JP2008304836A - 露光装置用基板搬送機構及びそれを用いた基板位置調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板搬送機構20は、略矩形状の基板Wに対してマスクMを介して露光用光ELを照射し、基板WにマスクMのパターンPを露光する近接スキャン露光装置1に適用され、基板Wを浮上させて支持すると共に、基板Wを所定方向に搬送する。基板搬送機構20は、基板搬入側領域IAに設けられ、基板搬入側領域IAで待機される基板Wのプリアライメントを行う基板プリアライメント機構50を備える。プリアライメント機構50は、基板Wの対向辺の一側近傍に配置される、上下方向に進退可能な基準ピン51,52と、対向辺の他側近傍に配置され、上下方向に進退可能、且つ、基板Wに向かう方向に移動可能な押し当てピン53,54とを有する。
【選択図】図7
Description
(1) 略矩形状の基板に対してマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記マスクのパターンを露光する露光装置に適用され、前記基板を浮上させて支持すると共に、該基板を所定方向に搬送する露光装置用基板搬送機構であって、
前記基板が前記マスクと対向する領域より上流側の基板搬入側領域に設けられ、該基板搬入側領域で待機される前記基板のプリアライメントを行う基板プリアライメント機構、を備え、
前記プリアライメント機構は、該基板搬入側領域で待機される前記基板の対向辺の一側近傍に配置される、上下方向に進退可能な複数の基準ピンと、該対向辺の他側近傍に配置され、上下方向に進退可能、且つ、該基板に向かう方向に移動可能な少なくとも一つの押し当てピンと、を有することを特徴とする露光装置用基板搬送機構。
(2) 前記基板を浮上させて支持する複数のエアパッドをさらに有し、
前記基板に対して下方から延出する前記基準ピン及び前記押し当てピンは、上面視で前記複数のエアパッドと重ならない位置に配置されていることを特徴とする(1)に記載の露光装置用基板搬送機構。
(3) 前記基板搬入側領域には、前記基板を吸着すると共に、該吸着した基板を水平面の法線回りに回転すべく、前記所定方向と交差する方向にそれぞれ相対移動可能な一対の吸着ピンを有するアライメント機構が設けられることを特徴とする(1)又は(2)に記載の露光装置用基板搬送機構。
(4) 略矩形状の基板に対してマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記マスクのパターンを露光する露光装置に適用され、前記基板を浮上させて支持すると共に、該基板を所定方向に搬送し、且つ、前記基板が前記マスクと対向する領域より上流側の基板搬入側領域に設けられ、該基板搬入側領域で待機される前記基板のプリアライメントを行う基板プリアライメント機構、を備え、
前記プリアライメント機構は、該基板搬入側領域で待機される前記基板の対向辺の一側近傍に配置される、上下方向に進退可能な複数の基準ピンと、該対向辺の他側近傍に配置され、上下方向に進退可能、且つ、該基板に向かう方向に移動可能な少なくとも一つの押し当てピンと、を有する露光装置用基板搬送機構の基板プリアライメント方法であって、
前記基板搬入側領域に支持される基板の端面と当接可能な位置に前記基準ピン及び前記押し当てピンを進出させる工程と、
前記基板搬入側領域に支持される基板に向けて前記押し当てピンを移動させ、前記基準ピンに当接させてプリアライメントする工程と、
を備えることを特徴とする露光装置用基板搬送機構の基板位置調整方法。
(5) 前記プリアライメント工程後において、前記基板を搬送する基板駆動ユニットが前記基板を把持した後に、前記基準ピン及び前記押し当てピンを前記基板の端面と当接可能な位置から後退させる工程と、
一対の吸着ピンによって前記基板を吸着すると共に、該吸着ピンを前記所定方向と交差する方向にそれぞれ相対移動して、前記基板を水平面の法線回りに回転させるアライメント工程と、
をさらに備えることを特徴とする(4)に記載の露光装置用基板搬送機構の基板位置調整方法。
2 装置ベース
3,4,8 レベルブロック
13 メインフレーム
15 サブフレーム
20 基板搬送機構(露光装置用基板搬送機構)
21 浮上ユニット
23,24 排気エアパッド(エアパッド)
25a,25b 吸排気エアパッド(エアパッド)
26 排気孔
27 吸気孔
40 基板駆動ユニット
50 基板プリアライメント機構
51,52 基準ピン
53,54 押し当てピン
