JP2008270283A - Flexible printed wiring board - Google Patents

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Kanji Shimooosako
寛司 下大迫
Taku Ito
卓 伊藤
Masaru Nishinaka
賢 西中
Shigeru Tanaka
田中  滋
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Kaneka Corp
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Kaneka Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flexible printed wiring board excellent in through hole reliability and fine wiring formation property, and to provide a flexible printed wiring board allowing high-density mounting. <P>SOLUTION: A flexible printed wiring board excellent in through hole reliability and fine wiring formation property is provided by a flexible printed wiring board satisfying a relation (a)-(b)≤10 μm between the thickness (a) of wiring formed on the surface and the thickness (b) of a conductor layer at the opening of the through hole. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、スルーホール信頼性と微細配線形成とを両立するフレキシブルプリント配線板に関する。   The present invention relates to a flexible printed wiring board that achieves both through-hole reliability and fine wiring formation.

耐熱性樹脂材料は、例えばプリント配線板(以下、PWBとも言う。)、フレキシブルプリント基板(以下、FPCとも言う。)、テープ自動ボンディング(以下、TABとも言う。)実装用基板等の電子機器部品用の絶縁基板材料として多用されており、このようなPWB、FPC、またはTAB実装用基板は、耐熱性樹脂フィルム表面に金属層として主に銅を形成した銅/耐熱性樹脂フィルムからなる積層体を加工することによって得られる。 耐熱性のみならず、優れた電気絶縁性を有することから、耐熱性樹脂フィルムとしてポリイミド樹脂フィルムが広く使用されている。   The heat-resistant resin material is, for example, an electronic device component such as a printed wiring board (hereinafter also referred to as PWB), a flexible printed circuit board (hereinafter also referred to as FPC), or a tape automatic bonding (hereinafter also referred to as TAB) mounting board. Such a PWB, FPC, or TAB mounting substrate is a laminate composed of a copper / heat-resistant resin film in which copper is mainly formed as a metal layer on the surface of the heat-resistant resin film. Can be obtained by processing. A polyimide resin film is widely used as a heat resistant resin film because it has not only heat resistance but also excellent electrical insulation.

上記のような積層体には、ポリイミド樹脂フィルムと金属被膜を接着剤を介し接合した3層積層体と、ポリイミド樹脂フィルムに直接金属被膜を形成した2層積層体とがある。   The laminates as described above include a three-layer laminate in which a polyimide resin film and a metal coating are bonded via an adhesive, and a two-layer laminate in which a metal coating is directly formed on the polyimide resin film.


フレキシブルプリント配線板は、上述の2層積層体、若しくは3層積層体を用いて、以下のように製造される。まず、積層体にスルーホールを形成し、下地金属層を形成し、電解めっきを形成し、レジストパターンを形成し、エッチングを施し、レジストを剥離することにより配線形成を行う。これはサブトラクティブ工法と呼ばれる。

A flexible printed wiring board is manufactured as follows using the above-mentioned two-layer laminate or three-layer laminate. First, a through hole is formed in the laminate, a base metal layer is formed, electrolytic plating is formed, a resist pattern is formed, etching is performed, and wiring is formed by peeling the resist. This is called a subtractive construction method.

また、別の方法として、積層体にスルーホールを形成し、下地金属層を形成し、レジストパターンを形成し、電解めっきを形成し、レジストを剥離し、フラッシュエッチングを施すことにより配線形成を行う。これはセミアディティブ工法と呼ばれる。   As another method, through holes are formed in the laminate, a base metal layer is formed, a resist pattern is formed, electrolytic plating is formed, the resist is peeled off, and flash etching is performed to form a wiring. . This is called a semi-additive construction method.

ところで、近年の電子機器の高密度化にともなって配線幅及び配線間隔が狭いフレキシブルプリント配線板が求められてきている。微細配線を良好に形成するためには、配線の厚みはできるだけ薄いことが好ましい。というのも、配線幅に対して配線の厚みが大幅に厚い場合は、サイドエッチングによる配線形状の不良を生じたり、配線剥がれを生じたりするという問題が生じるためである。   By the way, with recent increases in the density of electronic devices, flexible printed wiring boards having a narrow wiring width and wiring interval have been demanded. In order to form fine wiring satisfactorily, the thickness of the wiring is preferably as thin as possible. This is because when the thickness of the wiring is significantly larger than the wiring width, there is a problem that the wiring shape is defective due to side etching or the wiring is peeled off.

一方で、スルーホール開口部の導体層厚みは、下地金属層と電解めっき厚みとによって決まるが、この厚みが薄い場合はスルーホールの信頼性が得られないという問題があった。   On the other hand, the thickness of the conductor layer in the opening of the through hole is determined by the base metal layer and the thickness of the electrolytic plating. However, when this thickness is thin, there is a problem that the reliability of the through hole cannot be obtained.

安全且つ簡単に製造できるスルーホールを有するフレキシブルプリント回路基板及びその製造方法が開示されている(例えば、特許文献1参照。)。しかしながら、スルーホール信頼性や、微細配線形成性に関する言及はなかった。   A flexible printed circuit board having a through-hole that can be manufactured safely and easily and a method for manufacturing the same are disclosed (for example, see Patent Document 1). However, there was no mention of through-hole reliability and fine wiring formability.

以上のように、微細配線形成能を得るためには、下地金属層と電解めっき厚みを薄くする必要があるが、スルーホールの信頼性を得るためには、下地金属層と電解めっき厚みを薄くする必要があった。
特開平9−232704号公報
As described above, in order to obtain the fine wiring forming ability, it is necessary to reduce the thickness of the base metal layer and the electrolytic plating. However, in order to obtain the reliability of the through hole, the thickness of the base metal layer and the electrolytic plating is reduced. There was a need to do.
JP-A-9-232704

従って、本発明の目的は、スルーホールの信頼性に優れ、且つ微細配線が良好に形成された、フレキシブルプリント配線板を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a flexible printed wiring board having excellent through-hole reliability and good fine wiring.

本発明者等は、上記課題に鑑み鋭意検討を行った結果、表面に形成された配線の厚み(a)とスルーホール開口部の導体層厚み(b)との間に特定の関係が成立する場合に上記課題が解決しうることを見出し、本発明を完成させるに至った。   As a result of intensive studies in view of the above problems, the present inventors have established a specific relationship between the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. In some cases, the present inventors have found that the above problems can be solved, and have completed the present invention.

すなわち、本発明は、
1)表面に形成された配線の厚み(a)とスルーホール開口部の導体層厚み(b)との間に、(a)−(b)≦10μmなる関係が成立することを特徴とするフレキシブルプリント配線板。
2)(a)−(b)≦5μmなる関係が成立することを特徴とする1)に記載のフレキシブルプリント配線板。
3)(a)−(b)≦0なる関係が成立することを特徴とする1)または2)に記載のフレキシブルプリント配線板。
4)表面に形成された配線の厚み(a)と、配線幅(c)との間に、(a)/(c)≦2.0なる関係が成立することを特徴とする1)〜3)のいずれか1つに記載のフレキシブルプリント配線板。
5)配線幅(c)が20μm以下であることを特徴とする1)〜4)のいずれか1つに記載のフレキシブルプリント配線板。
6)表面に形成された配線の配線幅(c)と配線間隔(d)の間に、(d)/(c)≦2.0なる関係が成立することを特徴とする1)〜5)のいずれか1つに記載のフレキシブルプリント配線板。
7)表面に形成された配線の配線幅(c)と配線間隔(d)が、それぞれ20μm以下である配線パターンが表面に形成されていることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。
8)絶縁材料にスルーホールを形成する工程、下地金属層を形成する工程、電解めっきを施す工程、レジストパターンを形成する工程、エッチングを施す工程、及びレジストを剥離する工程、を含む工程により製造されることを特徴とする1)〜7)のいずれか1つに記載のフレキシブルプリント配線板。
9)絶縁材料にスルーホールを形成する工程、下地金属層を形成する工程、レジストパターンを形成する工程、電解めっきを施す工程、レジストを剥離する工程、及びフラッシュエッチングを施す工程、を含む工程により製造されることを特徴とする1)〜7)のいずれか1つに記載のフレキシブルプリント配線板。
10)下地金属層を形成する工程が、無電解めっきからなることを特徴とする8)または9)に記載のフレキシブルプリント配線板。
に関する。
That is, the present invention
1) Flexible, characterized in that a relationship of (a) − (b) ≦ 10 μm is established between the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. Printed wiring board.
2) The flexible printed wiring board according to 1), wherein a relationship of (a) − (b) ≦ 5 μm is established.
3) The flexible printed wiring board according to 1) or 2), wherein a relationship of (a) − (b) ≦ 0 is established.
4) The relationship of (a) / (c) ≦ 2.0 is established between the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the wiring width (c). The flexible printed wiring board as described in any one of).
5) Wiring width (c) is 20 micrometers or less, The flexible printed wiring board as described in any one of 1) -4) characterized by the above-mentioned.
6) The relationship of (d) / (c) ≦ 2.0 is established between the wiring width (c) of the wiring formed on the surface and the wiring interval (d) 1) to 5) The flexible printed wiring board as described in any one of these.
7) A flexible printed wiring board, wherein wiring patterns having a wiring width (c) and a wiring interval (d) of 20 μm or less are formed on the surface.
8) Manufactured by a process including a process of forming a through hole in an insulating material, a process of forming a base metal layer, a process of performing electroplating, a process of forming a resist pattern, a process of etching, and a process of stripping the resist. The flexible printed wiring board according to any one of 1) to 7), wherein:
9) By a process including a process of forming a through hole in an insulating material, a process of forming a base metal layer, a process of forming a resist pattern, a process of performing electroplating, a process of stripping the resist, and a process of performing flash etching. The flexible printed wiring board according to any one of 1) to 7), which is manufactured.
10) The flexible printed wiring board according to 8) or 9), wherein the step of forming the base metal layer comprises electroless plating.
About.

本発明では、表面に形成された配線の厚み(a)とスルーホール開口部の導体層厚み(b)を特定の関係が成立するように制御することで、微細配線を良好に形成でき、またスルーホールの信頼性も十分確保できるため、スルーホール信頼性、及び微細配線形成性に優れたフレキシブルプリント配線板を提供することができる。   In the present invention, fine wiring can be formed satisfactorily by controlling the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening so that a specific relationship is established. Since the through hole reliability can be sufficiently secured, a flexible printed wiring board excellent in through hole reliability and fine wiring formability can be provided.

本発明の実施の一形態について以下に詳細に説明するが、本発明は以下の記載に限定されるものではない。   One embodiment of the present invention will be described in detail below, but the present invention is not limited to the following description.

本発明は、表面に形成された配線の厚み(a)とスルーホール開口部の導体層厚み(b)との間に、(a)−(b)≦10μmなる関係が成立することを特徴とするフレキシブルプリント配線板に関する。このような構成とする事により、スルーホール信頼性、及び微細配線形成性に優れたフレキシブルプリント配線板を提供することができる。以下、それぞれについて詳述する。   The present invention is characterized in that a relationship of (a) − (b) ≦ 10 μm is established between the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. The present invention relates to a flexible printed wiring board. By setting it as such a structure, the flexible printed wiring board excellent in through-hole reliability and fine wiring formation property can be provided. Each will be described in detail below.

<表面に形成された配線の厚み(a)>
本発明にかかる表面に形成された配線の厚み(a)について説明する。
(a)は単独の金属層からなっていても良く、複数の金属層からなっていても良い。(a)の構成としては、本発明のフレキシブルプリント配線板の製造に用いられる材料の形態により、幾つかの種類がある。以下に例を挙げる。
<Thickness of wiring formed on surface (a)>
The thickness (a) of the wiring formed on the surface according to the present invention will be described.
(A) may consist of a single metal layer or a plurality of metal layers. As the configuration of (a), there are several types depending on the form of the material used for manufacturing the flexible printed wiring board of the present invention. Examples are given below.

