JP2002307608A - Laminate manufacturing method and multilayered printed wiring board - Google Patents

Laminate manufacturing method and multilayered printed wiring board

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JP2002307608A
JP2002307608A JP2001112049A JP2001112049A JP2002307608A JP 2002307608 A JP2002307608 A JP 2002307608A JP 2001112049 A JP2001112049 A JP 2001112049A JP 2001112049 A JP2001112049 A JP 2001112049A JP 2002307608 A JP2002307608 A JP 2002307608A
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resin
laminate
bis
adhesive layer
adhesive
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JP2001112049A
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Japanese (ja)
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Kanji Shimooosako
寛司 下大迫
Taku Ito
卓 伊藤
Masaru Nishinaka
賢 西中
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Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for efficiently manufacturing a laminate suitable for a build-up method under such a condition that an adhesive layer has sufficient adhesiveness, and a multilayered printed wiring board using the laminate. SOLUTION: The laminate is manufactured by laminating a metal foil 1 to one surface of a polymeric film 10 through a first adhesive layer 11 and laminating a second thermosetting adhesive layer 12 to the other surface of the polymeric film 10. Alternatively, an adhesive is applied to both surfaces of the polymeric film 10 to be dried to bring the adhesive layers on both surfaces of the polymeric film 10 to a semicured state and the metal foil 13 is laminated to the adhesive layer 11 on the single surface under a condition capable of holding the adhesive layers on both surfaces to the semicured state.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、導体層/高分子フ
ィルム/接着剤層の積層構造を有する積層体の製造方法
に関するものであり、更に詳しくは高耐熱性、狭ピッチ
配線パターン、小径ヴィア、均一な絶縁層厚み、および
金属と高分子フィルム間の密着力が安定性を有する多層
配線板を提供できる積層体の製造方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a laminate having a laminated structure of a conductor layer / polymer film / adhesive layer, and more particularly to a high heat resistance, a narrow pitch wiring pattern, and a small diameter via. The present invention relates to a method for manufacturing a laminate capable of providing a multilayer wiring board having a stable thickness of an insulating layer and a stable adhesion between a metal and a polymer film.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器の小型化、高性能化、高機能化
が進む中で、配線板には、高密度実装化に対応できるこ
とが要求されている。これらの要求に応えるために配線
板の多層化、絶縁層の薄膜化、従来のスルーホールに代
わるインタースティシャルヴィアホールの採用、ヴィア
径の小径化、回路の狭ピッチ化等が進行している。
2. Description of the Related Art As electronic devices have become smaller, higher in performance and higher in function, wiring boards have been required to be able to cope with high-density mounting. To meet these demands, multilayer wiring boards, thinner insulating layers, the use of interstitial via holes instead of conventional through holes, smaller via diameters, and narrower circuit pitches are being developed. .

【0003】これらを実現する技術としてビルドアップ
方式による多層配線板製造技術がある。このビルドアッ
プ配線板の製造は、メーカー各社により種々の工法が行
われている。この中で、絶縁接着剤付き銅箔を用いた工
法は、材料の取扱いが容易、既に導体層が形成されてい
ることにより工程の大幅短縮化を可能とすることから、
多くの配線板メーカーにより採用されている。
As a technique for realizing these, there is a multilayer wiring board manufacturing technique by a build-up method. Manufacturers of the build-up wiring board employ various methods of manufacture. Among them, the method using copper foil with insulating adhesive is easy to handle the material, and since the conductor layer is already formed, the process can be greatly shortened.
Used by many wiring board manufacturers.

【0004】この絶縁接着剤付き銅箔は、銅箔と接着剤
層の2層構造を有しており、銅箔上に溶液状の接着剤を
塗布、乾燥する方法で製造されている。例えば、絶縁接
着剤付き銅箔を用いた一般的なビルドアップ多層配線板
は、以下のように製造される。
[0004] The copper foil with an insulating adhesive has a two-layer structure of a copper foil and an adhesive layer, and is manufactured by a method of applying a solution adhesive on the copper foil and drying. For example, a general build-up multilayer wiring board using a copper foil with an insulating adhesive is manufactured as follows.

【0005】予め回路を形成し、スルーホール加工を施
したガラスクロス入り銅張積層板に、絶縁接着剤付き銅
箔をプレス加工やロールラミネート等の方法で積層し、
ヴィアを形成する場所の銅箔を感光性樹脂を用いたエッ
チング法により除去した後、さらにレーザードリリング
により接着層を除去してヴィアを形成し、無電解メッキ
によってヴィアを導電化する。その後、エッチング法に
よって絶縁接着剤付き銅箔の銅層を回路パターン化し
て、再び絶縁接着剤付き銅箔を積層後、同様の工程を繰
り返すことによりビルドアップ多層配線板が製造され
る。
[0005] A copper foil with an insulating adhesive is laminated on a glass cloth-containing copper-clad laminate having a circuit formed in advance and subjected to through-hole processing by a method such as press processing or roll lamination.
After the copper foil at the place where the via is to be formed is removed by an etching method using a photosensitive resin, the adhesive layer is further removed by laser drilling to form the via, and the via is made conductive by electroless plating. Thereafter, the copper layer of the copper foil with an insulating adhesive is circuit-patterned by an etching method, the copper foil with an insulating adhesive is laminated again, and the same process is repeated to manufacture a build-up multilayer wiring board.

【0006】しかしながら、従来の絶縁接着剤付き銅箔
を用いる場合には、幾つかの問題点があることが指摘さ
れている。
However, it has been pointed out that there are some problems when using a conventional copper foil with an insulating adhesive.

【0007】すなわち、レーザードリリングにより小径
ヴィアを形成し、その後このヴィア中に導体層を無電解
メッキなどで形成して下層回路配線と電気的に接続する
場合、ヴィアのアスペクト比が小さいほど加工し易い
が、そのためには絶縁層厚みを薄くする必要がある。し
かしながら、従来の絶縁接着剤付き銅箔の絶縁層厚みを
薄くすると、積層した際の各絶縁層の厚みを均一にする
ことが困難となり、また、絶縁性も低下し、電気信頼性
の確保が難しくなるという問題を有していた。
That is, when a small-diameter via is formed by laser drilling, and then a conductive layer is formed in the via by electroless plating or the like to be electrically connected to a lower circuit wiring, the smaller the via is, the smaller the aspect ratio is. Although it is easy to do so, it is necessary to reduce the thickness of the insulating layer. However, if the thickness of the insulating layer of the conventional copper foil with an insulating adhesive is reduced, it becomes difficult to make the thickness of each insulating layer uniform when laminated, and the insulating property also decreases, and the electrical reliability is secured. Had the problem of becoming difficult.

【0008】導体層と接着剤層の間に高分子フィルムを
介した、導体層/高分子フィルム/接着剤層で構成され
る積層体を用いることは、上記の問題を解決する一つの
手段として有効である。
The use of a laminate composed of a conductor layer / polymer film / adhesive layer with a polymer film interposed between the conductor layer and the adhesive layer is one means for solving the above problem. It is valid.

【0009】すなわち、この際の導体層の一つとして、
高分子フィルム表面に真空蒸着やスパッタリングなどの
方法で金属の薄膜を形成し、それに電気メッキなどの方
法で任意の厚みの金属層を形成したものがあるが、この
方法で形成した導体層はフィルム表面と金属薄膜の密着
強度が低いという問題点がある。また上記構成の積層体
はカールしてしまうという問題も有していた。
That is, as one of the conductor layers at this time,
A thin film of metal is formed on the surface of a polymer film by a method such as vacuum evaporation or sputtering, and a metal layer of an arbitrary thickness is formed on the surface by a method such as electroplating. There is a problem that the adhesion strength between the surface and the metal thin film is low. In addition, the laminate having the above configuration has a problem of curling.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、ビルドアップ法に適した積層体を、接着剤
層が十分な接着性を有する条件で効率良く製造するため
の積層体の製造方法および積層体を提供することにあ
る。
The problem to be solved by the present invention is to provide a laminate suitable for the build-up method for efficiently producing a laminate under the condition that the adhesive layer has sufficient adhesiveness. It is to provide a manufacturing method and a laminate.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意研究の
結果、以下に示す積層体の効率的な製造方法と積層体お
よびそれを用いてなる多層配線板により上記の課題を解
決できることを見出し本発明に至った。
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies, the present inventors have found that the following problems can be solved by an efficient method for manufacturing a laminate, a laminate and a multilayer wiring board using the laminate as described below. The present invention led to the heading.

【0012】すなわち本発明は、高分子フィルムの一方
の面に熱硬化性の第1の接着剤層を介して金属箔が積層
され、高分子フィルムの他方の面に熱硬化性の第2の接
着剤層が積層されている積層体の製造方法であって、該
高分子フィルムの両面に接着剤を塗布、乾燥し、両面の
接着剤を半硬化状態にした後、両面の接着剤層が半硬化
状態を維持し得る条件で片面の接着剤層に金属箔を積層
することを特徴とするものである。
That is, according to the present invention, a metal foil is laminated on one surface of a polymer film via a thermosetting first adhesive layer, and the second surface of the polymer film is cured on the other surface of the polymer film. A method for producing a laminate in which an adhesive layer is laminated, wherein an adhesive is applied to both sides of the polymer film, dried, and the adhesive on both sides is semi-cured. The method is characterized in that a metal foil is laminated on an adhesive layer on one side under conditions that can maintain a semi-cured state.

【0013】一実施態様では、前記高分子フィルムがポ
リイミドフィルムである。
[0013] In one embodiment, the polymer film is a polyimide film.

【0014】一実施態様では、前記第1および第2の熱
硬化性の接着剤層がポリイミド樹脂および熱硬化性樹脂
を含む樹脂組成物からなる。
In one embodiment, the first and second thermosetting adhesive layers are made of a resin composition containing a polyimide resin and a thermosetting resin.

【0015】一実施態様では、前記熱硬化性樹脂が、エ
ポキシ樹脂である。
[0015] In one embodiment, the thermosetting resin is an epoxy resin.

【0016】本発明の積層体は、高分子フィルムの一方
の面に熱硬化性の第1の接着剤層を介して金属箔が積層
され、高分子フィルムの他方の面に熱硬化性の第2の接
着剤層が積層されている積層体であって、該第1および
第2の接着剤層が半硬化状態であることを特徴とする。 一実施態様では、前記高分子フィルムがポリイミドフィ
ルムである。
In the laminate of the present invention, a metal foil is laminated on one side of a polymer film via a thermosetting first adhesive layer, and a thermosetting second adhesive layer is formed on the other side of the polymer film. A laminate in which two adhesive layers are laminated, wherein the first and second adhesive layers are in a semi-cured state. In one embodiment, the polymer film is a polyimide film.

【0017】一実施態様では、前記第1および第2の熱
硬化性の接着剤層がポリイミド樹脂および熱硬化性樹脂
を含む樹脂組成物からなる。
In one embodiment, the first and second thermosetting adhesive layers are made of a resin composition containing a polyimide resin and a thermosetting resin.

