JP2008300670A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 外観検査装置を用いて、被検体を複数回検査して得られた欠陥の位置を示す欠陥位置座標と該欠陥の特徴を示す欠陥特徴量とを含む複数の欠陥情報を取得するステップと、
   ＣＡＤサーバーに記憶されたパターンレイアウトを用いてパターン危険箇所シミュレーターにより危険箇所の座標を算出するステップと、
   前記欠陥位置座標、前記欠陥特徴量および前記危険箇所の座標をレビュー装置に出力し、前記レビュー装置を用いて前記欠陥位置座標を含む領域のレビュー画像情報を取得するステップと、
   前記危険箇所の座標に基づいて前記危険箇所を含む領域に対応するパターンレイアウトデータを抽出するステップと、
   前記複数の欠陥情報と前記レビュー画像情報と前記パターンレイアウトデータとをデータ処理装置に保存するステップと、
   前記欠陥情報と前記レビュー画像情報と前記パターンレイアウトデータのそれぞれを前記欠陥位置座標に対応するように関連付けて保存するステップと、
   前記関連付けて保存されたデータを画面に表示するステップとを有することを特徴とするデータ処理方法。
2. 前記危険箇所の座標を、前記被検体全面に自動展開するステップを有することを特徴とする請求項１記載のデータ処理方法。
3. 前記レビュー装置に、前記危険箇所の座標を除く前記欠陥位置座標、および前記欠陥特徴量を出力し、前記欠陥位置座標を含む領域のレビュー画像情報を取得するステップを、さらに有することを特徴とする請求項１記載のデータ処理方法。
4. 前記画面は、前記欠陥位置座標に対応した前記複数の欠陥情報、あるいは前記レビュー画像情報、あるいは前記パターンレイアウトデータの少なくとも一つが同一行に配列表示され、前記配列表示を前記欠陥位置座標ごとに繰り返して配列された行からなる一覧表で表示されることを特徴とする請求項１記載のデータ処理方法。
5. 前記配列された複数の行のそれぞれに、通し番号が自動で付与されることを特徴とする請求項４記載のデータ処理方法。
6. 前記複数回の検査は、それぞれが異なる検査条件で行われることを特徴とする請求項１記載のデータ処理方法。
7. 前記画面に、異なる複数の検査条件で検出された前記複数の欠陥情報と、前記シュミレータにより算出された危険箇所とを比較、対照できる図を表示し、前記危険箇所の検出率の高い検査条件を選択可能とする手段を有することを特徴とする請求項１記載のデータ処理方法。
8. 外観検査装置を用いて、被検体を複数回検査して得られた欠陥の位置を示す欠陥位置座標と該欠陥の特徴を示す欠陥特徴量とを含む複数の欠陥情報と、
   前記欠陥位置座標および前記欠陥特徴量が入力されたレビュー装置を用いて取得した前記欠陥位置座標を含む領域のレビュー画像情報と、
   ＣＡＤサーバーに記憶されたパターンレイアウトを用いてパターン危険箇所シミュレーターにより算出された危険箇所の座標に基づいて抽出された、前記危険箇所を含む領域に対応するパターンレイアウトデータとを保存する手段と、
   前記複数の欠陥情報と前記レビュー画像情報と前記パターンレイアウトデータのそれぞれを前記欠陥位置座標に対応するように関連付けて保存する手段と、
   前記関連付けて保存されたデータを画面に表示する手段とを有することを特徴とするデータ処理装置。
9. 前記表示する手段は、前記欠陥位置座標に対応した前記複数の欠陥情報、あるいは前記レビュー画像情報、あるいは前記パターンレイアウトデータの少なくとも一つを同一行に配列表示し、前記配列表示を前記欠陥位置座標ごとに繰り返して配列された複数の行からなる一覧表画面を作成し、
   前記配列された複数の行のそれぞれに、通し番号を自動で付与することを特徴とする請求項８記載のデータ処理装置。