まず(a)が、樹脂材料上に銅箔/無電解めっき層/電解めっき層の順に形成された金属層からなる場合が挙げられる。このとき、本発明のフレキシブルプリント配線板の製造に用いられる材料は樹脂材料/銅箔、若しくは銅箔/樹脂材料/銅箔、からなる積層体、である。   First, there is a case where (a) is made of a metal layer formed in the order of copper foil / electroless plating layer / electrolytic plating layer on a resin material. At this time, the material used for manufacture of the flexible printed wiring board of this invention is a laminated body which consists of resin material / copper foil or copper foil / resin material / copper foil.

また(a)が、樹脂材料上に乾式めっき層/無電解めっき層/電解めっき層の順に形成された金属層からなる場合が挙げられる。このとき、本発明のフレキシブルプリント配線板の製造に用いられる材料は乾式めっき/樹脂材料、若しくは乾式めっき/樹脂材料/乾式めっき、からなる積層体、である。   Moreover, the case where (a) consists of the metal layer formed in order of the dry-type plating layer / electroless-plating layer / electrolytic-plating layer on the resin material is mentioned. At this time, the material used for manufacturing the flexible printed wiring board of the present invention is a laminate comprising dry plating / resin material or dry plating / resin material / dry plating.

また(a)が、樹脂材料上に無電解めっき層/電解めっき層の順に形成された金属層からなる場合が挙げられる。このとき、本発明のフレキシブルプリント配線板の製造に用いられる材料は樹脂材料、である。   Moreover, the case where (a) consists of the metal layer formed in order of the electroless plating layer / electrolytic plating layer on the resin material is mentioned. At this time, the material used for manufacturing the flexible printed wiring board of the present invention is a resin material.

また(a)が、樹脂材料上に無電解めっき層のみから形成された金属層からなる場合を挙げることができる。このとき、本発明のフレキシブルプリント配線板の製造に用いられる材料は樹脂材料、である。   Moreover, the case where (a) consists of a metal layer formed only from the electroless plating layer on the resin material can be mentioned. At this time, the material used for manufacturing the flexible printed wiring board of the present invention is a resin material.

上記の中でも、生産性が良い、ピンホールが発生しない、配線の厚み(a)を電解めっきの厚みを制御することで思い通りに設計できる、等の理由から、(a)が樹脂材料上に無電解めっき層/電解めっき層の順に形成された金属層からなることが好ましい。   Among them, (a) is not present on the resin material because of good productivity, no generation of pinholes, and control of the wiring thickness (a) by controlling the thickness of the electrolytic plating. It is preferable to consist of a metal layer formed in the order of electrolytic plating layer / electrolytic plating layer.

(a)を形成する銅箔について説明する。
銅箔については、その種類については特に制限はなく、電解銅箔、圧延銅箔など種々の銅箔を使用することができる。一方、(a)−(b)≦10μmを満たすためには、銅箔の厚みは10μm以下であることが好ましく、9μm以下の厚みであることがさらに好ましく、5μm以下の厚みであることが特に好ましい。このような薄い銅箔を用いる場合は、搬送中に切れたり破れたりする問題が発生するため、銅、アルミ、等のキャリアが付いている銅箔を用いることが好ましい。
The copper foil which forms (a) is demonstrated.
About copper foil, there is no restriction | limiting in particular about the kind, Various copper foils, such as an electrolytic copper foil and a rolled copper foil, can be used. On the other hand, in order to satisfy (a) − (b) ≦ 10 μm, the thickness of the copper foil is preferably 10 μm or less, more preferably 9 μm or less, and particularly preferably 5 μm or less. preferable. When such a thin copper foil is used, there is a problem that it is cut or torn during transportation. Therefore, it is preferable to use a copper foil with a carrier such as copper or aluminum.

銅箔と樹脂材料とは、接着層を介して貼り合わせられても良く、銅箔に樹脂材料溶液を塗布、乾燥することにより銅箔/樹脂材料が構成されていても良い。   The copper foil and the resin material may be bonded together via an adhesive layer, and the copper foil / resin material may be configured by applying a resin material solution to the copper foil and drying.

(a)を形成する無電解めっき層について説明する。
無電解めっきとしては、カーボン、パラジウム触媒、有機マンガン導電膜等を用いるダイレクトプレーティング、無電解銅めっき、無電解ニッケルめっき、無電解金めっき、無電解銀めっき、無電解錫めっき、等を挙げる事ができ本発明に使用可能であるが、耐マイグレーション性等の電気特性の観点より、ダイレクトプレーティング、無電解銅めっき、無電解ニッケルめっきが好ましく、特に好ましくは、ダイレクトプレーティング、無電解銅めっきである。無電解めっきをする場合、直接無電解めっきを施してもよいし、デスミア処理等の処理を施した後、無電解めっきを施してもよい。
The electroless plating layer forming (a) will be described.
Examples of electroless plating include direct plating using carbon, palladium catalyst, organic manganese conductive film, etc., electroless copper plating, electroless nickel plating, electroless gold plating, electroless silver plating, electroless tin plating, etc. However, direct plating, electroless copper plating, and electroless nickel plating are preferable from the viewpoint of electrical characteristics such as migration resistance, and particularly preferable are direct plating and electroless copper. It is plating. When performing electroless plating, electroless plating may be performed directly, or electroless plating may be performed after processing such as desmearing.

(a)を形成する乾式めっき層について説明する。乾式めっきとしては、蒸着・スパッタリング・イオンプレーティング法、等の公知の方法を挙げることができる。乾式めっきの場合、直接銅被膜を形成しても良く、クロム、ニッケルなどの銅以外の金属を成膜した後に、薄い銅層を成膜する方法を用いても良い。   The dry plating layer forming (a) will be described. Examples of the dry plating include known methods such as vapor deposition, sputtering, and ion plating. In the case of dry plating, a copper film may be formed directly, or a method of forming a thin copper layer after forming a metal other than copper, such as chromium or nickel, may be used.

(a)を形成する電解めっき層について説明する。電解めっきとしては特に制限は無く、あらゆる電解めっきを適用可能であるが、ここで信頼性が高く、導電性が良いという観点から、電解めっき銅が好ましく適用可能である。電解めっき銅としては、酸性硫酸銅めっき液、ピロリン酸銅めっき液、等を用いればよく、液の管理が容易であることから、酸性硫酸銅めっき液を用いることが好ましい。   The electroplating layer forming (a) will be described. The electrolytic plating is not particularly limited, and any electrolytic plating can be applied. However, from the viewpoint of high reliability and good conductivity, electrolytic plated copper is preferably applicable. As the electrolytically plated copper, an acidic copper sulfate plating solution, a copper pyrophosphate plating solution, or the like may be used, and since the management of the solution is easy, it is preferable to use an acidic copper sulfate plating solution.

次に樹脂材料について説明する。本発明のフレキシブルプリント配線板に用いられる樹脂材料としては、特に制限はなく、高分子フィルムのみからなる樹脂材料であってもよく、高分子フィルムの片面、若しくは両面に接着剤層が形成された樹脂材料であってもよい。   Next, the resin material will be described. The resin material used for the flexible printed wiring board of the present invention is not particularly limited, and may be a resin material made only of a polymer film, and an adhesive layer is formed on one or both surfaces of the polymer film. It may be a resin material.

高分子フィルムとしては、低熱膨張性、耐熱性並びに機械的特性に優れた材料が好ましい。例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテンなどのポリオレフィン;エチレン−ビニルアルコール共重合体、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、エチレン−2,6−ナフタレートなどのポリエステル;さらに、ナイロン−6、ナイロン−11、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリケトン系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアリレート樹脂、液晶ポリマー樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、熱可塑ポリイミド樹脂、非熱可塑ポリイミド樹脂などのフィルムがあげられる。   As the polymer film, a material excellent in low thermal expansion property, heat resistance and mechanical properties is preferable. For example, polyolefin such as polyethylene, polypropylene, polybutene; polyester such as ethylene-vinyl alcohol copolymer, polystyrene, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, ethylene-2,6-naphthalate; and nylon-6, nylon-11, aromatic Polyamide polyamide, polyamideimide resin, polycarbonate, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyketone resin, polysulfone resin, polyphenylene sulfide resin, polyetherimide resin, fluororesin, polyarylate resin, liquid crystal polymer resin, polyphenylene ether resin, heat Examples thereof include films of plastic polyimide resin and non-thermoplastic polyimide resin.

ここで、耐熱性、寸法安定性、等の観点から、非熱可塑ポリイミドフィルムが好ましく用いられる。   Here, a non-thermoplastic polyimide film is preferably used from the viewpoints of heat resistance, dimensional stability, and the like.

高分子フィルムは、接着性を向上させる等の目的で、各種表面処理を行うことができる。具体的には、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、有機モノマー、カップリング剤等の各種有機物をプライマーとして塗布する方法、金属水酸化物、有機アルカリ等で表面処理する方法、プラズマ処理、コロナ処理する方法、表面をグラフト化させる方法等、高分子フィルムの製造段階で表面処理する方法等が挙げられる。これらの方法を単独でまたは各種組み合わせで高分子フィルム表面の処理を行っても良い。   The polymer film can be subjected to various surface treatments for the purpose of improving adhesiveness. Specifically, a method of applying various organic substances such as a thermosetting resin, a thermoplastic resin, an organic monomer, and a coupling agent as a primer, a method of surface treatment with a metal hydroxide, an organic alkali, etc., a plasma treatment, a corona treatment And a method of surface treatment in the production stage of the polymer film, such as a method of grafting the surface and the like. The polymer film surface may be treated alone or in various combinations.

高分子フィルムの厚みに特に制限はないが、フレキシブルプリント配線板の薄型化を考慮すると、好ましくは1〜70μm、より好ましくは1〜50μmである。   Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of a polymer film, When considering thinning of a flexible printed wiring board, Preferably it is 1-70 micrometers, More preferably, it is 1-50 micrometers.

接着剤層の一つの役割としては、銅箔をラミネートする場合に高分子フィルムと銅箔とを接着せしめるべく用いられる。この要求を満たせば、いかなる接着剤層を用いてもよい。   One role of the adhesive layer is to bond the polymer film and the copper foil when laminating the copper foil. Any adhesive layer may be used provided that this requirement is met.

また、接着剤層の別の役割としては、無電解めっきを形成する際に、高分子フィルムと無電解めっき層とを接着せしめるべく用いられる。この要求を満たせば、いかなる接着剤層を用いてもよいが、無電解めっきと強固に接着せしめ、且つ高分子フィルムとも強固に接着せしめる、という観点から、ポリイミド樹脂を含む接着剤層であることが好ましく、ポリイミド樹脂とエポキシ樹脂とを含む接着剤層であることがさらに好ましい。   Another role of the adhesive layer is to adhere the polymer film and the electroless plating layer when forming the electroless plating. Any adhesive layer may be used as long as this requirement is satisfied, but it is an adhesive layer containing a polyimide resin from the viewpoint of firmly adhering to electroless plating and firmly adhering to a polymer film. It is more preferable that the adhesive layer contains a polyimide resin and an epoxy resin.

無電解めっき被膜との接着性を考慮すると、ポリイミド樹脂の中でも、一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するポリイミド樹脂を含有する接着剤層であることが好ましい。   In consideration of adhesiveness with the electroless plating film, among polyimide resins, an adhesive containing a polyimide resin having one or more structures among the structures represented by any one of the general formulas (1) to (6) An agent layer is preferred.

