JP2008243938A - 熱cvd方法および熱cvd装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、ウェーハの周縁部まで均一に成膜することが可能な熱CVD方法および熱CVD装置を提供する。
【解決手段】熱CVD方法において、ウェーハw上に成膜を行うための反応室11内を、所定の圧力に制御し、所定の圧力に制御された反応室11に、上部より反応ガスを導入し、反応ガスをシャワーヘッド17において断熱膨張させることにより、反応ガスのガス流を加速させ、回転させながら加熱したウェーハw上に、加速された反応ガスのガス流を供給して、成膜を行う。
【選択図】図1
【解決手段】熱CVD方法において、ウェーハw上に成膜を行うための反応室11内を、所定の圧力に制御し、所定の圧力に制御された反応室11に、上部より反応ガスを導入し、反応ガスをシャワーヘッド17において断熱膨張させることにより、反応ガスのガス流を加速させ、回転させながら加熱したウェーハw上に、加速された反応ガスのガス流を供給して、成膜を行う。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えば、半導体ウェーハ上に、加熱・回転させながら反応ガスを供給し、Siエピタキシャル膜などの薄膜を形成するための熱CVD装置および熱CVD方法に関する。
半導体装置の製造工程において、特に気相成長を用いたSi膜のエピタキシャル成長装置として、枚葉式の熱CVD(Chemical Vapor Deposition)装置が用いられている。
このような枚葉式の熱CVD装置においては、例えば、特許文献1に示されるように、反応室内で、ウェーハを回転させながら、下方よりヒータにより加熱し、上方よりウェーハ上に、シラン、ジクロロシラン、トリクロロシランなどの比較的重い成膜ガスと、水素、ヘリウムなどの比較的軽いキャリアガスを混合した反応ガスを供給することにより、ウェーハ上に薄膜が形成される。
近年、半導体装置の微細化に伴い、ウェーハの素子形成領域における膜厚に対する仕様がより厳しいものとなっている。また、素子のコストダウンを図るため、ウェーハの大口径化が進むとともに、ウェーハ当たりの素子の収率を増大させる要求が高まっている。そこで、素子形成領域における膜厚の均一性を向上させるのみならず、これまで素子が形成されていなかったウェーハの周縁部まで、均一に成膜する必要が生じてきた。
そこで、特許文献1に示されるように、ウェーハ面内の温度を均一に制御することにより、均一性の向上を図るものの、ある程度の膜厚のばらつきがあり、また、周縁部までの厳密な制御は困難であるという問題がある。
特開2000−306850号公報(図1など)
上述したように、ウェーハの周縁部まで厳密な膜厚均一性を得ることが困難であるという問題がある。
本発明は、ウェーハの周縁部まで均一に成膜することが可能な熱CVD方法および熱CVD装置を提供することを目的とするものである。
本発明の一態様の熱CVD方法は、ウェーハ上に成膜を行うための反応室内を、所定の圧力に制御し、所定の圧力に制御された反応室に、上部より反応ガスを導入し、反応ガスを断熱膨張させることにより、反応ガスのガス流を加速させ、回転させながら加熱したウェーハ上に、加速された反応ガスのガス流を供給して、成膜を行うことを特徴とする。
本発明の熱CVD方法において、反応ガスのガス流は、ウェーハ面に対して垂直方向に加速されることが好ましい。
本発明の一態様の熱CVD装置は、ウェーハ上に成膜を行うための反応室と、反応室下部に設けられ、前記ウェーハを加熱するためのヒータと、ウェーハを保持するための保持機構と、保持機構と接続され、ウェーハを回転させるための回転機構と、反応ガスを前記反応室内に導入するための反応ガス導入口と、保持機構の上部に配置され、導入された反応ガスを通過させることにより断熱膨張させるための、ガス導入部が小さく、ガス放出部が大きい複数の開口部を有するシャワーヘッドを備えることを特徴とする。
本発明の熱CVD装置において、開口部は、釣鐘形状であることが好ましい。
また、本発明の熱CVD装置において、シャワーヘッドは、中央部と周辺部で分割され、中央部と前記周辺部は、それぞれ異なる圧力に制御可能であることが好ましい。
本発明の熱CVD方法および熱CVD装置により、ウェーハの周縁部まで均一に成膜することが可能となる。
以下、本発明の実施形態について、図を参照して説明する。
図1に、本実施形態の熱CVD装置の断面構造を示す。図に示すように、ウェーハwが成膜処理される反応室11には、ウェーハwを所定温度に加熱するためのヒータ12と、ウェーハwを保持するための環状のホルダー13と、ホルダー13と接続され、ウェーハwを回転させるための回転機構14が設置されている。反応室11上方には、反応ガスを反応室内に導入するための反応ガス導入口15が、反応室11下方には、反応ガスを排出するためのガス排出口16が設置されている。
