JP2008299324A - 積層ステージ、積層装置と積層方法 - Google Patents

Abstract

【課題】積層ステージ、積層装置と、積層方法を提供する。
【解決手段】本発明は、有機発光ディスプレイの積層に適用する積層ステージを提供する。積層ステージは、有機発光ディスプレイの基板と接触する積層表面を有する独立したステージからなり、積層表面は複数の凹型槽を有する。この他、本発明は、更に、もう一つの積層ステージを提供し、間隔をあけた複数のサブステージからなり、サブステージは、有機発光ディスプレイの基板と接触する積層表面を有する。
【選択図】図５Ａ

Description

本発明は、積層ステージに関するものであって、特に、大尺寸の有機発光ディスプレイの積層ステージ、及び、積層装置に関するものである。

近年、有機発光ディスプレイ（OLED）は大尺寸に発展する趨勢にあり、第３．５世代の基板尺寸375*620mmから、第３．５、４、４．５、５、６世代まで発展し、その基板尺寸は、それぞれ、620*750、680*880、730*920、1100*1300、及び、1500*1800mmである。

有機発光ディスプレイの積層技術は、積層装置の上下積層ステージを利用し、それぞれ、ディスプレイの上下基板を固定し、続いて、上下基板を照準後、パッケージ積層する。図１は、有機発光ディスプレイ３０の公知の積層装置中の断面図である。積層装置は、上積層ステージ１６、下積層ステージ１０、及び、積層ステージ横のフレーム１２とフレーム上のＯ型リング１４、からなる。有機発光ディスプレイの上基板２０と下基板１８は、それぞれ、上下積層ステージ１６と１０上に固定され、照準後、パッケージゲル２２によりパッケージ積層する。上下基板の間の部分２４は、発光層、電極層、及び、その他の有機発光ディスプレイ内の素子を含む。

公知の積層ステージの構造は図１で示されるように、独立したステージであり、下積層ステージ材料は、通常、石英で、第３．５世代の基板尺寸の積層に適用する。有機発光ディスプレイの尺寸が第３．５世代以後の大尺寸に発展する時、上下基板の曲げ（bending）現象、及び、平坦でない問題が重大になり、公知の積層ステージにより積層工程を実行して得られる積層品質は不安定で、よって、得られる有機発光ディスプレイの信頼度が低い。

よって、大尺寸の有機発光ディスプレイの基板曲げと平坦でない問題を改善する新しい積層ステージ構造を提供し、安定した積層品質を達成して、有機発光ディスプレイの信頼度を改善する必要がある。

本発明は、積層ステージの構造設計を利用し、第３．５世代以上の大尺寸の有機発光ディスプレイの積層加工品質を安定させて、有機発光ディスプレイの信頼度を向上することを目的とする。

上述の目的を達成するため、本発明は、有機発光ディスプレイの積層に適用する積層ステージを提供する。本構造は、有機発光デイオードの基板と接触する積層面を有する独立したステージからなり、積層面は複数の凹型槽を有する。

また、本発明は、有機発光ディスプレイに適用する積層ステージを提供し、間隔を隔て、有機発光ディスプレイの基板と接触する積層面を有する複数のサブステージからなる。

この他、本発明は、有機発光ディスプレイの積層に適用する積層装置を提供する。本装置は、第一ステージと、第一ステージ外側に設置される第一フレームと、第一フレーム上に設置される第一Ｏ型リングと、第一ステージと対向して設置される第二ステージと、第二ステージ外側に設置される第二フレームと、第二フレームに設置される第二Ｏ型リングと、からなり、第一、及び、第二ステージは、少なくとも一つが、上述の積層ステージで、且つ、第一ステージの積層面は第二ステージの積層面方向である。

本発明は、更に、有機発光ディスプレイの積層方法を提供し、有機発光ディスプレイの第一基板を第一ステージ上に設置する工程と、有機発光ディスプレイの第二基板を第二ステージ上に設置する工程と、パッケージ材料を第一基板、或いは、第二基板の周辺領域に塗布する工程と、第一基板と第二基板を対向させて積層し、有機発光ディスプレイの積層を完成する工程と、からなる。第一、及び、第二ステージは少なくとも一つが上述の積層ステージであり、且つ、第一ステージと第二ステージの高度は、第一基板と第二基板の平坦でない箇所に合わせて調整する。