Figure 2008270283
(式中、RおよびRは、それぞれ独立して、C2Xで表される2価のアルキレン基、または2価の芳香族基を表す。また、Rは、同一でも異なっていてもよく、それぞれ独立して、アルキル基、フェニル基、アルコキシ基、またはフェノキシ基を表し、Rは、C2Xで表される2価のアルキレン基、または2価のフェニレン基を表す。さらに、n=3〜100であり、mは1〜200の整数である。)
以下に、一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するポリイミド樹脂について説明する。
Figure 2008270283
(In the formula, R 1 and R 3 each independently represents a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent aromatic group. Also, R 4 is the same or different. Each independently represents an alkyl group, a phenyl group, an alkoxy group, or a phenoxy group, and R 2 represents a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent phenylene group. Furthermore, n = 3 to 100 and m is an integer of 1 to 200.)
Below, the polyimide resin which has one or more structures among the structures represented by either of General formula (1)-(6) is demonstrated.

本発明の上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するポリイミド樹脂は、上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有していれば、いかなるポリイミド樹脂を用いても良い。例えば、上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有する酸二無水物成分あるいは上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミン成分を用いて、ポリイミド樹脂の前駆体であるポリアミド酸を製造し、これをイミド化してポリイミド樹脂を製造する方法、官能基を有する酸二無水物成分あるいは官能基を有するジアミン成分を用いて官能基を有するポリアミド酸を製造し、この官能基と反応しうる官能基、及び上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有する化合物を反応させて、(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造が導入されたポリアミド酸を製造し、これをイミド化してポリイミド樹脂を製造する方法、官能基を有する酸二無水物成分あるいは官能基を有するジアミン成分を用いて官能基を有するポリアミド酸を製造し、これをイミド化して官能基を有するポリイミドを製造し、この官能基と反応しうる官能基、及び上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有する化合物を反応させて、(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造が導入されたポリイミド樹脂を製造する方法、などが挙げられる。ここで、上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミンは比較的容易に入手することが可能であるため、上記の中でも、酸二無水物成分と、上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミン成分とを反応させて目的とするポリイミド樹脂を製造することが好ましい。   Of the structures represented by any one of the above general formulas (1) to (6), the polyimide resin having one or more structures is represented by any one of the above general formulas (1) to (6). Any polyimide resin may be used as long as it has one or more structures. For example, in the structure represented by any one of the general formulas (1) to (6), the acid dianhydride component having one or more structures or the general formulas (1) to (6) Among the structures represented, a diamine component having one or more structures is used to produce a polyamic acid that is a precursor of a polyimide resin, and a method of imidizing this to produce a polyimide resin, an acid having a functional group A polyamic acid having a functional group is produced by using a dianhydride component or a diamine component having a functional group, and the functional group capable of reacting with the functional group and any one of the general formulas (1) to (6). A polyamic acid in which one or more structures are introduced among the structures represented by any one of (1) to (6) is produced by reacting a compound having one or more structures And imidize this to polyimide A method for producing a fat, an acid dianhydride component having a functional group or a diamine component having a functional group is used to produce a polyamic acid having a functional group, and this is imidized to produce a polyimide having a functional group. A compound having one or more structures among the functional group capable of reacting with the functional group and the structure represented by any one of the general formulas (1) to (6) is reacted, and (1) to (6 ), A method for producing a polyimide resin in which one or more structures are introduced, and the like. Here, among the structures represented by any one of the general formulas (1) to (6), a diamine having one or more structures can be obtained relatively easily. A target polyimide resin is produced by reacting an acid dianhydride component with a diamine component having one or more structures among the structures represented by any of the general formulas (1) to (6). It is preferable.

次に、本発明のポリイミド樹脂として、酸二無水物成分と、上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミン成分とを用いた場合の製造例について説明する。   Next, as the polyimide resin of the present invention, an acid dianhydride component and a diamine component having one or more structures among the structures represented by any of the general formulas (1) to (6) are used. An example of manufacturing in the case of such a case will be described.

酸二無水物成分としては特に限定はなく、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、p−フェニレンジフタル酸無水物などの芳香族テトラカルボン酸二無水物、4,4’−ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、3,4’−オキシジフタル酸無水物、3,3’−オキシジフタル酸無水物、4,4’−(4,4’−イソプロピリデンジフェノキシ)ビス(無水フタル酸)、4,4’−ハイドロキノンビス(無水フタル酸)、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパンジベンゾエート−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸二無水物、1,2−エチレンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)等を挙げることができる。これらは1種のみで用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いることも可能である。   The acid dianhydride component is not particularly limited, and pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetra Carboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, 3, 3 ′, 4,4′-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenyl Propanic acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, p-phenylenediphthalic anhydride Such Aromatic tetracarboxylic dianhydride, 4,4′-hexafluoroisopropylidenediphthalic anhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, 3,4′-oxydiphthalic anhydride, 3,3′-oxydiphthalate Acid anhydride, 4,4 ′-(4,4′-isopropylidenediphenoxy) bis (phthalic anhydride), 4,4′-hydroquinonebis (phthalic anhydride), 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) ) Propanedibenzoate-3,3 ′, 4,4′-tetracarboxylic dianhydride, 1,2-ethylenebis (trimellitic acid monoester anhydride), p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride) And the like. These may be used alone or in combination of two or more.

続いて、ジアミン成分について説明する。ジアミン成分として、下記一般式(1)〜(6)で表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミン成分を含むことが好ましい。   Subsequently, the diamine component will be described. As the diamine component, it is preferable to include a diamine component having one or more structures among the structures represented by the following general formulas (1) to (6).

Figure 2008270283
(式中、RおよびRは、それぞれ独立して、C2Xで表される2価のアルキレン基、または2価の芳香族基を表す。また、Rは、同一でも異なっていてもよく、それぞれ独立して、アルキル基、フェニル基、アルコキシ基、またはフェノキシ基を表し、Rは、C2Xで表される2価のアルキレン基、または2価のフェニレン基を表す。さらに、n=3〜100であり、mは1〜200の整数である。)
上記一般式(1)で表される構造を有するジアミンとしては、ヘキサメチレンジアミンや、オクタメチレンジアミンなどを例示することができる。上記一般式(2)で表される構造を有するジアミンとしては、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)プロパン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ブタン、1,5−ビス(4−アミノフェノキシ)ペンタン等を挙げることができる。上記一般式(3)で表される構造を有するジアミンとしては、エラスマー1000P、エラスマー650P、エラスマー250P(イハラケミカル工業(株)製)が挙げられる。また、上記一般式(4)で表される構造を有するジアミンとしては、ポリエーテルポリアミン類、ポリオキシアルキレンポリアミン類を挙げる事ができ、ジェファーミンD−2000、ジェファーミンD−4000(ハンツマン・コーポレーション社製)等を例示することができる。さらに、上記一般式(6)で表される構造を有するジアミンとしては、1,1,3,3,−テトラメチル−1,3−ビス(4−アミノフェニル)ジシロキサン、1,1,3,3,−テトラフェノキシ−1,3−ビス(4−アミノエチル)ジシロキサン、1,1,3,3,5,5−ヘキサメチル−1,5−ビス(4−アミノフェニル)トリシロキサン、1,1,3,3,−テトラフェニル−1,3−ビス(2−アミノフェニル)ジシロキサン、1,1,3,3,−テトラフェニル−1,3−ビス(3−アミノプロピル)ジシロキサン、1,1,5,5,−テトラフェニル−3,3−ジメチル−1,5−ビス(3−アミノプロピル)トリシロキサン、1,1,5,5,−テトラフェニル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(3−アミノブチル)トリシロキサン、1,1,5,5,−テトラフェニル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(3−アミノペンチル)トリシロキサン、1,1,3,3,−テトラメチル−1,3−ビス(2−アミノエチル)ジシロキサン、1,1,3,3,−テトラメチル−1,3−ビス(3−アミノプロピル)ジシロキサン、1,1,3,3,−テトラメチル−1,3−ビス(4−アミノブチル)ジシロキサン、1,3−ジメチル−1,3−ジメトキシ−1,3−ビス(4−アミノブチル)ジシロキサン、1,1,5,5,−テトラメチル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(2−アミノエチル)トリシロキサン、1,1,5,5,−テトラメチル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(4−アミノブチル)トリシロキサン、1,1,5,5,−テトラメチル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(5−アミノペンチル)トリシロキサン、1,1,3,3,5,5−ヘキサメチル−1,5−ビス(3−アミノプロピル)トリシロキサン、1,1,3,3,5,5−ヘキサエチル−1,5−ビス(3−アミノプロピル)トリシロキサン、1,1,3,3,5,5−ヘキサプロピル−1,5−ビス(3−アミノプロピル)トリシロキサン、等が挙げられる。また、一般式(6)で表される構造を有する、比較的入手しやすいジアミンとして、信越化学工業株式会社製のKF−8010、X−22−161A、X−22−161B、X−22−1660B−3、KF−8008、KF−8012、Xー22−9362、等を挙げることができる。上記一般式(1)〜(6)で表される構造を有するジアミンは単独で用いてもよく、2種以上を混合してもよい。
Figure 2008270283
(In the formula, R 1 and R 3 each independently represents a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent aromatic group. Also, R 4 is the same or different. Each independently represents an alkyl group, a phenyl group, an alkoxy group, or a phenoxy group, and R 2 represents a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent phenylene group. Furthermore, n = 3 to 100 and m is an integer of 1 to 200.)
Examples of the diamine having the structure represented by the general formula (1) include hexamethylene diamine and octamethylene diamine. Examples of the diamine having the structure represented by the general formula (2) include 1,3-bis (4-aminophenoxy) propane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) butane, and 1,5-bis (4 -Aminophenoxy) pentane and the like. Examples of the diamine having the structure represented by the general formula (3) include Elastomer 1000P, Elastomer 650P, and Elastomer 250P (manufactured by Ihara Chemical Industry Co., Ltd.). Further, examples of the diamine having the structure represented by the general formula (4) include polyether polyamines and polyoxyalkylene polyamines, such as Jeffamine D-2000 and Jeffamine D-4000 (Huntsman Corporation). Etc.). Furthermore, as the diamine having the structure represented by the general formula (6), 1,1,3,3-tetramethyl-1,3-bis (4-aminophenyl) disiloxane, 1,1,3 , 3, -tetraphenoxy-1,3-bis (4-aminoethyl) disiloxane, 1,1,3,3,5,5-hexamethyl-1,5-bis (4-aminophenyl) trisiloxane, 1,1,3,3-Tetraphenyl-1,3-bis (2-aminophenyl) disiloxane, 1,1,3,3, -tetraphenyl-1,3-bis (3-aminopropyl) disiloxane 1,1,5,5, -tetraphenyl-3,3-dimethyl-1,5-bis (3-aminopropyl) trisiloxane, 1,1,5,5, -tetraphenyl-3,3-dimethoxy -1,5-bis (3-aminobutyl) trisiloxy Sun 1,1,5,5, -tetraphenyl-3,3-dimethoxy-1,5-bis (3-aminopentyl) trisiloxane, 1,1,3,3, -tetramethyl-1,3- Bis (2-aminoethyl) disiloxane, 1,1,3,3-tetramethyl-1,3-bis (3-aminopropyl) disiloxane, 1,1,3,3, -tetramethyl-1, 3-bis (4-aminobutyl) disiloxane, 1,3-dimethyl-1,3-dimethoxy-1,3-bis (4-aminobutyl) disiloxane, 1,1,5,5, -tetramethyl- 3,3-dimethoxy-1,5-bis (2-aminoethyl) trisiloxane, 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-dimethoxy-1,5-bis (4-aminobutyl) trisiloxane Siloxane, 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-dimeth Xyl-1,5-bis (5-aminopentyl) trisiloxane, 1,1,3,3,5,5-hexamethyl-1,5-bis (3-aminopropyl) trisiloxane, 1,1,3 3,5,5-hexaethyl-1,5-bis (3-aminopropyl) trisiloxane, 1,1,3,3,5,5-hexapropyl-1,5-bis (3-aminopropyl) trisiloxane , Etc. Further, as relatively easily available diamines having a structure represented by the general formula (6), KF-8010, X-22-161A, X-22-161B, X-22-manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 1660B-3, KF-8008, KF-8012, X-22-9362, and the like. The diamine having the structure represented by the general formulas (1) to (6) may be used alone or in combination of two or more.