【0018】一実施態様では、前記熱硬化性樹脂が、エ
ポキシ樹脂である。
In one embodiment, the thermosetting resin is an epoxy resin.

【0019】また、本発明の多層配線板は、上記積層体
を用いたことを特徴とする。
Further, a multilayer wiring board of the present invention is characterized by using the above-mentioned laminate.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】本発明の積層体1は、図1に示す
ように、高分子フィルム10の一方の面に熱硬化性の第
1の接着剤層11を介して金属箔13が積層され、他面
側に熱硬化性の第2の接着剤層12が積層されているも
のである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As shown in FIG. 1, a laminate 1 of the present invention has a metal foil 13 laminated on one surface of a polymer film 10 with a thermosetting first adhesive layer 11 interposed therebetween. The thermosetting second adhesive layer 12 is laminated on the other surface.

【0021】本発明の積層体を用いてビルドアップ法に
より多層プリント配線板を作成した場合、高分子フィル
ム10は第2接着剤層12とともに絶縁層を形成するの
で、絶縁層が極端に薄くなるのを防いで、均一な絶縁層
厚みを実現する。
When a multilayer printed wiring board is formed by a build-up method using the laminate of the present invention, the insulating layer is extremely thin because the polymer film 10 forms an insulating layer together with the second adhesive layer 12. And realizes a uniform thickness of the insulating layer.

【0022】本発明に用いる高分子フィルムとしては、
寸法安定性、耐熱性並びに機械的特性に優れた材料が好
ましく、たとえば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポ
リブテン等のポリオレフィン、エチレン−ビニルアルコ
ール共重合体、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリブチレンテレフタレート、エチレン−2,6
−ナフタレート等のポリエステル、ナイロン−6、ナイ
ロン−11、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド樹
脂、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニ
リデン、ポリケトン系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリ
フェニレンスルフィド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、
フッ素樹脂、ポリアリレート樹脂、液晶ポリマー樹脂、
ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリイミド等のフィルム
があげられる。
The polymer film used in the present invention includes:
Materials excellent in dimensional stability, heat resistance and mechanical properties are preferable, for example, polyolefins such as polyethylene, polypropylene and polybutene, ethylene-vinyl alcohol copolymer, polystyrene, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, and ethylene-2,6.
-Polyester such as naphthalate, nylon-6, nylon-11, aromatic polyamide, polyamideimide resin, polycarbonate, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyketone resin, polysulfone resin, polyphenylene sulfide resin, polyetherimide resin,
Fluorine resin, polyarylate resin, liquid crystal polymer resin,
Examples include films of polyphenylene ether resin, polyimide, and the like.

【0023】ここで、高分子フィルムは、本発明の積層
体および該積層体を用いて得られるビルドアップ配線板
に十分な剛性を付与するために、引張弾性率が5GPa
以上が好ましく、6GPa以上がより好ましい。
The polymer film has a tensile modulus of 5 GPa in order to impart sufficient rigidity to the laminate of the present invention and a build-up wiring board obtained by using the laminate.
Or more, more preferably 6 GPa or more.

【0024】また、小径ヴィアの形成のために高分子フ
ィルムの厚みは50μm以下が好ましく、より好ましく
は35μm以下、25μm以下が更に好ましいが、一方
で厚みが薄くても充分な電気絶縁性が確保される高分子
フィルムが望ましい。
The thickness of the polymer film is preferably 50 μm or less, more preferably 35 μm or less, and even more preferably 25 μm or less for forming small-diameter vias. On the other hand, even if the thickness is small, sufficient electrical insulation is ensured. It is desirable to use a polymer film.

【0025】更に、ビルトアップ配線板加工時には熱的
な安定性が求められるので、寸法安定性としては2.0
×10-5/℃以下、より好ましくは1.5×10-5/℃
以下、更に好ましくは1.0×10-5/℃以下の線膨張
係数を有する高分子フィルムが望ましく、また、加工時
の熱によって膨れ等の欠陥が発生しないように、低吸水
率の高分子フィルムが望ましい。ASTM−D570に
準じて測定した高分子フィルムの吸水率は、同一組成で
も厚みによって左右されるが、厚み25μmのフィルム
の吸水率が、好ましくは1.5%以下、より好ましくは
1.2%以下となる組成からなる高分子フィルムが望ま
しい。
Further, since thermal stability is required at the time of processing a built-up wiring board, the dimensional stability is 2.0
× 10 −5 / ° C. or less, more preferably 1.5 × 10 −5 / ° C.
A polymer film having a linear expansion coefficient of preferably 1.0 × 10 −5 / ° C. or less is desirable, and a polymer having a low water absorption rate is used so that defects such as swelling due to heat during processing do not occur. Film is preferred. Although the water absorption of a polymer film measured according to ASTM-D570 depends on the thickness even with the same composition, the water absorption of a 25 μm-thick film is preferably 1.5% or less, more preferably 1.2% or less. A polymer film having the following composition is desirable.

【0026】上記の諸特性を満足するフィルムとしてポ
リイミドフィルムが挙げられる。ポリイミドフィルム
は、その前駆体であるポリアミド酸重合体溶液から得ら
れるが、このポリアミド酸重合体溶液は、公知の方法で
製造することができる。すなわち、1種または2種以上
のテトラカルボン酸二無水物成分と1種または2種以上
のジアミン成分を実質等モル使用し、有機極性溶媒中で
重合してポリアミド酸重合体溶液が得られる。
As a film satisfying the above-mentioned various properties, there is a polyimide film. The polyimide film is obtained from a polyamic acid polymer solution which is a precursor of the polyimide film, and the polyamic acid polymer solution can be produced by a known method. That is, one or two or more tetracarboxylic dianhydride components and one or two or more diamine components are used in substantially equimolar amounts and polymerized in an organic polar solvent to obtain a polyamic acid polymer solution.

【0027】ポリイミドフィルムの製造に用いられる代
表的なテトラカルボン酸二無水物成分としては、ピロメ
リット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジ
フェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,
5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,
3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、
4,4’−オキシジフタル酸無水物、3,3’,4,
4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無
水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテト
ラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラ
カルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカル
ボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、4,
4’−ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水
物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカル
ボン酸二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸
モノエステル無水物)、p−フェニレンジフタル酸無水
物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物等がある。
Typical tetracarboxylic dianhydride components used for producing a polyimide film include pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 1,4
5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,
3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride,
4,4′-oxydiphthalic anhydride, 3,3 ′, 4
4'-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-tetraphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride, 4,
4'-hexafluoroisopropylidene diphthalic anhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, p -An aromatic tetracarboxylic dianhydride such as phenylene bis (trimellitic acid monoester anhydride) and p-phenylenediphthalic anhydride.

【0028】これらのテトラカルボン酸二無水物の中
で、引張弾性率が5GPa以上で線膨張係数が2.0×
10-5/℃以下、吸水率が1.5%以下であるポリイミ
ドフィルムを得るための好ましい組み合わせを例示する
と、ピロメリット酸二無水物をテトラカルボン酸二無水
物の0〜80モル%、p−フェニレンビス(トリメリッ
ト酸モノエステル無水物)を100〜20モル%用いる
場合が挙げられる。より好ましくは、前者が30〜70
モル%で後者が70〜30モル%、特に好ましくは前者
が40〜60モル%で後者が60〜40モル%である。
なお、ここに記載したテトラカルボン酸二無水物の組み
合わせは本発明の積層体を構成する高分子フィルムに適
するポリイミドフィルムを得るための一具体例を示すも
のであり、これらの組み合わせに限らず、用いるテトラ
カルボン酸二無水物の組み合わせおよび使用比率を変え
て、ポリイミドフィルムの特性を調整することが可能で
ある。
Among these tetracarboxylic dianhydrides, the tensile modulus is 5 GPa or more and the linear expansion coefficient is 2.0 ×
10 -5 / ° C. or less, the water absorption illustrate preferred combinations for obtaining a polyimide film is not more than 1.5%, 0 to 80 mole% of pyromellitic dianhydride tetracarboxylic dianhydride, p A case where phenylene bis (trimellitic acid monoester anhydride) is used in an amount of 100 to 20 mol%. More preferably, the former is 30 to 70
In terms of mol%, the latter is 70 to 30 mol%, particularly preferably the former is 40 to 60 mol% and the latter is 60 to 40 mol%.
Incidentally, the combination of the tetracarboxylic dianhydride described here is a specific example for obtaining a polyimide film suitable for the polymer film constituting the laminate of the present invention, not limited to these combinations, The characteristics of the polyimide film can be adjusted by changing the combination and use ratio of the tetracarboxylic dianhydride used.

【0029】一方、ジアミン成分としては4,4’−ジ
アミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェ
ニルエーテル、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフ
ェニル)プロパン、1,4−ビス(4−アミノフェノキ
シ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)
ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベン
ゼン、ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)
スルフォン、ビス(4−(3−アミノフェノキシ)フェ
ニル)スルフォン、4,4’−ビス(4−アミノフェノ
キシ)ビフェニル、2,2−ビス(4−アミノフェノキ
シフェニル)ヘキサフルオロプロパン、4、4’−ジア
ミノジフェニルスルフォン、3、3’−ジアミノジフェ
ニルスルフォン、9、9−ビス(4−アミノフェニル)
フルオレン、ビスアミノフェノキシケトン、4、4’−
(1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン))
ビスアニリン、4、4’−(1,3−フェニレンビス
(1−メチルエチリデン))ビスアニリン、メタフェニ
レンジアミン、パラフェニレンジアミン、4、4’−ジ
アミノベンズアニリド、3、3’−ジメチル−4、4’
−ジアミノビフェニル、3、3’−ジメトキシ−4、
4’−ジアミノビフェニル等の芳香族ジアミン、あるい
はその他の脂肪族ジアミンを挙げることができる。
On the other hand, the diamine components include 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, and 1,4-bis (4-aminophenoxy) Benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy)
Benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl)
Sulfone, bis (4- (3-aminophenoxy) phenyl) sulfone, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) hexafluoropropane, 4,4 ' -Diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 9,9-bis (4-aminophenyl)
Fluorene, bisaminophenoxy ketone, 4, 4'-
(1,4-phenylenebis (1-methylethylidene))
Bisaniline, 4,4 '-(1,3-phenylenebis (1-methylethylidene)) bisaniline, metaphenylenediamine, paraphenylenediamine, 4,4'-diaminobenzanilide, 3,3'-dimethyl-4,4 '
-Diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxy-4,
Examples thereof include aromatic diamines such as 4'-diaminobiphenyl and other aliphatic diamines.