大尺寸の有機発光ディスプレイの基板曲げ、及び、平坦でないの問題を克服するため、本発明の積層ステージ構造設計は、独立したステージの積層面上に複数の凹型槽を有するか、或いは、複数のサブステージからなる。これらの凹型槽、或いは、サブステージの間は等間隔、或いは、非等間隔で互いに分離され、積層ステージ構造は、大尺寸の基板の曲げ、及び、平坦でない箇所で調整すると共に、各サブステージの高度を調整して、安定した積層品質を達成し、有機発光ディスプレイの信頼度を向上させ、同時に、上発光式と下発光式の有機発光ディスプレイに適用できる。

図２Ａは、本発明の実施例による積層ステージの断面図で、積層装置の上積層ステージ、及び／又は、下積層ステージであり、積層ステージ１６０は積層面１６１を有し、有機発光ディスプレイの基板と接触し、且つ、積層面１６１上に、複数の凹型槽１６２を有し、基板の平坦でない箇所に対応して位置を調整することができる。図３Ａの断面図中、３つの凹型槽だけを示しているが、本技術を熟知するものなら分かるように、凹型槽の数量は基板の状態によって調整できる。凹型槽１６２の幅ａはステージ厚さｃの５０〜２分の一である。凹型槽１６２の深さｂはステージの機械装置によって調整する。一実施例中、凹型槽１６２の幅ａは約１〜５０ミリメートル、深さは約１ミリメートル〜ステージを貫通するまでである。この他、図２Ａ中の各凹型槽１６２の間の間隔は相同か不相同である。

図２Ｂは図２Ａのステージの平面図である。ステージ１６０上に５つの凹型槽１６２があり、これらの凹型槽はステージの長辺、及び／又は、短辺で、等間隔ｄ１、或いは、非等間隔で分布している。凹型槽の配置方式は、垂直、平行、或いは、前述の組み合わせで、凹型槽の長さｄ、ｅはステージの長辺、或いは、短辺を跨ぐ。図２Ｂ中で５つの凹型槽を示しているが、本技術を熟知するものなら分かるように、凹型槽の数量は基板の状態によって調整できる。

図２Ｃは図２Ａのステージのもう一つの平面図である。ステージ１６０上に６つの凹型槽１６２があり、これらの凹型槽はステージの長辺、及び／又は、短辺で、等間隔ｄ１、或いは、非等間隔で分布している。凹型槽の長さｆは凹型槽の幅ａとほぼ同じである。図２Ｃ中は６個の凹型槽が示されているが、本技術を熟知するものなら分かるように、凹型槽の数量は基板の状態によって調整できる。

続いて、図３Ａは本発明のもう一つの実施例による積層ステージの断面図で、加工装置の上積層ステージ、及び／又は、下積層ステージであり、積層ステージ１６０は複数のサブステージ１６４から構成され、これらのサブステージは等間隔ｄ２、或いは、非等間隔で互いに分離される。一実施例中、サブステージの間の距離は約１〜１００ミリメートルの間である。各サブステージの少なくとも一幅ｇは相同で、且つ、サブステージは、有機発光ディスプレイの基板と接触する積層ステージ１６１を有する。

これらのサブステージの排列方式は平行でもよいし、アレイを形成してもよい。図３Ｂは図３Ａの積層ステージの平面図であり、サブステージ１６４の面積はほぼ相同であり、排列はアレイを形成している。この他、図３Ｃは図３Ａの積層装置のもう一つの平面図で、サブステージ１６４の面積は異なり、且つ、その排列方式は平行である。

上述の各サブステージ１６４の高さｈは相同でも異なってもよく、各サブステージ１６４の間の高度差範囲は−２０〜＋２０ミリメートルの間で、各サブステージの間の高度差を利用して、大尺寸基板の曲げ、及び、平坦でない箇所に合わせて調整し、安定し、最適な積層品質を達成して、ディスプレイの信頼度を向上させる。

