheet 11 is attached, and a mirror plate 13 to be attached to the rotating plate 12. ing.
The flexible sheet 11 is formed by integrally forming a drive coil 4 and a lead wiring portion 4A of the drive coil 4 on a conductive foil on an insulating sheet such as polyimide, and uses, for example, FPC (Flexible printed circuits).
The rotating plate 12 is formed of, for example, a normal silicon wafer that is cheaper than single crystal silicon, and when the torsion bar 3 is assembled on one surface (the upper surface side in FIG. 3), the rotating plate center portion and the torsion are formed. Grooves are formed so that only the central part of the bar is connected to each other. The groove portion includes a first groove portion 12a for attaching the central portion 3b of the torsion bar 3 and a second groove portion 12b for causing the shaft portions 3c and 3c of the torsion bar 3 to float from the rotating plate 12. . The depth of the first groove portion 12a is deeper than the thickness of the central portion 3b of the torsion bar, and the second groove portion is formed on both sides of the first groove portion 12a so as to be orthogonal to the first groove portion 12a. 12b is formed deeper than the first groove 12a.

前記ミラー板１３は、例えばシリコン板やガラス基板上に金、銀又はアルミニウム等を蒸着して光ビーム反射走査用の反射ミラー１４を形成したものである。尚、反射ミラー１４に代えて発光素子を設けるようにしてもよい。
前記静磁界発生手段５は、永久磁石６と、この永久磁石６の両側に設けられるヨーク７，７とで構成される。 The mirror plate 13 is formed, for example, by depositing gold, silver or aluminum on a silicon plate or glass substrate to form a reflection mirror 14 for light beam reflection scanning. A light emitting element may be provided instead of the reflection mirror 14.
The static magnetic field generating means 5 includes a permanent magnet 6 and yokes 7 and 7 provided on both sides of the permanent magnet 6.

この電磁アクチュエータ１を組み立てる場合は、例えば、回動板１２の第１の溝部１２ａに、トーションバー３の中央部３ｂを貼り付けて回動板１２とトーションバー３を連結する。次いで、ミラー板１３を回動板１２の上面に貼り付け、フレキシブルシート１１を回動板１２の下面側に貼り付ける。そして、トーションバー３の両端部３ａ，３ａを、固定部２の切欠部２ａ，２ａに貼り付ける。その後、静磁界発生手段５を固定部２に組付けて可動板１０の下方に配置する。   When assembling the electromagnetic actuator 1, for example, the central portion 3 b of the torsion bar 3 is attached to the first groove portion 12 a of the rotating plate 12 to connect the rotating plate 12 and the torsion bar 3. Next, the mirror plate 13 is attached to the upper surface of the rotating plate 12, and the flexible sheet 11 is attached to the lower surface side of the rotating plate 12. Then, both end portions 3 a and 3 a of the torsion bar 3 are attached to the cutout portions 2 a and 2 a of the fixing portion 2. Thereafter, the static magnetic field generating means 5 is assembled to the fixed portion 2 and disposed below the movable plate 10.

これにより、図２に示すように、可動板１０の中心部のみにトーションバー３が連結し、トーションバー３の軸部３ｃ，３ｃが可動板１０内で浮遊した状態、言い換えれば、可動板１０の下側にトーションバー３が潜り込んだ状態で、トーションバー３を介して可動板１０を固定部２に揺動可能に軸支する構造のプレーナ型電磁アクチュエータ１が完成する。   As a result, as shown in FIG. 2, the torsion bar 3 is connected only to the central portion of the movable plate 10, and the shaft portions 3 c and 3 c of the torsion bar 3 float in the movable plate 10, in other words, the movable plate 10. The planar electromagnetic actuator 1 having a structure in which the movable plate 10 is pivotally supported on the fixed portion 2 via the torsion bar 3 in a state where the torsion bar 3 is buried under the torsion bar 3 is completed.