【0030】これらのジアミン成分の中で、引張弾性率
が5GPa以上で線膨張係数が2.0×10-5/℃以
下、吸水率が1.5%以下であるポリイミドフィルムを
得るための好ましい組み合わせを例示すると、パラフェ
ニレンジアミン及び/又は4、4’−ジアミノベンズア
ニリドをジアミン成分の20〜80モル%、4,4’−
ジアミノジフェニルエーテルを80〜20モル%用いる
場合が挙げられる。より好ましくは、前者が30〜70
モル%で後者が70〜30モル%、特に好ましくは前者
が40〜60モル%で後者が60〜40モル%である。
なお、ここに記載したジアミン成分の組み合わせは本発
明の積層体を構成する高分子フィルムに適するポリイミ
ドフィルムを得るための一具体例を示すものであり、こ
れらの組み合わせに限らず、用いるジアミン成分の組み
合わせおよび使用比率を変えて、ポリイミドフィルムの
特性を調整することが可能である。
Among these diamine components, it is preferable to obtain a polyimide film having a tensile modulus of 5 GPa or more, a linear expansion coefficient of 2.0 × 10 −5 / ° C. or less, and a water absorption of 1.5% or less. As an example of the combination, paraphenylenediamine and / or 4,4′-diaminobenzanilide may be used in an amount of 20 to 80 mol% of the diamine component, 4,4′-diamine.
A case where diaminodiphenyl ether is used in an amount of 80 to 20 mol% is exemplified. More preferably, the former is 30 to 70
In terms of mol%, the latter is 70 to 30 mol%, particularly preferably the former is 40 to 60 mol% and the latter is 60 to 40 mol%.
In addition, the combination of the diamine component described here shows one specific example for obtaining a polyimide film suitable for the polymer film constituting the laminate of the present invention, and is not limited to these combinations, and the diamine component to be used is not limited to these combinations. The characteristics of the polyimide film can be adjusted by changing the combination and the usage ratio.

【0031】本発明の積層体を構成する高分子フィルム
としてポリイミドフィルムを用いる場合、その前駆体で
あるポリアミド酸の平均分子量は10000〜1000
000であることが望ましい。平均分子量が10000
未満ではできあがったフィルムが脆くなる場合があり、
一方、1000000を越えるとポリイミド前駆体であ
るポリアミド酸ワニスの粘度が高くなりすぎ取扱いが難
しくなるおそれがある。
When a polyimide film is used as the polymer film constituting the laminate of the present invention, the precursor polyamic acid has an average molecular weight of 10,000 to 1,000.
000 is desirable. Average molecular weight 10,000
If less than the finished film may be brittle,
On the other hand, if it exceeds 1,000,000, the viscosity of the polyamic acid varnish, which is a polyimide precursor, may be too high and handling may be difficult.

【0032】また、ポリアミド酸に各種の有機添加剤、
或は無機のフィラー類、或は各種の強化材を添加し、複
合化されたポリイミドフィルムとすることも可能であ
る。
Various organic additives may be added to the polyamic acid,
Alternatively, an inorganic filler or various reinforcing materials may be added to form a composite polyimide film.

【0033】ポリアミド酸共重合体の生成反応に使用さ
れる有機極性溶媒としては、例えば、ジメチルスルホキ
シド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶
媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチル
ホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメ
チルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなど
のアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、
N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、
フェノール、o−、m−、またはp−クレゾール、キシ
レノール、ハロゲン化フェノール、カテコールなどのフ
ェノール系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミ
ド、γ−ブチロラクトンなどをあげることができ、これ
らを単独または混合物として用いるのが望ましいが、更
にはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素の一部
使用も可能である。
Examples of the organic polar solvent used for the reaction for producing the polyamic acid copolymer include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, and formamides such as N, N-dimethylformamide and N, N-diethylformamide. Acetamide solvents such as N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone,
A pyrrolidone solvent such as N-vinyl-2-pyrrolidone,
Phenols such as phenol, o-, m-, or p-cresol, xylenol, halogenated phenol, catechol, and the like, or hexamethylphosphoramide, γ-butyrolactone, and the like can be used alone or as a mixture. However, it is also possible to use a part of aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene.

【0034】また、このポリアミド酸共重合体は前記の
有機極性溶媒中に5〜40重量%、好ましくは10〜3
0重量%溶解されているのが取扱いの面から望ましい。
The polyamic acid copolymer is contained in the organic polar solvent in an amount of 5 to 40% by weight, preferably 10 to 3% by weight.
0% by weight is desirable from the viewpoint of handling.

【0035】このポリアミド酸共重合体溶液から、ポリ
イミドフィルムを得るためには熱的に脱水する熱的方
法、脱水剤を用いる化学的方法のいずれを用いてもよい
が、化学的方法によると生成するポリイミドフィルムの
伸び率や引張強度等の機械特性がすぐれたものになるの
で好ましい。
In order to obtain a polyimide film from the polyamic acid copolymer solution, either a thermal method of thermally dehydrating or a chemical method using a dehydrating agent may be used. This is preferred because the resulting polyimide film has excellent mechanical properties such as elongation and tensile strength.

【0036】以下に化学的方法によるポリイミドフィル
ムの作製についての例を説明する。
An example of producing a polyimide film by a chemical method will be described below.

【0037】上記ポリアミド酸重合体またはその溶液に
化学量論以上の脱水剤と触媒量の第3級アミンを加えた
溶液をドラム或はエンドレスベルト上に流延または塗布
して膜状とし、その膜を150℃以下の温度で約5〜9
0分間乾燥し、自己支持性のポリアミド酸の膜を得る。
ついで、これを支持体より引き剥し端部を固定する。そ
の後約100〜500℃まで徐々に加熱することにより
イミド化し、冷却後端部の固定を解放しポリイミドフィ
ルムを得る。ここで言う脱水剤としては、例えば無水酢
酸等の脂肪族酸無水物、無水安息香酸等の芳香族酸無水
物などが挙げられる。また触媒としては、例えばトリエ
チルアミンなどの脂肪族第3級アミン類、ジメチルアニ
リン等の芳香族第3級アミン類、ピリジン、ピコリン、
イソキノリン等の複素環式第3級アミン類などが挙げら
れる。
A solution obtained by adding a dehydrating agent having a stoichiometric amount or more and a catalytic amount of a tertiary amine to the polyamic acid polymer or a solution thereof is cast or coated on a drum or an endless belt to form a film. The membrane is heated at a temperature of
After drying for 0 minutes, a self-supporting polyamic acid film is obtained.
Next, this is peeled off from the support and the end is fixed. Thereafter, it is imidized by gradually heating to about 100 to 500 ° C., and after cooling, the fixing of the end is released to obtain a polyimide film. Examples of the dehydrating agent mentioned here include aliphatic acid anhydrides such as acetic anhydride, and aromatic acid anhydrides such as benzoic anhydride. Examples of the catalyst include aliphatic tertiary amines such as triethylamine, aromatic tertiary amines such as dimethylaniline, pyridine, picoline, and the like.
And heterocyclic tertiary amines such as isoquinoline.

【0038】また、高分子フィルムは、接着層との密着
性を向上させる目的で各種表面処理を行うことができ
る。
The polymer film can be subjected to various surface treatments for the purpose of improving the adhesion to the adhesive layer.

【0039】例えば、高分子フィルムの表面にCr、N
i、Ti、Mo等の金属の酸化物をスパッタ、プラズマ
イオン打ち込み等の方法で高分子フィルム表面に金属酸
化物接着層を形成する方法、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹
脂、有機モノマー、カップリング剤等の各種有機物をプ
ライマーとして塗布する方法、金属水酸化物、有機アル
カリ等で表面処理する方法、プラズマ処理、コロナ処理
する方法、表面をグラフト化させる方法等、高分子フィ
ルムの製造段階で表面処理する方法等が挙げられ、これ
らを単独でまたは各種組み合わせで高分子フィルム表面
の処理を行っても良い。
For example, Cr, N
A method of forming a metal oxide adhesive layer on the surface of a polymer film by a method such as sputtering or plasma ion implantation of a metal oxide such as i, Ti, Mo, etc., thermosetting resin, thermoplastic resin, organic monomer, coupling Such as a method of applying various organic substances such as an agent as a primer, a method of surface treatment with a metal hydroxide, an organic alkali, etc., a method of plasma treatment, a method of corona treatment, a method of grafting the surface, etc. Treatment methods and the like may be mentioned, and these may be used alone or in various combinations to treat the surface of the polymer film.

【0040】次に本発明の積層体を構成する導体層につ
いて説明する。
Next, the conductor layer constituting the laminate of the present invention will be described.

【0041】本発明の積層体を構成する導体層について
は金属箔であれば特に制限はなく、銅箔、アルミ箔、4
2合金箔などの金属箔を用いることが可能であるが、銅
箔を用いることが好ましい。また、導体層の厚みは特に
制限されるものではないが、挟ピッチ回路パターンを作
製するためには12μm以下、より好ましくは10μm
以下、更に好ましくは8μm以下である。
The conductive layer constituting the laminate of the present invention is not particularly limited as long as it is a metal foil.
Although a metal foil such as a two-alloy foil can be used, it is preferable to use a copper foil. Although the thickness of the conductor layer is not particularly limited, it is 12 μm or less, more preferably 10 μm, for producing a narrow pitch circuit pattern.
The thickness is more preferably 8 μm or less.

【0042】次に本発明の積層体を構成する接着剤層に
ついて説明する。
Next, the adhesive layer constituting the laminate of the present invention will be described.

【0043】この第1および台2接着剤層は、高分子フ
ィルムの両面に半硬化状態で積層されており、さらに、
金属箔を仮圧着した方と反対の面の第2接着剤層は、本
発明の積層体を加熱プレス、ロール加熱等の方法によ
り、積層板(例えば、回路パターンが形成された銅張積
層板)上に積層し多層板を作製する際に、互いに接着す
る機能を有しており、これにより内層回路は接着剤に埋
め込まれた形で強固に固定される。
The first and second adhesive layers are laminated on both sides of the polymer film in a semi-cured state.
The second adhesive layer on the side opposite to the side on which the metal foil was temporarily press-bonded is formed by laminating the laminate of the present invention by a method such as hot press or roll heating, for example, a copper-clad laminate on which a circuit pattern is formed. ) Has a function of adhering to each other when a multilayer board is manufactured by laminating the layers thereon, whereby the inner layer circuit is firmly fixed in a form embedded in the adhesive.

【0044】このため、高分子フィルムの接着剤層を介
した導体層と反対の面の接着剤層は金属箔を仮止めした
後も半硬化状態を保ち、接着性を維持していなければな
らない。
Therefore, the adhesive layer on the surface opposite to the conductor layer via the adhesive layer of the polymer film must maintain a semi-cured state even after the metal foil is temporarily fixed, and maintain the adhesiveness. .

【0045】一方、金属箔側の接着剤層も半硬化状態に
することにより、本発明の積層体のカールを小さくする
効果がある。
On the other hand, by setting the adhesive layer on the metal foil side in a semi-cured state, there is an effect of reducing the curl of the laminate of the present invention.

【0046】ここで、本発明でいう接着剤層の半硬化状
態とは、接着剤層表面は乾燥しているが、熱流動性及び
金属や高分子フィルムなどに対する接着性を維持してい
る状態である。
Here, the semi-cured state of the adhesive layer referred to in the present invention refers to a state in which the surface of the adhesive layer is dry, but the thermal fluidity and the adhesiveness to a metal or a polymer film are maintained. It is.