耐熱性向上等を目的として、上記一般式(1)〜(6)で表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミンと他のジアミンとを組み合わせて使用することも好ましく用いられる。他のジアミン成分としては、あらゆるジアミンを使用することが可能であり、m−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、m−アミノベンジルアミン、p−アミノベンジルアミン、ビス(3−アミノフェニル)スルフィド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノフェニル)スルホキシド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルホキシド、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルチオエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルチオエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルチオエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフォン、3,4’−ジアミノジフェニルスルフォン、3,3’−ジアミノジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノベンズアニリド、3,4’−ジアミノベンズアニリド、3,3’−ジアミノベンズアニリド、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(4−アミノフェニキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4’−ビス[3−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、ビス[4−{4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ}フェニル]スルホン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノビフェニルなどを挙げることができる。   For the purpose of improving heat resistance and the like, it is also preferable to use a diamine having one or more structures among the structures represented by the general formulas (1) to (6) in combination with another diamine. As the other diamine component, any diamine can be used, and m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine, bis (3-amino). Phenyl) sulfide, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (3-aminophenyl) sulfoxide, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfoxide, Bis (3-aminophenyl) sulfone, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) sulfone, 3,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3, 3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-di Minodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- (Aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenylthioether, 3,4′-diamino Diphenylthioether, 3,3'-diaminodiphenylthioether, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylsulfur 3,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminobenzanilide, 3,4'-diaminobenzanilide, 3,3'-diaminobenzanilide, 4, 4'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminobenzophenone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane 1,1-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (3-aminophenoxy) ) Phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 2,2-bis [4- (3-aminophenyl) Enoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] butane, 2,2-bis [3- (3-Aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3 3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4′-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4, 4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3- Minophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,4-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 4,4′-bis [3- (4-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4′-bis [3- (3-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] ben Phenone, 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] diphenylsulfone, bis [4- {4- (4-aminophenoxy) phenoxy} phenyl] sulfone, 1,4 -Bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 3,3′- Examples thereof include dihydroxy-4,4′-diaminobiphenyl.

ここで、原料の入手の容易さや無電解めっき皮膜との密着といった観点から、上記一般式(1)〜(6)で表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミンの中でも、下記一般式(6)で表される構造を有するジアミンが含まれることが好ましい。   Here, from the viewpoint of easy availability of raw materials and adhesion with the electroless plating film, among the diamines having one or more structures among the structures represented by the general formulas (1) to (6), the following It is preferable that the diamine which has a structure represented by General formula (6) is contained.

Figure 2008270283
(式中、RおよびRは、それぞれ独立して、C2Xで表される2価のアルキレン基、または2価の芳香族基を表す。また、Rは、同一でも異なっていてもよく、それぞれ独立して、アルキル基、フェニル基、アルコキシ基、またはフェノキシ基を表す。さらに、mは1〜200の整数である。)
上記一般式(1)〜(6)で表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミンは、全ジアミン成分に対して2〜100モル%が好ましく、より好ましくは5〜100モル%である。上記一般式(1)〜(6)で表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミンが、全ジアミン成分に対して2モル%より少ない場合、表面aと無電解めっき皮膜との接着強度が低くなる場合がある。
Figure 2008270283
(In the formula, R 1 and R 3 each independently represents a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent aromatic group. Also, R 4 is the same or different. And each independently represents an alkyl group, a phenyl group, an alkoxy group, or a phenoxy group, and m is an integer of 1 to 200.)
Among the structures represented by the general formulas (1) to (6), the diamine having one or more structures is preferably 2 to 100 mol%, more preferably 5 to 100 mol%, based on the total diamine component. It is. When the diamine having one or more structures among the structures represented by the general formulas (1) to (6) is less than 2 mol% with respect to the total diamine component, the surface a and the electroless plating film Adhesive strength may be lowered.

前記ポリイミドは、対応する前駆体ポリアミド酸を脱水閉環して得られる。ポリアミド酸は、酸二無水物成分とジアミン成分とを実質的に等モル反応させて得られる。   The polyimide is obtained by dehydrating and ring-closing the corresponding precursor polyamic acid. The polyamic acid is obtained by reacting an acid dianhydride component and a diamine component in substantially equimolar amounts.

反応の代表的な手順として、1種以上のジアミン成分を有機極性溶剤に溶解または分散させ、そののち1種以上の酸二無水物成分を添加し、ポリアミド酸溶液を得る方法があげられる。各モノマーの添加順序はとくに限定されず、酸二無水物成分を有機極性溶媒に先に加えておき、ジアミン成分を添加し、ポリアミド酸重合体の溶液としてもよいし、ジアミン成分を有機極性溶媒中に先に適量加えて、つぎに過剰の酸二無水物成分を加え、過剰量に相当するジアミン成分を加えて、ポリアミド酸重合体の溶液としてもよい。このほかにも、当業者に公知のさまざまな添加方法がある。具体的には下記の方法が挙げられる。   A typical procedure for the reaction is a method in which one or more diamine components are dissolved or dispersed in an organic polar solvent, and then one or more acid dianhydride components are added to obtain a polyamic acid solution. The order of addition of each monomer is not particularly limited, and the acid dianhydride component may be added to the organic polar solvent in advance, and the diamine component may be added to form a polyamic acid polymer solution, or the diamine component may be added to the organic polar solvent. A suitable amount of the acid dianhydride component may be added first, and then an excess amount of the dianhydride component may be added, and a diamine component corresponding to the excess amount may be added to form a polyamic acid polymer solution. There are various other addition methods known to those skilled in the art. Specifically, the following method is mentioned.

なお、ここでいう「溶解」とは、溶媒が溶質を完全に溶解する場合のほかに、溶質が溶媒中に均一に分散されて実質的に溶解しているのと同様の状態になる場合を含む。反応時間、反応温度は、とくに限定されない。
1)ジアミン成分を有機極性溶媒中に溶解し、これと実質的に等モルの酸二無水物成分を反応させて重合する方法。
2)酸二無水物成分とこれに対し過小モル量のジアミン成分とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程において酸二無水物成分とジアミン成分が実質的に等モルとなるようにジアミン成分を用いて重合させる方法。
3)酸二無水物成分とこれに対し過剰モル量のジアミン成分とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る。続いてここにジアミン成分を追加添加後、全工程において酸二無水物成分とジアミン成分が実質的に等モルとなるように酸二無水物成分を用いて重合する方法。
4)酸二無水物成分を有機極性溶媒中に溶解させた後、実質的に等モルとなるようにジアミン化合物成分を用いて重合させる方法。
5)実質的に等モルの酸二無水物成分とジアミン成分の混合物を有機極性溶媒中で反応させて重合する方法。
As used herein, “dissolution” refers to the case where the solute is uniformly dispersed in the solvent and substantially dissolved in addition to the case where the solvent completely dissolves the solute. Including. The reaction time and reaction temperature are not particularly limited.
1) A method in which a diamine component is dissolved in an organic polar solvent, and this is reacted with a substantially equimolar acid dianhydride component for polymerization.
2) An acid dianhydride component and a small molar amount of the diamine component are reacted with each other in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having acid anhydride groups at both ends. Then, the method of superposing | polymerizing using a diamine component so that an acid dianhydride component and a diamine component may become substantially equimolar in all the processes.
3) The acid dianhydride component is reacted with an excess molar amount of the diamine component in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends. Subsequently, after the addition of the diamine component, the polymerization is performed using the acid dianhydride component so that the acid dianhydride component and the diamine component are substantially equimolar in all steps.
4) A method in which an acid dianhydride component is dissolved in an organic polar solvent and then polymerized using a diamine compound component so as to be substantially equimolar.
5) A method of polymerizing by reacting a substantially equimolar mixture of an acid dianhydride component and a diamine component in an organic polar solvent.

ポリアミド酸の重合反応に用いられる有機極性溶媒としては、たとえば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、フェノール、o−、m−またはp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコールなどのフェノール系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトンなどをあげることができる。さらに必要に応じて、これらの有機極性溶媒とキシレンあるいはトルエンなどの芳香族炭化水素とを組み合わせて用いることもできる。   Examples of the organic polar solvent used for the polyamic acid polymerization reaction include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, formamide solvents such as N, N-dimethylformamide and N, N-diethylformamide, N, N- Acetamide solvents such as dimethylacetamide and N, N-diethylacetamide, pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone, phenol, o-, m- or p-cresol, xylenol, Examples thereof include phenol solvents such as halogenated phenols and catechols, hexamethylphosphoramide, and γ-butyrolactone. Further, if necessary, these organic polar solvents can be used in combination with an aromatic hydrocarbon such as xylene or toluene.

前記方法により得られたポリアミド酸溶液を、熱的または化学的方法により脱水閉環し、ポリイミドを得るが、ポリアミド酸溶液を熱処理して脱水する熱的方法、脱水剤を用いて脱水する化学的方法のいずれも用いることができる。また、減圧下で加熱してイミド化する方法も用いることができる。以下に各方法について説明する。   The polyamic acid solution obtained by the above method is dehydrated and cyclized by a thermal or chemical method to obtain a polyimide, and a thermal method in which the polyamic acid solution is subjected to heat treatment for dehydration, a chemical method for dehydration using a dehydrating agent. Any of these can be used. Moreover, the method of imidating by heating under reduced pressure can also be used. Each method will be described below.

熱的に脱水閉環する方法として、前記ポリアミド酸溶液を加熱処理によりイミド化反応を進行させると同時に、溶媒を蒸発させる方法を例示することができる。この方法により、固形のポリイミド樹脂を得ることができる。加熱の条件はとくに限定されないが、200℃以下の温度で1秒〜200分の時間の範囲で行なうことが好ましい。   As a method of thermally dehydrating and cyclizing, a method of evaporating the solvent at the same time that the polyamic acid solution is subjected to an imidation reaction by heat treatment can be exemplified. By this method, a solid polyimide resin can be obtained. The heating conditions are not particularly limited, but it is preferably performed at a temperature of 200 ° C. or lower for a time range of 1 second to 200 minutes.

また、化学的に脱水閉環する方法として、前記ポリアミド酸溶液に化学量論以上の脱水剤と触媒を加えることにより、脱水反応を起こし、有機溶媒を蒸発させる方法を例示することができる。これにより、固形のポリイミド樹脂を得ることができる。脱水剤としては、たとえば、無水酢酸などの脂肪族酸無水物、無水安息香酸などの芳香族酸無水物などがあげられる。また、触媒としては、たとえば、トリエチルアミンなどの脂肪族第3級アミン類、ジメチルアニリンなどの芳香族第3級アミン類、ピリジン、α−ピコリン、β−ピコリン、γ−ピコリン、イソキノリンなどの複素環式第3級アミン類などがあげられる。化学的に脱水閉環する際の条件は、100℃以下の温度が好ましく、有機溶媒の蒸発は、200℃以下の温度で約5分〜120分の時間の範囲で行なうことが好ましい。   Further, as a method of chemically dehydrating and cyclizing, a method of causing a dehydration reaction by adding a dehydrating agent and a catalyst having a stoichiometric amount or more to the polyamic acid solution and evaporating the organic solvent can be exemplified. Thereby, a solid polyimide resin can be obtained. Examples of the dehydrating agent include aliphatic acid anhydrides such as acetic anhydride and aromatic acid anhydrides such as benzoic anhydride. Examples of the catalyst include aliphatic tertiary amines such as triethylamine, aromatic tertiary amines such as dimethylaniline, and heterocyclic rings such as pyridine, α-picoline, β-picoline, γ-picoline, and isoquinoline. And tertiary amines of the formula. The conditions for chemically dehydrating and cyclizing are preferably 100 ° C. or less, and the organic solvent is preferably evaporated at a temperature of 200 ° C. or less for a period of about 5 minutes to 120 minutes.