かかる構造の電磁アクチュエータ１によれば、可動板１０の回動動作に伴って捩られるトーションバー３の軸部３ｃ，３ｃの上方に重複するように可動板１０が配置されるので、トーションバー３の長さを従来と同じとしつつ、可動板１０の面積を大きくすることが可能である。また、従来と同じ可動板面積の電磁アクチュエータを小型化することができる。しかも、高価な単結晶シリコンウエハを用いるのはトーションバー部分だけとなるので、単結晶シリコンウエハからの取り数を大幅に増やせ、部品点数は増加するもののその他の各部品は安価な材料で形成できるので、電磁アクチュエータの製造コストを大幅に低減できる。また、各部品の製造を平行して行えるので、リードタイムの短縮が可能となる。また、フレキシブルシート１１で駆動コイル４の引出し配線部４Ａを形成したので、可動板１０の揺動動作に伴う捩れに対する駆動コイル引出し配線部の耐久性を向上できる。   According to the electromagnetic actuator 1 having such a structure, since the movable plate 10 is disposed so as to overlap above the shaft portions 3c, 3c of the torsion bar 3 that is twisted with the rotation of the movable plate 10, the torsion bar 3 It is possible to increase the area of the movable plate 10 while keeping the length of the same as the conventional one. Further, it is possible to reduce the size of the electromagnetic actuator having the same movable plate area as the conventional one. In addition, since only the torsion bar portion uses an expensive single crystal silicon wafer, the number of parts taken from the single crystal silicon wafer can be greatly increased and the number of parts can be increased, but other parts can be formed of inexpensive materials. Therefore, the manufacturing cost of the electromagnetic actuator can be greatly reduced. In addition, since the parts can be manufactured in parallel, the lead time can be shortened. Further, since the lead wiring portion 4A of the drive coil 4 is formed by the flexible sheet 11, the durability of the drive coil lead wiring portion with respect to torsion accompanying the swinging motion of the movable plate 10 can be improved.

更に、可動板１０の厚さを自由に調整できるので、電磁アクチュエータを共振駆動して使用する場合に、その共振周波数を可動板１０の厚さを調整することで柔軟に対応できる。また、ミラー板１３の厚さも自由に調整できるので、光走査用アクチュエータとして用いる場合に、ミラー板１３の厚さを調整することで光走査に影響を及ぼす反射ミラー１４の反りにも対処できる。   Furthermore, since the thickness of the movable plate 10 can be freely adjusted, when the electromagnetic actuator is used while being resonantly driven, the resonance frequency can be flexibly adjusted by adjusting the thickness of the movable plate 10. In addition, since the thickness of the mirror plate 13 can be freely adjusted, when used as an optical scanning actuator, the thickness of the mirror plate 13 can be adjusted to cope with the warp of the reflecting mirror 14 that affects the optical scanning.

上記実施形態では、可動板１０を、フレキシブルシート１１、剛体の回動板１２及びミラー板１３で構成するものとしたが、回動板１２を省略し、ミラー板１３の下面側に第１の溝部１２ａ及び第２の溝部１２ｂを形成し、ミラー板１３にフレキシブルシート１１を貼り付ける構成としてもよい。かかる構成では、回動板１２を省略することができ、部品点数を削減できる。尚、光走査用でない通常の電磁アクチュエータとして使用する場合は、反射ミラー１４が不要で、ミラー板１３は回動板１２に相当することになる。
また、ミラー板１３（反射ミラー１４がない場合は回動板となる）をシリコンで形成し、前記ミラー板１３に駆動コイル４をパターニングして形成する構成としてもよい。かかる構成によれば、フレキシブルシート１１を省略でき、部品点数を削減でき、また、組立て作業が簡素化できる。 In the above embodiment, the movable plate 10 is composed of the flexible sheet 11, the rigid rotating plate 12, and the mirror plate 13. However, the rotating plate 12 is omitted, and the first surface is provided on the lower surface side of the mirror plate 13. It is good also as a structure which forms the groove part 12a and the 2nd groove part 12b, and affixes the flexible sheet 11 on the mirror board 13. FIG. In such a configuration, the rotating plate 12 can be omitted, and the number of parts can be reduced. When used as a normal electromagnetic actuator not for optical scanning, the reflection mirror 14 is unnecessary and the mirror plate 13 corresponds to the rotating plate 12.
Alternatively, the mirror plate 13 (or a rotating plate when the reflection mirror 14 is not provided) may be formed of silicon, and the drive coil 4 may be formed on the mirror plate 13 by patterning. According to such a configuration, the flexible sheet 11 can be omitted, the number of parts can be reduced, and the assembly work can be simplified.