【0047】また、近年の環境に対する配慮により生じ
ている鉛フリーの高融点半田への対応、回路パターンの
挟ピッチ化に伴う導体抵抗の上昇に伴う基板温度の上昇
への対応、高信頼性の点から、接着剤に要求される特性
として耐湿耐熱性が挙げられる。従って、接着剤層の樹
脂組成物にも、高Tg、高耐湿耐熱性、高機械強度が必
要である。厚みは、回路パターン上に本発明の積層体を
積層した際に、回路パターンが接着層に埋め込まれるだ
けの厚みが好ましい。
In addition, it is compatible with a lead-free high melting point solder which has been generated due to environmental considerations in recent years, a substrate temperature is increased with an increase in conductor resistance due to a narrow pitch of a circuit pattern, and high reliability has been achieved. From the viewpoint, the properties required for the adhesive include moisture resistance and heat resistance. Therefore, the resin composition of the adhesive layer also needs to have high Tg, high heat and moisture resistance, and high mechanical strength. The thickness is preferably such that the circuit pattern is embedded in the adhesive layer when the laminate of the present invention is laminated on the circuit pattern.

【0048】上記要件を満たす接着剤層の樹脂組成物と
しては、熱硬化樹脂の硬化反応を利用した硬化型の接着
剤が好適である。以下、熱硬化樹脂の硬化反応を利用し
た硬化型の接着剤に関して説明する。
As the resin composition of the adhesive layer satisfying the above requirements, a curable adhesive utilizing a curing reaction of a thermosetting resin is preferable. Hereinafter, a curable adhesive utilizing a curing reaction of a thermosetting resin will be described.

【0049】熱硬化型樹脂としてはビスマレイミド樹
脂、ビスアリルナジイミド樹脂、フェノール樹脂、シア
ナート樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、メタクリル
樹脂、トリアジン樹脂、ヒドロシリル硬化樹脂、アリル
硬化樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等を挙げることがで
き、これらを単独または適宜組み合わせて用いることが
できる。
Examples of the thermosetting resin include bismaleimide resin, bisallylnadiimide resin, phenol resin, cyanate resin, epoxy resin, acrylic resin, methacrylic resin, triazine resin, hydrosilyl cured resin, allyl cured resin, unsaturated polyester resin and the like. And these can be used alone or in appropriate combination.

【0050】また、上記熱硬化性樹脂以外に高分子鎖の
側鎖または末端にエポキシ基、アリル基、ビニル基、ア
ルコキシシリル基、ヒドロシリル基等の反応性基を有す
る側鎖反応性基型熱硬化性高分子を熱硬化成分として使
用することも可能である。
Further, in addition to the above-mentioned thermosetting resin, a side-chain reactive group type thermosetting resin having a reactive group such as an epoxy group, an allyl group, a vinyl group, an alkoxysilyl group, or a hydrosilyl group on the side chain or terminal of the polymer chain. It is also possible to use curable polymers as thermosetting components.

【0051】さらに、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポ
リエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹
脂、ポリエーテルイミド樹脂などの耐熱エンジニアリン
グプラスチックやポリイミド樹脂などを混合すること
は、耐熱性などの特性向上につながり、好ましい。中で
も優れた耐熱性、電気信頼性、高耐湿性等の観点より熱
可塑性ポリイミド樹脂を上記熱硬化樹脂と混合すること
が好ましい。高接着性、低温加工性に優れたエポキシ樹
脂と耐熱性、電気信頼性、高耐湿性に優れた熱可塑性ポ
リイミド樹脂とを混合した樹脂組成物は本発明に用いら
れる積層体の接着剤層の樹脂組成物として好適である。
以下にこの樹脂組成物を構成する熱可塑性ポリイミド樹
脂およびエポキシ樹脂について説明する。
Further, it is preferable to mix a heat-resistant engineering plastic such as polyphenylene ether resin, polyether sulfone resin, polyphenylene sulfide resin, polyetherimide resin, or a polyimide resin, since this leads to improvement in properties such as heat resistance. Among them, it is preferable to mix a thermoplastic polyimide resin with the thermosetting resin from the viewpoint of excellent heat resistance, electric reliability, high moisture resistance and the like. A resin composition obtained by mixing a high-adhesion, low-temperature processability epoxy resin and a heat-resistant, electrical-reliable, high-moisture-resistant thermoplastic polyimide resin is an adhesive layer of the laminate used in the present invention. It is suitable as a resin composition.
Hereinafter, the thermoplastic polyimide resin and the epoxy resin constituting the resin composition will be described.

【0052】熱可塑性ポリイミド樹脂としては可溶性の
ポリイミドを用いるのが好ましく、この熱可塑性ポリイ
ミド樹脂は、酸二無水物成分とジアミン成分とを反応さ
せて得られる。酸二無水物成分は一般式(1)で表され
るエステル酸二無水物を含むことが好ましい。
As the thermoplastic polyimide resin, it is preferable to use a soluble polyimide, and this thermoplastic polyimide resin is obtained by reacting an acid dianhydride component with a diamine component. The acid dianhydride component preferably contains an ester dianhydride represented by the general formula (1).

【0053】[0053]

【化1】 (式中、Xは、−(CH2k−、または芳香環を含む二
価の基を示し、kは1〜10の整数。) 式(1)で表されるエステル酸二無水物を用いると低吸
水率のポリイミド樹脂が得られる。従って、酸二無水物
成分が式(1)で表されるエステル酸二無水物を含有す
ることは好ましく、酸二無水物成分の50モル%以上含
有することが特に好ましい。
Embedded image (In the formula, X represents-(CH 2 ) k- or a divalent group containing an aromatic ring, and k is an integer of 1 to 10.) An ester dianhydride represented by the formula (1) When used, a polyimide resin having a low water absorption is obtained. Therefore, it is preferable that the acid dianhydride component contains the ester dianhydride represented by the formula (1), and it is particularly preferable that the acid dianhydride component contains 50 mol% or more of the acid dianhydride component.

【0054】ここで式(1)で表されるエステル酸二無
水物としては、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニ
ル)プロパンジベンゾエート−3,3’,4,4’−テ
トラカルボン酸二無水物、p−フェニレンビス(トリメ
リット酸モノエステル無水物)、4,4’−ビフェニレ
ンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)、1,4
−ナフタレンビス(トリメリット酸モノエステル無水
物)、1,2−エチレンビス(トリメリット酸モノエス
テル無水物)、1,3−トリメチレンビス(トリメリッ
ト酸モノエステル無水物)、1,4−テトラメチレンビ
ス(トリメリット酸モノエステル無水物)、1,5−ペ
ンタメチレンビス(トリメリット酸モノエステル無水
物)、1,6−ヘキサメチレンビス(トリメリット酸モ
ノエステル無水物)などが好ましく、これらを単独で、
または2種以上を組み合わせて酸二無水物成分の一部ま
たは全部として用いることができる。上記のエステル酸
二無水物のうち2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニ
ル)プロパンジベンゾエート−3,3’,4,4’−テ
トラカルボン酸二無水物を用いると溶媒に対する溶解性
や加工特性や耐熱性においてバランスがとれたポリイミ
ド樹脂が得られるため好ましい。
The ester dianhydride represented by the formula (1) is 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propanedibenzoate-3,3 ', 4,4'-tetracarboxylic dianhydride. Anhydride, p-phenylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), 4,4′-biphenylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), 1,4
-Naphthalene bis (trimellitic acid monoester anhydride), 1,2-ethylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), 1,3-trimethylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), 1,4- Tetramethylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), 1,5-pentamethylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), 1,6-hexamethylene bis (trimellitic acid monoester anhydride) and the like are preferable, These alone,
Alternatively, two or more kinds can be used as a part or all of the acid dianhydride component. When 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propane dibenzoate-3,3 ', 4,4'-tetracarboxylic dianhydride is used among the above ester dianhydrides, solubility in a solvent and processing characteristics are obtained. It is preferable because a polyimide resin having a good balance in heat resistance can be obtained.

【0055】また、ジアミン成分は、一般式(2)で表
されるジアミンを含むことが好ましい。
The diamine component preferably contains a diamine represented by the general formula (2).

【0056】[0056]

【化2】 (式中、Yは、−C(=O)−、−SO2−、−O−、
−S−、−(CH2m−、−NHCO−、−C(C
32−、−C(CF32−、−C(=O)O−、また
は単結合を示す。mおよびnは1以上5以下の整数であ
る。) 式(2)で表されるジアミンは、これらを単独で、また
は2種以上を組み合わせて用いることができる。ここ
で、式(2)において、複数個のYは各繰り返し単位間
で同一であっても異なっていても良く、各ベンゼン環に
は、メチル基やエチル基などの炭化水素基やBrやCl
などのハロゲン基が導入されていても良い。
Embedded image (Wherein, Y is, -C (= O) -, - SO 2 -, - O-,
-S -, - (CH 2) m -, - NHCO -, - C (C
H 3 ) 2 —, —C (CF 3 ) 2 —, —C (= O) O—, or a single bond. m and n are integers of 1 or more and 5 or less. The diamines represented by the formula (2) can be used alone or in combination of two or more. Here, in the formula (2), a plurality of Ys may be the same or different between each repeating unit, and each benzene ring has a hydrocarbon group such as a methyl group or an ethyl group, Br or Cl.
And the like, a halogen group may be introduced.

【0057】さらに、式(2)で表されるジアミン化合
物中、メタ位にアミノ基を有するジアミン化合物は、パ
ラ位にアミノ基を有するジアミン化合物よりも溶解性に
優れた熱可塑性ポリイミド樹脂を与えるので好ましい。
Further, among the diamine compounds represented by the formula (2), the diamine compound having an amino group at the meta position gives a thermoplastic polyimide resin having better solubility than the diamine compound having an amino group at the para position. It is preferred.

【0058】以上の説明の通り、本発明において、メタ
位にアミノ基を有するジアミン化合物を用いると、目的
とするポリイミド樹脂の溶解性を向上させる効果が期待
できるが、これを用いる場合は全ジアミン成分に対して
50〜100モル%がより好ましく、特に好ましくは8
0〜100モル%である。
As described above, in the present invention, when a diamine compound having an amino group at the meta position is used, an effect of improving the solubility of the intended polyimide resin can be expected. It is more preferably 50 to 100 mol%, particularly preferably 8 to 100 mol% based on the components.
0 to 100 mol%.

