JP2008283106A - 超電導限流素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁体基板1上に形成された超電導薄膜2上に純金属の室温抵抗率より2倍以上高い室温抵抗率を有する合金層3が形成された分流保護層付超電導薄膜1〜4と、分流保護層付超電導薄膜1〜4と並列に接続された純金属又は合金からなる線材で作製された分流抵抗6と、分流保護層付超電導薄膜1〜4と並列に接続され、分流抵抗6の20倍以上のインピーダンスを有するコンデンサ5とからなり、分流保護層付超電導薄膜1〜4、分流抵抗6、及びコンデンサ5を液体窒素中に配置したことを特徴とする超電導限流素子である。
【選択図】図1
Description
第1の手段は、絶縁体基板上に形成された超電導薄膜上に純金属の室温抵抗率より2倍以上高い室温抵抗率を有する合金層が形成された分流保護層付超電導薄膜と、該分流保護層付超電導薄膜と並列に接続された純金属又は合金からなる線材で作製された分流抵抗と、前記分流保護層付超電導薄膜と並列に接続され、商用周波数において前記分流抵抗の20倍以上のインピーダンスを有するコンデンサとからなり、前記分流保護層付超電導薄膜、前記分流抵抗、及び前記コンデンサを液体窒素中に配置したことを特徴とする超電導限流素子である。
第2の手段は、絶縁体基板上に形成された超電導薄膜上に純金属の室温抵抗率より2倍以上高い室温抵抗率を有する合金層が形成された分流保護層付超電導薄膜を2以上並列接続した分流保護層付超電導薄膜並列接続体と、該分流保護層付超電導薄膜並列接続体と並列に接続された純金属又は合金からなる線材で作製された分流抵抗と、前記分流保護層付超電導薄膜並列接続体と並列に接続され、商用周波数において前記分流抵抗の20倍以上のインピーダンスを有するコンデンサとからなり、前記分流保護層付超電導薄膜並列接続体、前記分流抵抗、及び前記コンデンサを液体窒素中に配置したことを特徴とする超電導限流素子である。
第3の手段は、第1の手段又は第1の手段において、前記コンデンサが、液体窒素中で動作可能なポリプロピレンコンデンサであることを特徴とする超電導限流素子である。
請求項3に記載の発明によれば、コンデンサとしてポリプロピレンコンデンサを用いたので、コンデンサを液体窒素中で全く問題なく動作させることができる。
同図において、1はサファイア基板等からなる絶縁体基板、2は絶縁体基板1上に不図示のセリア等のバッフア層を介して形成された高温超電導薄膜、3は高温超電導薄膜2上に蒸着によって形成された金銀合金分流層、4は高温超電導薄膜2の両端上に蒸着された金電極、5はコンデンサ、6は無誘導巻分流抵抗、7は銅電極、8は金電極4と銅電極7間を接続する電流リードである。なお、コンデンサ5又は無誘導巻分流抵抗6は、配線のインダクタンスをできるだけ低減するために高温超電導薄膜2の近傍に設置されており、また、高温超電導薄膜2と同様に不図示の液体窒素中に配置されている。
この限流試験に用いられた超電導薄膜限流素子は、図1に示すような回路構成を有する。より詳細には、図1に示す超電導薄膜限流素子は、図4に示した回路構成を有する超電導薄膜限流素子において、図5に示すような結果が得られている超電導薄膜限流素子と同仕様の超電導薄膜限流素子の両端にコンデンサ5が並列接続されたものである。
この超電導薄膜限流素子において高温超電導薄膜2は、2cm 幅で長さ6cm の高温超電導YBCO 薄膜(膜厚300nm、臨界電流密度3.2MA/cm2 で直流臨界電流192A、素子定格電流136Arms)からなり、この高温超電導YBCO薄膜上に金に約23wt%の銀を混ぜた組成からなる金銀合金分流層3を約60nmの膜厚でスパッタ蒸着した後、両端の5mmずつに金を蒸着して金電極4、4(限流素子有効長5cmで、その部分の室温抵抗は3.7Ω)とし、この金電極4、4間に、合金線の無誘導巻で作製した外付け無誘導巻分流抵抗6(0.5オーム)と、静電容量50μF(50Hzにおいて63.7Ω)のポリプロピレンコンデンサ5とを並列接続したものである。
この限流試験に用いた超電導薄膜限流素子は、基本的には、図1に示すような回路構成を有する。より詳細には、図1に示す超電導薄膜限流素子は、図4に示した回路構成において高温超電導薄膜に2並列の高温超電導薄膜を用いた超電導薄膜限流素子において、図6に示すような結果が得られている超電導薄膜限流素子と同仕様の超電導薄膜限流素子の両端にコンデンサ5が並列接続されたものである。
この超電導薄膜限流素子において高温超電導薄膜2は、1cm幅で長さ6cmの2枚の高温超電導YBCO薄膜(各々、膜厚300nm、臨界電流密度3.2MA/cm2 で直流臨界電流96A、素子定格電流68Arms)からなり、この高温超電導YBCO薄膜上に金に約23wt%の銀を混ぜた組成からなる金銀合金分流層3を約60nmの膜厚でスパッタ蒸着した後、両端の5mmずつに金を蒸着して金電極4、4(限流素子有効長 5cm)とし、この金電極4、4間に、合金線の無誘導巻で作製した外付け無誘導巻分流抵抗6(0.5オーム)と、静電容量50 μF(50Hzにおいて63.7Ω)のポリプロピレンコンデンサ5とを並列接続した。
2 高温超電導薄膜
3 金銀合金分流層
4 金電極
5 コンデンサ
6 無誘導巻分流抵抗
7 銅電極
8 電流リード
Claims (3)
- 絶縁体基板上に形成された超電導薄膜上に純金属の室温抵抗率より2倍以上高い室温抵抗率を有する合金層が形成された分流保護層付超電導薄膜と、該分流保護層付超電導薄膜と並列に接続された純金属又は合金からなる線材で作製された分流抵抗と、前記分流保護層付超電導薄膜と並列に接続され、商用周波数において前記分流抵抗の20倍以上のインピーダンスを有するコンデンサとからなり、前記分流保護層付超電導薄膜、前記分流抵抗、及び前記コンデンサを液体窒素中に配置したことを特徴とする超電導限流素子。
- 絶縁体基板上に形成された超電導薄膜上に純金属の室温抵抗率より2倍以上高い室温抵抗率を有する合金層が形成された分流保護層付超電導薄膜を2以上並列接続した分流保護層付超電導薄膜並列接続体と、該分流保護層付超電導薄膜並列接続体と並列に接続された純金属又は合金からなる線材で作製された分流抵抗と、前記分流保護層付超電導薄膜並列接続体と並列に接続され、商用周波数において前記分流抵抗の20倍以上のインピーダンスを有するコンデンサとからなり、前記分流保護層付超電導薄膜並列接続体、前記分流抵抗、及び前記コンデンサを液体窒素中に配置したことを特徴とする超電導限流素子。
- 前記コンデンサが、液体窒素中で動作可能なポリプロピレンコンデンサであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の超電導限流素子。
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