JP2008301557A - 超音波モータ駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 圧電特性を損なうことなく、駆動時において発生する自己発熱や環境の温度変化による圧電素子のインピーダンスが変化したとしても安定な駆動特性を有する超音波モータ駆動装置を提供する。
【解決手段】 超音波モータAAに所定の駆動周波数を有する交流電圧を供給する駆動回路Bと、振動に起因して変化する圧電素子Aのインピーダンスを測定する測定回路Cと、第1電極群5A及び第2電極群5Bのうち一方を前記駆動回路Bと接続し、かつ前記第1電極群5Aおよび前記第2電極群5Bのうち他方を前記測定回路Cと接続する切替スイッチEと、前記測定回路Cによって測定されたインピーダンスに基づいて前記圧電素子Aに印加する交流電圧の駆動周波数を補正する補正回路Dとを有する。
【選択図】図1
【解決手段】 超音波モータAAに所定の駆動周波数を有する交流電圧を供給する駆動回路Bと、振動に起因して変化する圧電素子Aのインピーダンスを測定する測定回路Cと、第1電極群5A及び第2電極群5Bのうち一方を前記駆動回路Bと接続し、かつ前記第1電極群5Aおよび前記第2電極群5Bのうち他方を前記測定回路Cと接続する切替スイッチEと、前記測定回路Cによって測定されたインピーダンスに基づいて前記圧電素子Aに印加する交流電圧の駆動周波数を補正する補正回路Dとを有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電素子を安定に圧電振動させるための機能を備えた超音波モータ駆動装置に関する。
従来より、圧電層の両面に電極層を形成したものを複数積層して形成された積層型の圧電素子が開発され、超音波モータに応用されている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に開示された超音波モータは、図5に示すように、圧電層101の第1の主面上に、この圧電層101の面積に相当する面積を有する単一電極103が形成され、第1の主面に対向する第2の主面上に、単一電極を4つに分割した分割電極105a、105b、105c、105dとを備え、分割電極105a、105b、105c、105dが縦横の並びに配置された圧電素子により構成されている。
このような超音波モータでは、駆動速度を高めるために圧電素子の駆動周波数は共振周波数近傍の周波数が選択される。そして、長時間駆動していると圧電素子の自己発熱の影響で、超音波モータを構成する圧電素子の温度が上昇してしまい、結果的に共振周波数が低下することになる。このため駆動時において駆動周波数が最適ではなくなるために、所望の駆動速度が得られにくく、駆動速度がばらつく原因となる。
そこで、近年に至り、圧電素子における、このような共振周波数の変動を抑制する目的で、超音波モータに温度補償する機能を持たせた超音波モータ駆動装置が開発されているが、例えば、図6に示すように、圧電素子200を構成する電極201の一部分に温度計測用の電極203を形成した構造となっており、この場合、温度計測用の電極203を用いて圧電素子200のインピーダンスや静電容量の変化量を計測し、その変化量から超音波モータの温度を推測し、その推測した温度における最適な駆動周波数を設定するように温度補償を行う機能を有している(例えば、特許文献2参照)。
特表2003−501988号公報
特開平11−150959号公報
しかしながら、特許文献2に開示された超音波モータ駆動装置は、それを構成する圧電素子200の表面の一部分に温度計測用の電極203を形成したものでは温度の測定精度が低いことが懸念される。
即ち、このような超音波モータ駆動装置の構成では、圧電素子200の表面のごく一部に温度測定用の電極203を設けているため、圧電素子200を構成する圧電層205のごく一部分の温度しか測定できず、共振周波数の変動に大きく関係する超音波モータの内部の温度を正しく計測できないという問題がある。また、表面においては、熱の空気中への拡散の影響を受けるため、圧電素子200の内部で発熱が生じて圧電素子200の温度が上昇しても表面付近では温度が低いままであり、正確な温度測定が困難である。