図４及び図５に、本発明のプレーナ型電磁アクチュエータの第２実施形態を示す。尚、第１実施形態と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
図４は、トーションバーと可動板の組立て前の断面図を示し、図５は、組立て後の状態を示す断面図である。
図４において、本実施形態のトーションバー２１は、可動板２２と連結する中央部に位置出し用の凸状部２１ｂを形成してある。尚、固定部２に組付ける各端部２１ａ，２１ａは、軸部２１ｃ，２１ｃと同じ厚さの平坦状に形成してあるが、組立工程におけるハンドリング性を向上させるために第１実施形態と同様に厚く形成してもよい。
一方、本実施形態の可動板２２は、例えばシリコンからなり、その中心部に位置出し用の穴部２２ａを形成してある。また、その上面には、駆動コイル４をパターニングして形成する。尚、光走査用電磁アクチュエータとして使用する場合は、駆動コイル４上に絶縁層を介して反射ミラー１４や発光素子を設ければよい。また、可動板２２に駆動コイル４を形成する場合、駆動コイル４の引出しは、ワイヤボンディングで行ってもよく、或いは、トーションバー２１に導電材を設けると共に、可動板２２の中心部付近にスルーホールを形成し、前記スルーホースを介して前記導電材に駆動コイルを接続して引出すようにすればよい。尚、可動板２２の下面側に駆動コイル４を形成するようにしてもよい。 4 and 5 show a second embodiment of the planar electromagnetic actuator of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same element as 1st Embodiment, and description is abbreviate | omitted.
FIG. 4 is a cross-sectional view of the torsion bar and the movable plate before assembly, and FIG. 5 is a cross-sectional view of the state after assembly.
In FIG. 4, the torsion bar 21 of the present embodiment is formed with a convex portion 21 b for positioning at the center portion connected to the movable plate 22. The end portions 21a and 21a to be assembled to the fixed portion 2 are formed in a flat shape having the same thickness as the shaft portions 21c and 21c. However, in order to improve the handling property in the assembly process, Similarly, it may be formed thick.
On the other hand, the movable plate 22 of this embodiment is made of, for example, silicon, and has a positioning hole 22a formed at the center thereof. Further, the drive coil 4 is formed on the upper surface by patterning. When used as an optical actuator for optical scanning, the reflection mirror 14 and the light emitting element may be provided on the drive coil 4 via an insulating layer. When the drive coil 4 is formed on the movable plate 22, the drive coil 4 may be pulled out by wire bonding. Alternatively, a conductive material is provided on the torsion bar 21 and a through-hole is provided near the center of the movable plate 22. A hole may be formed, and a drive coil may be connected to the conductive material via the through hose and pulled out. The drive coil 4 may be formed on the lower surface side of the movable plate 22.

本実施形態では、トーションバー２１と可動板２２を組付けるには、トーションバー２１の凸状部２１ｂと可動板２２の穴部２２ａを位置合わせし、凸状部２１ｂの上部を可動板２２の穴部２２ａに嵌合し貼り付ける。これにより、図５に示すように、可動板２２の中心部だけにトーションバー２１が連結し、トーションバー２１の軸部２１ｃ，２１ｃの上方に可動板２２が浮き上がった状態となる。この状態で、トーションバー２１の端部２１ａ，２１ａを、枠状の固定部２に組付ける。   In this embodiment, in order to assemble the torsion bar 21 and the movable plate 22, the convex portion 21 b of the torsion bar 21 and the hole 22 a of the movable plate 22 are aligned, and the upper portion of the convex portion 21 b is positioned on the movable plate 22. Fit into the hole 22a and paste. Thereby, as shown in FIG. 5, the torsion bar 21 is connected only to the central portion of the movable plate 22, and the movable plate 22 is lifted above the shaft portions 21 c and 21 c of the torsion bar 21. In this state, the end portions 21 a and 21 a of the torsion bar 21 are assembled to the frame-shaped fixing portion 2.

かかる第２実施形態の構成によれば、第１実施形態と同様に、トーションバー長さを従来と同じとしつつ、可動板面積を大きくすることが可能であり、従来と同様の可動板面積であれば、電磁アクチュエータの小型化が可能となる。また、高価な単結晶シリコンウエハを用いるのがトーションバー部分だけであり、製造コストを大幅に低減できる。また、各部品の製造を平行して行えるので、リードタイムの短縮が可能となる。更に、凸状部２１ｂと穴部２２ａを位置合わせするだけで、可動板２２とトーションバー２１の組付けができるので、組立て作業が容易になる利点がある。   According to the configuration of the second embodiment, similarly to the first embodiment, it is possible to increase the movable plate area while keeping the length of the torsion bar the same as the conventional one, and with the same movable plate area as the conventional one. If so, the electromagnetic actuator can be miniaturized. Further, only the torsion bar portion uses an expensive single crystal silicon wafer, and the manufacturing cost can be greatly reduced. In addition, since the parts can be manufactured in parallel, the lead time can be shortened. Furthermore, since the movable plate 22 and the torsion bar 21 can be assembled simply by aligning the convex portion 21b and the hole portion 22a, there is an advantage that the assembling work is facilitated.