【0059】ここで式(2)で表されるジアミン化合物
としては、例えば、ビス[4− (3−アミノフェノキ
シ)フェニル]メタン、ビス[4 −(4−アミノフェ
ニキシ)フェニル]メタン、1,1 −ビス[4−(3
−アミノフェノキシ)フェニル]エタ ン、1,1−ビ
ス[4−(4−アミノフェノキシ)フェ ニル]エタ
ン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノ キシ)フ
ェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−ア ミノフ
ェノキシ)フェニル]エタン、2,2−ビス[4 −
(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,
2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プ
ロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキ
シ) フェニル]ブタン、2,2−ビス[3−(3−ア
ミノフ ェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,
3−ヘキ サフルオロプロパン、2,2−ビス[4−
(4−アミノ フェノキシ)フェニル]−1,1,1,
3,3,3−ヘ キサフルオロプロパン、1,3−ビス
(3−アミノフェ ノキシ)ベンゼン、1,4−ビス
(3−アミノフェノキ シ)ベンゼン、1,4’−ビス
(4−アミノフェノキ シ)ベンゼン、4,4’−ビス
(4−アミノフェノキ シ)ビフェニル、ビス[4−
(3−アミノフェノキシ) フェニル]ケトン、ビス
[4−(4−アミノフェノキ シ)フェニル]ケトン、
ビス[4−(3−アミノフェノ キシ)フェニル]スル
フィド、ビス[4−(4−アミノ フェノキシ)フェニ
ル]スルフィド、ビス [4−(3−アミノフェノキ
シ)フェニル]スルホン、 ビス[4−(4−アミノフ
ェノキシ)フェニル]スルホ ン、ビス[4−(3−ア
ミノフェノキシ)フェニル]エ ーテル、ビス[4−
(4−アミノフェノキシ)フェニ ル]エーテル、1,
4−ビス[4−(3−アミノフェノ キシ)ベンゾイ
ル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3 −アミノフェ
ノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4’ −ビス[3
−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジ フェニル
エーテル、4,4’−ビス[3−(3−アミノ フェノ
キシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4, 4’−
ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベン ジ
ル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’−ビス
[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェ
ノキシ]ジフェニルスルホン、ビス[4−{4−(4
− アミノフェノキシ)フェノキシ}フェニル]スルホ
ン、 1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−
α,α −ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス
[4− (4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチル
ベンジ ル]ベンゼン等が挙げられ、さらに式(2)で
表されるジアミン化合物中、メタ位にアミノ基を有する
ジアミン化合物としては、1,1 −ビス[4−(3−
アミノフェノキシ)フェニル]エタ ン、1,2−ビス
[4−(3−アミノフェノ キシ)フェニル]エタン、
2,2−ビス[4 −(3−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノ
キシ) フェニル]ブタン、2,2−ビス[3−(3−
アミノフ ェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,
3,3−ヘキ サフルオロプロパン、1,3−ビス(3
−アミノフェ ノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−
アミノフェノキ シ)ベンゼン、ビス[4−(3−アミ
ノフェノキシ) フェニル]ケトン、ビス[4−(3−
アミノフェノ キシ)フェニル]スルフィド、ビス [4
−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス
[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エ ーテ
ル、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノ キシ)ベ
ンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3 −アミ
ノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4’−ビス
[3−(3−アミノ フェノキシ)ベンゾイル]ジフェ
ニルエーテル等が挙げられる。また、
The diamine compound represented by the formula (2) includes, for example, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, , 1-bis [4- (3
-Aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2- Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 2,2-bis [4-
(3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,
2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] butane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl ] -1,1,1,3,3,
3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4-
(4-Aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,
3,3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4′-bis (4-aminophenoxy) ) Benzene, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [4-
(3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone,
Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-amino) Phenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4-
(4-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,
4-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 4,4′-bis [3
-(4-Aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4'-bis [3- (3-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4'-
Bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] benzophenone, 4,4′-bis
[4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] diphenylsulfone, bis [4- {4- (4
-Aminophenoxy) phenoxydiphenyl] sulfone, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy)-
α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, and the like. Further, among the diamine compounds represented by the formula (2), Examples of the diamine compound having an amino group at the meta position include 1,1-bis [4- (3-
Aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane,
2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] butane, 2,2-bis [3- (3-
Aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,
3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (3
-Aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-
Aminophenoxy) benzene, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-
Aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4
-(3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,4-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [ 4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 4,4′-bis [3- (3-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether and the like. Also,

【0060】(化2)で表されるジアミン化合物以外に
もm−フェニレンジアミン、o−フェニレン ジアミ
ン、p−フェニレンジアミン、m−アミノベンジ ルア
ミン、p−アミノベンジルアミン、ビス(3−アミ ノ
フェニル)スルフィド、(3−アミノフェニル)(4
−アミノフェニル)スルフィド、ビス(4−アミノフェ
ニル)スルフィド、ビス(3−アミノフェニル)スル
ホ キシド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェ
ニ ル)スルホキシド、ビス(3−アミノフェニル)ス
ルホ ン、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニ
ル)ス ルホン、ビス(4アミノフェニル)スルホン、
3, 4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジア
ミノベ ンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニル
メタン、 3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,
4’−ジア ミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミ
ノジフェニル エーテル、3,3’−ジアミノジフェニ
ルエーテル、 3,4’−ジアミノジフェニルエーテ
ル、ビス[4−(3− アミノフェノキシ)フェニル]
スルホキシド、ビス[4 −(アミノフェノキシ)フェ
ニル]スルホキシド等を用いることも可能である。
In addition to the diamine compound represented by the formula 2, m-phenylenediamine, o-phenylene diamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine, bis (3-aminophenyl) sulfide , (3-aminophenyl) (4
-Aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (3-aminophenyl) sulfoxide, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfoxide, bis (3-aminophenyl) sulfone, ( 3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfone, bis (4aminophenyl) sulfone,
3,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,
4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylether, 3,3'-diaminodiphenylether, 3,4'-diaminodiphenylether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl]
It is also possible to use sulfoxide, bis [4- (aminophenoxy) phenyl] sulfoxide and the like.

【0061】一方、反応性を有するジアミンの使用も好
ましい。反応性を有するジアミンとしては、3,3’−
ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノビフェニル、3,5
−ジアミノ安息香酸等を挙げることができる。例えば
3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノビフェニ
ルを用いたポリイミド樹脂には水酸基が導入されている
ので、エポキシ化合物との反応性を有する。従って本発
明に用いられる積層体の接着剤層を構成する、ポリイミ
ド樹脂とエポキシ樹脂とを含有する樹脂組成物において
は、架橋が進行し、耐熱性、およびPCT耐性に優れた
積層板の提供を可能にする。反応性を有するジアミンを
多く用いると得られるポリイミド樹脂の溶解性を損なう
おそれがあるので、好ましくは0〜50モル%、更に好
ましくは0〜20モル%である。
On the other hand, the use of a reactive diamine is also preferred. As a reactive diamine, 3,3′-
Dihydroxy-4,4'-diaminobiphenyl, 3,5
-Diaminobenzoic acid and the like. For example, since a hydroxyl group is introduced into a polyimide resin using 3,3′-dihydroxy-4,4′-diaminobiphenyl, the polyimide resin has reactivity with an epoxy compound. Therefore, in the resin composition containing the polyimide resin and the epoxy resin, which constitutes the adhesive layer of the laminate used in the present invention, the crosslinking progresses, and the provision of a laminate having excellent heat resistance and PCT resistance is provided. enable. If a large amount of reactive diamine is used, the solubility of the obtained polyimide resin may be impaired. Therefore, the amount is preferably 0 to 50 mol%, more preferably 0 to 20 mol%.

【0062】ポリイミド樹脂は、対応する前駆体ポリア
ミド酸重合体を脱水閉環して得られる。ポリアミド酸重
合体は、前述のように酸二無水物成分とジアミン成分と
を実質的に等モル反応させて得られる。
The polyimide resin is obtained by dehydrating and ring-closing the corresponding precursor polyamic acid polymer. The polyamic acid polymer is obtained by reacting the acid dianhydride component and the diamine component substantially equimolarly as described above.

【0063】ポリアミド酸をイミド化する方法は、通常
熱的に脱水する熱的方法、脱水剤を用いる化学的方法が
あるが、本発明のポリアミド酸重合体に好ましく適用さ
れるイミド化の方法は、減圧下で加熱してイミド化する
方法である。このイミド化の方法によれば、イミド化に
よって生成する水を積極的に系外に除去できるので、ポ
リアミド酸の加水分解を抑えることが可能で高分子量の
ポリイミドが得られる。またこの方法によれば、原料の
酸二無水物中に不純物として存在する片側または両側開
環物が再閉環するので、より一層の分子量の向上効果が
期待できる。
The method of imidizing the polyamic acid generally includes a thermal method of thermally dehydrating and a chemical method using a dehydrating agent. The imidation method preferably applied to the polyamic acid polymer of the present invention is as follows. And imidization by heating under reduced pressure. According to this imidization method, water generated by the imidization can be positively removed from the system, so that hydrolysis of the polyamic acid can be suppressed, and a high-molecular-weight polyimide can be obtained. Further, according to this method, one or both ring-opened products present as impurities in the raw acid dianhydride are re-closed, so that a further improvement in molecular weight can be expected.

【0064】減圧下で加熱イミド化する方法の加熱条件
は80〜400℃が好ましいが、イミド化が効率よく行
われ、しかも水が効率よく除かれる100℃以上がより
好ましく、更に好ましくは120℃以上である。最高温
度は目的とするポリイミドの熱分解温度以下が好まし
く、通常のイミド化の完結温度すなわち250〜350
℃程度が通常適用される。
The heating conditions in the method of heat imidization under reduced pressure are preferably from 80 to 400 ° C., more preferably 100 ° C. or higher, at which the imidization is carried out efficiently and water is efficiently removed, more preferably 120 ° C. That is all. The maximum temperature is preferably equal to or lower than the thermal decomposition temperature of the target polyimide, and is usually the completion temperature of imidization, that is, 250 to 350.
C. is usually applied.

【0065】減圧する圧力の条件は、小さいほうが好ま
しいが、具体的には9×104〜1×102Pa、好まし
くは9×104〜1×102Pa、より好ましくは7×1
4〜1×102Paである。
The condition of the pressure for reducing the pressure is preferably as small as possible, but specifically, 9 × 10 4 to 1 × 10 2 Pa, preferably 9 × 10 4 to 1 × 10 2 Pa, and more preferably 7 × 1 4 Pa.
0 4 to 1 × 10 2 Pa.

【0066】このようにして得られたポリイミド樹脂は
ガラス転移温度を比較的低温において有するが、本発明
において、樹脂組成物が特に良好な加工特性を得るため
にはポリイミド樹脂のガラス転移温度は350℃以下が
好ましく、より好ましくは320℃以下、特に好ましく
は280℃以下である。
The polyimide resin thus obtained has a relatively low glass transition temperature. In the present invention, in order for the resin composition to obtain particularly good processing characteristics, the polyimide resin has a glass transition temperature of 350. C. or lower, more preferably 320.degree. C. or lower, particularly preferably 280.degree. C. or lower.

【0067】次にエポキシ樹脂について説明する。Next, the epoxy resin will be described.

