JP2008248881A - 形状記憶合金の架線方法、形状記憶合金アクチュエータの製造方法、形状記憶合金アクチュエータおよび形状記憶合金アクチュエータの製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ＳＭＡの切断残りを小さくすることができ、切断用の刃物の耐久性や刃物の挿入スペースを考慮する必要もないＳＭＡの架線方法、ＳＭＡアクチュエータの製造方法、ＳＭＡアクチュエータ、およびＳＭＡアクチュエータ製造装置を提供すること。
【解決手段】移動部と駆動部材支持部との間にＳＭＡからなる駆動部材を架線した後に、駆動部材の不要部分に電流を印加して溶断するので、ＳＭＡの切断残りである突出部を小さくすることができる。また、溶断を用いることで、切断用の刃物の耐久性を考慮する必要も、切断用の刃物を挿入するためのスペースの必要もなく、ＳＭＡアクチュエータの製造装置の小型化にも適する。これによって、ＳＭＡの架線方法、ＳＭＡアクチュエータの製造方法、ＳＭＡアクチュエータ、およびＳＭＡアクチュエータの製造装置を提供することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、形状記憶合金の架線方法、形状記憶合金アクチュエータの製造方法、形状記憶合金アクチュエータ、および形状記憶合金アクチュエータの製造装置に関し、特に、形状記憶合金からなる線または箔の切断残りが発生せず、切断用の刃物の耐久性を考慮する必要もない形状記憶合金の架線方法、形状記憶合金アクチュエータの製造方法、形状記憶合金アクチュエータ、および形状記憶合金アクチュエータの製造装置に関する。

近年、携帯電話等のモバイル機器にデジタルカメラ機能が搭載され、オートフォーカス機能や手振れ補正機能といった高度な機能も実装されてきている。それに伴い、撮影レンズや撮像素子を移動させるための超小型アクチュエータが求められ、従来のモータとギヤ列に代わる種々のアクチュエータが提案されている。その中で特に注目を集めているのが、形状記憶合金（Ｓｈａｐｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ａｌｌｏｙ。以下、ＳＭＡと言う）を用いたＳＭＡアクチュエータである。

ここで、ＳＭＡアクチュエータの基本的な構成と動作について、従来技術によるＳＭＡアクチュエータを例に、図５を用いて簡単に説明する。図５は、従来技術によるＳＭＡアクチュエータの基本的な構成と動作を示す模式図である。

図５（ａ）において、ＳＭＡアクチュエータ１は、駆動部材支持部１１、その一部である固定部１３および１５、駆動部材１７、移動部２１、突起部２３、付勢部材３１および付勢部材固定部３３等で構成される。付勢部材３１および付勢部材固定部３３は、本発明における付勢部として機能する。

図示しない被駆動物を搭載、あるいは被駆動物と係合することによって被駆動物を移動させる移動部２１は、バネ等からなる付勢部材３１によって、付勢部材３１の引っ張り方向つまり図の右方向に付勢され、付勢部材固定部３３に接続されている。一方、移動部２１に設けられた突起部２３と、移動部２１を挟んで付勢部材３１と対向する方向に配置された駆動部材支持部１１との間には、ＳＭＡ線からなる駆動部材１７が架線され、移動部２１に、付勢部材３１の付勢力に抗する方向つまり図の左方向への張力を加えている。駆動部材１７は、駆動部材支持部１１に固定部１３および１５で固定されている。移動部２１は、上述した付勢部材３１の付勢力と駆動部材１７の張力とがバランスした位置で静止する。

図５（ｂ）において、駆動部材１７に矢印４１の方向に電流が印加されると、駆動部材１７は自身の抵抗によるジュール熱で発熱して弾性係数の高い状態へ変態する。その際、駆動部材１７は、ＳＭＡの性質として、高温時に記憶した長さに戻ろうとするために収縮し、突起部２３を介して移動部２１に図の左方向に張力を加える。この張力により、移動部２１は付勢部材３１の付勢力に抗して図の矢印４３だけ左方向に移動する。

図５（ｃ）において、駆動部材１７への電流の印加を停止すると、駆動部材１７の発熱も停止し、外気による自然冷却により、駆動部材１７は図５（ａ）に示したと同じ状態に戻り、移動部２１は付勢部材３１の付勢力により図の矢印４５だけ右方向に移動して図５（ａ）と同じ状態に戻る。上述した動作を繰り返すことで、移動部２１を左右に移動させることができる。

