JP2008287628A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】保護部材にインレットを封止する電子タグにおいて、その信頼性を損なうことなく、生産性を向上させる技術を提供することにある。
【解決手段】インレット1を保護部材2に封止する工程を要する半導体装置の製造方法であって、保護部材2の平面内に形成した溝部3に対し、溝部3の底面を覆うように、ディスペンサ5を用いて液状レジン4aを塗布し、その後、液状レジン4aにインレット1を接着させ、その上から、再度、ディスペンサ5を用いて液状レジン4bを流入することで溝部3を埋め込み、真空脱泡により液状レジン4a,4b中の気泡を取り除くことで、帯状のインレット1を保護部材2の溝部3内に封止するものである。
【選択図】図7
【解決手段】インレット1を保護部材2に封止する工程を要する半導体装置の製造方法であって、保護部材2の平面内に形成した溝部3に対し、溝部3の底面を覆うように、ディスペンサ5を用いて液状レジン4aを塗布し、その後、液状レジン4aにインレット1を接着させ、その上から、再度、ディスペンサ5を用いて液状レジン4bを流入することで溝部3を埋め込み、真空脱泡により液状レジン4a,4b中の気泡を取り除くことで、帯状のインレット1を保護部材2の溝部3内に封止するものである。
【選択図】図7
Description
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特に、電子タグ用インレットを保護部材に封止する工程に適用して有効な技術に関する。
半導体チップに記録されたデータの識別や、半導体チップへのデータの書き込みを無線によって行うことで、非接触で情報の授受を実現することができるRFID(Radio Frequency Identification)技術が注目されている。ここでは、IC(Integrated Circuit)チップにID情報を埋め込んだ電子タグから、電磁界や電波などを用いた近距離の無線通信によって情報をやり取りする。
電子タグは、上記のRFID用ICチップと、無線を授受するアンテナを接続して納めた所謂インレットを、所望の形状、素材で構成される部材にパッケージングしたものである。電子タグは、ラベル型、カード型、コイン型、スティック型など様々な形状があり、用途に応じて選択する。例えば、カード状にした電子タグなどは、交通機関や金融機関などで消費者が用いるIDカードとして実用化されており、そのパッケージングの技術などが、例えば特開2005−128787号公報(特許文献1)などに開示されている。
特開2005−128787号公報
RFID用の電子タグを物流や、物品管理に用いることを想定した場合、このような電子タグには、高い耐久性を持つことが望まれる。特に、本発明者が導入を検討している、プラント設備または部材の管理、食品、薬品または燃料などの容器管理などに適用する場合、機械的、化学的により高い耐久性を有する部材への、インレットのパッケージングが必要となる。
上記の観点から、本発明者は、RFID用のインレットを、機械的、化学的に丈夫な保護部材などに封止する技術を検討した。図9,10は、インレット1を保護部材2に封止する技術を説明するための説明図である。ICチップ6とアンテナ7とを備えるインレット1が、保護部材2に設けられた溝部3の中に封止用材料Rによって封止されることで、電子タグを完成する。このとき、本発明者が検討した手法では、インレット1を保護部材2の溝部3内に入れ、粘土状の封止用材料Rを手作業にて押し込み、封止を実施している。
このとき、上記のRFID用のインレット1の保護部材2への封止方法において、以下に示す課題があることを、本発明者は見出した。この課題を説明するために、完成した電子タグを示した説明図10におけるa−a線断面図を図11に、b−b線断面図を図12に示す。
第1に、保護部材2の溝部3の中に粘土状の封止用材料Rを押し込むため、封止の際に、気泡Bを発生させてしまうという点である。粘土状の封止用材料Rは粘度が高いため、内部に発生した気泡Bを取り除くのは困難である。しかし、このような気泡Bを残しておくことは、外気の温度変化などによる水滴発生、腐食等の原因となる。結果として、半導体からなるICチップ6を有するインレット1の動作不良や故障を招き、電子タグの信頼性を低下させる課題となっている。
第2に、保護部材2の溝部3の底部に、インレット1を固定し難く、安定した位置に精度良く固定できないという点である。特に、薄い帯状のインレット1は、反りにより湾曲していることが多く、本発明者が検討した手法では、この状態のまま封止されてしまうことがある。無線電波により情報を授受するRFIDにおいて、その情報授受の要部であるアンテナを有するインレット1が所望の位置に固定できないことは、無線電波の感度劣化、誤動作、または、データ損失の原因となる。即ち、電子タグの信頼性を低下させる課題となっている。
