JP2008281650A - 融着接続方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 容易に接続損失を少なくすることができると共に接続強度を高くすることができ、信頼性を向上させることができる融着接続方法が提供することを目的とする。
【解決手段】 まず、互いに対向する平面導波路20の一端面20aのコア23と光ファイバ10の一端面10aとの光軸を一致させて接触させる。次に、光ファイバ10の一端面10aと対向する平面導波路20の上面における一端面20a付近にレーザ光40を照射して溶融させる。次に、光ファイバ10を光軸に沿って平面導波路20に近づける方向に所定の押し込み距離だけ押し込む。次に、光ファイバ10を光軸に沿って平面導波路20に遠ざける方向に押し込み距離より短い引き戻し距離だけ引き戻す。
【選択図】 図3
Description
本発明は平面導波路のコア及び光ファイバそれぞれの端面を互いに融着接続する融着接続方法に関するものである。
光ファイバと光導波路のコアとの接続には、一般に使用波長帯での透過率が高いUV硬化樹脂のような接着剤が用いられている。しかし、接続剤による接続は長期信頼性などの点で不利である。それに対して、光ファイバと光導波路のコアそれぞれの端面同士を突き合わせて接続させる融着接続は、融着接続面における光の損失が少なく信頼性が高いという利点がある。
しかしながら、図6に示されるように光ファイバ10と平面導波路20との突合せ部にレーザ光を照射して融着接続する場合は、熱容量が小さい光ファイバ10が先に溶けて先端が丸くなる。そのため、光ファイバ10端面の全体が融着されず、接続損失が大きくなり、接続強度が低下する。
光ファイバと光導波路との熱容量の差による接続強度の低下を回避するため、特許文献1に記載された光導波路と光ファイバの融着接続方法では平面導波路の照射領域を大きくする方法が採用されている。具体的には、光導波路の端面に光ファイバを突き合わせた状態で該突合せ部にCO2レーザビームを照射するに際して、光ファイバよりも光導波路側の照射領域を多くする。
特許第2958060号公報
しかし、特許文献1に記載された光導波路と光ファイバとの融着接続方法では、条件の最適化が困難である。また、光ファイバを光導波路の端面に融着接続した後、光ファイバ及び光導波路の融着接続面付近における光ファイバのコアの曲がりにより、接続損失が多くなり高信頼の融着接続を図ることができない。
本発明は上記事情を鑑みてなされたものであり、容易に接続損失を少なくすることができると共に接続強度を高くすることができ、信頼性を向上させることができる融着接続方法を提供することを目的とする。
上述の課題を解決するため、本発明に係る融着接続方法では、(1)零以上の間隔Lを持って互いに対向するように平面導波路のコアの一端面と光ファイバの一端面を調整し、平面導波路のコアと光ファイバとの光軸を一致させる位置調整工程と、(2)光ファイバの一端面と対向する平面導波路の端面付近にレーザ光を照射するレーザ光照射工程と、(3)平面導波路と光ファイバとを光軸に沿って間隔Lより大きい距離L1だけ互いに近づけ、平面導波路のコアの一端面と光ファイバの一端面とを溶着させる押し込み工程と、(4)平面導波路と光ファイバとを光軸に沿って距離L1と間隔Lとの差より小さい距離L2だけ互いに遠ざける引き戻し工程と、を備える。
本発明に係る融着接続方法では、光ファイバの一端面と対向する平面導波路の端面付近にレーザ光を照射する。これにより、レーザ光照射による熱容量が少ない光ファイバの先端部の変形を抑制することができる。また、平面導波路のコアの一端面と光ファイバの一端面とを押し込み融着接続させる。これにより、接続強度が向上される。
また、本発明に係る融着接続方法では、零以上の間隔Lを持って互いに対向するように平面導波路のコアの一端面と光ファイバの一端面を調整して平面導波路のコアと光ファイバとの光軸を一致させ、光ファイバの一端面と対向する平面導波路の端面付近にレーザ光を照射し、平面導波路と光ファイバとを光軸に沿って間隔Lより大きい距離L1だけ互いに近づけて融着接続させ、平面導波路と光ファイバとを光軸に沿って距離L1と間隔Lとの差より小さい距離L2だけ互いに遠ざける。平面導波路と光ファイバとを距離L1と間隔Lとの差より小さい距離L2だけ互いに遠ざけることにより、押し込みにより平面導波路と光ファイバの融着接続面の付近に生じる光ファイバのコアの曲がりを修正することができる。そのため、本発明に係る融着接続方法によれば、容易に接続損失を少なくすることができると共に接続強度を高くすることができ、信頼性を向上させることができる。
本発明に係る融着接続方法では、間隔Lが、光導波路の上面位置での光軸方向におけるレーザ光のビーム半径Rより大きいことを特徴とする。これにより、レーザ光照射工程において光ファイバが照射レーザ光の影響を多く受けることを確実に防止することができる。