このような構成のＳＭＡアクチュエータにおいて、移動部と接する部分のＳＭＡを加熱することで間接的に移動部のＳＭＡと接する部分を溶融してＳＭＡを食い込ませることで、ＳＭＡアクチュエータの移動部とＳＭＡとの位置調整を行う方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

そして、ＳＭＡアクチュエータの製造においては、例えば特許文献１に示されたような方法で位置調整が行われた後に、ＳＭＡ線の不要部分を切断してＳＭＡアクチュエータが完成する。
特開２００６−３３７５３３号公報

しかしながら、図５（ｃ）に模式的に示すように、従来技術によるＳＭＡアクチュエータの製造方法では、ＳＭＡアクチュエータ製造の際に生じる駆動部材１７の切断残りである固定部１３および１５からの突出部分１７ａ同士がショートして、駆動のための電流を印加することができなくなったり、図示しないＳＭＡアクチュエータの駆動回路等の回路基板との間でショートして故障の原因となったりするという問題がある。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ＳＭＡの切断残りを小さくすることができ、切断用の刃物の耐久性や刃物の挿入スペースを考慮する必要もないＳＭＡの架線方法、ＳＭＡアクチュエータの製造方法、ＳＭＡアクチュエータ、およびＳＭＡアクチュエータ製造装置を提供することを目的とする。

本発明の目的は、下記構成により達成することができる。

１．移動部を移動させるための駆動部材として用いる形状記憶合金の架線方法において、
前記形状記憶合金を、駆動部材支持部を介して前記移動部と架線支持部との間に架線する架線工程と、
前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する固定工程と、
前記形状記憶合金の、前記駆動部材支持部と前記架線支持部との間に架線された部分に通電することにより、前記形状記憶合金を融点以上に加熱して溶断する切断工程とを備えたことを特徴とする形状記憶合金の架線方法。

２．前記固定工程は、
前記移動部と前記架線支持部との間に架線された前記形状記憶合金に、前記移動部を前記駆動部材支持部の側に引っ張るように張力を加えた状態で、前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する工程であることを特徴とする１に記載の形状記憶合金の架線方法。

３．被駆動物を搭載、または被駆動物と係合して被駆動物を移動させる移動部と、
前記移動部を張力で付勢する付勢部と、
前記移動部を挟んで前記付勢部と対向する位置に配置された駆動部材支持部と、
一方が前記移動部と係合し、他方が前記駆動部材支持部に固定され、通電することにより発熱して、前記付勢部の付勢力に抗して前記移動部を移動させる形状記憶合金からなる駆動部材とを備えた形状記憶合金アクチュエータの製造方法において、
前記形状記憶合金を、前記駆動部材支持部を介して前記移動部と架線支持部との間に架線する架線工程と、
前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する固定工程と、
前記形状記憶合金の、前記駆動部材支持部と前記架線支持部との間に架線された部分に通電することにより、前記形状記憶合金を融点以上に加熱して溶断する切断工程とを備えたことを特徴とする形状記憶合金アクチュエータの製造方法。

４．前記固定工程は、
前記移動部と前記架線支持部との間に架線された前記形状記憶合金に、前記移動部を前記駆動部材支持部の側に引っ張るように張力を加えた状態で、前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する工程であることを特徴とする３に記載の形状記憶合金アクチュエータの製造方法。

５．被駆動物を搭載、または被駆動物と係合して該被駆動物を移動させる移動部と、
前記移動部を張力で付勢する付勢部と、
前記移動部を挟んで前記付勢部と対向する位置に配置された駆動部材支持部と、
一方が前記移動部と係合し、他方が前記駆動部材支持部に固定され、通電することにより発熱して、前記付勢部の付勢力に抗して前記移動部を移動させる形状記憶合金からなる駆動部材とを備え、
前記形状記憶合金を、前記駆動部材支持部を介して前記移動部と架線支持部との間に架線する架線工程と、
前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する固定工程と、
前記形状記憶合金の、前記駆動部材支持部と前記架線支持部との間に架線された部分に通電することにより、前記形状記憶合金を融点以上に加熱して溶断する切断工程とを含む製造方法によって製造されることを特徴とする形状記憶合金アクチュエータ。

６．前記固定工程は、
前記移動部と前記架線支持部との間に架線された前記形状記憶合金に、前記移動部を前記駆動部材支持部の側に引っ張るように張力を加えた状態で、前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する工程であることを特徴とする５に記載の形状記憶合金アクチュエータ。