第3に、粘土状の封止用材料Rを用いて手作業によりインレット1を封止しているため、材料面においてコストが高くなり、また、量産化が困難であるという点である。前述のように、RFID方式の電子タグは、設備管理、物流管理など汎用性の高いものへの利用が期待されており、低コストでの量産は、他の半導体装置より一層重要な要求となっている。このように、本発明者が検討したインレット1の封止手法では、電子タグの生産性向上を妨げるという課題をもたらしている。
そこで、本発明の目的は、保護部材にインレットを封止する電子タグにおいて、その信頼性を損なうことなく、生産性を向上させる技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
即ち、ICタグ部品を保護部材に封止する工程を要する半導体装置の製造方法であって、保護部材の平面内に形成した溝部に対し、溝部の底面を覆うように、ディスペンサを用いて液状樹脂を塗布し、その後、液状樹脂にICタグ部品を接着させ、その上から、再度、ディスペンサを用いて液状樹脂を流入することで溝部を埋め込み、真空脱泡により液状樹脂中の気泡を取り除くことで、帯状のインレットを保護部材の溝部内に封止するものである。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
即ち、保護部材にインレットを封止する電子タグにおいて、その信頼性を損なうことなく、生産性を向上させることができる。
以下の実施の形態においては便宜上その必要があるときは、複数のセクションまたは実施の形態に分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらはお互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細、補足説明等の関係にある。また、以下の実施の形態において、要素の数等(個数、数値、量、範囲等を含む)に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。さらに、以下の実施の形態において、その構成要素(要素ステップ等も含む)は、特に明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。同様に、以下の実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。このことは、上記数値および範囲についても同様である。また、本実施の形態を説明するための全図において同一機能を有するものは同一の符号を付すようにし、その繰り返しの説明は可能な限り省略するようにしている。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本実施の形態では、RFID用のインレット(ICタグ部品)1が保護部材2の中に封止された電子タグの製造方法において、特に、保護部材2に形成された溝部3の中にインレット1を封止する工程に関し、完成した電子タグの信頼性を損ねることなく、生産性を向上させ得るような手法を例示する。
図1〜図8には、本実施の形態において例示する、インレット1の保護部材2への封止方法を説明するための説明図を示している。
はじめに、一般的な方法により、RFID用のインレット1を準備する(図示しない)。そして、図1に示すように、このインレット1を封止するための保護部材2を準備する。図2は、図1に示した保護部材2における、a−a線の断面図を示したものである。保護部材2は、第1方向xとそれに交差する第2方向yに広がる平面Sを有し、第1方向xおよび第2方向yのそれぞれに交差する第3方向zに所望の厚さを有する形状となっている。
更に、平面Sに、第1方向xに所望の幅W、第2方向yに所望の長さL、第3方向zに所望の深さDを有する溝部3を形成する。ここで、後に詳細を説明するように、溝部3には、RFID用のインレット1が封止される。従って、そのインレット1の形状や、完成した電子タグに要求される電波の感度、適用される電磁波の周波数帯などによって、形成すべき溝部3の形状、即ち、幅W、長さLおよび深さDが具体的に決まる。
ここで、保護部材2を構成する材料に関して詳細を述べる。本実施の形態においては、より耐久性に優れた電子タグを形成するという要求を想定している。従って、保護部材2として、例えば樹脂材料などからなるもの、ステンレス、アルミニウムまたは鉄など、金属材料からなるものなどを用いることとする。本発明者の検討によれば、金属材料は防腐性または耐食性など、機械的強度に優れている。これに対し、樹脂材料の機械的強度は上記金属材料ほど高くないが、コストを低く抑えることができ、量産化には向いている。更に本実施の形態では、まず、樹脂材料で形成した部材をコアの保護部材2としておき、それを覆うように金属材料で保護することによって、高い機械的強度と低価格とを両立させた保護部材2であっても良いとしている。実際には、完成した電子タグを適用する対象によって、機械的強度や量産の程度に対する要求が異なるから、その都度、上記の保護部材2の材料構成を選択することになる。