次に、本発明のプレーナ型電磁アクチュエータの第３実施形態について説明する。
本実施形態は、トーションバーと可動板を一体形成したものである。
図６に、本実施形態の電磁アクチュエータの製造工程の概略を示す。
図６において、トーションバー形成用の半導体ウエハとして例えば絶縁層１０１ａを有するＳＯＩ構造の単結晶シリコンウエハ１０１を準備する（同図（ａ））。次に、シリコンウエハ１０１をエッチング加工により例えば第２実施形態と同形状のトーションバー部分１０２を形成する（同図（ｂ））。次に、トーションバー部分１０２を形成したウエハ１０１上に犠牲層１０３を形成する。犠牲層１０３の表面は、トーションバー部分１０２中央部の凸状部１０２ａと面一にする（同図（ｃ））。次に、犠牲層１０３上にシリコン層を成長形成して可動板部分１０４を形成する。これにより、トーションバー部分１０２の凸状部１０２ａと一体の可動板部分１０４が形成される（同図（ｄ））。その後、可動板部分１０４を加工して可動板３２が形成される。次に、犠牲層１０３を溶かして除去し、ウエハ１０１底部のシリコン部分と絶縁層１０１ａを除去する。これにより、固定部２に組付ける端部３１ａ，３１ａ、凸状部３１ｂ及び軸部３１ｃ，３１を有するトーションバー３１が形成される（同図（ｅ））。ここで、ウエハ１０１底部のシリコン部分と絶縁層１０１ａの除去時に、固定部２に組付ける端部３１ａ，３１ａに相当する部分を、図中点線で示すように残すことで、チップのハンドリング性を向上することもできる。尚、図６（ｅ）の工程の以前に、可動板３２の上に駆動コイル４や反射ミラー１４等を形成するが、ここでは図示を省略してある。また、本実施形態では、ＳＯＩ構造のウエハを使用する例を示したが、通常のシリコンウエハを使用してもよいことは言うまでもない。 Next, a third embodiment of the planar electromagnetic actuator of the present invention will be described.
In this embodiment, a torsion bar and a movable plate are integrally formed.
In FIG. 6, the outline of the manufacturing process of the electromagnetic actuator of this embodiment is shown.
In FIG. 6, an SOI structure single crystal silicon wafer 101 having, for example, an insulating layer 101a is prepared as a semiconductor wafer for forming a torsion bar (FIG. 6A). Next, the torsion bar portion 102 having the same shape as that of the second embodiment is formed by etching the silicon wafer 101 (FIG. 5B). Next, a sacrificial layer 103 is formed on the wafer 101 on which the torsion bar portion 102 is formed. The surface of the sacrificial layer 103 is flush with the convex portion 102a at the center of the torsion bar portion 102 (FIG. 3C). Next, a movable layer 104 is formed by growing a silicon layer on the sacrificial layer 103. As a result, the movable plate portion 104 integral with the convex portion 102a of the torsion bar portion 102 is formed ((d) in the figure). Thereafter, the movable plate portion 104 is processed to form the movable plate 32. Next, the sacrificial layer 103 is melted and removed, and the silicon portion at the bottom of the wafer 101 and the insulating layer 101a are removed. Thereby, the torsion bar 31 which has the edge parts 31a and 31a assembled | attached to the fixing | fixed part 2, the convex-shaped part 31b, and the axial parts 31c and 31 is formed (the figure (e)). Here, when the silicon portion at the bottom of the wafer 101 and the insulating layer 101a are removed, the portions corresponding to the end portions 31a and 31a to be assembled to the fixing portion 2 are left as shown by dotted lines in the figure, thereby improving the chip handling property. It can also be improved. Before the step of FIG. 6E, the drive coil 4 and the reflection mirror 14 are formed on the movable plate 32, but the illustration is omitted here. In this embodiment, an example in which a wafer having an SOI structure is used has been described, but it goes without saying that a normal silicon wafer may be used.