しかも、この超音波モータ駆動装置では、圧電駆動に寄与する電極201の一部を絶縁したかたちで温度補償用の電極203としているために、圧電駆動用の電極201の有効面積が小さくなる分だけ圧電特性が低くなるという問題がある。
従って本発明は、圧電特性を損なうことなく、駆動時において発生する自己発熱や環境の温度変化による圧電素子のインピーダンスが変化したとしても安定な駆動特性を有する超音波モータ駆動装置を提供することを目的とする。
本発明の超音波モータ駆動装置は、長方形状の圧電層の第1の主面に短辺に近接して前記第1の主面の大部分を占めるように単一電極が形成され、前記圧電層の第2の主面に前記単一電極と対向する部位を縦横に4等分した領域にそれぞれ交差する位置同士のものが電気的に接続された第1電極群および第2電極群が形成された圧電素子の前記短辺側の端面に被移動体に接触させる接触部が設けられた超音波モータと、該超音波モータの前記圧電素子に所定の駆動周波数の交流電圧を印加する駆動回路と、該駆動回路から前記交流電圧が印加されることによって振動する前記圧電素子の発熱に対応して変化する前記圧電素子のインピーダンスを測定する測定回路と、前記第1電極群および前記第2電極群のうちの一方を前記駆動回路に接続し、他方を前記測定回路に接続するように交互に切り替える切替スイッチと、前記測定回路によって測定されたインピーダンスに基づいて前記圧電素子に印加する前記交流電圧の前記駆動周波数を補正する補正回路とを有することを特徴とする。
その為、第1電極群および第2電極群のいずれか一方に交流電圧を供給するとともに、他方で超音波モータの圧電素子のインピーダンスを測定し、測定したインピーダンスに基づいて超音波モータに印加する駆動信号を補正することができるため、超音波モータの安定した駆動特性が得られる。
また、切替スイッチを設けて駆動回路及び測定回路とそれぞれ接続する分割電極群とを切り替えることができるため、超音波モータの振動方向が異なる場合でも超音波モータの安定した駆動特性が得られる。
また、前記超音波モータ駆動装置では、前記超音波モータは、前記圧電素子を複数有しており、それら複数の圧電素子が、間に圧電層を挟んで一体化されていることが望ましい。
このように、超音波モータを構成する圧電素子が、間に圧電層を挟んで一体化されたものであれば、積層方向に隣り合う圧電層同士が反対方向に分極されていることから、圧電層を多層化することにより圧電素子に共振を励起するために必要な電圧の大きさは圧電素子が単層の場合よりも小さくなり、これにより低電力、高出力の超音波モータを形成できる。
本発明によれば、超音波モータの駆動に伴って、超音波モータを構成する圧電素子のインピーダンスが環境変化や自己発熱によって変化したとしても超音波モータ駆動装置を安定して駆動させることができる。
図1は、本発明の超音波モータ駆動装置の一例を示す模式図である。図1における破線に囲まれた部分は外部の回路構成を示すものである。本発明の超音波モータ駆動装置は、圧電素子Aの端面に接触部Fを有し、圧電振動する超音波モータAAと、圧電素子Aに交流電圧を供給するための駆動回路Bと、圧電素子Aの温度に対応してインピーダンスの変化を検出するための測定回路Cと、測定回路Cにおいて測定されたインピーダンスに基づいて圧電素子Aに対する駆動周波数を補正する補正回路Dと、圧電素子Aへの交流電圧の供給と圧電素子Aのインピーダンスの変化の検出とを超音波モータにおける圧電素子Aの振動によって発生する周回運動の回転方向によって切り替えを行う切替スイッチEとを含んで構成されている。ここで、接触部Fは変位する被移動体に接触するように突出して形成されている。