本発明によれば、容易に接続損失を少なくすることができると共に接続強度を高くすることができ、信頼性を向上させることができる融着接続方法が提供される。
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
(第1実施形態)
先ず、第1実施形態に係る融着接続方法を好適に適用することができる融着接続装置1について説明する。図1は、融着接続装置1の説明図である。この図1に示す融着接続装置1は、基台1A、移動ステージ12、モニタ光源30、集光レンズ32、検出器34、光源40、反射ミラー42及び集光レンズ44を備える。この融着接続装置1により、光ファイバ10と平面導波路20とか融着接続される。
(第1実施形態)
先ず、第1実施形態に係る融着接続方法を好適に適用することができる融着接続装置1について説明する。図1は、融着接続装置1の説明図である。この図1に示す融着接続装置1は、基台1A、移動ステージ12、モニタ光源30、集光レンズ32、検出器34、光源40、反射ミラー42及び集光レンズ44を備える。この融着接続装置1により、光ファイバ10と平面導波路20とか融着接続される。
光ファイバ10は、平面導波路20と対向している一端面10aと、平面導波路20と対向していない他端面10bとを有している。光ファイバ10は、移動ステージ12上に固定されている。
平面導波路20は、例えば、石英基板21、石英基板21上に設けられたGeなどを添加して屈折率を高くしたコア23、及びコア23上に設けられたクラッド層25を含むものである。石英基板21の厚さは、例えば1mmである。また、コア23の厚さは、例えば10μm程度である。そして、クラッド層25の厚さは、例えば20μm程度である。平面導波路20は、光ファイバ10と対向している一端面20a及び光ファイバ10と対向していない他端面20bを有している。
移動ステージ12は、基台1A上に設けられており、光ファイバ10を光ファイバ10の光軸方向に沿って平面導波路20に近づける方向及び遠ざける方向に移動できるように設けられている。移動ステージ12は、光ファイバ10を移動ステージ12上に固定するための固定部を有していることが好ましい。
モニタ光源30、集光レンズ32及び検出部34は、平面導波路20のコア23の光軸と光ファイバ10との光軸を一致させるための調整を行う際に用いられる。モニタ光源30は集光レンズ32を介して光ファイバ10の他端面10bの前に配置されており、モニタ光源30の出力光の光軸、集光レンズ32の光軸、及び光ファイバ10の光軸が一致するように配置されている。モニタ光源30から出力されるレーザ光は集光レンズ32により集光される。集光されたレーザ光は、光ファイバ10の他端面10bに入力される。検出部34は、例えばパワーメーターであり、平面導波路20の他端面20bのコア23部分の前に位置されている。検出部34は、モニタ光源30から出力された光のうち光ファイバ10及び平面導波路20を経て、平面導波路20の他端面20bに達する光のパワーを測定する。
光源40、反射ミラー42及び集光レンズ44は、平面導波路20の上面における一端面20aの付近を加熱し溶融させる際に用いられる。光源40は、出力レーザ光の進行方向が平面導波路20のコア23の光軸と平行な方向に配置されている。集光レンズ44は、平面導波路20の上面における一端面20a付近に焦点を有するように配置されている。反射ミラー42は、光源40から出力されるレーザ光が入射角45°を持って入射して、反射した後は集光レンズ44の光軸に沿って集光レンズ44に入射されるように配置されている。光源40は、加熱源であり、例えばCO2レーザである。光源40の出力パワーは、例えば5Wである。また、光源40の平面導波路20の上面位置での光軸におけるビームの直径は、例えは300μmである。図中に示されているような直交座標系(x、y、z)を考え、光ファイバ10及び平面導波路20のコア23それぞれの光軸に平行な方向をz軸とする。
この融着接続装置1を用いた第1実施形態に係る融着接続方法を説明する。図2は、本実施形態に係る融着接続方法を説明するフローチャートである。図3(a)〜図3(d)は、第1実施形態に係る融着接続方法の各工程を模式的に示す図である。先ず、図3(a)に示されるように、平面導波路20と光ファイバ10の位置調整を行う(ステップ1)。
このとき、光ファイバ10を移動ステージ12の固定部に固定して平面導波路20の一端面20aのコア23と光ファイバ10の一端面10aとが互いに対向するように調整する。その後、平面導波路20のコア23と光ファイバ10の一端面10aとの光軸を一致させる。これは、検出部34が受光する光パワーが最大になるように移動ステージ12を調整することで行う。そして、z軸に沿って移動ステージ12を平面導波路20に近づける方向に移動させ、平面導波路20の一端面20aのコア23部分と光ファイバ10の一端面10aを互いに接触させる。これにより、平面導波路20及び光ファイバ10は、互いに光軸が一致し端面が接触した状態で保持されることとなる。