また、ポリイミド樹脂を得るための別の方法として、前記の熱的または化学的に脱水閉環する方法において、溶媒の蒸発を行なわない方法もある。具体的には、熱的イミド化処理または脱水剤による化学的イミド化処理を行なって得られるポリイミド溶液を貧溶媒中に投入して、ポリイミド樹脂を析出させ、未反応モノマーを取り除いて精製、乾燥させ、固形のポリイミド樹脂を得る方法である。貧溶媒としては、溶媒とは良好に混合するがポリイミドは溶解しにくい性質のものを選択する。例示すると、アセトン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ベンゼン、メチルセロソルブ、メチルエチルケトンなどがあげられるが、これらに限定されない。   Further, as another method for obtaining a polyimide resin, there is a method in which the solvent is not evaporated in the thermal or chemical dehydration ring closure method. Specifically, a polyimide solution obtained by performing a thermal imidization treatment or a chemical imidization treatment with a dehydrating agent is put into a poor solvent, a polyimide resin is precipitated, and unreacted monomers are removed and purified and dried. And obtaining a solid polyimide resin. As the poor solvent, a solvent that is well mixed with the solvent but is difficult to dissolve polyimide is selected. Illustrative examples include, but are not limited to, acetone, methanol, ethanol, isopropanol, benzene, methyl cellosolve, methyl ethyl ketone, and the like.

つぎに、減圧下で加熱してイミド化する方法であるが、このイミド化の方法によれば、イミド化によって生成する水を積極的に系外に除去できるので、ポリアミド酸の加水分解を抑えることが可能であり、高分子量のポリイミドが得られる。また、この方法によれば、原料の酸二無水物中に不純物として存在する片側または両側開環物が再閉環するので、より一層の分子量の向上効果が期待できる。   Next, although it is the method of imidating by heating under reduced pressure, according to this imidization method, water generated by imidization can be actively removed out of the system, so that hydrolysis of polyamic acid is suppressed. And a high molecular weight polyimide is obtained. In addition, according to this method, one-sided or both-side ring-opened products existing as impurities in the raw acid dianhydride are closed again, so that a further improvement in molecular weight can be expected.

減圧下で加熱イミド化する方法の加熱条件は、80〜400℃が好ましいが、イミド化が効率よく行なわれ、しかも水が効率よく除かれる100℃以上がより好ましく、さらに好ましくは120℃以上である。最高温度は目的とするポリイミドの熱分解温度以下が好ましく、通常のイミド化の完結温度、すなわち150〜350℃程度が通常適用される。   The heating condition of the method of heating imidization under reduced pressure is preferably 80 to 400 ° C., more preferably 100 ° C. or more, more preferably 120 ° C. or more, in which imidization is efficiently performed and water is efficiently removed. is there. The maximum temperature is preferably equal to or lower than the thermal decomposition temperature of the target polyimide, and a normal imidization completion temperature, that is, about 150 to 350 ° C. is usually applied.

減圧する圧力の条件は、小さいほうが好ましいが、具体的には、9×10〜1×10Pa、好ましくは8×10〜1×10Pa、より好ましくは7×10〜1×10Paである。 The conditions for pressure reduction are preferably smaller, but specifically, 9 × 10 4 to 1 × 10 2 Pa, preferably 8 × 10 4 to 1 × 10 2 Pa, more preferably 7 × 10 4 to 1. × 10 2 Pa.

以上、ポリイミド樹脂について説明したが、市販の上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するポリイミド樹脂も用いてもよい。本発明の無電解めっき用材料に用いることができる、比較的入手しやすい上記一般式(6)を含むポリイミド樹脂の例として、信越化学工業株式会社製のX−22−8917、X−22−8904、X−22−8951、X−22−8956、X−22−8984、X−22−8985、等を挙げることができる。尚、これらはポリイミド溶液である。   Although the polyimide resin has been described above, a polyimide resin having one or more structures among the structures represented by any one of the above-described general formulas (1) to (6) may be used. As an example of the polyimide resin containing the said general formula (6) which can be used for the electroless-plating material of this invention and is comparatively easily available, X-22-8917, X-22- by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 8904, X-22-8951, X-22-8756, X-22-8984, X-22-8985, and the like. These are polyimide solutions.

接着剤層の厚みに特に制限はないが、フレキシブルプリント配線板の薄型化を考慮すると、好ましくは0.01〜20μm、より好ましくは0.01〜10μmである。   Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of an adhesive bond layer, When thinning of a flexible printed wiring board is considered, Preferably it is 0.01-20 micrometers, More preferably, it is 0.01-10 micrometers.

<スルーホール開口部の導体層厚み(b)>
スルーホールの信頼性を確保するという観点、及び微細配線形成を良好に行うという観点から、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は、3μm以上20μm以下が好ましい。
スルーホール開口部の導体層厚み(b)は、本発明のフレキシブルプリント配線板の製造に用いられる材料の形態によらない。というのも、銅箔/樹脂材料/銅箔、からなる積層体を用いる場合も、乾式めっき/樹脂材料/乾式めっき、からなる積層体を用いる場合も、
また、樹脂材料のみからなる材料を用いる場合も、スルーホール加工を行った後には、スルーホール開口部は樹脂材料が剥き出しの状態であるため、スルーホール開口部には何らかの下地金属層を形成する必要がある。下地金属層を形成する方法としては、特に限定はないが、処理の容易さや処理の均一性等の利点から、無電解めっきにて行うのが好ましい。また、無電解めっきにてある程度の厚みの導体層を形成する方法は生産性に劣るため、無電解めっきにて1μm以下程度の導体層を形成した後、所望の厚みになるように電解めっきを行う方法が好ましく用いられる。無電解めっき、電解めっきは、表面に形成された配線の厚み(a)の説明で記載したものと同様の方法にて実施すれば良い。
<Thickness of conductor layer at opening of through hole (b)>
From the viewpoint of ensuring the reliability of the through-hole and from the viewpoint of satisfactorily forming fine wiring, the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening is preferably 3 μm or more and 20 μm or less.
The conductor layer thickness (b) of the through-hole opening does not depend on the form of the material used for manufacturing the flexible printed wiring board of the present invention. Because when using a laminate composed of copper foil / resin material / copper foil, when using a laminate composed of dry plating / resin material / dry plating,
Also, in the case of using a material consisting only of a resin material, after through-hole processing, since the resin material is exposed in the through-hole opening, some kind of base metal layer is formed in the through-hole opening. There is a need. The method for forming the base metal layer is not particularly limited, but it is preferable to perform the electroless plating from advantages such as ease of processing and uniformity of processing. In addition, since a method of forming a conductor layer with a certain thickness by electroless plating is inferior in productivity, after forming a conductor layer of about 1 μm or less by electroless plating, electrolytic plating is performed so that a desired thickness is obtained. The method used is preferably used. The electroless plating and electrolytic plating may be performed by the same method as described in the explanation of the thickness (a) of the wiring formed on the surface.

<(a)−(b)>
本発明にかかるフレキシブルプリント配線板においては、表面に形成された配線の厚み(a)とスルーホール開口部の導体層厚み(b)との間に、(a)−(b)≦10μmなる関係が成立することを特徴とする。また、(a)−(b)≦5μmなる関係が成立することが更に好ましく、(a)−(b)≦0なる関係が成立することが特に好ましい。
<(A)-(b)>
In the flexible printed wiring board according to the present invention, the relationship (a) − (b) ≦ 10 μm between the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through hole opening. Is established. Further, it is more preferable that the relationship (a) − (b) ≦ 5 μm is satisfied, and it is particularly preferable that the relationship (a) − (b) ≦ 0 is satisfied.

(a)−(b)が10μmより大きい場合は、(a)の厚みが厚い場合と(b)の厚みが薄い場合が考えられるが、(a)の厚みが厚い場合は、微細配線形成が困難となり、(b)の厚みが薄い場合は、スルーホールの信頼性が得られないという問題が発生する。   When (a)-(b) is larger than 10 μm, the case where the thickness of (a) is thick and the case where the thickness of (b) is thin can be considered. When the thickness of (b) is thin, there is a problem that the reliability of the through hole cannot be obtained.

<配線幅(c)及び配線間隔(d)>
まず配線幅(c)について説明する。本発明のフレキシブルプリント配線板において、配線幅(c)は、高密度なフレキシブルプリント配線板を得るという観点から、20μm以下のものが含まれていることが好ましく、15μm以下のものが含まれていることが更に好ましい。勿論、本発明のフレキシブルプリント配線板の中には、配線幅(c)は20μm以上のものが含まれていても問題ない。
<Wiring width (c) and wiring interval (d)>
First, the wiring width (c) will be described. In the flexible printed wiring board of the present invention, the wiring width (c) preferably includes 20 μm or less, and includes 15 μm or less from the viewpoint of obtaining a high-density flexible printed wiring board. More preferably. Of course, there is no problem even if the flexible printed wiring board of the present invention includes a wiring width (c) of 20 μm or more.

次に本発明の配線間隔(d)について説明する。配線間隔(d)は、配線幅(c)との関係において、(d)/(c)≦2.0を満たすことが好ましく、(d)/(c)≦1.5を満たすことが更に好ましい。(d)/(c)が2.0より大きくなると、配線形成は容易になるが、配線間隔(d)が大きくなる分、余分なスペースが必要となるため、高密度なフレキシブルプリント配線板を得るという目的から外れることとなる。   Next, the wiring interval (d) of the present invention will be described. In relation to the wiring width (c), the wiring interval (d) preferably satisfies (d) / (c) ≦ 2.0, and further satisfies (d) / (c) ≦ 1.5. preferable. When (d) / (c) is larger than 2.0, wiring formation becomes easy, but extra space is required as the wiring interval (d) increases, so a high-density flexible printed wiring board is required. It will deviate from the purpose of obtaining.

よって、配線間隔(d)は、40μm以下のものが含まれていることが好ましく、30μm以下のものが含まれていることが更に好ましい。   Therefore, the wiring interval (d) preferably includes 40 μm or less, and more preferably 30 μm or less.

また、表面に形成された配線の配線幅(c)と配線間隔(d)が、それぞれ20μm以下のものが更に好ましい。   More preferably, the wiring width (c) and the wiring interval (d) of the wiring formed on the surface are each 20 μm or less.

勿論、本発明のフレキシブルプリント配線板の中には、配線間隔(d)は40μm以上のものが含まれていても問題ない。   Of course, the flexible printed wiring board of the present invention may have a wiring interval (d) of 40 μm or more.

<(a)/(c)>
本発明のフレキシブルプリント配線板において、表面に形成された配線の厚み(a)と配線幅(c)との間には、(a)/(c)≦2.0なる関係が成立することが好ましく、(a)/(c)≦1.5なる関係が成立することがさらに好ましい。(a)/(c)が2.0より大きくなると、セミアディティブ工法にて配線形成する場合は、配線剥がれを生じ易くなり、またサブトラクティブ工法にて配線形成する場合は、サイドエッチングにより配線形状に異常をきたす、エッチング残りを生じ易くなる、等の問題が発生する。
<(A) / (c)>
In the flexible printed wiring board of the present invention, a relationship of (a) / (c) ≦ 2.0 may be established between the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the wiring width (c). It is more preferable that the relationship (a) / (c) ≦ 1.5 is satisfied. When (a) / (c) is larger than 2.0, when the wiring is formed by the semi-additive method, the wiring is easily peeled off. When the wiring is formed by the subtractive method, the wiring shape is formed by side etching. This causes problems such as abnormalities in etching, and the possibility of residual etching.

<フレキシブルプリント配線板>
本発明のフレキシブルプリント配線板は、微細配線が良好に形成され、また、スルーホールの信頼性が高いことを特徴とする。
<Flexible printed wiring board>
The flexible printed wiring board of the present invention is characterized in that fine wiring is satisfactorily formed and through hole reliability is high.