60 基板アライメント機構
61 アライメント用カメラ
62 θ補正用吸着ピン
70 マスク保持機構
71 マスク保持部
72 マスク駆動部
80 照射部
82 ガイドレール
83 スライダ
84a,84b ストッパ部材
90 遮光装置
92 ブラインド駆動ユニット
108,109 ブラインド部材
108a,109a 一端部
120 マスクチェンジャー
121 マスクトレー部
125 エアパッド
126 位置決めピン
140 マスクプリアライメント機構
141 排気エアパッド(エアパッド)
143 押し付け板
144 押し付けピン
160,160a,160b,161 レーザー変位計(検出手段、ギャップセンサ)
171 マスクアライメント用カメラ(検出手段)
172 追従用カメラ(検出手段)
173 追従用照明(検出手段)
190 制御部
CP 交換位置
WP 受け渡し位置
EP 露光位置
RP 後退位置
IA 基板搬入側領域
EA マスク配置領域
OA 基板搬出領域
Claims (5)
- 略矩形状の基板に対してマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記マスクのパターンを露光する露光装置に適用され、前記基板を浮上させて支持すると共に、該基板を所定方向に搬送する露光装置用基板搬送機構であって、
前記基板が前記マスクと対向する領域より上流側の基板搬入側領域に設けられ、該基板搬入側領域で待機される前記基板のプリアライメントを行う基板プリアライメント機構、を備え、
前記プリアライメント機構は、該基板搬入側領域で待機される前記基板の対向辺の一側近傍に配置される、上下方向に進退可能な複数の基準ピンと、該対向辺の他側近傍に配置され、上下方向に進退可能、且つ、該基板に向かう方向に移動可能な少なくとも一つの押し当てピンと、を有することを特徴とする露光装置用基板搬送機構。 - 前記基板を浮上させて支持する複数のエアパッドをさらに有し、
前記基板に対して下方から延出する前記基準ピン及び前記押し当てピンは、上面視で前記複数のエアパッドと重ならない位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の露光装置用基板搬送機構。 - 前記基板搬入側領域には、前記基板を吸着すると共に、該吸着した基板を水平面の法線回りに回転すべく、前記所定方向と交差する方向にそれぞれ相対移動可能な一対の吸着ピンを有するアライメント機構が設けられることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置用基板搬送機構。
- 略矩形状の基板に対してマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記マスクのパターンを露光する露光装置に適用され、前記基板を浮上させて支持すると共に、該基板を所定方向に搬送し、且つ、前記基板が前記マスクと対向する領域より上流側の基板搬入側領域に設けられ、該基板搬入側領域で待機される前記基板のプリアライメントを行う基板プリアライメント機構、を備え、
前記プリアライメント機構は、該基板搬入側領域で待機される前記基板の対向辺の一側近傍に配置される、上下方向に進退可能な複数の基準ピンと、該対向辺の他側近傍に配置され、上下方向に進退可能、且つ、該基板に向かう方向に移動可能な少なくとも一つの押し当てピンと、を有する露光装置用基板搬送機構の基板プリアライメント方法であって、
前記基板搬入側領域に支持される基板の端面と当接可能な位置に前記基準ピン及び前記押し当てピンを進出させる工程と、
前記基板搬入側領域に支持される基板に向けて前記押し当てピンを移動させ、前記基準ピンに当接させてプリアライメントする工程と、
を備えることを特徴とする露光装置用基板搬送機構の基板位置調整方法。 - 前記プリアライメント工程後において、前記基板を搬送する基板駆動ユニットが前記基板を把持した後に、前記基準ピン及び前記押し当てピンを前記基板の端面と当接可能な位置から後退させる工程と、
一対の吸着ピンによって前記基板を吸着すると共に、該吸着ピンを前記所定方向と交差する方向にそれぞれ相対移動して、前記基板を水平面の法線回りに回転させるアライメント工程と、
をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の露光装置用基板搬送機構の基板位置調整方法。
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