続いて、図3(b)に示されるように、平面導波路20の上面における一端面20a付近にレーザ光を照射する(ステップ2)。この工程では、光源40から出力されたレーザ光は集光レンズ44により平面導波路20の上面における一端面20a付近に集光し、平面導波路20の上面における一端面20a付近が溶融される。
続いて、図3(c)に示されるように、光ファイバ10をz軸に沿って平面導波路20に近づける方向に押し込む(ステップ3)。この工程において、押し込みはレーザ光照射を開始してから例えば5秒後に移動ステージ12を例えば30μm/secの速度で駆動させることで行われる。また、押し込み距離は、例えば30μmである。これにより、平面導波路20の一端面20aと光ファイバ10の一端面10aとは溶着される。
続いて、図3(d)に示されるように光ファイバ10をz軸に沿って平面導波路20に遠ざける方向に引き戻す(ステップ4)。この工程では、押し込みを開始してから例えば1秒後に移動ステージ12をz軸に沿って平面導波路20と反対方向に例えば30μm/secの速度で駆動させる。このときの引き戻し距離は、例えば20μmである。レーザ光照射は、引き戻し工程の開始後、例えば2秒後に停止される。これにより、本実施形態に係る融着接続方法による融着接続作業が終了する。
本実施形態に係る融着接続方法による効果を図4(a)及び図4(b)を参照して説明する。図4(a)は、光ファイバ10の押し込み工程(ステップ3)までを行い、引き戻し工程(ステップ4)を行わなかった場合における融着接続後の融着接続部の形状を模式的に示す図である。また、図4(b)は、光ファイバ10の押し込み工程(ステップ3)を行い、更に引き戻し工程(ステップ4)を行った場合における融着接続後の融着接続部の形状を模式的に示す図である。
光ファイバ10は、平面導波路20に押し込むと、光ファイバ10の一端面10aの全面が平面導波路20の一端面20aに融着され、その強度が向上する。かかる場合、押し込み工程を行わなかった場合と行った場合の耐引張強度は、それぞれ例えば50gf(0.49N)及び350gf(3.43N)である。しかしながら、図4(a)に示されるように、押し込み距離が過度に長い場合には、融着接続面付近における光ファイバ10のコア23が曲がってしまい、接続損失が大きくなる。一方、引き戻し工程を行った場合は、図4(b)に示されるように平面導波路20のコア23と光ファイバ10のコア23は融着接続部の付近において一直線となり、接続損失が少なくなる。かかる場合、引き戻し工程前と後における接続損失は、それぞれ例えば0.7dB及び0.3dBである。
本実施形態に係る融着接続方法では、平面導波路20の一端面20aのコア23部分と光ファイバ10の一端面10aを互いに接触させ、平面導波路20の上面における一端面20a付近にレーザ光を照射する。これにより、レーザ光照射による熱容量が少ない光ファイバの先端部の変形を抑制することができる。また、本実施形態に係る融着接続方法では、押し込み工程後、押し込み距離30μmより短い20μmだけ平面導波路20から遠ざける方向に引き戻す。これにより、平面導波路20及び光ファイバ10の融着接続面の付近に生じる光ファイバのコア23の曲がりを修正することができる。そのため、本実施形態に係る融着接続方法によれば、容易に接続損失を少なくすることができると共に接続強度を高くすることができ、信頼性を向上させることができる。
(第2実施形態)
第2実施形態に係る融着接続方法を好適に適用することができる融着接続装置は図1に示されたものと同様である。図5(a)〜図5(e)は、第2実施形態に係る融着接続方法の各工程を模式的に示す図である。第2実施形態に係る融着接続方法も、第1実施形態の場合と同様に、図2に示されるように位置調整工程、レーザ光照射工程、押し込み工程、及び引き戻し工程を備える。ただし、具体的内容の点で、第1実施形態と第2実施形態とでは相違する。以下、その相違点を中心に第2実施形態に係る融着接続方法を説明する。
第2実施形態に係る融着接続方法を好適に適用することができる融着接続装置は図1に示されたものと同様である。図5(a)〜図5(e)は、第2実施形態に係る融着接続方法の各工程を模式的に示す図である。第2実施形態に係る融着接続方法も、第1実施形態の場合と同様に、図2に示されるように位置調整工程、レーザ光照射工程、押し込み工程、及び引き戻し工程を備える。ただし、具体的内容の点で、第1実施形態と第2実施形態とでは相違する。以下、その相違点を中心に第2実施形態に係る融着接続方法を説明する。