【0068】エポキシ樹脂としては、任意のエポキシ樹
脂が本発明に使用可能である。例えば、ビスフェノール
系エポキシ樹脂、ハロゲン化ビスフェノール系エポキシ
樹脂、フェノールノボラック系エポキシ樹脂、ハロゲン
化フェノールノボラック系エポキシ樹脂、アルキルフェ
ノールノボラック系エポキシ樹脂、ポリフェノール系エ
ポキシ樹脂、ポリグリコール系エポキシ樹脂、環状脂肪
族エポキシ樹脂、クレゾールノボラック系エポキシ樹
脂、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、ウレタン変性エ
ポキシ樹脂、ゴム変性エポキシ樹脂、エポキシ変性ポリ
シロキサン等を用いることができる。
As the epoxy resin, any epoxy resin can be used in the present invention. For example, bisphenol epoxy resin, halogenated bisphenol epoxy resin, phenol novolak epoxy resin, halogenated phenol novolak epoxy resin, alkylphenol novolak epoxy resin, polyphenol epoxy resin, polyglycol epoxy resin, cycloaliphatic epoxy resin Cresol novolak epoxy resin, glycidylamine epoxy resin, urethane-modified epoxy resin, rubber-modified epoxy resin, epoxy-modified polysiloxane, and the like.

【0069】エポキシ樹脂の混合割合は、ポリイミド樹
脂100重量部に対して、好ましくは、1〜80重量
部、より好ましくは5〜30重量部である。少なすぎる
と接着強度が低くなり、多すぎると柔軟性または耐熱性
が低下する。
The mixing ratio of the epoxy resin is preferably 1 to 80 parts by weight, more preferably 5 to 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the polyimide resin. If the amount is too small, the adhesive strength decreases, and if the amount is too large, the flexibility or heat resistance decreases.

【0070】本発明においては、前記したポリイミド樹
脂と前記したエポキシ樹脂とを組み合わせることによ
り、低吸水性および低温接着を可能とする優れた接着剤
層を得ることができる。従って、本発明に用いられる積
層体の接着剤層の樹脂組成物を硬化させた場合、好まし
い実施態様においては、1.5%以下、より好ましくは
1.3%以下、特に好ましくは1.0%以下という優れ
た低吸水率を発現することを可能とする。
In the present invention, by combining the above-mentioned polyimide resin and the above-mentioned epoxy resin, it is possible to obtain an excellent adhesive layer which enables low water absorption and low temperature bonding. Therefore, when the resin composition of the adhesive layer of the laminate used in the present invention is cured, in a preferred embodiment, it is 1.5% or less, more preferably 1.3% or less, particularly preferably 1.0% or less. % Or less.

【0071】好ましい実施態様として、本発明に用いら
れる積層体の接着剤層の樹脂組成物には、少なくとも1
種の溶媒が含まれる。溶媒は、ポリイミド樹脂およびエ
ポキシ樹脂を溶解するものであれば特に限定されない
が、樹脂組成物の硬化後の残揮発分を3重量%以下に抑
えることができる種類および量が好ましい。また、経済
性および作業性の点を考えて沸点が160℃以下の低沸
点溶媒が好ましい。130℃以下の沸点を有する溶媒が
より好ましく、さらに好ましくは、105℃以下の沸点
を有する溶媒である。このような低沸点溶媒としては、
好適には、テトラヒドロフラン(以下、THFと略す。
沸点66℃)、1,4−ジオキサン(以下、ジオキサン
と略す。沸点103℃)、モノグライム(沸点84
℃)、ジオキソラン(沸点76℃)を使用することがで
きる。これらは、1種で使用しても良いし、2種以上組
み合わせて用いることもできる。
In a preferred embodiment, the resin composition of the adhesive layer of the laminate used in the present invention contains at least one resin.
Seed solvents are included. The solvent is not particularly limited as long as it can dissolve the polyimide resin and the epoxy resin, but is preferably of a type and an amount capable of suppressing the residual volatile matter of the resin composition after curing to 3% by weight or less. Further, a low boiling point solvent having a boiling point of 160 ° C. or less is preferred in view of economic efficiency and workability. A solvent having a boiling point of 130 ° C. or lower is more preferable, and a solvent having a boiling point of 105 ° C. or lower is more preferable. As such a low boiling point solvent,
Preferably, tetrahydrofuran (hereinafter abbreviated as THF).
Boiling point 66 ° C.), 1,4-dioxane (hereinafter abbreviated as dioxane, boiling point 103 ° C.), monoglyme (boiling point 84
° C) and dioxolane (boiling point 76 ° C). These may be used alone or in combination of two or more.

【0072】好ましい実施態様において、本発明に用い
られる積層体の絶縁層は、硬化後の吸水率が1.0%以
下とされる。吸水率を測定するための硬化物は例えば以
下のように作製する。合成樹脂フィルム例えばポリイミ
ドフィルムの両面に接着剤を塗布、乾燥し、厚さ5μm
の接着剤層を形成する。得られた両面接着剤付きポリイ
ミドフィルムの両面に、厚さ5μmおよび18μmの銅
箔を200℃、圧力3MPaで5分仮圧着する。さらに
200℃で60分熱硬化させ、積層体を作製し、この積
層体の両面の銅箔をエッチングにより除去し、両面接着
剤硬化物付きポリイミドフィルムを作製する。このフィ
ルムの吸水率は、公知の任意の方法で測定され得る。例
えば、ASTM D570に基づいた測定により算出で
きる。具体的には例えば、上記フィルムを150℃で3
0分間乾燥させたものの重量をW 1とし、24時間蒸留
水に浸した後表面を拭き取ったものの重重をW2とし、
下記式: 吸水率(%)=(W2−W1)÷W1×100 により算出することができる。
In a preferred embodiment, the
The insulating layer of the resulting laminate has a water absorption after curing of 1.0% or less.
It is assumed below. The cured product for measuring the water absorption is, for example,
Prepare as below. Synthetic resin film such as Polyimi
Apply adhesive on both sides of the film and dry, 5μm thick
To form an adhesive layer. Polyimide with double-sided adhesive obtained
5 μm and 18 μm thick copper on both sides of the mid film
The foil is temporarily pressed at 200 ° C. and a pressure of 3 MPa for 5 minutes. further
Heat cured at 200 ° C. for 60 minutes to produce a laminate,
Copper foil on both sides of the layer is removed by etching, and both sides are bonded
A polyimide film with a cured agent is prepared. This file
The water absorption of the rum can be measured by any known method. An example
For example, it can be calculated by measurement based on ASTM D570.
Wear. Specifically, for example, the above film is heated at 150 ° C. for 3 hours.
After drying for 0 minutes, the weight is W 1And distilled for 24 hours
After immersion in water, the surface was wiped off and the weight was changed to WTwoage,
The following formula: Water absorption (%) = (WTwo-W1) ÷ W1× 100 can be calculated.

【0073】さらに、本発明に用いられる積層体の接着
剤層の樹脂組成物には吸水性、耐熱性、接着性等必要に
応じて、酸二無水物などの酸無水物系、アミン系、イミ
ダゾール系等の一般に用いられるエポキシ硬化剤、促進
剤や種々のカップリング剤を併用し得る。また、エポキ
シ樹脂以外の熱硬化性樹脂、フェノール樹脂、シアナー
ト樹脂等を併用してもよい。
Further, the resin composition of the adhesive layer of the laminate used in the present invention may contain an acid anhydride such as an acid dianhydride, an amine, etc., if necessary, such as water absorption, heat resistance and adhesiveness. Commonly used epoxy curing agents such as imidazoles, accelerators and various coupling agents can be used in combination. Further, a thermosetting resin other than the epoxy resin, a phenol resin, a cyanate resin, or the like may be used in combination.

【0074】次に、本発明の積層体の製造方法について
述べる。
Next, a method for producing a laminate of the present invention will be described.

【0075】本発明の積層体の製造方法は、高分子フィ
ルムの両面に接着剤を塗布、乾燥し、両面の接着剤を半
硬化状態にした後、両面の接着剤層が半硬化状態を維持
し得る条件で片面の接着剤層に金属箔を積層することを
特徴とするものである。
In the method for producing a laminate according to the present invention, an adhesive is applied to both sides of a polymer film and dried to make the adhesive on both sides into a semi-cured state, and then the adhesive layers on both sides are maintained in a semi-cured state. It is characterized in that a metal foil is laminated on an adhesive layer on one side under conditions that can be performed.

【0076】接着剤の塗布方法としては、ナイフコータ
ー、バーコーター、コンマコーター、グラビアコーター
など、当業者が実施しうる範囲内のいずれの方法も可能
である。最適な乾燥状態が維持でき得る条件ならば、接
着剤を片面ずつ塗布しても一度に両面塗布してもかまわ
ない。
As a method of applying the adhesive, any method within a range that can be carried out by those skilled in the art, such as a knife coater, a bar coater, a comma coater, and a gravure coater, can be used. The adhesive may be applied on one side at a time or on both sides at a time, as long as the conditions can maintain an optimal dry state.

【0077】接着剤層の乾燥条件としては、両面の接着
剤層が半硬化状態を維持し得る条件であればよいが、用
いる樹脂や樹脂の組成比、硬化剤の種類等により最適な
乾燥条件は異なる場合があるので注意を要する。上記の
ポリイミド樹脂とエポキシ樹脂とを含む樹脂組成物を用
いた場合、乾燥温度は好ましくは、120〜250℃で
ある。乾燥時間は好ましくは、1〜30分程度である。
The conditions for drying the adhesive layer may be any conditions under which the adhesive layers on both sides can maintain a semi-cured state, but the optimum drying conditions depend on the resin used, the composition ratio of the resin, the type of the curing agent, and the like. Note that may be different. When a resin composition containing the above-mentioned polyimide resin and epoxy resin is used, the drying temperature is preferably 120 to 250 ° C. The drying time is preferably about 1 to 30 minutes.

【0078】金属箔の仮止めは両面の接着剤層が半硬化
状態を維持し得る条件で行わなければならない。金属箔
の仮止めの方法としては、加熱プレス、ロール加熱など
当業者が実施しうる範囲内のいずれの方法も可能である
が、上記のポリイミド樹脂とエポキシ樹脂とを含む樹脂
組成物を用いた接着層を有する積層体においては、温度
100℃〜300℃、圧力0.05〜5MPaで1分〜
40分間加熱プレスを行うことが好ましく、温度150
℃〜250℃、圧力1〜3MPaで1〜20分間加熱プ
レスを行うことが特に好ましい。
The temporary fixing of the metal foil must be performed under the condition that the adhesive layers on both sides can maintain the semi-cured state. As a method of temporarily fixing the metal foil, any method within a range that can be performed by those skilled in the art, such as hot pressing and roll heating, is possible, but a resin composition containing the above polyimide resin and epoxy resin was used. In the laminate having an adhesive layer, the temperature is 100 ° C. to 300 ° C. and the pressure is 0.05 to 5 MPa for 1 minute to
The heating press is preferably performed for 40 minutes, and the temperature is 150
It is particularly preferable to perform the heating press at 1 to 250 ° C and a pressure of 1 to 3 MPa for 1 to 20 minutes.