上記の各実施形態では、可動板に駆動コイルを設ける構成としたが、フレキシブルシート１１を用いない構成においては、可動板側に薄膜磁石を形成し、固定部側に電磁コイルを配置する構成としてもよい。   In each of the above embodiments, the drive coil is provided on the movable plate. However, in the configuration in which the flexible sheet 11 is not used, a thin film magnet is formed on the movable plate side and an electromagnetic coil is arranged on the fixed portion side. Also good.

上述した１軸タイプの各実施形態の構成は、互いに直交する２つの軸を有する２軸タイプのプレーナ型電磁アクチュエータにも適用できる。
図７及び図８に、２軸タイプのプレーナ型電磁アクチュエータに適用した本発明の第４実施形態を示す。図７は平面図であり、図８は図７のＢ−Ｂ矢視断面図である。
図において、本実施形態のプレーナ型電磁アクチュエータ４０は、可動板が、図示しない枠状の固定部２に第１のトーションバーである外側トーションバー４２Ａ，４２Ａを介して揺動可能に軸支される枠状の第１の可動板である外側可動板４１Ａと、外側可動板４１Ａに外側トーションバー４２Ａ，４２Ａと軸方向が直角な第２のトーションバーである内側トーションバー４２Ｂを介して揺動可能に軸支される第２の可動板である内側可動板４１Ｂとからなる。外側トーションバー４２Ａ，４２Ａ、枠状の外側可動板４１Ａ及び内側トーションバー４２Ｂは、半導体ウエハをエッチングして一体形成し、内側可動板４１Ｂは別に形成する。また、外側トーションバー４２Ａ，４２Ａの各端部４２ａ，４２ａを、その軸部より幅広に形成し、内側トーションバー４２Ｂの中央部に凸状部４２ｂを形成する。そして、内側可動板４１Ｂの中心部に内側トーションバー４２Ｂの凸状部４２ｂを連結する構成である。 The configuration of each embodiment of the single-axis type described above can also be applied to a two-axis type planar electromagnetic actuator having two axes orthogonal to each other.
7 and 8 show a fourth embodiment of the present invention applied to a two-axis type planar electromagnetic actuator. 7 is a plan view, and FIG. 8 is a cross-sectional view taken along arrow BB in FIG.
In the figure, in the planar electromagnetic actuator 40 of the present embodiment, a movable plate is pivotally supported by a frame-like fixed portion 2 (not shown) so as to be swingable via outer torsion bars 42A and 42A as first torsion bars. The outer movable plate 41A, which is a frame-shaped first movable plate, and the outer movable plate 41A, the outer torsion bars 42A, 42A and the inner torsion bar 42B, which is a second torsion bar perpendicular to the axial direction. The inner movable plate 41B is a second movable plate that is pivotally supported. The outer torsion bars 42A and 42A, the frame-shaped outer movable plate 41A, and the inner torsion bar 42B are integrally formed by etching a semiconductor wafer, and the inner movable plate 41B is formed separately. Further, the end portions 42a, 42a of the outer torsion bars 42A, 42A are formed wider than the shaft portions, and a convex portion 42b is formed at the center of the inner torsion bar 42B. And the convex part 42b of the inner side torsion bar 42B is connected with the center part of the inner side movable plate 41B.

かかる２軸タイプの電磁アクチュエータの構成によれば、内側可動板４１Ｂを大きくすることができる。
尚、第４実施形態では、内側可動板４１Ｂと内側トーションバー４２Ｂの連結構造として第２実施形態の構造を適用したものを示したが、上述した第１及び第３実施形態の連結構造としてもよいことは言うまでもない。 According to the configuration of the two-axis type electromagnetic actuator, the inner movable plate 41B can be enlarged.
In the fourth embodiment, the structure in which the structure of the second embodiment is applied as the connection structure between the inner movable plate 41B and the inner torsion bar 42B is shown. However, the connection structure in the first and third embodiments described above may be used. Needless to say, it is good.