超音波モータを構成する圧電素子Aは長方形状の圧電層1の第1の主面1aにおける短辺1aaに近接して、この第1の主面1aの大部分を占めるように単一電極3が形成されており、一方、第1の主面1aの単一電極3と対向する部位を縦横に4等分した領域に、それぞれ第1電極群5Aおよび第2電極群5Bとなる分割電極5a、5b、5cおよび5dが近接して配置されている。
これらの単一電極3および分割電極5a、5b、5cおよび5dには、それぞれ引出部5ah、5bh、5chおよび5dh(ただし、単一電極3の引出部は不図示)が形成されており、各引出部5ah、5bh、5chおよび5dhに接続する外部電極3o、5ao)および5do(ただし、引出部5bo、5coに接続される外部電極は不図示)がそれぞれ圧電層1の側面に形成されている。
圧電素子Aに形成された4つの分割電極5a、5b、5cおよび5dにおいて、分割電極5a、5b、5cおよび5dが交差する方向に配置された分割電極5a、5cおよび分割電極5b、5dがそれぞれ電気的に接続され同期して駆動する第1電極群5Aおよび第2電極群5Bを形成する。図1において示した分割電極5aおよび分割電極5cの間、ならびに、分割電極5bおよび分割電極5dをそれぞれ結線している2つの実線は実際には結線されていないものである。この場合、同期して駆動する第1電極群5Aおよび第2電極群5Bが明確に表せるようにしたものである。なお、本発明における圧電素子Aを構成する圧電層1は圧電層1は厚み方向に分極されている。
図2は、本発明の超音波モータ駆動装置に備える超音波モータを構成する圧電素子Aの共振の励起による動きを示す模式図である。図1に示したように、分割電極5aと分割電極5c、分割電極5bと分割電極5dとがそれぞれ同期して駆動するためにアルファベットのSの字または逆のSの字状に変形し、圧電素子Aの端面に形成された接触部Fが楕円運動を生成するものである。
例えば、圧電素子Aの分割電極5bおよび分割電極5dに交流電圧を印加し、分割電極5aおよび分割電極5cを浮かせることにより、接触部Fを楕円50のように時計方向(矢印52の方向)に動かすことができ、動かす被移動体を矢印54の方向に移動させることができる。即ち、本発明の超音波モータでは、分割電極5a、5c、または分割電極5b、5dに印加された場合に、S字状の屈曲振動モードが励起される。
次に、本発明の超音波モータ駆動装置を構成する駆動回路Bは、S字状の屈曲振動を励起するのに用いる交流電圧の大きさおよび周波数を制御する電源回路を有するものであり、圧電層1の面に平行な面内において種々の振幅の振動運動を選択的に行わせることができる。
本発明の超音波モータ駆動装置では、超音波モータAAの動く方向によって、第1電極群5Aまたは第2電極群5Bのいずれか一方に所定の駆動周波数を有する交流電圧が供給されて、第1電極群5Aおよび第2電極群5Bのいずれか一方が独立して所定の圧電振動を発生するものになるとともに、交流電圧が供給されず圧電振動しない方の、第1電極群5Aまたは第2電極群5Bのいずれか一方は圧電素子Aのインピーダンスの検出を行うために用いられる。なお、動く方向が逆になれば、圧電振動する第1、第2電極群とインピーダンスを検出する第1、第2電極群とは逆になる。
次に、本発明の超音波モータ駆動装置を構成する測定回路Cは、上述のように、圧電素子Aの温度に対応して変化するインピーダンスを測定するものである。図1に示すように、この測定回路Cは圧電層1を介して単一電極3と分割電極5a、5b、5cおよび5dとの間の電位や誘電特性等を測定するように接続されている。
次に、本発明の超音波モータ駆動装置を構成する補正回路Dは、駆動回路Bと圧電素子Aとの間で並列に接続されており、これにより測定回路Cによって測定された圧電素子Aのインピーダンスに基づいて駆動回路Bの駆動周波数を補正する。
なお、補正回路Dには、予め測定された圧電素子Aの温度とインピーダンスとの関係、および圧電素子Aの温度と駆動周波数との関係を示す情報がIC等の記憶部に記憶されており、これらの情報を基に補正するようになっている。