７．被駆動物を搭載、または被駆動物と係合して被駆動物を移動させる移動部と、
前記移動部を張力で付勢する付勢部と、
前記移動部を挟んで前記付勢部と対向する位置に配置された駆動部材支持部と、
一方が前記移動部と係合し、他方が前記駆動部材支持部に固定され、通電することにより発熱して、前記付勢部の付勢力に抗して前記移動部を移動させる形状記憶合金からなる駆動部材とを備え、
前記形状記憶合金を、前記駆動部材支持部を介して前記移動部と架線支持部との間に架線する架線工程と、
前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する固定工程と、
前記形状記憶合金の、前記駆動部材支持部と前記架線支持部との間に架線された部分に通電することにより、前記形状記憶合金を融点以上に加熱して溶断する切断工程とを含む製造方法によって製造される形状記憶合金アクチュエータの製造装置において、
前記形状記憶合金を、前記駆動部材支持部を介して前記移動部と前記架線支持部との間に架線する架線部と、
前記駆動部材支持部と前記架線支持部との間に架線された前記形状記憶合金を通電により融点以上に加熱して溶断する切断部とを備えたことを特徴とする形状記憶合金アクチュエータの製造装置。

８．前記固定工程は、
前記移動部と前記架線支持部との間に架線された前記形状記憶合金に、前記移動部を前記駆動部材支持部の側に引っ張るように張力を加えた状態で、前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する工程であることを特徴とする７に記載の形状記憶合金アクチュエータの製造装置。

本発明によれば、移動部と駆動部材支持部との間にＳＭＡからなる駆動部材を架線した後に、駆動部材の不要部分に電流を印加して溶断するので、ＳＭＡの切断残りである突出部を小さくすることができる。また、溶断を用いることで、切断用の刃物の耐久性を考慮する必要も、切断用の刃物を挿入するためのスペースの必要もなく、ＳＭＡアクチュエータの製造装置の小型化にも適する。これによって、ＳＭＡの架線方法、ＳＭＡアクチュエータの製造方法、ＳＭＡアクチュエータ、およびＳＭＡアクチュエータの製造装置を提供することができる。

以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限られない。なお、図中、同一あるいは同等の部分には同一の番号を付与し、重複する説明は省略する。

まず、本発明の第１の実施の形態について、図１および図２を用いて説明する。図１は、ＳＭＡアクチュエータの製造装置２の切断部６０の第１の実施の形態を示す模式図で、図１（ａ）はＳＭＡの溶断前の状態、図１（ｂ）は溶断後の状態を示す模式図である。

図１（ａ）において、移動部２１に設けられた突起部２３には、ＳＭＡ線からなる駆動部材１７が、駆動部材支持部１１の一部である固定部１３および１５を介してＵ次型に架線され、駆動部材１７の両方の終端がＳＭＡアクチュエータ製造装置２に備えられた架線支持部５１上の保持部５３および５５で保持される（架線工程）。次に、ＳＭＡ線１７を図の左側に引っ張って所定の張力を与え（張力印加工程）、移動部２１を所定の位置に調整する。この状態で、駆動部材１７が駆動部材支持部１１上の固定部１３および１５によって固定される（固定工程）。架線支持部５１の一部である保持部５３および５５は、本発明における架線部として機能する。

次に、例えば上述した特許文献１に示されたような方法で移動部２１の位置調整を行った後に、以下に説明するように、ＳＭＡ線の不要部分を切断してＳＭＡアクチュエータが完成する。

駆動部材支持部１１上の固定部１３および１５と、架線支持部５１上の保持部５３および５５との間には、切断部６０が接続されている。切断部６０は、直列に接続された配線６７、電流源６１、スイッチ６３および配線６５等で構成される。固定部１３および１５と保持部５３および５５とは、少なくとも切断部６０との接続点、およびＳＭＡ線からなる駆動部材１７との接続点が、金属等の導電性を持った材料で作られている。

図１（ｂ）において、スイッチ６３が閉じられると、電流源６１から、駆動部材１７の固定部１３と保持部５３とに挟まれた部分１９、および固定部１５と保持部５５とに挟まれた部分１９に、ＳＭＡ線の融点以上の温度に加熱するジュール熱を発生させるような大電流が印加される。これによって、駆動部材１７の固定部１３と保持部５３とに挟まれた部分１９、および固定部１５と保持部５５とに挟まれた部分１９が溶断される。この時発生する切断残りである突出部分は、刃物を用いて切断した場合に比べてちいさいものとなる（切断工程）。溶断された後は電流が遮断されるので、それ以上の発熱はない。