続いて、図４Ａは、本発明のもう一つの実施例による積層ステージの断面図で、積層装置の上積層ステージ、及び／又は、下積層ステージであり、積層ステージ１６０は複数のサブステージ１６６、１６８からなり、これらのサブステージは、等間隔ｄ２、或いは、非等間隔で互いに分離される。一実施例中、サブステージの間の距離は約１〜１００ミリメートルの間である。各サブステージの少なくとも一幅ｇ１、ｇ２は異なり、サブステージ１６８の幅ｇ１は、サブステージ１６６の幅ｇ２より大きく、サブステージは、有機発光ディスプレイの基板と接触する積層ステージ１６１を有する。

これらのサブステージの排列方式は平行でもよいし、アレイを形成してもよい。図４Ｂは図４Ａの積層ステージの平面図であり、サブステージ１６６、１６８の面積は異なり、且つ、排列はアレイを形成している。この他、図４Ｃは図４Ａの積層装置のもう一つの平面図で、同様に、サブステージ１６６、１６８の面積は異なり、且つ、その排列方式は平行である。

上述の各サブステージ１６６、１６８の高さｈは相同でも異なってもよく、各サブステージ１６６、１６８の間の高度差範囲は−２０〜＋２０ミリメートルの間で、各サブステージの間の高度差を利用して、大尺寸基板の曲げ、及び、平坦でない箇所に合わせて調整し、安定し、最適な積層品質を達成して、ディスプレイの信頼度を向上させる。

本発明の積層装置の上下積層ステージは、上述の各種積層ステージ構造を任意に組み合わせることができ、上下積層ステージの構造は相同でも不相同でもよい。図５Ａは本発明の積層装置の実施例による断面図で、図２Ａの積層ステージ構造を上積層ステージ１７０とし、下積層ステージ１９０となる図４Ａの積層ステージと対向して設置される。図２Ａの積層ステージの積層面１６１は、図４Ａの積層ステージの積層面１６１に対面する。この他、積層装置中に、更に、上下積層ステージ外側に設置されるフレーム１２０、及び、フレーム上に設置されるＯ型リング１４０を有する。この他、積層装置中、更に、上下積層ステージ上に設置された素子により基板を固定する。基板を固定する素子は、真空チャック（vacuum chuck）、機械チャック（mechanism chuck）、静電チャック（electrostatic chuck）、粘性チャック（physical sticky chuck）である。本発明の積層装置の上下積層ステージの材料は石英、ステンレス、或いは、アルミである。

図５Ａの積層装置中には、有機発光ディスプレイ３００が示され、上基板２００、下基板１８０、パッケージゲル２２０、及び、上下基板間の発光層、電極層、及び、その他の素子部分２４０を含む。上下基板は第３．５世代以上の大尺寸のガラス基板、カラーフィルター基板、或いは、保護層である。

図５Ｂは本発明の積層装置のもう一つの実施例の断面図で、図５Ａとの差異は、図３Ａの積層ステージを上積層ステージ１７０と下積層ステージ１９０とし、図３Ａの積層ステージの積層面１６１がもう一つの積層ステージの積層面１６１に対面していることで、その他の積層装置内の構造は図５Ａと相同である。

本発明は、上述の積層装置により、大尺寸の有機発光ディスプレイに対し積層工程を実行し、この積層方法は、有機発光ディスプレイの上基板２００を積層装置の上積層ステージ１７０に設置し、有機発光ディスプレイの下基板１８０を積層装置の下積層ステージ１９０上に設置し、積層装置中の基板を固定する素子により、上下基板を積層ステージに固定する。上下基板の尺寸は、上積層ステージと下積層ステージより大きい。続いて、パッケージ材料を上基板、或いは、下基板の周辺領域に塗布し、その後、上下基板を対向させて積層し、有機発光ディスプレイの積層を完成する。

公知の積層装置と比較すると、本発明の特徴は、上下積層ステージの高度が、上下基板の曲げと平坦でない箇所により調整され、第３．５世代以上の大尺寸の上発光式、或いは、下発光式の有機発光ディスプレイの積層に適用でき、最適で安定した積層品質を得て、有機発光ディスプレイの信頼度を向上させる。