図5(a)及び図5(b)に示されるように、第2実施形態に係る位置調整工程(ステップ1)においては、平面導波路20の一端面20a及び光ファイバ10の一端面10aを接触させる第1実施形態に係るステップ1に対して、例えば300μmの間隔を持って互いに対向させる点で相違する。また、図5(c)に示されるように、第2実施形態に係るレーザ光照射工程(ステップ2)においては、平面導波路20と光ファイバ10とを接触させて光源40のレーザ光を照射する第1実施形態に係るステップ2に対して、平面導波路20と光ファイバ10とを例えば300μmの間隔を持って互いに対向させ、平面導波路20の上面における一端面20a付近にレーザ光の照射を開始する点で相違する。
また、図5(d)に示されるように、第2実施形態に係る押し込み工程(ステップ3)においては、レーザ光照射の開始から例えば7秒後に移動ステージ12をz軸に沿って平面導波路20に近づける方向に例えば330μmだけ移動させる。この点で、レーザ光照射を開始してから例えば5秒後に光ファイバ10を例えば30μmだけ平面導波路20側に移動させる第1実施形態に係る融着接続方法と異なる。図5(e)に示される第2実施形態に係る引き戻し工程(ステップ4)は、図3(d)に示される第1実施形態に係るステップ4と同様である。
本実施形態に係る融着接続方法では、レーザ光照射工程前に、平面導波路20と光ファイバ10とを例えば300μmの間隔を持って互いに対向させ、平面導波路20の上面における一端面20a付近をレーザ光で照射する。そのため、押し込み工程の前に熱容量が高い平面導波路20のみが十分溶融するが、光ファイバ10へのレーザ光の影響は少ない。これにより、両者の熱容量の差による影響を少なくして高強度の融着接続を得ることができる。
さらに、本実施形態に係る融着接続方法では、レーザ光照射工程の開始の際、平面導波路20の一端面20aと光ファイバ10の一端面10aとの間の間隔L(330μm)が、平面導波路20の上面位置でのz軸方向におけるレーザ光のビーム半径R(150μm)より大きい。これにより、レーザ光照射工程において照射レーザ光による光ファイバの変形を効果的に抑制することができる。
以上、本発明をその2つの実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記2つの実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態においては、平面導波路40が基台1A上に固定されているが、平面導波路40が移動ステージなどに固定され移動可能な状態であってもよい。かかる場合、反射ミラー24及び集光レンズ44も平面導波路40の移動と共に移動できる状態であることが好ましい。
本実施形態では、レーザ光の照射はレーザ光照射工程から引き戻し工程まで継続的に行われているが、途中で中止されてもよい。また、引き戻し工程中にはレーザ光のパワーを小さくして、融着接続部の熱歪みを除去してもよい。
本実施形態において、光源40はCO2レーザであるが、平面導波路20及び光ファイバ10を十分溶融することができる他の種類のレーザを用いてもよい。本実施形態に係る融着接続装置1において、光ファイバ10と平面導波路20との位置調整には、モニタ光源30、集光レンズ32及び検出部34が用いられるが、CCDカメラなどが用いられてもよい。
1…融着接続装置、1A…基台、10…光ファイバ、10a…一端面、10b…他端面、20…平面導波路、20a…一端面、20b…他端面、21…石英基板、23…コア、25…クラッド層、30…モニタ光源、32…集光レンズ、34…検出部、40…光源、42…反射ミラー、44…集光レンズ
Claims (2)
- 零以上の間隔Lを持って互いに対向するように平面導波路の一端面と光ファイバの一端面とを調整し、前記平面導波路のコアと前記光ファイバとの光軸を一致させる位置調整工程と、
前記光ファイバの一端面と対向する前記平面導波路の一端面付近にレーザ光を照射するレーザ光照射工程と、
前記平面導波路と前記光ファイバとを前記光軸に沿って前記間隔Lより大きい距離L1だけ互いに近づけ、前記平面導波路のコアの一端面と前記光ファイバの一端面とを溶着させる押し込み工程と、
前記平面導波路と前記光ファイバとを前記光軸に沿って前記距離L1と前記間隔Lとの差より小さい距離L2だけ互いに遠ざける引き戻し工程と、
を備える融着接続方法。 - 前記間隔Lが、前記平面導波路の上面位置での前記光軸方向における前記レーザ光のビーム半径Rより大きいことを特徴とする請求項1に記載の融着接続方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007123815A JP2008281650A (ja) | 2007-05-08 | 2007-05-08 | 融着接続方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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