また、配線の高密度化という観点から、本発明のフレキシブルプリント配線板は、配線の配線幅(c)と配線間隔(d)が、それぞれ20μm以下、20μm以下である配線パターンが表面に形成されていることが好ましい。このとき、表面に形成された配線の厚み(a)は30μm以下であることが好ましく、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は20μm以下であることが好ましい。   Also, from the viewpoint of increasing the density of wiring, the flexible printed wiring board of the present invention has a wiring pattern with wiring width (c) and wiring spacing (d) of 20 μm or less and 20 μm or less on the surface, respectively. It is preferable. At this time, the thickness (a) of the wiring formed on the surface is preferably 30 μm or less, and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening is preferably 20 μm or less.

この場合、(a)−(b)≦10を満たし、また(a)/(c)≦2.0を満たし、また(d)/(c)≦2.0を満たしているため、微細配線形成性とスルーホールの信頼性を両立するフレキシブルプリント配線板を得ることができる。   In this case, (a) − (b) ≦ 10 is satisfied, (a) / (c) ≦ 2.0 is satisfied, and (d) / (c) ≦ 2.0 is satisfied. A flexible printed wiring board that achieves both formability and through hole reliability can be obtained.

<フレキシブルプリント配線板の製造方法>
本発明のフレキシブルプリント配線板を製造する方法を説明する。
本発明のフレキシブルプリント配線板を製造する方法の一つとして、絶縁材料にスルーホールを形成する工程、下地金属層を形成する工程、電解めっきを施す工程、レジストパターンを形成する工程、エッチングを施す工程、及びレジストを剥離する工程、を含む工程により製造する方法を挙げることができる。これは、サブトラクティブ工法と呼ばれる配線形成方法である。以下に各工程について説明する。
<Method for producing flexible printed wiring board>
A method for producing the flexible printed wiring board of the present invention will be described.
As one of the methods for producing the flexible printed wiring board of the present invention, a step of forming a through hole in an insulating material, a step of forming a base metal layer, a step of performing electrolytic plating, a step of forming a resist pattern, and etching are performed. The method of manufacturing by the process including the process and the process of peeling a resist can be mentioned. This is a wiring formation method called a subtractive construction method. Each step will be described below.

スルーホールを形成する工程について説明する。スルーホールは、レーザー、メカニカルドリル、パンチング等の公知の方法で形成することができる。
下地金属層を形成する工程について説明する。下地金属層を形成する方法としては特に限定はないが、処理の容易さや処理の均一性等の利点から、無電解めっきにて行うのが好ましい。
A process of forming a through hole will be described. The through hole can be formed by a known method such as a laser, a mechanical drill, or punching.
A process of forming the base metal layer will be described. The method for forming the base metal layer is not particularly limited, but is preferably performed by electroless plating because of advantages such as ease of processing and uniformity of processing.

電解めっきを施す工程について説明する。電解めっきは、公知のあらゆる方法を適用することができる。ここで信頼性が高く、導電性が良いという観点から、電解銅めっきが好ましく適用可能である。   The process of applying electrolytic plating will be described. Any known method can be applied to the electrolytic plating. Here, from the viewpoint of high reliability and good electrical conductivity, electrolytic copper plating is preferably applicable.

レジストパターンを形成する工程について説明する。サブトラクティブ工法に用いられるレジストは、エッチングレジストである。この場合に要求される特性としては、表面金属層との密着性と、エッチング装置の搬送コンベアローラーで傷がつかない程度の物理的強度であり、これを満たしさえすれば、いかなるレジストを用いても構わない。   A process for forming a resist pattern will be described. The resist used in the subtractive method is an etching resist. The properties required in this case are adhesion to the surface metal layer and physical strength that does not damage the transfer conveyor roller of the etching apparatus, and any resist can be used as long as this is satisfied. It doesn't matter.

レジストパターンを形成する方法としては、ドライフィルムレジスト、若しくは液状のレジストを本発明の電解銅めっき上にラミネート、若しくは塗布、乾燥等の方法により全面に形成した後、露光、現像、によりレジストパターンを形成することができる。   As a method for forming a resist pattern, a dry film resist or a liquid resist is laminated on the entire surface of the electrolytic copper plating of the present invention, or formed on the entire surface by a method such as coating or drying, and then the resist pattern is formed by exposure and development. Can be formed.

エッチングを施す工程について説明する。エッチングは、レジストパターンが形成されていない部分の表面の金属層部分を除去するために実施する。エッチングの液、条件には特に制限は無く、所望の配線幅、配線形状を得られるような条件で実施すれば良い。金属層部分が銅からなる場合は、エッチング液としては、硝酸/過酸化水素エッチング液、塩化第二銅/塩酸エッチング液、塩化第二鉄/塩酸エッチング液、過硫酸塩/硫酸エッチング液、等を挙げることができる。   The process of performing etching will be described. The etching is performed to remove the metal layer portion on the surface where the resist pattern is not formed. The etching solution and conditions are not particularly limited, and may be performed under conditions that can obtain a desired wiring width and wiring shape. When the metal layer portion is made of copper, the etching solution includes nitric acid / hydrogen peroxide etching solution, cupric chloride / hydrochloric acid etching solution, ferric chloride / hydrochloric acid etching solution, persulfate / sulfuric acid etching solution, etc. Can be mentioned.

レジストを剥離する工程について説明する。レジスト剥離は、使用するレジストの種類に応じて適切な薬液、条件にて実施すれば良い。一般的には、水酸化ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液を適用することが可能である。   The process of peeling the resist will be described. Resist stripping may be performed with appropriate chemicals and conditions according to the type of resist used. In general, an alkaline aqueous solution such as an aqueous sodium hydroxide solution can be applied.

本発明のフレキシブルプリント配線板を製造する別の方法として、絶縁材料にスルーホールを形成する工程、下地金属層を形成する工程、レジストパターンを形成する工程、電解めっきを施す工程、レジストを剥離する工程、及びフラッシュエッチングを施す工程、を含む工程により製造する方法を挙げることができる。これは、セミアディティブ工法と呼ばれる配線形成方法である。以下に各工程について説明する。   As another method for producing the flexible printed wiring board of the present invention, a step of forming a through hole in an insulating material, a step of forming a base metal layer, a step of forming a resist pattern, a step of applying electrolytic plating, and stripping the resist The method of manufacturing by the process including the process and the process of performing a flash etching can be mentioned. This is a wiring formation method called a semi-additive construction method. Each step will be described below.

スルーホールを形成する工程について説明する。サブトラクティブ工法の場合と同様、公知の方法で形成することができる。   A process of forming a through hole will be described. As in the case of the subtractive method, it can be formed by a known method.

下地金属層を形成する工程について説明する。下地金属層を形成する方法としては特に限定はないが、処理の容易さや処理の均一性等の利点から、無電解めっきにて行うのが好ましい。   A process of forming the base metal layer will be described. The method for forming the base metal layer is not particularly limited, but is preferably performed by electroless plating because of advantages such as ease of processing and uniformity of processing.

レジストパターンを形成する工程について説明する。セミアディティブ工法に用いられるレジストは、めっきレジストである。この場合に要求される特性としては、表面の下地金属層との密着性、電解めっき液耐性、また、レジストの側壁に沿って電解めっきが成長するため、めっき厚より厚いレジスト厚と、垂直に立ったレジスト側壁が要求される。これを満たしさえすれば、いかなるレジストを用いても構わない。
レジストパターンを形成する方法としては、ドライフィルムレジスト、若しくは液状のレジストを本発明の電解銅めっき上にラミネート、若しくは塗布、乾燥等の方法により全面に形成した後、露光、現像、によりレジストパターンを形成することができる。
A process for forming a resist pattern will be described. The resist used in the semi-additive method is a plating resist. The characteristics required in this case include adhesion to the surface base metal layer, resistance to electrolytic plating solution, and electrolytic plating grows along the side walls of the resist. A standing resist sidewall is required. Any resist may be used as long as this is satisfied.
As a method for forming a resist pattern, a dry film resist or a liquid resist is laminated on the entire surface of the electrolytic copper plating of the present invention, or formed on the entire surface by a method such as coating or drying, and then the resist pattern is formed by exposure and development. Can be formed.

電解めっきを施す工程について説明する。電解めっきは、公知のあらゆる方法を適用することができる。ここで信頼性が高く、導電性が良いという観点から、電解銅めっきが好ましく適用可能である。   The process of applying electrolytic plating will be described. Any known method can be applied to the electrolytic plating. Here, from the viewpoint of high reliability and good electrical conductivity, electrolytic copper plating is preferably applicable.

レジストを剥離する工程について説明する。レジスト剥離は、使用するレジストの種類に応じて適切な薬液、条件にて実施すれば良い。一般的には、水酸化ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液を適用することが可能である。   The process of peeling the resist will be described. Resist stripping may be performed with appropriate chemicals and conditions according to the type of resist used. In general, an alkaline aqueous solution such as an aqueous sodium hydroxide solution can be applied.

フラッシュエッチングを施す工程について説明する。フラッシュエッチングは、レジストパターンが形成されていない部分の表面の下地金属層部分を除去するために実施する。エッチングの液、条件には特に制限は無く、所望の配線幅、配線形状を得られるような条件で実施すれば良い。下地金属層が無電解めっき銅からなる場合は、エッチング液としては、硝酸/過酸化水素エッチング液、塩化第二銅/塩酸エッチング液、塩化第二鉄/塩酸エッチング液、過硫酸塩/硫酸エッチング液、等を挙げることができるが、無電解めっき銅は通常1μm以下程度と薄いため、過硫酸塩/硫酸エッチング液が好ましく適用可能である。また、無電解めっき銅を形成する際に、パラジウム触媒を使用した場合は、配線間の絶縁信頼性を向上させる目的から、パラジウム除去剤にて処理することも好ましく適用可能である。   A process for performing flash etching will be described. The flash etching is performed in order to remove the base metal layer portion on the surface where the resist pattern is not formed. The etching solution and conditions are not particularly limited, and may be performed under conditions that can obtain a desired wiring width and wiring shape. When the base metal layer is made of electroless plated copper, the etching solution is nitric acid / hydrogen peroxide etching solution, cupric chloride / hydrochloric acid etching solution, ferric chloride / hydrochloric acid etching solution, persulfate / sulfuric acid etching. Although the electroless plated copper is usually as thin as about 1 μm or less, a persulfate / sulfuric acid etching solution is preferably applicable. Further, when a palladium catalyst is used when forming the electroless plated copper, it is preferable to apply a treatment with a palladium remover for the purpose of improving the insulation reliability between the wirings.

以上、本発明のフレキシブルプリント配線板とその製造例について説明したが、これに限定されるものではなく、当業者は本発明の範囲を逸脱することなく、種々の変更、修正、および改変を行うことができる。   The flexible printed wiring board and the manufacturing example thereof according to the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to this, and those skilled in the art will make various changes, modifications, and alterations without departing from the scope of the present invention. be able to.

本発明について、実施例に基づいてより具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。当業者は本発明の範囲を逸脱することなく、種々の変更、修正、および改変を行うことができる。なお、本発明のフレキシブルプリント配線板の特性として、微細配線形成性、及びスルーホールの信頼性は以下のように評価または算出した。   The present invention will be described more specifically based on examples, but the present invention is not limited to this. Those skilled in the art can make various changes, modifications, and alterations without departing from the scope of the present invention. As the characteristics of the flexible printed wiring board of the present invention, the fine wiring formability and the through hole reliability were evaluated or calculated as follows.