本発明では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本発明に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本発明の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。

有機発光ディスプレイを含む公知の積層装置の断面図である。 本発明の実施例による積層ステージの断面図である。 図２Ａの積層ステージの平面図である。 図２Ａの積層ステージのもう一つの平面図である。 本発明のもう一つの実施例による積層ステージの断面図である。 図３Ａの積層ステージの平面図である。 図３Ａの積層ステージのもう一つの平面図である。 本発明のもう一つの実施例の積層ステージの断面図である。 図４Ａの積層ステージの平面図である。 図４Ａの積層ステージのもう一つの平面図である。 本発明の実施例による有機発光ディスプレイを含む積層装置の断面図である。 本発明のもう一つの実施例による積層装置中に有機発光ディスプレイを含む断面図である。

符号の説明

１０、１６…公知の積層ステージ
１２、１２０…フレーム
１４、１４０…Ｏ字型リング
１８、１８０…下基板
２０、２００…上基板
２２、２２０…パッケージゲル
２４、２４０…上下基板間の部分
３０、３００…有機発光ディスプレイ
１６０…本発明の積層ステージ
１６１…積層ステージの積層面
１６２…凹型槽
１６４、１６６、１６８…サブステージ
１７０…上積層ステージ
１９０…下積層ステージ

Claims (10)

1. 有機発光ディスプレイの積層に使用する積層装置を構成するための積層ステージであって、
   前記有機発光ディスプレイの基板と接触する積層面を有する独立したステージからなり、前記積層面上に複数の凹型槽を有することを特徴とする積層ステージ。
2. 前記複数の凹型槽は前記基板の平坦でない箇所に対応することを特徴とする請求項１に記載の積層ステージ。
3. 前記複数の凹型槽は前記独立したステージの長辺、及び／又は、短辺で、等間隔、或いは、非等間隔で分布することを特徴とする請求項１に記載の積層ステージ。
4. 有機発光ディスプレイの積層に適用する積層ステージであって、
   間隔を隔てて分離され、前記有機発光ディスプレイの基板と接触する積層面を有する複数のサブステージからなることを特徴とする積層ステージ。
5. 前記の間隔は相同か不相同であることを特徴とする請求項４に記載の積層ステージ。
6. 前記複数のサブステージの各ステージの高さの差は−２０〜＋２０ミリメートルの範囲であることを特徴とする請求項４に記載の積層ステージ。
7. 有機発光ディスプレイの積層に適用する積層装置であって、
   第一ステージと、
   前記第一ステージ外側に設置される第一フレームと、
   前記第一フレーム上に設置される第一Ｏ型リングと、
   前記第一ステージと対向して設置される第二ステージと、
   前記第二ステージ外側に設置される第二フレームと、
   前記第二フレームに設置される第二Ｏ型リングと、からなり、
   前記第一、及び、第二ステージは、少なくとも一つが、前記請求項１、或いは、４の積層ステージで、且つ、前記第一ステージの積層面は前記第二ステージの積層面方向であることを特徴とする積層装置。
8. 前記第一、及び、第二ステージの高度は調整できることを特徴とする請求項７に記載の積層装置。
9. 前記第一、及び、第二ステージの材料は石英、ステンレス、或いは、アルミであることを特徴とする請求項７に記載の積層装置。
10. 有機発光ディスプレイの積層方法であって、
    前記有機発光ディスプレイの第一基板を第一ステージ上に設置する工程と、前記有機発光ディスプレイの第二基板を第二ステージ上に設置する工程と、
    パッケージ材料を前記第一基板、或いは、前記第二基板の周辺領域に塗布する工程と、
    前記第一基板と前記第二基板を対向させて積層し、前記有機発光ディスプレイの積層を完成する工程と、
    からなり、前記第一、及び、前記第二ステージは少なくとも一つが前記請求項１、或いは、４の積層ステージであり、且つ、前記第一ステージと前記第二ステージの高さは、前記第一基板と前記第二基板の平坦でない箇所に合わせて調整することを特徴とする積層方法。