２軸タイプの電磁アクチュエータにおいて、図９及び図１０に示す本発明の第５実施形態のように、内側可動板４１Ｂ′を枠状の外側可動板４１Ａの上方まで拡大して構成してもよい。ただし、かかる構成では、内側可動板４１Ｂ′の駆動時に、内側可動板４１Ｂ′が外側可動板４１Ａ及び外側トーションバー４２Ａ，４２Ａと干渉することを防止するために、内側トーションバー４２Ｂ′の中央部の凸状部４２ｂ′の高さを図１０に示すように高く形成する必要がある。尚、第５実施形態において、第４実施形態と同一要素には同一符号付してある。   In the biaxial electromagnetic actuator, as in the fifth embodiment of the present invention shown in FIGS. 9 and 10, the inner movable plate 41B ′ may be configured to expand above the frame-shaped outer movable plate 41A. . However, in such a configuration, in order to prevent the inner movable plate 41B ′ from interfering with the outer movable plate 41A and the outer torsion bars 42A and 42A when the inner movable plate 41B ′ is driven, the central portion of the inner torsion bar 42B ′ is used. The height of the convex portion 42b 'needs to be formed high as shown in FIG. In the fifth embodiment, the same elements as those in the fourth embodiment are denoted by the same reference numerals.

本発明の第１実施形態を示す平面図The top view which shows 1st Embodiment of this invention 図１のＡ−Ａ矢視断面図AA arrow sectional view of FIG. 同上第１実施形態の電磁アクチュエータの分解図Exploded view of the electromagnetic actuator of the first embodiment 本発明の第２実施形態におけるトーションバーと可動板の組立て前の断面図Sectional drawing before the assembly of the torsion bar and movable plate in 2nd Embodiment of this invention 同上第２実施形態のトーションバーと可動板の組立て後の断面図Sectional view after assembly of torsion bar and movable plate of second embodiment same as above 本発明の第３実施形態の製造工程を説明する図The figure explaining the manufacturing process of 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態の要部を示す平面図The top view which shows the principal part of 4th Embodiment of this invention. 図７のＢ−Ｂ矢視断面図BB arrow sectional view of FIG. 本発明の第５実施形態の要部を示す平面図The top view which shows the principal part of 5th Embodiment of this invention 図９のＣ−Ｃ矢視断面図CC sectional view of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１、４０ 電磁アクチュエータ
２ 固定部
２ａ 切欠部
３、２１、３１、１０２ トーションバー
３ａ、２１ａ、３１ａ，４２ａ 端部
３ｂ 中央部
３ｃ、２１ｃ、３１ｃ 軸部
４ 駆動コイル
４ａ 引出し配線部
５ 静磁界発生手段
６ 永久磁石
７ ヨーク
１０、２２、３２，１０４ 可動板
１１ フレキシブルシート
１２ 回動板
１２ａ 第１の溝部
１２ｂ 第２の溝部
１３ ミラー板
１４ 反射ミラー
２１ｂ、３１ｂ，４２ｂ、４２ｂ′、１０２ａ 凸状部（トーションバーの）
２２ａ 穴部
４１Ａ 外側可動板
４１Ｂ、４１Ｂ′ 内側可動板
４２Ａ 外側トーションバー
４２Ｂ、４２Ｂ′ 内側トーションバー
１０１ ＳＯＩ構造の単結晶シリコン
１０１ａ 絶縁層
１０３ 犠牲層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 40 Electromagnetic actuator 2 Fixed part 2a Notch part 3, 21, 31, 102 Torsion bar 3a, 21a, 31a, 42a End part 3b Center part 3c, 21c, 31c Shaft part 4 Drive coil 4a Lead-out wiring part 5 Static magnetic field generation Means 6 Permanent magnet 7 Yoke 10, 22, 32, 104 Movable plate 11 Flexible sheet 12 Rotating plate 12a First groove 12b Second groove 13 Mirror plate 14 Reflective mirrors 21b, 31b, 42b, 42b ', 102a Convex shape Department (of torsion bar)
22a Hole 41A Outer movable plate 41B, 41B 'Inner movable plate 42A Outer torsion bar 42B, 42B' Inner torsion bar 101 Single crystal silicon 101a with SOI structure Insulating layer 103 Sacrificial layer

Claims (11)