次の工程を図3,図4を用いて説明する。図3は、製造工程中にある保護部材2の全体を鳥瞰した説明図であり、図4は、図3におけるa−a線の断面図である。ここでは、溝部3の底面を覆うように、液状レジン(液状樹脂)4aを塗布する。この作業は、半導体装置の製造工程において一般的に用いられるディスペンサ5を用いても良い。ディスペンサ5とは、液状の材料を内部に溜め、主に上部から応圧でき、下部の吐出口から精度良く液状材料を取り出すことができる機器である。ディスペンサ5を用いることで、本工程を自動化し易くなり、結果として生産性を向上させることができる。
次の工程を図5,図6を用いて説明する。図5は、製造工程中にある保護部材2の全体を鳥瞰した説明図であり、図6は、図5におけるa−a線の断面図である。ここでは、前工程で保護部材2の溝部3の底面を覆った液状レジン4aに、インレット1を接着させる。ここで、本実施の形態においてインレット1は、帯状の形状をしており、情報を蓄積または演算するICチップ(半導体チップ)6、および、ICチップ6に電気的に接続しているアンテナ7を有している。
上記のように、前工程で予め塗布した液状レジン4aにインレット1を接着させることで、本発明者が検討した手法が有していた、反りによる湾曲のためにインレット1を溝部3に固定し難いという課題を回避できる。従って、その後の封止工程においても、保護部材2における予定した位置に、再現性良く、インレット1を固定することができる。これにより、無線電波により情報を授受するRFID形式の電子タグにおいて、その情報授受の要部であるアンテナを有するインレット1の感度劣化、誤作動、または、データ損失を起こし難くなる。結果として、電子タグの信頼性を損なう原因を排除することができる。
また、液状レジン4aの上からインレット1を添付する際、密閉性の観点から、インレット1と溝部3の底面との間には空間が無い方が望ましい。従って、上記で図3,図4を用いて説明した工程においては、溝部3の底面を完全に覆う程度、液状レジン4aを塗布することとする。
次の工程を図7,図8を用いて説明する。図7は、製造工程中にある保護部材2の全体を鳥瞰した説明図であり、図8は、図7におけるa−a線の断面図である。ここでは、前工程までで固定したインレット1を含め、溝部3を液状レジン4bによって埋め込み、封止する。ここで、図3,図4を用いて説明した工程と同様、本工程において液状レジン4bを溝部3へ流入する際にもディスペンサ5を用いることで、この作業を自動化し易くなる。結果として、生産性を向上させることができる。また、本実施の形態において本工程で溝部3を封止した液状レジン4bは、密着性、熱膨張率の同一性などの観点から、先工程でインレット1の固定に用いた液状レジン4aと同様のものを用いるとする。
ここで、本実施の形態において、保護部材2として樹脂を用いる場合、それと同等の樹脂材料を液状レジン4a,4bとして用いることとする。これにより、完成した電子タグを過酷な環境下で使用するときなど、例えば急激な温度変化があった場合、保護部材2を形成する樹脂材料と液状レジン4a,4bとを同じ材料とし、即ち熱膨張率が同じであれば、熱履歴による歪み、更には、機械的破損を防ぐことができる。結果として、信頼性を向上させることができる。
更に、溝部3にインレット1を封止した後に気泡が混ざるようであれば、本実施の形態で例示した封止用材料は液状レジン4a,4bであるから、例えば、以上の工程の後に真空脱泡を施すことにより、容易に気泡を取り除くことができる。これにより、気泡を残した場合に起こる、外気の温度変化などによる水滴発生、腐食等の原因を排除できる。結果として、本実施の形態で例示した手法によって保護部材2に封止されたインレット1は、動作不良や故障を招き難くなり、電子タグの信頼性を向上させることができる。
また、本発明者が検討した手法のように、保護部材2の溝部3にインレット1を封止する材料として粘土状の封止用材料Rを用いていたのに対し、本実施の形態で例示した手法では、液状レジン4を用いている。液状レジン4による封止技術、パッケージング技術は、一般的な半導体装置のパッケージングでよく用いられている手法であり、これを、RFID用の電子タグにおけるインレット1の封止工程に適用したものである。従って、材料面でも、技術面でも方法論が充実しており、これを利用することで、電子タグの製造コストを削減することが可能である。結果として、RFID用の電子タグの生産性を向上させることができる。