この時、固定部１３および１５に、駆動部材１７の溶断される部分１９で発生する熱が駆動部材１７の固定部１３および１５から突起部２３側の部分に伝わらないだけの充分大きな熱容量を持たせておけば、ＳＭＡアクチュエータ１の駆動部材１７に劣化等の悪影響を及ぼすことなく、切断を行うことができる。

溶断のために駆動部材１７に通電する電流の具体的な値は、各種条件により最適な値が選択されるが、たとえばＳＭＡの線径を数十μｍとすると、溶断のための電流としては２００ｍＡ程度が好適である。要は、不要な部分のＳＭＡが溶断して実質的になくなる電流であれば良く、実質的になくなるとは、例えば、溶断後に固定部１３，１５または保持部５３，５５に残る突出部分１７ａが、他の導電性部分または他方の突出部分１７ａに触れない長さのことであり、具体的には、不要区間（図１（ａ）でいえば、固定部１３と保持部５３の間）の４０％以下、好ましくは２０％以下、より好ましくは１０％以下のことを意味する。

上述した第１の実施の形態によれば、刃物等を用いる物理的な切断方法に比べ、最適な値の電流をＳＭＡ線に印加することで瞬時に溶断させることが可能で、切断時間の短縮に好適である。また、ＳＭＡ線に非接触で切断が行えるために、駆動部材支持部１１と架線支持部５１との間に刃物等を挿入するためのスペースが不要で、ＳＭＡアクチュエータ製造装置２の小型化に好適である。さらに、固定部１３および１５までのＳＭＡ線の大部分を溶断することができるため、発生する切断残りである突起部１７ａが小さく、切断残りによるショート等の心配が少ない。

なお、上述した第１の実施の形態は、図１（ａ）および（ｂ）に示したアクチュエータの構成に基づいて説明したが、次に述べる図２（ａ）および（ｂ）に示した方法に対しても同様に有効である。

図２（ａ）においては、図１（ａ）および（ｂ）とは異なり、ＳＭＡ線１７の一端は最初から駆動部材支持部１１の一部である固定部１５で固定されている。移動部２１に設けられた突起部２３にＵ字型に架線されたＳＭＡ線１７の他端は、駆動部材支持部１１の一部である固定部１３を介して、ＳＭＡアクチュエータ製造装置２に備えられた架線支持部５１上の保持部５３で保持される（架線工程）。

次に、ＳＭＡ線１７の他端が図の左側に引っ張られて（張力印加工程）、移動部２１が所定の位置に調整される。この状態で、ＳＭＡ線１７が駆動部材支持部１１上の固定部１３で固定される（固定工程）。その後、スイッチ６３を閉じると、図１（ａ）および（ｂ）で説明したように、ＳＭＡ線１７の不要部分が溶断される（切断工程）。

図２（ｂ）において、ＳＭＡ線１７は、例えば上述した特許文献１と同様に、ＳＭＡ線１７を加熱して移動部２１のＳＭＡ線と接する部分を溶融し、ＳＭＡ線１７を食い込ませることで、一端が移動部２１に固定される。ＳＭＡ線１７の他端は、駆動部材支持部１１上の固定部１３を介して架線支持部５１上の保持部５３で保持される（架線工程）。次に、ＳＭＡ線１７の他端が図の左側に引っ張られて（張力印加工程）、移動部２１が所定の位置に調整される。この状態で、ＳＭＡ線１７が駆動部材支持部１１上の固定部１３で固定される（固定工程）。その後、スイッチ６３を閉じると、図１（ａ）および（ｂ）で説明したように、ＳＭＡ線１７の不要部分が溶断される（切断工程）。

次に、本発明の第２の実施の形態について、図３を用いて説明する。図３は、ＳＭＡアクチュエータの製造装置２の切断部６０の第２の実施の形態を示す模式図で、図３（ａ）は配線６５のみに溶断用電極を持つ場合、図３（ｂ）は配線６５および６７の両方に溶断用電極を持つ場合を示す模式図である。