反応室11の上方には、導入された反応ガスを混合し、ウェーハw面内で流量が均一となるように供給するための、例えばSiC、石英ガラスからなるシャワーヘッド17が設置されている。
図2にシャワーヘッド17の部分拡大断面図を示す。図に示すように、シャワーヘッドの開口部18において、開口部18上方のガス導入部18aが小さく、下方のガス放出部18bが大きい円錐形状となっている。
このような気相成長装置を用いて、例えばSiからなるウェーハw上にSiエピタキシャル膜を形成する。先ず、例えば180mm径のウェーハwをホルダー13上に載置する。
そして、反応ガス導入口15より反応ガスを導入する。反応ガスは、例えば、キャリアガス:H2を20〜100SLM、成膜ガス:SiHCl3を50sccm〜2SLM、ドーパントガス:B2H6、PH3:微量とする。このような反応ガスは、シャワーヘッド17に導入され、開口部18より噴出される。
このとき、シャワーヘッド17内の圧力が、反応室11内の圧力より高くなるように、反応ガスの供給・排出量を制御する。そして、圧力の高いシャワーヘッド17(例えば1000Torr=1.3×106Pa)内から、圧力の低い反応室11(例えば10Torr=1333Pa)に、反応ガスを噴出させることにより、反応ガスを断熱膨張させ、ウェーハwに向かって加速させる。
そして、ウェーハwの温度が、面内で均一に、例えば1100℃となるように、ヒータ12を制御する。そして、回転機構14によりウェーハwを高速回転させながら、ウェーハw上に加速させた反応ガスを供給することにより、ウェーハw上にSiエピタキシャル膜を形成する。
このとき、図3に示すように、反応ガスは、高速回転により、ウェーハw表面近傍において、成膜に直接寄与する境界層19を形成する。そして、この境界層19に対して、反応ガスが供給されるが、このとき、水素などの比較的軽いキャリアガスは、慣性力が小さく、シャワーヘッド17とウェーハwの間に淀む(淀み20)。しかしながら、SiHCl3などの比較的重い成膜ガスは、断熱膨張による加速を十分大きくすることにより、慣性力が増大し、軽いガスの淀みによる影響を抑えることができる。従って、境界層19に対して、加速により一定の均一性が得られた状態を維持したままで成膜ガスを供給することが可能となり、例えば、膜厚のばらつきを2%未満の1%に抑え、ウェーハwの周縁部まで、より均一に成膜することが可能となる。
本実施形態において、シャワーヘッド17を、ウェーハwの上部に配置しているが、ウェーハwとシャワーヘッド17との距離は、均一性を維持できる距離であることが好ましい。しかしながら、あまり近接させると、シャワーヘッド17の下部がウェーハwからの輻射熱を受けて加熱されるため、Si膜の堆積が生じてしまう。従って、シャワーヘッド17へのSi膜の堆積を抑制するという観点では、均一性が維持される限界点に近い方が好ましい。
また、本実施形態において、反応室1内の圧力を、例えば10Torr(1333Pa)となるように制御しているが、断熱膨張を発生させる上で、シャワーヘッド17内と反応室11内の圧力差が大きい方が好ましく、例えば反応室11内の圧力が、シャワーヘッド内の圧力の1/10以下であればよい。そして、反応室1内の圧力は、負圧、特に真空に近いことが好ましく、例えば数10Torr以下であればよい。
また、シャワーヘッド17の開口部18の形状を円錐形状としたが、開口部18上方のガス導入部18aが小さく、下方のガス放出部18bが大きい形状で、断熱膨張を阻害しない形状であれば、特に限定されない。このような形状とすることにより、導入される反応ガスが断熱膨張し、加速され、ウェーハwに向かう指向性が増大される。
このとき、図4に示すように、シャワーヘッドの開口部28が、微小なガス導入部28aを有し、ガス放出部28bにおいては、ほぼ平行(ウェーハw面に対して垂直)となる釣鐘形状とすることが好ましい。このような釣鐘形状とすることにより、破線で示す断熱膨張により形成された自由膨張流を包み込むことができる。また、このとき、開口部のガス導入部28aの径は、加工精度が得られる範囲で小さいほど好ましい。例えば開口部厚が3mmの場合、ガス導入部28aの径を0.1mm程度、ガス放出部28bの径を2、3mmとすることができる。
また、シャワーヘッド17の径は、ウェーハw径に対して10〜20%大きくすることが好ましい。10%未満であると、周縁部まで均一性の向上を図ることが困難となり、20%を超えると、成膜効率が低下し、プロセスコストが増大してしまうためである。