以上のように、本実施の形態で例示した手法を適用することで、保護部材2にRFID用のインレット1を封止する電子タグにおいて、その信頼性を損なうことなく、生産性を向上させることができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
例えば、上記実施の形態では、保護部材2を略平板状の直方体に溝部3を設けたものとしている。一方、本発明者が開示した技術は、保護部材2の溝部3にインレット1を封止する工程に適用して効果をもたらすものであり、保護部材2の形状などは上記に限定されるものではない。
本発明は、例えばICチップとアンテナを備えた電子タグを用いて、RFID形式により非接触で情報の授受を行うために必要な半導体産業に適用することができる。
1 インレット(ICタグ部品)
2 保護部材
3 溝部
4a,4b 液状レジン(液状樹脂)
5 ディスペンサ
6 ICチップ(半導体チップ)
7 アンテナ
x 第1方向
y 第2方向
z 第3方向
S 平面
W 幅
L 長さ
D 深さ
R 封止用材料
B 気泡
2 保護部材
3 溝部
4a,4b 液状レジン(液状樹脂)
5 ディスペンサ
6 ICチップ(半導体チップ)
7 アンテナ
x 第1方向
y 第2方向
z 第3方向
S 平面
W 幅
L 長さ
D 深さ
R 封止用材料
B 気泡
Claims (5)
- (a)半導体チップ、および、前記半導体チップに電気的に接続されているアンテナを有するICタグ部品を準備する工程と、
(b)平面を有し、前記平面内におけるいずれかの方向に延在する溝部を備えた保護部材を準備する工程と、
(c)前記溝部の底面を覆うように液状樹脂を塗布する工程と、
(d)前記ICタグ部品を、前記溝部の底面に塗布された前記液状樹脂に接着させる工程と、
(e)前記液状樹脂によって前記溝部を埋め込むことで、前記ICタグ部品を前記保護部材の溝部内に封止する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
(f)前記(e)工程後、真空脱泡により、前記液状樹脂中の気泡を取り除く工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項2記載の半導体装置の製造方法において、
前記(c)工程、前記(e)工程、またはそれら両工程において、前記保護部材の溝部への前記液状樹脂の流入は、ディスペンサを用いて行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項3記載の半導体装置の製造方法において、
前記保護部材は、樹脂、金属、または、前記樹脂を前記金属で覆ったもののいずれかにより構成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項4記載の半導体装置の製造方法において、
前記保護部材に用いる前記樹脂は、前記液状樹脂と同等の材料からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007133786A JP2008287628A (ja) | 2007-05-21 | 2007-05-21 | 半導体装置の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012027517A (ja) * | 2010-07-20 | 2012-02-09 | Taisei Corp | Icタグホルダー |
JP2013534790A (ja) * | 2010-07-12 | 2013-09-05 | ▲華▼▲為▼▲終▼端有限公司 | アンテナコンポーネントおよび電子通信装置 |
KR101751880B1 (ko) * | 2016-04-04 | 2017-07-06 | 김지훈 | 길안내용 링 태그의 바닥 매설방법 |
-
2007
- 2007-05-21 JP JP2007133786A patent/JP2008287628A/ja active Pending
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JP2013534790A (ja) * | 2010-07-12 | 2013-09-05 | ▲華▼▲為▼▲終▼端有限公司 | アンテナコンポーネントおよび電子通信装置 |
US9054411B2 (en) | 2010-07-12 | 2015-06-09 | Huawei Device Co., Ltd. | Antenna component and electronic communication device |
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