図３（ａ）において、切断部６０は、固定部１３および１５を電極として兼用するのではなく、配線６５側に駆動部材１７の溶断される部分１９に接触させて使用する溶断用電極６５ａを有している。切断は、溶断用電極６５ａを移動させて、２つの溶断させる部分１９に交互に接触させることにより、溶断用電極６５ａと架線支持部５１上の保持部５３および５５との間に溶断用の電流を印加することにより行う。これによって、駆動部材支持部１１上の固定部１３または１５側の任意の位置で駆動部材１７を溶断することができる。また、固定部１３および１５の材質が樹脂等の導電性でない場合や、物理的に切断部６０と固定部１３および１５との電気的接触がとれず、固定部１３および１５が電極として使用できない場合等においても切断が行える。

図３（ｂ）において、切断部６０は、図３（ａ）に加えて、配線６７の側にも駆動部材１７の溶断される部分１９に接触させて使用する溶断用電極６７ａを有し、溶断用電極６５ａと６７ａとの間に溶断用の電流を印加する。従って、溶断用電極６５ａおよび６７ａを移動させることにより、駆動部材支持部１１と架線支持部５１との間の任意の位置で駆動部材１７を溶断することができる。また、固定部１３および１５や保持部５３および５５が電極として使用できない場合等においても切断が行える。

なお、上述した第２の実施の形態についても、第１の実施の形態と同様に、図１（ａ）および（ｂ）に示したアクチュエータの構成に基づいて説明したが、図２（ａ）および（ｂ）に示した構成に対しても同様に有効である。

次に、固定部１３および１５での駆動部材１７の固定方法の例について、図４を用いて説明する。図４は、上述した第１および第２の実施の形態に好適な駆動部材１７の固定方法の例を示す模式図で、図４（ａ）および（ｂ）はカシメによる固定方法を、図４（ｃ）および（ｄ）は圧入による固定方法を示す。

図４（ａ）および（ｂ）において、金属の平板１３上に駆動部材１７を載せ、平板１３の一端１３ａを他端１３ｂ側に折り曲げ、１３ａの裏面側から１３ｂ方向に圧力をかけることで、駆動部材１７を巻き込んで、カシメ固定する。この方法によれば、固定が安定に行えるので、固定方法として好適である。

もちろん、図４（ｃ）および（ｄ）に示したように、駆動部材１７を、圧入ピン１３ｊで圧入固定部材１３ｋの圧入穴１３ｈに圧入することで固定しても構わない。

以上に述べたように、本発明によれば、移動部と駆動部材支持部との間にＳＭＡからなる駆動部材を架線した後に、駆動部材の不要部分に電流を印加して溶断するので、ＳＭＡの切断残りである突出部を小さくすることができる。また、溶断を用いることで、切断用の刃物の耐久性を考慮する必要も、切断用の刃物を挿入するためのスペースの必要もなく、ＳＭＡアクチュエータの製造装置の小型化にも適する。これによって、ＳＭＡの架線方法、ＳＭＡアクチュエータの製造方法、ＳＭＡアクチュエータ、およびＳＭＡアクチュエータの製造装置を提供することができる。

尚、本発明に係るＳＭＡの架線方法、ＳＭＡアクチュエータの製造方法、ＳＭＡアクチュエータ、およびＳＭＡアクチュエータの製造装置を構成する各構成の細部構成および細部動作に関しては、本発明の趣旨を逸脱することのない範囲で適宜変更可能である。

ＳＭＡアクチュエータの製造装置の切断部の第１の実施の形態を示す模式図（１／２）である。 ＳＭＡアクチュエータの製造装置の切断部の第１の実施の形態を示す模式図（２／２）である。 ＳＭＡアクチュエータの製造装置の切断部の第２の実施の形態を示す模式図である。 第１および第２の実施の形態に好適な駆動部材の固定方法の例を示す模式図である。 従来技術によるＳＭＡアクチュエータの基本的な構成と動作を示す模式図である。

符号の説明

１ ＳＭＡ（形状記憶合金）アクチュエータ
２ ＳＭＡアクチュエータ製造装置
１１ 駆動部材支持部
１３ 固定部
１５ 固定部
１７ 駆動部材
２１ 移動部
２３ 突起部
３１ 付勢部材
３３ 付勢部材固定部
５１ 架線支持部
５３ 保持部
５５ 保持部
５７ 刃物
６０ 切断部
６１ 電流源
６３ スイッチ
６５ 配線
６５ａ 溶断用電極
６７ 配線
６７ａ 溶断用電極

Claims (8)