〔微細配線形成性評価1〕
樹脂材料に炭酸ガスレーザーにてスルーホールを形成した。その後、露出する樹脂材料表面及びスルーホール表面に、表1、表2に示すプロセスにてデスミア、無電解銅めっきを施して下地金属層を形成し、150℃、30分の乾燥処理を行った。その後、電解銅めっきを施し、エッチングレジストパターンを形成した後、塩酸/塩化第二鉄エッチング液にてエッチング、レジスト剥離の各工程にて処理してラインアンドスペース=20μm/20μmの微細配線を形成した。尚、無電解銅めっき厚み、電解銅めっき厚みは表3、4に記載の通りに実施した。
[Fine wiring formability evaluation 1]
Through holes were formed in the resin material with a carbon dioxide laser. Thereafter, the exposed resin material surface and the through-hole surface were subjected to desmearing and electroless copper plating by the processes shown in Tables 1 and 2 to form a base metal layer, and subjected to a drying treatment at 150 ° C. for 30 minutes. . Thereafter, electrolytic copper plating is performed to form an etching resist pattern, and then etching is performed with hydrochloric acid / ferric chloride etching solution, and the resist is stripped to form fine wiring of line and space = 20 μm / 20 μm. did. In addition, electroless copper plating thickness and electrolytic copper plating thickness were implemented as shown in Tables 3 and 4.

微細配線の剥がれがなく、また設計通りに良好に形成できたものを○、微細配線が剥がれたり、設計通りに良好に形成できなかったものを×とした。   The case where the fine wiring was not peeled off and was successfully formed as designed was rated as “◯”, and the case where the fine wiring was peeled off or was not able to be satisfactorily formed as designed was marked as “X”.

Figure 2008270283
Figure 2008270283

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〔微細配線形成性評価2〕
樹脂材料に炭酸ガスレーザーにてスルーホールを形成した。その後、露出する樹脂材料表面及びスルーホール表面に、表1、表2に示すプロセスにてデスミア、無電解銅めっきを施して下地金属層を形成し、150℃、30分の乾燥処理を行った。めっきレジストパターン形成、電解銅パターンめっき、レジスト剥離、過硫酸ナトリウム/硫酸エッチング液にてクィックエッチング、の各工程にて処理してラインアンドスペース=10μm/10μmの微細配線を形成した。尚、無電解銅めっき厚み、電解銅めっき厚みは表3、4に記載の通りに実施した。
Figure 2008270283
[Fine wiring formability evaluation 2]
Through holes were formed in the resin material with a carbon dioxide laser. Thereafter, the exposed resin material surface and the through-hole surface were subjected to desmearing and electroless copper plating by the processes shown in Tables 1 and 2 to form a base metal layer, and subjected to a drying treatment at 150 ° C. for 30 minutes. . A fine wiring of line and space = 10 μm / 10 μm was formed by processing in each step of plating resist pattern formation, electrolytic copper pattern plating, resist peeling, and quick etching with sodium persulfate / sulfuric acid etching solution. In addition, electroless copper plating thickness and electrolytic copper plating thickness were implemented as shown in Tables 3 and 4.

微細配線の剥がれがなく、また設計通りに良好に形成できたものを○、微細配線が剥がれたり、設計通りに良好に形成できなかったものを×とした。   The case where the fine wiring was not peeled off and was successfully formed as designed was rated as “◯”, and the case where the fine wiring was peeled off or was not able to be satisfactorily formed as designed was marked as “X”.

〔スルーホール信頼性〕
樹脂材料に炭酸ガスレーザーにてスルーホールを形成した。その後、露出する樹脂材料表面及びスルーホール表面に、表1、表2に示すプロセスにてデスミア、無電解銅めっきを施して下地金属層を形成し、150℃、30分の乾燥処理を行った。さらに電解銅パターンめっきを形成した。無電解銅めっきは0.7μm厚み、電解銅めっきは8μm厚みとなるように実施した。尚、スルーホールは、スルーホール径300μm、バレル間距離200μm、スルーホールピッチ500μmとなるように、5個×4列の配列に形成した。該サンプルを用いて、85℃/85%/印加電圧60V/測定電圧60Vの条件にて、マイグレーション試験を実施した。1000時間の試験実施後、絶縁抵抗値が100MΩ以上を保持していたものを○、試験途中で短絡したものや、絶縁抵抗値が100MΩを下回ったものを×とした。
[Through hole reliability]
Through holes were formed in the resin material with a carbon dioxide laser. Thereafter, the exposed resin material surface and the through-hole surface were subjected to desmearing and electroless copper plating by the processes shown in Tables 1 and 2 to form a base metal layer, and subjected to a drying treatment at 150 ° C. for 30 minutes. . Furthermore, electrolytic copper pattern plating was formed. The electroless copper plating was 0.7 μm thick, and the electrolytic copper plating was 8 μm thick. The through holes were formed in an array of 5 × 4 rows so that the through hole diameter was 300 μm, the distance between barrels was 200 μm, and the through hole pitch was 500 μm. Using this sample, a migration test was performed under the conditions of 85 ° C./85%/applied voltage 60V / measured voltage 60V. After conducting the test for 1000 hours, the case where the insulation resistance value was maintained at 100 MΩ or more was rated as “◯”, the case where the insulation resistance value was short-circuited during the test, or the case where the insulation resistance value was below 100 MΩ.

〔実施例1〕
(高分子フィルムの合成)
2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(4,4’−ODA)/パラフェニレンジアミン(p−PDA)/3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)/ピロメリット酸二無水物(PMDA)をモル比25/25/50/30/70の割合で用いてポリアミド酸のN,N−ジメチルホルムアミド(DMF)溶液(固形分濃度18重量%)を得た。
[Example 1]
(Synthesis of polymer film)
2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP) / 4,4′-diaminodiphenyl ether (4,4′-ODA) / paraphenylenediamine (p-PDA) / 3,3 ′ , 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) / pyromellitic dianhydride (PMDA) in a molar ratio of 25/25/50/30/70, N, N- A dimethylformamide (DMF) solution (solid content concentration 18% by weight) was obtained.

上記ポリアミド酸溶液100gに対して、無水酢酸19gとイソキノリン7gを添加し均一に攪拌した後、脱泡を行い、ガラス板上に流延塗布し、約110℃に約5分間乾燥後、ポリアミド酸塗膜をガラス板より剥し、自己支持性を持つゲルフィルムを得た。該ゲルフィルムをフレームに固定して、その後約200℃で約1分間、約300℃で約1分間、約400℃で約1分間、約500℃で約1分間加熱し、脱水閉環乾燥し、厚み25μmの非熱可塑ポリイミドフィルム(X)を得た。   To 100 g of the above polyamic acid solution, 19 g of acetic anhydride and 7 g of isoquinoline were added and stirred uniformly, then defoamed, cast on a glass plate, dried at about 110 ° C. for about 5 minutes, and then polyamic acid. The coating film was peeled off from the glass plate to obtain a gel film having self-supporting properties. The gel film is fixed to a frame, then heated at about 200 ° C. for about 1 minute, about 300 ° C. for about 1 minute, about 400 ° C. for about 1 minute, about 500 ° C. for about 1 minute, dehydrated and ring-closed and dried, A non-thermoplastic polyimide film (X) having a thickness of 25 μm was obtained.

(接着剤層の形成)
容量2000mlのガラス製フラスコに、信越化学工業株式会社製KF−8010を37g(0.045mol)と、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル21g(0.105mol)と、N,N−ジメチルホルムアミド(以下、DMFと呼ぶ)を投入し、撹拌しながら溶解させ、4,4´−(4,4´−イソプロピリデンジフェノキシ)ビス(無水フタル酸)78g(0.15mol)を添加、20℃で約1時間撹拌し、固形分濃度30%ポリアミド酸のDMF溶液を得た。上記ポリアミド酸溶液をフッ素コートしたバットにとり、真空オーブンで、200℃、120分、665Paで減圧加熱し、ポリイミド樹脂(Y)を得た。ポリイミド樹脂(Y)を9g、エポキシ樹脂(NC―3000―H、日本化薬社製)を0.7g、ナフトール・クレゾール樹脂(NC−30、群栄化学工業社製)を0.3g、ジオキソランとトルエンの混合溶媒(混合比=50重量%/50重量%)を190gとを混合、溶解して接着剤溶液(Z)を得た。
(Formation of adhesive layer)
In a glass flask with a volume of 2000 ml, 37 g (0.045 mol) of KF-8010 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., 21 g (0.105 mol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether, N, N-dimethylformamide (hereinafter, DMF) was added and dissolved while stirring, and 78 g (0.15 mol) of 4,4 ′-(4,4′-isopropylidenediphenoxy) bis (phthalic anhydride) was added. The mixture was stirred for a time to obtain a DMF solution of polyamic acid having a solid concentration of 30%. The polyamic acid solution was placed on a fluorine-coated vat and heated under reduced pressure at 665 Pa at 200 ° C. for 120 minutes in a vacuum oven to obtain a polyimide resin (Y). 9 g of polyimide resin (Y), 0.7 g of epoxy resin (NC-3000-H, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 0.3 g of naphthol / cresol resin (NC-30, manufactured by Gunei Chemical Industry Co., Ltd.), dioxolane 190 g of a mixed solvent of toluene and toluene (mixing ratio = 50 wt% / 50 wt%) was mixed and dissolved to obtain an adhesive solution (Z).

(樹脂材料の作製)
高分子フィルム(X)の片面に接着剤溶液(Z)を流延塗布した。その後、熱風オーブンにて150℃の温度で2分乾燥させ、厚み2μmの接着剤層/厚み25μmの高分子フィルムからなる樹脂材料を得た。該樹脂材料の接着剤層が形成されている面と反対の面にも接着剤溶液(Z)を流延塗布し、その後、熱風オーブンにて150℃の温度で2分乾燥させ、さらに180℃、30分の温度で乾燥させて、厚み2μmの接着剤層/厚み25μmの高分子フィルム/厚み2μmの接着剤層からなる樹脂材料(A)を得た。
(Production of resin material)
The adhesive solution (Z) was cast on one side of the polymer film (X). Thereafter, it was dried in a hot air oven at a temperature of 150 ° C. for 2 minutes to obtain a resin material composed of a 2 μm thick adhesive layer / 25 μm thick polymer film. The adhesive solution (Z) is cast on the surface opposite to the surface on which the adhesive layer of the resin material is formed, then dried in a hot air oven at a temperature of 150 ° C. for 2 minutes, and further 180 ° C. And dried at a temperature of 30 minutes to obtain a resin material (A) comprising an adhesive layer having a thickness of 2 μm / a polymer film having a thickness of 25 μm / an adhesive layer having a thickness of 2 μm.

(評価)
上記樹脂材料を用いて、微細配線形成性評価1及びスルーホール信頼性評価で記載した通りに評価を行った。表面に形成された配線の厚み(a)、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は表3の通りである。評価結果を表3に示す。
(Evaluation)
Using the resin material, the evaluation was performed as described in the fine wiring formability evaluation 1 and the through-hole reliability evaluation. Table 3 shows the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. The evaluation results are shown in Table 3.

〔実施例2〕
実施例1で使用したのと同じ樹脂材料を用いて、微細配線形成性評価2及びスルーホール信頼性評価で記載した通りに評価を行った。表面に形成された配線の厚み(a)、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は表3の通りである。評価結果を表3に示す。
[Example 2]
Using the same resin material used in Example 1, the evaluation was performed as described in the fine wiring formability evaluation 2 and the through-hole reliability evaluation. Table 3 shows the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. The evaluation results are shown in Table 3.

〔実施例3〕
高分子フィルム(X)に、常法によってスパッタ−めっきして得られた下地金属層/樹脂材料/下地金属層からなる積層体(下地金属:NiCr:0.1μm、銅:0.9μm)を用いて、実施例1と同様の評価を行った。表面に形成された配線の厚み(a)、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は表3の通りである。評価結果を表3に示す。
Example 3
A laminate (underlying metal: NiCr: 0.1 μm, copper: 0.9 μm) composed of an underlying metal layer / resin material / underlying metal layer obtained by sputtering and plating on a polymer film (X) by a conventional method. The same evaluation as in Example 1 was performed. Table 3 shows the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. The evaluation results are shown in Table 3.