図3(a)(b)は記憶部に記憶する情報をグラフとして示したもので、図3(a)は、本発明における超音波モータを構成する圧電素子の静電容量の温度依存性を示すグラフであり、図4(b)は本発明における超音波モータを構成する圧電素子の駆動周波数の温度依存性を示すグラフである。
例えば、駆動開始時において圧電素子Aの静電容量Ctoを測定回路Cで測定すると、図3(a)の関係からそのときの圧電素子Aの温度T1がわかり、この温度T1において圧電素子Aに印加すべき駆動周波数は、図3(b)の関係からFD0と求めることができるため、この駆動周波数FD0を有する交流電圧を超音波モータAAに印加して駆動させる。そして、駆動が継続すると、自己発熱や周囲の温度変化によって圧電素子Aの温度が上昇することになり、例えば、圧電素子Aの静電容量がCt1に変化したとすると、駆動開始時の駆動周波数に対して最適な駆動周波数が変化することになる。この場合、図3(a)(b)から圧電素子Aの静電容量がCt1のときの最適な駆動周波数はFD1であるので、この駆動周波数FD1を有する交流電圧を超音波モータAAに印加することで安定した駆動特性を得ることができる。
本発明によれば、圧電素子Aが圧電振動に寄与する単一電極3や分割電極5a、5b、5cおよび5dを用いてインピーダンスを測定することができるために、従来の超音波モータ駆動装置のように圧電素子Aの表面に別にインピーダンス測定用の電極等を形成したものに比較して、温度センサとして機能させるための電極を設ける必要が無く、しかも、本発明においては圧電層1の全体を対象としてのインピーダンスを測定できるために、駆動中の圧電素子Aについて、より正確な温度を求めることができる。
従って、本発明の超音波モータ駆動装置によれば、外部の温度センサ等を用いることなく簡易な構成で、駆動周波数と圧電素子との温度特性を一致させ、駆動効率の向上を図ることが可能となる。
次に、本発明の超音波モータ駆動装置においては、駆動回路Bと、第1電極群5Aおよび第2電極群5Bとの間に、これら第1電極群5Aまたは第2電極群5Bに交互に交流電圧を供給するための切替スイッチEが設けられていることが重要である。
本発明の超音波モータ駆動装置を構成する切替スイッチEは、超音波モータを所定の方向に動かすときに、第1電極群5Aまたは第2電極群5Bのうちいずれかに交流電圧を印加するとともに、交流電圧が供給されない第1電極群5Aまたは第2電極群5Bのうちいずれかを圧電層1のインピーダンスを測定するための測定回路Cに接続するようにはたらくものである。この場合、切替スイッチEは圧電素子Aの動く方向を規定する交流電圧の入力に連動するように動くように構成されている。
具体的には、図1において、第2電極群5B側に交流電圧を印加して圧電振動を起こさせ、一方、第1電極群5A側からインピーダンスを測定する場合、切替スイッチEでは、最初、中立であったスイッチE1、E4は、切替スイッチEの中で、スイッチE2およびE5が結線される。これにより駆動回路Bから切替スイッチEにおけるスイッチE2を介して、順に圧電素子Aの外部電極5do、引出電極5dh、分割電極5dが導通し、分割電極群5Bが圧電駆動する。
圧電素子Aにおいて、第2電極群5B側に圧電振動を発生させると、振動により圧電素子Aの温度が上昇し、交流電圧が供給されず圧電振動しない方の第1電極群5A側の圧電素子Aの領域も温度が上昇する。このため圧電素子Aは温度変化によりインピーダンスが変化するとともに共振周波数も変化することになる。
一方、圧電素子Aの分割電極5a、引出電極5ah、外部電極5aoから結線された切替スイッチEにおけるスイッチE5は、測定回路Cにさらに結線されて、圧電振動しない分割電極群5Aにおける圧電層1の温度変化によって変わるインピーダンスを検出する。
これに対して、分割電極群5A側に交流電圧を印加して圧電振動を発生させ、一方、第2電極群5B側からインピーダンスを測定する場合、切替スイッチEでは、最初、中立であったスイッチE1、E4は、切替スイッチEの中で、スイッチE3およびE6が結線される。これにより駆動回路Bから切替スイッチEにおけるスイッチE6を介して、順に圧電素子Aの外部電極5ao、引出電極5ah、分割電極5aが導通し、分割電極群5Aが圧電振動する。