1. 移動部を移動させるための駆動部材として用いる形状記憶合金の架線方法において、
   前記形状記憶合金を、駆動部材支持部を介して前記移動部と架線支持部との間に架線する架線工程と、
   前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する固定工程と、
   前記形状記憶合金の、前記駆動部材支持部と前記架線支持部との間に架線された部分に通電することにより、前記形状記憶合金を融点以上に加熱して溶断する切断工程とを備えたことを特徴とする形状記憶合金の架線方法。
2. 前記固定工程は、
   前記移動部と前記架線支持部との間に架線された前記形状記憶合金に、前記移動部を前記駆動部材支持部の側に引っ張るように張力を加えた状態で、前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する工程であることを特徴とする請求項１に記載の形状記憶合金の架線方法。
3. 被駆動物を搭載、または被駆動物と係合して被駆動物を移動させる移動部と、
   前記移動部を張力で付勢する付勢部と、
   前記移動部を挟んで前記付勢部と対向する位置に配置された駆動部材支持部と、
   一方が前記移動部と係合し、他方が前記駆動部材支持部に固定され、通電することにより発熱して、前記付勢部の付勢力に抗して前記移動部を移動させる形状記憶合金からなる駆動部材とを備えた形状記憶合金アクチュエータの製造方法において、
   前記形状記憶合金を、前記駆動部材支持部を介して前記移動部と架線支持部との間に架線する架線工程と、
   前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する固定工程と、
   前記形状記憶合金の、前記駆動部材支持部と前記架線支持部との間に架線された部分に通電することにより、前記形状記憶合金を融点以上に加熱して溶断する切断工程とを備えたことを特徴とする形状記憶合金アクチュエータの製造方法。
4. 前記固定工程は、
   前記移動部と前記架線支持部との間に架線された前記形状記憶合金に、前記移動部を前記駆動部材支持部の側に引っ張るように張力を加えた状態で、前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する工程であることを特徴とする請求項３に記載の形状記憶合金アクチュエータの製造方法。
5. 被駆動物を搭載、または被駆動物と係合して該被駆動物を移動させる移動部と、
   前記移動部を張力で付勢する付勢部と、
   前記移動部を挟んで前記付勢部と対向する位置に配置された駆動部材支持部と、
   一方が前記移動部と係合し、他方が前記駆動部材支持部に固定され、通電することにより発熱して、前記付勢部の付勢力に抗して前記移動部を移動させる形状記憶合金からなる駆動部材とを備え、
   前記形状記憶合金を、前記駆動部材支持部を介して前記移動部と架線支持部との間に架線する架線工程と、
   前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する固定工程と、
   前記形状記憶合金の、前記駆動部材支持部と前記架線支持部との間に架線された部分に通電することにより、前記形状記憶合金を融点以上に加熱して溶断する切断工程とを含む製造方法によって製造されることを特徴とする形状記憶合金アクチュエータ。
6. 前記固定工程は、
   前記移動部と前記架線支持部との間に架線された前記形状記憶合金に、前記移動部を前記駆動部材支持部の側に引っ張るように張力を加えた状態で、前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する工程であることを特徴とする請求項５に記載の形状記憶合金アクチュエータ。
7. 被駆動物を搭載、または被駆動物と係合して被駆動物を移動させる移動部と、
   前記移動部を張力で付勢する付勢部と、
   前記移動部を挟んで前記付勢部と対向する位置に配置された駆動部材支持部と、
   一方が前記移動部と係合し、他方が前記駆動部材支持部に固定され、通電することにより発熱して、前記付勢部の付勢力に抗して前記移動部を移動させる形状記憶合金からなる駆動部材とを備え、
   前記形状記憶合金を、前記駆動部材支持部を介して前記移動部と架線支持部との間に架線する架線工程と、
   前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する固定工程と、
   前記形状記憶合金の、前記駆動部材支持部と前記架線支持部との間に架線された部分に通電することにより、前記形状記憶合金を融点以上に加熱して溶断する切断工程とを含む製造方法によって製造される形状記憶合金アクチュエータの製造装置において、
   前記形状記憶合金を、前記駆動部材支持部を介して前記移動部と前記架線支持部との間に架線する架線部と、
   前記駆動部材支持部と前記架線支持部との間に架線された前記形状記憶合金を通電により融点以上に加熱して溶断する切断部とを備えたことを特徴とする形状記憶合金アクチュエータの製造装置。
8. 前記固定工程は、
   前記移動部と前記架線支持部との間に架線された前記形状記憶合金に、前記移動部を前記駆動部材支持部の側に引っ張るように張力を加えた状態で、前記形状記憶合金を前記駆動部材支持部に固定する工程であることを特徴とする請求項７に記載の形状記憶合金アクチュエータの製造装置。

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