また、本実施形態において、シャワーヘッド内の圧力は均一であるが、図5に示すように、シャワーヘッド37を中央部37aと周辺部37bで分割し、それぞれの圧力を独立して制御できるようにしてもよい。このように中央部37aと周辺部37bを分割することにより、例えば、軽いガスの淀みがある周辺部37b内の圧力を高くし、成膜ガスの加速度を上げることにより、より均一な膜厚の制御が可能となる。
本実施形態によれば、ウェーハおよびウェーハより素子形成工程および素子分離工程を経て形成される半導体装置において、ウェーハ当たりの素子の収率を増大させ、歩留りを向上させるとともに、素子特性を安定させることが可能となる。特に、N型ベース領域、P型ベース領域や、絶縁分離領域などに数10μm〜100μm程度の厚膜が用いられるパワーMOSFETやIGBT(絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ)などのパワー半導体装置の厚膜形成プロセスに適用することにより、プロセスコストの大幅な削減が可能となる。
尚、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態においては、Si基板上にエピタキシャル膜形成の場合を説明したが、ポリSi層形成時にも適用でき、他の化合物半導体例えばGaAs層、GaAlAsやInGaAsなどにも適用可能である。その他要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
11…反応室、12…ヒータ、13…ホルダー、14…回転機構、15…反応ガス導入口、16…ガス排出口、17、27、37…シャワーヘッド、18、28…開口部、19…境界層
Claims (5)
- ウェーハ上に成膜を行うための反応室内を、所定の圧力に制御し、
前記所定の圧力に制御された反応室に、上部より反応ガスを導入し、
前記反応ガスを断熱膨張させることにより、前記反応ガスのガス流を加速させ、
回転させながら加熱したウェーハ上に、加速された前記反応ガスのガス流を供給して、成膜を行うことを特徴とする熱CVD方法。 - 前記反応ガスのガス流は、ウェーハ面に対して垂直方向に加速されることを特徴とする請求項1に記載の熱CVD方法。
- ウェーハ上に成膜を行うための反応室と、
前記反応室下部に設けられ、前記ウェーハを加熱するためのヒータと、
前記ウェーハを保持するための保持機構と、
前記保持機構と接続され、前記ウェーハを回転させるための回転機構と、
反応ガスを前記反応室内に導入するための反応ガス導入口と、
前記保持機構の上部に配置され、導入された前記反応ガスを通過させることにより断熱膨張させるための、ガス導入部が小さく、ガス放出部が大きい複数の開口部を有するシャワーヘッドを備えることを特徴とする熱CVD装置。 - 前記開口部は、釣鐘形状であることを特徴とする請求項3に記載の熱CVD装置。
- 前記シャワーヘッドは、中央部と周辺部で分割され、
前記中央部と前記周辺部は、それぞれ異なる圧力に制御可能であることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の熱CVD装置
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007079167A JP2008243938A (ja) | 2007-03-26 | 2007-03-26 | 熱cvd方法および熱cvd装置 |
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JP2007079167A JP2008243938A (ja) | 2007-03-26 | 2007-03-26 | 熱cvd方法および熱cvd装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015072989A (ja) * | 2013-10-02 | 2015-04-16 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 半導体製造装置および半導体製造方法 |
JP2016164994A (ja) * | 2011-03-18 | 2016-09-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 多レベルシャワーヘッド設計 |
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2007
- 2007-03-26 JP JP2007079167A patent/JP2008243938A/ja active Pending
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