枠状の固定部にトーションバーを介して揺動可能に軸支した可動板を、通電により駆動コイルに発生する磁界と静磁界発生手段による静磁界との相互作用で発生する電磁力を用いて駆動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、
前記可動板の中心部に前記トーションバーの中央部を連結し、当該トーションバーの両端部を前記固定部の互いに対向する枠部に組付けて、当該トーションバーを介して前記可動板を前記固定部に軸支する構成としたことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。 An electromagnetic force generated by the interaction between the magnetic field generated in the drive coil by the energization and the static magnetic field generated by the static magnetic field generating means is supported on a movable plate pivotally supported by a frame-like fixed part via a torsion bar. In the planar type electromagnetic actuator to drive,
The central portion of the torsion bar is connected to the central portion of the movable plate, both ends of the torsion bar are assembled to the mutually opposing frame portions, and the movable plate is fixed via the torsion bar. A planar electromagnetic actuator characterized in that it is configured to be pivotally supported on the part. 前記トーションバーは、前記可動板と連結する中央部及び前記固定部に組付ける両端部を、前記可動板の回動動作に伴って捩られる軸部より幅広に形成した請求項１に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。   2. The planar device according to claim 1, wherein the torsion bar is formed such that a central portion connected to the movable plate and both end portions to be assembled to the fixed portion are wider than a shaft portion that is twisted as the movable plate rotates. Type electromagnetic actuator. 前記可動板と前記トーションバーとを別体で形成し、前記トーションバーと前記可動板を組付ける構成である請求項１又は２に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。   The planar electromagnetic actuator according to claim 1 or 2, wherein the movable plate and the torsion bar are formed separately, and the torsion bar and the movable plate are assembled. 前記可動板の中心部に位置出し用の穴部を形成する一方、前記トーションバーの中央部に位置出し用の凸状部を形成し、前記穴部に前記凸状部の上部を嵌合して、前記可動板と前記トーションバーとを組付ける構成である請求項３に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。   While a positioning hole is formed at the center of the movable plate, a positioning convex is formed at the center of the torsion bar, and the upper part of the convex is fitted into the hole. The planar electromagnetic actuator according to claim 3, wherein the movable plate and the torsion bar are assembled. 前記可動板の一方の面に、当該可動板に前記トーションバーを組付けたときに可動板中心部とトーションバー中央部とだけが互いに連結するような溝部を形成する構成とした請求項３に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。   The groove portion is formed on one surface of the movable plate so that only the central portion of the movable plate and the central portion of the torsion bar are connected to each other when the torsion bar is assembled to the movable plate. The described planar electromagnetic actuator. 前記トーションバーと前記可動板とを一体形成する請求項１又は２に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。   The planar electromagnetic actuator according to claim 1 or 2, wherein the torsion bar and the movable plate are integrally formed. 前記可動板が、前記駆動コイルと前記静磁界発生手段のどちらか一方を一体形成した剛体からなる請求項１〜６のいずれか１つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。   The planar electromagnetic actuator according to any one of claims 1 to 6, wherein the movable plate is made of a rigid body integrally formed with either the drive coil or the static magnetic field generating means. 前記可動板が、前記駆動コイルを一体形成した柔軟なフレキシブルシートと、該フレキシブルシートを貼り付ける剛体の回動板とを有し、前記回動板と前記トーションバーとを連結する構成とした請求項１〜６のいずれか１つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。   The movable plate has a flexible flexible sheet integrally formed with the drive coil and a rigid rotating plate to which the flexible sheet is attached, and connects the rotating plate and the torsion bar. Item 7. The planar electromagnetic actuator according to any one of Items 1 to 6. 前記可動板が、更に、ミラーを形成したミラー板を有し、該ミラー板を前記回動板に取付ける構成である請求項８に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。   The planar electromagnetic actuator according to claim 8, wherein the movable plate further includes a mirror plate on which a mirror is formed, and the mirror plate is attached to the rotating plate. 前記可動板に、ミラーを一体形成した請求項７又は８に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。   The planar electromagnetic actuator according to claim 7 or 8, wherein a mirror is integrally formed on the movable plate. 前記可動板が、前記固定部に第１のトーションバーを介して揺動可能に軸支される枠状の第１の可動板と、該第１の可動板に前記第１のトーションバーと軸方向が直角な第２のトーションバーを介して揺動可能に軸支される第２の可動板とからなり、前記第２の可動板の中心部に前記第２のトーションバーの中央部を連結し、前記第１のトーションバーの両端部を前記固定部の互いに対向する枠部に組付ける構成とした請求項１〜１０のいずれか１つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。   The movable plate is a frame-shaped first movable plate that is pivotally supported by the fixed portion via a first torsion bar, and the first torsion bar and the shaft are supported on the first movable plate. A second movable plate that is pivotally supported via a second torsion bar that is perpendicular to the direction, and connects the central portion of the second torsion bar to the central portion of the second movable plate. The planar electromagnetic actuator according to any one of claims 1 to 10, wherein both end portions of the first torsion bar are assembled to frame portions of the fixed portion facing each other.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011037025A1 (en) * 2009-09-28 2011-03-31 独立行政法人産業技術総合研究所 Light beam scanning device
WO2013027400A1 (en) * 2011-08-25 2013-02-28 株式会社ニコン Method for manufacturing spatial light modulation element, spatial light modulation element, spatial light modulator and exposure apparatus
JP2013250538A (en) * 2012-06-04 2013-12-12 Seiko Epson Corp Image display device and head mounted display
JP2014038239A (en) * 2012-08-17 2014-02-27 Seiko Epson Corp Image display device and head-mounted type image display device
CN104570333A (en) * 2013-10-29 2015-04-29 精工爱普生株式会社 Optical scanner, image display device, head mount display, and head-up display
CN104570335A (en) * 2013-10-29 2015-04-29 精工爱普生株式会社 Optical scanner, image display device, head mount display, and head-up display
CN104570334A (en) * 2013-10-29 2015-04-29 精工爱普生株式会社 Optical scanner, image display device, head mount display, and head-up display