〔実施例4〕
実施例3で使用したのと同じ下地金属層/樹脂材料/下地金属層からなる積層体を用いて、実施例2と同様にして評価を実施した。表面に形成された配線の厚み(a)、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は表3の通りである。評価結果を表3に示す。
Example 4
Evaluation was carried out in the same manner as in Example 2 using the same base metal layer / resin material / base metal layer laminate as used in Example 3. Table 3 shows the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. The evaluation results are shown in Table 3.

〔実施例5〕
180℃、30分の温度で乾燥させなかった以外は実施例1と同様にして、厚み2μmの接着剤層/厚み25μmの高分子フィルム/厚み2μmの接着剤層からなる樹脂材料(A´)を得た。厚み9μmの圧延銅箔のマット面と接着剤層とが接するように重ね合わせ、180℃、3MPa、1時間の条件でプレス圧着させ、厚み9μmの圧延銅箔/厚み2μmの接着剤層/厚み25μmの高分子フィルム/厚み2μmの接着剤層/厚み9μmの圧延銅箔からなる積層体を得た。該積層体を用いて、実施例1と同様の評価を行った。表面に形成された配線の厚み(a)、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は表3の通りである。評価結果を表3に示す。
Example 5
Resin material (A ′) comprising an adhesive layer having a thickness of 2 μm / polymer film having a thickness of 25 μm / adhesive layer having a thickness of 2 μm, in the same manner as in Example 1 except that it was not dried at 180 ° C. for 30 minutes. Got. 9 μm-thick rolled copper foil is laminated so that the mat surface is in contact with the adhesive layer, and press-bonded under conditions of 180 ° C., 3 MPa, 1 hour, 9 μm-thick rolled copper foil / thickness-adhesive layer / thickness 2 μm A laminate comprising a 25 μm polymer film / a 2 μm thick adhesive layer / a 9 μm thick rolled copper foil was obtained. Evaluation similar to Example 1 was performed using this laminated body. Table 3 shows the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. The evaluation results are shown in Table 3.

〔実施例6〕
厚み5μmの圧延銅箔を用いた以外は実施例5と同様にして、厚み5μmの圧延銅箔/厚み2μmの接着剤層/厚み25μmの高分子フィルム/厚み2μmの接着剤層/厚み5μmの圧延銅箔からなる積層体を得た。該積層体を用いて、実施例2と同様の評価を行った。表面に形成された配線の厚み(a)、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は表3の通りである。評価結果を表3に示す。
Example 6
Except for using 5 μm-thick rolled copper foil, in the same manner as in Example 5, 5 μm-thick rolled copper foil / thickness 2 μm adhesive layer / 25 μm thick polymer film / thickness 2 μm adhesive layer / thickness 5 μm A laminate made of rolled copper foil was obtained. Evaluation similar to Example 2 was performed using this laminated body. Table 3 shows the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. The evaluation results are shown in Table 3.

〔比較例1〕
エポキシ樹脂(NC―3000―H、日本化薬社製)を0.7g、ナフトール・クレゾール樹脂(NC−30、群栄化学工業社製)を0.3g、ジオキソランとトルエンの混合溶媒(混合比=50重量%/50重量%)を190gとを混合、溶解して接着剤溶液(P)を得た。高分子フィルム(X)の片面に接着剤溶液(P)を流延塗布した。その後、熱風オーブンにて150℃の温度で2分乾燥させ、厚み1μmの接着剤層/厚み25μmの高分子フィルムからなる樹脂材料を得た。該樹脂材料の接着剤層が形成されている面と反対の面にも接着剤溶液(Z)を流延塗布し、その後、熱風オーブンにて150℃の温度で2分乾燥させ、厚み1μmの接着剤層/厚み25μmの高分子フィルム/厚み1μmの接着剤層からなる樹脂材料(B)を得た。厚み35μmの圧延銅箔のマット面と接着剤層とが接するように重ね合わせ、180℃、3MPa、1時間の条件でプレス圧着させ、厚み35μmの圧延銅箔/厚み1μmの接着剤層/厚み25μmの高分子フィルム/厚み1μmの接着剤層/厚み35μmの圧延銅箔からなる積層体を得た。該積層体を用いて、実施例1と同様の評価を行った。表面に形成された配線の厚み(a)、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は表4の通りである。評価結果を表4に示す。
[Comparative Example 1]
0.7 g of epoxy resin (NC-3000-H, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 0.3 g of naphthol / cresol resin (NC-30, manufactured by Gunei Chemical Industry Co., Ltd.), mixed solvent of dioxolane and toluene (mixing ratio) = 50 wt% / 50 wt%) was mixed and dissolved in 190 g to obtain an adhesive solution (P). The adhesive solution (P) was cast on one side of the polymer film (X). Thereafter, it was dried in a hot air oven at a temperature of 150 ° C. for 2 minutes to obtain a resin material comprising an adhesive layer having a thickness of 1 μm / a polymer film having a thickness of 25 μm. The adhesive solution (Z) is cast on the surface opposite to the surface on which the adhesive layer of the resin material is formed, and then dried in a hot air oven at a temperature of 150 ° C. for 2 minutes. A resin material (B) comprising an adhesive layer / a polymer film having a thickness of 25 μm / an adhesive layer having a thickness of 1 μm was obtained. Stacked so that the mat surface of the rolled copper foil having a thickness of 35 μm and the adhesive layer are in contact with each other, and press-bonded under conditions of 180 ° C., 3 MPa, and 1 hour, rolled copper foil having a thickness of 35 μm / adhesive layer having a thickness of 1 μm / thickness. A laminate composed of 25 μm polymer film / adhesive layer having a thickness of 1 μm / rolled copper foil having a thickness of 35 μm was obtained. Evaluation similar to Example 1 was performed using this laminated body. Table 4 shows the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. The evaluation results are shown in Table 4.

〔比較例2〕
18μmの圧延銅箔を用いた以外は比較例1と同様にして、厚み18μmの圧延銅箔/厚み1μmの接着剤層/厚み25μmの高分子フィルム/厚み1μmの接着剤層/厚み18μmの圧延銅箔からなる積層体を得た。該積層体を用いて、実施例1と同様の評価を行った。表面に形成された配線の厚み(a)、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は表4の通りである。評価結果を表4に示す。
[Comparative Example 2]
Except for using 18 μm rolled copper foil, in the same manner as in Comparative Example 1, 18 μm thick rolled copper foil / 1 μm thick adhesive layer / 25 μm thick polymer film / 1 μm thick adhesive layer / 18 μm thick rolled A laminate made of copper foil was obtained. Evaluation similar to Example 1 was performed using this laminated body. Table 4 shows the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. The evaluation results are shown in Table 4.

〔比較例3〕
比較例2と同じ積層体を用いて、実施例1と同様の評価を行った。表面に形成された配線の厚み(a)、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は表4の通りである。評価結果を表4に示す。
[Comparative Example 3]
Using the same laminate as Comparative Example 2, the same evaluation as in Example 1 was performed. Table 4 shows the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. The evaluation results are shown in Table 4.

〔比較例4〕
比較例2と同じ積層体を用いて、実施例2と同様の評価を行った。表面に形成された配線の厚み(a)、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は表4の通りである。評価結果を表4に示す。
[Comparative Example 4]
Using the same laminate as Comparative Example 2, the same evaluation as in Example 2 was performed. Table 4 shows the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. The evaluation results are shown in Table 4.

〔比較例5〕
比較例2と同じ積層体を用いて、実施例2と同様の評価を行った。表面に形成された配線の厚み(a)、スルーホール開口部の導体層厚み(b)は表4の通りである。評価結果を表4に示す。
[Comparative Example 5]
Using the same laminate as Comparative Example 2, the same evaluation as in Example 2 was performed. Table 4 shows the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. The evaluation results are shown in Table 4.

Figure 2008270283
Figure 2008270283

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なお本発明は、以上説示した各構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態や実施例にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
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Note that the present invention is not limited to the configurations described above, and various modifications are possible within the scope of the claims, and technical means disclosed in different embodiments and examples respectively. Embodiments obtained by appropriate combinations are also included in the technical scope of the present invention.

本発明のフレキシブルプリント配線板は、スルーホールの信頼性と、微細配線形成性とを両立するため、高密度実装が可能なフレキシブルプリント配線板として有用である。それゆえ本発明は、各種電子部品の産業分野に好適に用いることができる。   The flexible printed wiring board of the present invention is useful as a flexible printed wiring board capable of high-density mounting because both the reliability of through holes and the fine wiring formability are compatible. Therefore, the present invention can be suitably used in the industrial field of various electronic components.

Claims (10)

表面に形成された配線の厚み(a)とスルーホール開口部の導体層厚み(b)との間に、(a)−(b)≦10μmなる関係が成立することを特徴とするフレキシブルプリント配線板。   A flexible printed wiring characterized in that a relationship of (a) − (b) ≦ 10 μm is established between the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the conductor layer thickness (b) of the through-hole opening. Board. (a)−(b)≦5μmなる関係が成立することを特徴とする請求項1に記載のフレキシブルプリント配線板。   The flexible printed wiring board according to claim 1, wherein a relationship of (a) − (b) ≦ 5 μm is established. (a)−(b)≦0なる関係が成立することを特徴とする請求項1または2に記載のフレキシブルプリント配線板。 The flexible printed wiring board according to claim 1, wherein a relationship of (a) − (b) ≦ 0 is established. 表面に形成された配線の厚み(a)と、配線幅(c)との間に、(a)/(c)≦2.0なる関係が成立することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線板。   The relationship of (a) / (c) ≦ 2.0 is established between the thickness (a) of the wiring formed on the surface and the wiring width (c). The flexible printed wiring board of any one of Claims. 配線幅(c)が20μm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線板。   The flexible printed wiring board according to claim 1, wherein the wiring width (c) is 20 μm or less. 表面に形成された配線の配線幅(c)と配線間隔(d)の間に、(d)/(c)≦2.0なる関係が成立することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線板。   6. The relationship of (d) / (c) ≦ 2.0 is established between the wiring width (c) of the wiring formed on the surface and the wiring interval (d). The flexible printed wiring board of Claim 1. 表面に形成された配線の配線幅(c)と配線間隔(d)が、それぞれ20μm以下である配線パターンが表面に形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線板。   7. The wiring pattern according to claim 1, wherein a wiring pattern having a wiring width (c) and a wiring interval (d) of 20 μm or less is formed on the surface. The flexible printed wiring board as described. 絶縁材料にスルーホールを形成する工程、下地金属層を形成する工程、電解めっきを施す工程、レジストパターンを形成する工程、エッチングを施す工程、及びレジストを剥離する工程、を含む工程により製造されることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線板。   Manufactured by a process including a process of forming a through hole in an insulating material, a process of forming a base metal layer, a process of performing electroplating, a process of forming a resist pattern, a process of etching, and a process of stripping the resist. The flexible printed wiring board of any one of Claims 1-7 characterized by the above-mentioned. 絶縁材料にスルーホールを形成する工程、下地金属層を形成する工程、レジストパターンを形成する工程、電解めっきを施す工程、レジストを剥離する工程、及びフラッシュエッチングを施す工程、を含む工程により製造されることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線板。   It is manufactured by a process including a process of forming a through hole in an insulating material, a process of forming a base metal layer, a process of forming a resist pattern, a process of performing electrolytic plating, a process of stripping a resist, and a process of performing flash etching. The flexible printed wiring board according to claim 1, wherein: 下地金属層を形成する工程が、無電解めっきからなることを特徴とする請求項8または9に記載のフレキシブルプリント配線板。   The flexible printed wiring board according to claim 8 or 9, wherein the step of forming the base metal layer comprises electroless plating.
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