一方、圧電素子Aの分割電極5d、引出電極5dh、外部電極5doから結線された切替スイッチEにおけるスイッチE3は、測定回路Cにさらに結線されて、圧電振動しない第2電極群5Bにおける圧電層1の温度変化によって変わるインピーダンスを検出する。
こうして圧電素子Aにおいて、第1電極群5Aまたは第2電極群5Bのうちのいずれかから得られたインピーダンスに基づき補正回路Dにおいて圧電素子Aに印加する駆動周波数を補正し、次に、補正された駆動周波数を駆動回路Bに伝えて圧電素子Aに供給する。
図4は、本発明の超音波モータ駆動装置に備える超音波モータの他の例を示す模式図である。積層型の圧電素子は、積層方向に隣り合う圧電層1同士が反対方向に分極されており、また、圧電素子Aを多層化することにより圧電素子Aに共振を励起するために必要な電圧の大きさは圧電素子Aが単層の場合よりも小さいという利点がある。こうして低電力、高出力の超音波モータを形成できる。
AA 超音波モータ
A 圧電素子
B 駆動回路
C 測定回路
D 補正回路
E 切替スイッチ
1 圧電層
3 単一電極
5a〜d 分割電極
5A 第1電極群
5B 第2電極群
A 圧電素子
B 駆動回路
C 測定回路
D 補正回路
E 切替スイッチ
1 圧電層
3 単一電極
5a〜d 分割電極
5A 第1電極群
5B 第2電極群
Claims (2)
- 長方形状の圧電層の第1の主面に短辺に近接して前記第1の主面の大部分を占めるように単一電極が形成され、前記圧電層の第2の主面に前記単一電極と対向する部位を縦横に4等分した領域にそれぞれ交差する位置同士のものが電気的に接続された第1電極群および第2電極群が形成された圧電素子の前記短辺側の端面に被移動体に接触させる接触部が設けられた超音波モータと、該超音波モータの前記圧電素子に所定の駆動周波数の交流電圧を印加する駆動回路と、該駆動回路から前記交流電圧が印加されることによって振動する前記圧電素子の発熱に対応して変化する前記圧電素子のインピーダンスを測定する測定回路と、前記第1電極群および前記第2電極群のうちの一方を前記駆動回路に接続し、他方を前記測定回路に接続するように交互に切り替える切替スイッチと、前記測定回路によって測定されたインピーダンスに基づいて前記圧電素子に印加する前記交流電圧の前記駆動周波数を補正する補正回路とを有することを特徴とする超音波モータ駆動装置。
- 前記超音波モータは、前記圧電素子を複数有しており、それら複数の圧電素子が、間に圧電層を挟んで一体化されていることを特徴とする請求項1に記載の超音波モータ駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007141783A JP2008301557A (ja) | 2007-05-29 | 2007-05-29 | 超音波モータ駆動装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012096193A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Canon Inc | 圧電振動子の駆動方法、該駆動方法による塵埃除去装置、超音波モータ |
JP2015098023A (ja) * | 2013-10-17 | 2015-05-28 | 新科産業有限会社 | 超音波振動装置 |
JP2016025708A (ja) * | 2014-07-18 | 2016-02-08 | Fdk株式会社 | 圧電アクチュエータ |
-
2007
- 2007-05-29 JP JP2007141783A patent/JP2008301557A/ja active Pending
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