【0079】本発明に用いられる積層体の接着剤層の硬
化条件としては、十分に接着硬化し得る条件であればよ
い。硬化の方法としては、熱プレスによる硬化や熱風オ
ーブンによる硬化などが挙げられる。上記のポリイミド
樹脂とエポキシ樹脂とを含む樹脂組成物を用いた場合、
熱プレスによる硬化では、加熱温度は好ましくは、15
0〜250℃である。圧力は好ましくは0.1〜10M
Paである。加熱時間は好ましくは、30〜120分程
度である。また、熱風オーブンによる硬化では、加熱温
度は好ましくは、150〜250℃である。加熱時間は
好ましくは、30〜120分程度である。
The conditions for curing the adhesive layer of the laminate used in the present invention may be any conditions that allow sufficient adhesion and curing. Examples of the curing method include curing by a hot press and curing by a hot air oven. When using a resin composition containing the above polyimide resin and epoxy resin,
For curing by hot pressing, the heating temperature is preferably 15
0-250 ° C. Pressure is preferably 0.1-10M
Pa. The heating time is preferably about 30 to 120 minutes. In the case of curing with a hot air oven, the heating temperature is preferably 150 to 250 ° C. The heating time is preferably about 30 to 120 minutes.

【0080】また本発明の積層体には表面を保護する目
的で保護フィルムを用いることも可能である。
Further, a protective film can be used in the laminate of the present invention for the purpose of protecting the surface.

【0081】次に本発明の積層体を用いた多層板の製造
例を示す。 図2Aおよび図2Bに示すように、両面に第1層回路
21を形成したポリイミドフィルム20の両面(説明を
容易にするため、図では片面に積層体を積層する場合を
示す)に、 本発明の積層体1を熱ラミネートまたは加熱プレスに
より貼り合わせる。この際の条件は接着層の種類により
適切な条件を設定するが、導体層13が銅箔の場合は酸
化劣化を抑える為に300℃以下であるのが好ましい。 次に、図2Cに示すように、金属箔13の第1層回路
21のランドの直上の導体層上にヴィアホール14を形
成する。形成の方法としては各種レーザー、プラズマエ
ッチング、化学エッチング等の方法が挙げられる。 ヴィアホール14の形成後、必要に応じて、デスミア
処理によりヴィア形状を整える。 次に、図2Dに示すように、導電性ペースト15埋め
込み、メッキ等の方法によりヴィアホール14の導通を
とる。 続いて、本発明の積層体の導体層13をパターニング
後エッチング処理して、新たな回路16を形成する(図
2E)。 〜までの工程を繰り返すことにより多層板を得る
ことができる(図2F)。
Next, an example of manufacturing a multilayer board using the laminate of the present invention will be described. As shown in FIGS. 2A and 2B, the present invention is applied to both sides of a polyimide film 20 having a first layer circuit 21 formed on both sides (for ease of explanation, the figure shows a case where a laminate is laminated on one side). Are laminated by heat lamination or hot press. The conditions at this time are set appropriately according to the type of the adhesive layer. However, when the conductor layer 13 is a copper foil, the temperature is preferably 300 ° C. or lower in order to suppress oxidative deterioration. Next, as shown in FIG. 2C, the via hole 14 is formed on the conductor layer of the metal foil 13 immediately above the land of the first layer circuit 21. As a forming method, various methods such as laser, plasma etching, chemical etching and the like can be mentioned. After the formation of the via hole 14, the via shape is adjusted as required by desmearing. Next, as shown in FIG. 2D, conduction of the via hole 14 is established by a method such as filling the conductive paste 15 and plating. Subsequently, the conductor layer 13 of the laminate of the present invention is patterned and etched to form a new circuit 16 (FIG. 2E). A multilayer board can be obtained by repeating the above steps (FIG. 2F).

【0082】以上、本発明の積層体の製造方法について
説明したが、本発明はこれらに限定されるものではな
く、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、当業者の知識
に基づき種々なる改良、修正、変形を加えた態様で実施
できる。
Although the method for producing a laminate of the present invention has been described above, the present invention is not limited to these, and various improvements can be made based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. , Modifications and variations.

【0083】[0083]

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、これら実施例は、本発明を説明するものであり、
限定するためのものではない。当業者は、本発明の範囲
を逸脱することなく、種々の変更、修正、および改変を
行い得る。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples, but these Examples illustrate the present invention.
It is not meant to be limiting. Those skilled in the art can make various changes, modifications, and alterations without departing from the scope of the present invention.

【0084】(実施例1)容量2000mlのガラス製
フラスコに、ジメチルホルムアミド(以下、DMFとい
う。)と0.95当量の1,3−ビス(3−アミノフェ
ノキシ)ベンゼン(以下、APBという。)および0.
05当量の3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミ
ノビフェニル(和歌山精化社製)を仕込み、窒素雰囲気
下で撹拌溶解した。さらにフラスコ内を窒素置換雰囲気
下、溶液を氷水で冷却しつつ撹拌し、1当量の2,2−
ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパンジべンゾエー
ト−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸二無水物
(以下、ESDAという。)を添加した。
Example 1 In a glass flask having a capacity of 2000 ml, dimethylformamide (hereinafter, referred to as DMF) and 0.95 equivalent of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (hereinafter, referred to as APB). And 0.
05 equivalents of 3,3'-dihydroxy-4,4'-diaminobiphenyl (manufactured by Wakayama Seika Co., Ltd.) were charged and dissolved by stirring under a nitrogen atmosphere. Further, the solution was stirred while cooling the solution with ice water under a nitrogen-substituted atmosphere in a nitrogen atmosphere.
Bis (4-hydroxyphenyl) propane dibenzoate-3,3 ', 4,4'-tetracarboxylic dianhydride (hereinafter referred to as ESDA) was added.

【0085】以上のようにして、ポリアミド酸重合体溶
液を得た。なお、DMFの使用量は、APB、3,3’
−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノビフェニルおよび
ESDAのモノマー仕込濃度が30重量%となるように
した。
As described above, a polyamic acid polymer solution was obtained. The amount of DMF used was APB, 3, 3 '.
-Dihydroxy-4,4'-diaminobiphenyl and the monomer concentration of ESDA were adjusted to 30% by weight.

【0086】このポリアミド酸溶液300gを、テフロ
ン(登録商標)コートしたバットにとり、真空オーブン
で、200℃180分、665Paで減圧加熱し、80
gの水酸基を有する熱可塑性ポリイミド樹脂を得た。
300 g of this polyamic acid solution was placed in a vat coated with Teflon (registered trademark) and heated in a vacuum oven at 200 ° C. for 180 minutes under reduced pressure at 665 Pa.
g of a thermoplastic polyimide resin having a hydroxyl group was obtained.

【0087】上記で得たポリイミド樹脂粉末、ノボラッ
ク型のエポキシ樹脂(エピコート1032H60:油化
シェル社製)、および硬化剤として4,4’−ジアミノ
ジフェニルスルフォン(以下、4,4’−DDSとす
る)をそれぞれジオキソランに溶解し、濃度が10重量
%の溶液を得た。得られたそれぞれの溶液をポリイミ
ド、エポキシ樹脂、4,4’−DDSの重量比が90:
10:3になるように混合し、接着剤溶液を得た。得ら
れた接着剤溶液をポリイミドフィルム(アピカル12.
5NPi、鐘淵化学工業社製)に片面ずつそれぞれ塗
布、170℃で1分30秒乾燥し、接着剤層の厚さがそ
れぞれ5μmの両面接着剤付きポリイミドフィルムを得
た。得られたフィルムと厚さ5μmの電解銅箔とを、温
度200℃、圧力3MPaで5分加熱仮圧着し、カール
の無い積層体を得た。積層体の接着剤層が半硬化状態を
維持しているか、すなわち接着剤層が接着性を維持して
いるかを調べるため、この積層体の導体層と反対の面の
接着剤層に18μmの厚延銅箔のマット面を温度200
℃、圧力3MPaで60分加熱圧着し、接着剤層を硬化
させ、この銅箔と積層体との引き剥し強度を測定したと
ころ、8.2N/cmであった。
The polyimide resin powder obtained above, a novolak type epoxy resin (Epicoat 1032H60: manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.), and 4,4′-diaminodiphenylsulfone (hereinafter, referred to as 4,4′-DDS) as a curing agent ) Was dissolved in dioxolane to obtain a solution having a concentration of 10% by weight. The weight ratio of each of the obtained solutions to polyimide, epoxy resin and 4,4′-DDS was 90:
The mixture was mixed at a ratio of 10: 3 to obtain an adhesive solution. The obtained adhesive solution was applied to a polyimide film (Apical 12.
5NPi, manufactured by Kanegabuchi Chemical Industry Co., Ltd.), and dried at 170 ° C. for 1 minute and 30 seconds to obtain a polyimide film with a double-sided adhesive having an adhesive layer thickness of 5 μm each. The obtained film and an electrolytic copper foil having a thickness of 5 μm were heat-temporarily pressed at a temperature of 200 ° C. and a pressure of 3 MPa for 5 minutes to obtain a laminate without curl. In order to check whether the adhesive layer of the laminate maintains a semi-cured state, that is, whether the adhesive layer maintains adhesiveness, the adhesive layer on the side opposite to the conductor layer of the laminate has a thickness of 18 μm. The temperature of the matte surface of the rolled copper foil
The adhesive layer was cured by heating and pressing at 60 ° C. and a pressure of 3 MPa for 60 minutes, and the peel strength between the copper foil and the laminate was measured to be 8.2 N / cm.

【0088】(実施例2)ジアミン成分のAPB(0.
95当量)および3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−
ジアミノビフェニル(0.05当量)をビス [4−
(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン(1当
量)とした以外は、実施例1と同様にして、ポリアミド
酸重合体溶液を得、ポリイミド樹脂粉末を得た。
(Example 2) APB (0.
95 equivalents) and 3,3'-dihydroxy-4,4'-
Diaminobiphenyl (0.05 equivalent) was replaced with bis [4-
A polyamic acid polymer solution was obtained and a polyimide resin powder was obtained in the same manner as in Example 1, except that (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone (1 equivalent) was used.

【0089】上記で得たポリイミド樹脂粉末から、実施
例1と同様にして、接着剤溶液を得た。
From the polyimide resin powder obtained above, an adhesive solution was obtained in the same manner as in Example 1.

【0090】上記で得た接着剤溶液を用い、実施例1と
同様にしてカールの無い積層体を得た。実施例1と同
様、この積層体の引き剥し強度を評価したところ、5.2N
/cmであった。
Using the adhesive solution obtained above, a laminate without curl was obtained in the same manner as in Example 1. When the peel strength of this laminate was evaluated in the same manner as in Example 1, it was 5.2 N
/ cm.