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02120715A (en) * 1988-10-29 1990-05-08 Toshiba Corp Driving device for minute turning of mirror
JPH04243029A (en) * 1991-01-16 1992-08-31 Canon Inc Turning mirror device for tracking
JPH1020226A (en) * 1996-06-28 1998-01-23 Olympus Optical Co Ltd Optical scanner
JP2007033787A (en) * 2005-07-26 2007-02-08 Fujifilm Corp Ultrathin film moving element, its array, and drive method of the array
JP2007272139A (en) * 2006-03-31 2007-10-18 Citizen Miyota Co Ltd Planar actuator

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02120715A (en) * 1988-10-29 1990-05-08 Toshiba Corp Driving device for minute turning of mirror
JPH04243029A (en) * 1991-01-16 1992-08-31 Canon Inc Turning mirror device for tracking
JPH1020226A (en) * 1996-06-28 1998-01-23 Olympus Optical Co Ltd Optical scanner
JP2007033787A (en) * 2005-07-26 2007-02-08 Fujifilm Corp Ultrathin film moving element, its array, and drive method of the array
JP2007272139A (en) * 2006-03-31 2007-10-18 Citizen Miyota Co Ltd Planar actuator

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011070096A (en) * 2009-09-28 2011-04-07 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology Light beam scanner
WO2011037025A1 (en) * 2009-09-28 2011-03-31 独立行政法人産業技術総合研究所 Light beam scanning device
US8804223B2 (en) 2009-09-28 2014-08-12 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology Light beam scanning device with a silicon mirror on a metal substrate
JPWO2013027400A1 (en) * 2011-08-25 2015-03-05 株式会社ニコン Spatial light modulation element manufacturing method, spatial light modulation element, spatial light modulator, and exposure apparatus
WO2013027400A1 (en) * 2011-08-25 2013-02-28 株式会社ニコン Method for manufacturing spatial light modulation element, spatial light modulation element, spatial light modulator and exposure apparatus
US9217860B2 (en) 2011-08-25 2015-12-22 Nikon Corporation Spatial light modulation elements, method for manufacturing same, and spatial light modulators and exposure apparatus comprising same
JP2013250538A (en) * 2012-06-04 2013-12-12 Seiko Epson Corp Image display device and head mounted display
JP2014038239A (en) * 2012-08-17 2014-02-27 Seiko Epson Corp Image display device and head-mounted type image display device
CN104570333A (en) * 2013-10-29 2015-04-29 精工爱普生株式会社 Optical scanner, image display device, head mount display, and head-up display
CN104570335A (en) * 2013-10-29 2015-04-29 精工爱普生株式会社 Optical scanner, image display device, head mount display, and head-up display
CN104570334A (en) * 2013-10-29 2015-04-29 精工爱普生株式会社 Optical scanner, image display device, head mount display, and head-up display
JP2015087444A (en) * 2013-10-29 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 Optical scanner, image display device, head-mounted display, and head-up display
JP2015087443A (en) * 2013-10-29 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 Optical scanner, image display device, head-mounted display, and head-up display
JP2015087442A (en) * 2013-10-29 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 Optical scanner, image display device, head-mounted display, and head-up display
US9772490B2 (en) 2013-10-29 2017-09-26 Seiko Epson Corporation Optical scanner, image display device, head mount display, and heads-up display

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