【0091】(実施例3)FR−E基板の両面にパター
ニングを施し、導体層厚み9μmの回路パターンを有す
る内層回路基板を作製した。この内層回路基板の両パタ
ーン面と実施例1の積層体の接着剤層とが接するよう
に、温度200℃、圧力3MPaで60分加熱圧着して
配線板を作製した。この配線板の内層回路のランドの直
上にUVレーザーにてヴィアホールを形成し、デスミア
処理によりヴィアホール形状を整え、さらに無電解銅め
っき及び電解銅めっきによりヴィアホールの導通をとっ
た。さらに上記配線板の両面にパターニングを施し回路
を形成して、4層配線板を作製した。この4層配線板の
内層回路は短絡や断線がなく、さらに積層体と内層回路
基板、また積層体同士の密着性は高かった。
Example 3 Both surfaces of an FR-E substrate were patterned to produce an inner circuit substrate having a circuit pattern with a conductor layer thickness of 9 μm. A wiring board was prepared by heating and pressing at a temperature of 200 ° C. and a pressure of 3 MPa for 60 minutes so that both pattern surfaces of the inner circuit board were in contact with the adhesive layer of the laminate of Example 1. Via holes were formed by a UV laser directly above the lands of the inner layer circuit of the wiring board, the via hole shape was adjusted by desmear treatment, and the via holes were conducted by electroless copper plating and electrolytic copper plating. Further, a circuit was formed by patterning both sides of the wiring board to form a four-layer wiring board. The inner layer circuit of this four-layer wiring board did not have any short circuit or disconnection, and the adhesion between the laminate and the inner circuit board and between the laminates was high.

【0092】(実施例4)実施例2で得た積層体を用い
て実施例3と同様にして4層配線板を作製したところ、
この4層配線板の内層回路は短絡や断線がなく、さらに
積層体と内層回路基板、また積層体同士の密着性は高か
った。
Example 4 A four-layer wiring board was manufactured using the laminate obtained in Example 2 in the same manner as in Example 3.
The inner layer circuit of this four-layer wiring board did not have any short circuit or disconnection, and the adhesion between the laminate and the inner circuit board and between the laminates was high.

【0093】(比較例1)実施例1と同じ接着剤、フィ
ルム、銅箔を用いて、まずフィルムの片面に接着剤を塗
布し、170℃で1分30秒乾燥して厚さ5μmの接着
剤付きポリイミドフィルムを得た。
Comparative Example 1 Using the same adhesive, film, and copper foil as in Example 1, first apply an adhesive to one side of the film, and dry at 170 ° C. for 1 minute 30 seconds to obtain a 5 μm thick adhesive. A polyimide film with an agent was obtained.

【0094】このフィルムに5μmの電解銅箔を温度20
0℃、圧力3MPaで5分加熱仮圧着し、さらにオーブ
ンにて200℃で60分加熱し、接着剤層を硬化させ、
積層体を得た。さらにこの積層体の導体層と反対の面に
接着剤を塗布し、170℃で1分30秒乾燥し、厚さ5
μmの半硬化状態の接着剤層を有する積層体を作製した
ところ大きくカールした。実施例1と同様にして引き剥
し強度を測定したところ、7.5N/cmであった。
A 5 μm electrolytic copper foil was applied to this film at a temperature of 20 ° C.
Temporarily press-fit at 0 ° C., pressure 3 MPa for 5 minutes, and further heat in an oven at 200 ° C. for 60 minutes to cure the adhesive layer,
A laminate was obtained. Further, an adhesive is applied to the surface of the laminate opposite to the conductor layer, dried at 170 ° C. for 1 minute 30 seconds, and
When a laminate having an adhesive layer in a semi-cured state of μm was prepared, it was greatly curled. When the peel strength was measured in the same manner as in Example 1, it was 7.5 N / cm.

【0095】(比較例2)実施例2と同じ接着剤、フィ
ルム、銅箔を用いて、実施例1と同様な方法で積層体を
作製したところ大きくカールした。引き剥し強度を評価
したところ、3.9N/cmであった。
(Comparative Example 2) A laminate was produced in the same manner as in Example 1 using the same adhesive, film and copper foil as in Example 2, and it was greatly curled. When the peel strength was evaluated, it was 3.9 N / cm.

【0096】以上の例から、本発明の方法はフィルムの
片面に接着剤を塗布、乾燥して接着剤層を半硬化状態に
した後金属箔を加熱圧着し接着剤層を硬化させ、さらに
他面に接着剤を塗布、乾燥して接着剤層を半硬化状態に
する比較例の方法と比べカールが小さくまた、同程度以
上のピール強度を有することが分かる。すなわち本発明
の方法の両面の接着剤層は半硬化状態を維持している。
よって本発明の方法に従えば、カールが小さく、接着性
を維持した、導体層/接着剤層/高分子フィルム/接着剤
層なる構成の積層体を効率良く製造することが可能であ
る。
From the above examples, in the method of the present invention, the adhesive is applied to one side of the film and dried to make the adhesive layer in a semi-cured state, and then the metal foil is heated and pressed to cure the adhesive layer. It can be seen that the curl is smaller than that of the method of the comparative example in which the adhesive layer is applied to the surface and dried to make the adhesive layer in a semi-cured state, and the peel strength is equal to or higher than that. That is, the adhesive layers on both sides of the method of the present invention maintain a semi-cured state.
Therefore, according to the method of the present invention, it is possible to efficiently manufacture a laminate having a structure of conductor layer / adhesive layer / polymer film / adhesive layer, which has a small curl and maintains adhesiveness.

【0097】なお、引き剥がし強度の測定は、JISC
6481に準拠した。
The peel strength was measured according to JISC
6481.

【0098】[0098]

【発明の効果】本発明の積層体の製造方法によって、接
着性を維持した積層体を効率良く製造することができ、
それを用いてなる多層配線板を提供することができる。
According to the method for producing a laminate of the present invention, a laminate maintaining the adhesiveness can be produced efficiently.
A multilayer wiring board using the same can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかる積層体の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a laminate according to the present invention.

【図2A】本発明にかかる多層プリント配線板の製造方
法を説明する工程図の一部である。
FIG. 2A is a part of a process diagram illustrating a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention.

【図2B】本発明にかかる多層プリント配線板の製造方
法を説明する工程図の一部である。
FIG. 2B is a part of a process diagram illustrating the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention.

【図2C】本発明にかかる多層プリント配線板の製造方
法を説明する工程図の一部である。
FIG. 2C is a part of a process view illustrating the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention.

【図2D】本発明にかかる多層プリント配線板の製造方
法を説明する工程図の一部である。
FIG. 2D is a part of a process diagram illustrating the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention.

【図2E】本発明にかかる多層プリント配線板の製造方
法を説明する工程図の一部である。
FIG. 2E is a part of a process diagram illustrating the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention.

【図2F】本発明にかかる多層プリント配線板の製造方
法を説明する工程図の一部である。
FIG. 2F is a part of a process diagram illustrating the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 積層体 10 高分子フィルム 11 第1接着剤層 12 第2接着剤層 13 金属箔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laminated body 10 Polymer film 11 1st adhesive layer 12 2nd adhesive layer 13 Metal foil

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/00 H05K 3/00 R 3/38 3/38 D 3/46 3/46 B T Fターム(参考) 4F100 AB01D AB33D AK01A AK01B AK01C AK49B AK49C AK53B AK53C AL05B AL05C AR00B AR00C BA04 BA07 BA10A BA10D EC182 EH462 EJ082 EJ172 EJ862 GB43 JB13B JB13C JL02 JL11B JL11C 5E343 AA02 AA13 AA17 AA18 AA33 AA38 BB05 BB24 BB67 CC03 DD80 EE22 GG02 5E346 AA05 AA06 AA12 AA15 AA16 AA32 BB01 CC10 CC32 CC41 DD02 DD03 DD32 EE31 GG02 GG15 GG28 HH11 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H05K 3/00 H05K 3/00 R 3/38 3/38 D 3/46 3/46 BTF term ( reference) 4F100 AB01D AB33D AK01A AK01B AK01C AK49B AK49C AK53B AK53C AL05B AL05C AR00B AR00C BA04 BA07 BA10A BA10D EC182 EH462 EJ082 EJ172 EJ862 GB43 JB13B JB13C JL02 JL11B JL11C 5E343 AA02 AA13 AA17 AA18 AA33 AA38 BB05 BB24 BB67 CC03 DD80 EE22 GG02 5E346 AA05 AA06 AA12 AA15 AA16 AA32 BB01 CC10 CC32 CC41 DD02 DD03 DD32 EE31 GG02 GG15 GG28 HH11

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 高分子フィルムの一方の面に熱硬化性の
第1の接着剤層を介して金属箔が積層され、高分子フィ
ルムの他方の面に熱硬化性の第2の接着剤層が積層され
ている積層体の製造方法であって、 該高分子フィルムの両面に接着剤を塗布、乾燥し、両面
の接着剤を半硬化状態にした後、両面の接着剤層が半硬
化状態を維持し得る条件で片面の接着剤層に金属箔を積
層することを特徴とする積層体の製造方法。
A metal foil is laminated on one surface of a polymer film via a first thermosetting adhesive layer, and a second thermosetting adhesive layer is formed on the other surface of the polymer film. Is a method of manufacturing a laminated body, wherein an adhesive is applied to both sides of the polymer film, dried, and the adhesive on both sides is semi-cured, and then the adhesive layers on both sides are semi-cured. A method for producing a laminate, comprising laminating a metal foil on one side of an adhesive layer under conditions that can maintain the above conditions.
【請求項2】 前記高分子フィルムがポリイミドフィル
ムであることを特徴とする請求項1記載の積層体の製造
方法。
2. The method according to claim 1, wherein the polymer film is a polyimide film.
【請求項3】 前記第1および第2の熱硬化性の接着剤
層がポリイミド樹脂および熱硬化性樹脂を含む樹脂組成
物からなることを特徴とする請求項1又は2記載の積層
体の製造方法。
3. The production of a laminate according to claim 1, wherein said first and second thermosetting adhesive layers are made of a resin composition containing a polyimide resin and a thermosetting resin. Method.
【請求項4】 前記熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂であ
ることを特徴とする請求項3記載の積層体の製造方法。
4. The method according to claim 3, wherein the thermosetting resin is an epoxy resin.
【請求項5】 高分子フィルムの一方の面に熱硬化性の
第1の接着剤層を介して金属箔が積層され、高分子フィ
ルムの他方の面に熱硬化性の第2の接着剤層が積層され
ている積層体であって、 該第1および第2の接着剤層が半硬化状態であることを
特徴とする積層体。
5. A metal foil is laminated on one surface of a polymer film via a first thermosetting adhesive layer, and a second thermosetting adhesive layer is formed on the other surface of the polymer film. Is a laminated body, wherein the first and second adhesive layers are in a semi-cured state.
【請求項6】 前記高分子フィルムがポリイミドフィル
ムであることを特徴とする請求項5記載の積層体。
6. The laminate according to claim 5, wherein the polymer film is a polyimide film.
【請求項7】 前記第1および第2の熱硬化性の接着剤
層がポリイミド樹脂および熱硬化性樹脂を含む樹脂組成
物からなることを特徴とする請求項5又は6記載の積層
体。
7. The laminate according to claim 5, wherein the first and second thermosetting adhesive layers are made of a resin composition containing a polyimide resin and a thermosetting resin.
【請求項8】 前記熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂であ
ることを特徴とする請求項7記載の積層体。
8. The laminate according to claim 7, wherein the thermosetting resin is an epoxy resin.
【請求項9】 請求項5乃至8のいずれかの項に記載の
積層体を用いた多層配線板。
9. A multilayer wiring board using the laminate according to any one of claims 5 to 8.
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