JP2008238762A - Method and device for sticking photosensitive web - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置及び貼り付け方法に関する。 The present invention relates to a photosensitive web bonding apparatus and method for bonding a photosensitive web having at least a photosensitive material layer laminated on a support to the substrate such that the photosensitive material layer side faces the substrate.
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、PDPパネル用基板では、感光材料(感光性樹脂)層を有する感光性シート体(感光性ウエブ)を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。 For example, a liquid crystal panel substrate, a printed wiring substrate, and a PDP panel substrate are configured by attaching a photosensitive sheet (photosensitive web) having a photosensitive material (photosensitive resin) layer to the substrate surface. In the photosensitive sheet body, a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a flexible plastic support.
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。 In view of this, a pasting apparatus used for pasting this type of photosensitive sheet body usually transports substrates such as a glass substrate and a resin substrate spaced apart from each other by a predetermined interval, and also a photosensitive unit pasted on the substrate. In accordance with the range of the material layer, a method of peeling the protective film from the photosensitive sheet body is adopted.
例えば、特許文献1に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図10に示すように、フイルムロール1から繰り出される積層体フイルム(感光性シート体)1aは、ガイドロール2a、2bに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドロール2bには、積層体フイルム1aの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ3が取り付けられている。
For example, in the film sticking method and apparatus disclosed in
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム1aは、サクションロール4に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール2bと前記サクションロール4との間には、ハーフカッタ5とカバーフイルム剥離装置6とが設けられている。
A
ハーフカッタ5は、一対のディスクカッタ5a、5bを備えている。ディスクカッタ5a、5bは、積層体フイルム1aのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム1aのカバーフイルム(図示せず)をその裏側の感光性樹脂層(図示せず)と一体に切断する。
The
カバーフイルム剥離装置6は、粘着テープロール7から繰り出される粘着テープ7aを押圧ロール8a、8b間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール9によって巻き取る。これにより、カバーフイルムは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ7aと共に巻き取りロール9に巻き取られる。
The cover film peeling apparatus 6 winds the
サクションロール4の下流には、基板搬送装置10によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板11の上面に、積層体フイルム1aを重ねて圧着するラミネーションロール12a、12bが配設されている。このラミネーションロール12a、12bの下流側には、支持フイルム巻き取りロール13が配置されている。基板11に貼り付けられている透光性支持フイルム(図示せず)は、支持フイルム巻き取りロール13に巻き取られる。
Downstream of the
ところで、上記の特許文献1では、例えば、ラミネーションロール12aを回転駆動するとともに、ラミネーションロール12bを一定の圧力で従動させて、基板11と積層体フイルム1aとを加熱挟持してラミネートを行っている。
By the way, in
その際、基板11は、互いの重なりによる破損等を防止するために、一定の間隔だけ離間して積層体フイルム1aとラミネートされている。このため、基板11間に対応して、例えば、ラミネーションロール12bを下降させてラミネーションロール12aから離間させることにより、積層体フイルム1aだけを一定間隔に対応して搬送することが行われている。
At that time, the substrate 11 is laminated with the
ここで、ラミネーションロール12bでは、前記ラミネーションロール12b自体の加工精度や、該ラミネーションロール12bに内装されているヒータ(図示せず)による熱変形及び該ヒータ自体の構成等によって、回転バランスが崩れている場合が多い。
Here, in the
従って、ラミネーションロール12bを下降させる際に、このラミネーションロール12bが回転(自転)してしまう。このため、次にラミネートされる基板11がラミネート位置に搬送される一方、ラミネーションロール12bが上昇されると、前記ラミネーションロール12bの回転による摩擦力によって、前記基板11の位置が不安定になるという問題がある。これにより、基板11の所望の位置に対して積層体フイルム1aを正確に貼り付けることができず、貼り付け不良が惹起するという問題がある。
Therefore, when the
また、ラミネーションロール12bの下降時に発生する回転がなくなって、前記ラミネーションロール12bが停止するまで待機し、次なる基板11と積層体フイルム1aとのラミネートを行うことも考えられる。しかしながら、これにより、製造タクトが相当に長くなるとともに、前記積層体フイルム1a自体の熱重合性能に多大な影響を及ぼす等の問題がある。
It is also conceivable to wait until the rotation generated when the
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な構成及び工程で、高品質なラミネート処理を良好且つ効率的に遂行することが可能な感光性ウエブの貼り付け装置及び貼り付け方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves this type of problem, and provides a photosensitive web bonding apparatus and method capable of performing a high-quality laminating process satisfactorily and efficiently with a simple configuration and process. The purpose is to provide.
本発明は、支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置に関するものである。 The present invention relates to a photosensitive web attaching apparatus for attaching a photosensitive web having at least a photosensitive material layer laminated on a support to the substrate so that the photosensitive material layer side faces the substrate.
貼り付け装置は、感光性ウエブと基板とを挟持してラミネートするラミネートローラ対を備え、前記ラミネートローラ対は、回転駆動源に連結されて回転する駆動側ローラと、回転自在で且つ前記駆動側ローラに対して進退する従動側ローラとを有している。そして、従動側ローラには、ブレーキ機構が設けられ、前記ブレーキ機構は、少なくとも該従動側ローラが進退する際に、前記従動側ローラの回転を規制している。 The affixing device includes a laminating roller pair that sandwiches and laminates a photosensitive web and a substrate, and the laminating roller pair includes a driving side roller that is connected to a rotation driving source and rotates, and is rotatable and the driving side. And a driven roller that advances and retreats with respect to the roller. The driven roller is provided with a brake mechanism, and the brake mechanism restricts the rotation of the driven roller at least when the driven roller moves back and forth.
また、ブレーキ機構は、パウダーブレーキと、前記パウダーブレーキと従動側ローラとに装着されるベルト部材とを備えることが好ましい。 The brake mechanism preferably includes a powder brake and a belt member attached to the powder brake and the driven roller.
さらに、ブレーキ機構は、パウダーブレーキを進退可能に保持するスライド部と、前記パウダーブレーキを前記スライド部に沿って移動させることにより、従動側ローラに付与される制動力を調整するアクチュエータとを備えることが好ましい。 Furthermore, the brake mechanism includes a slide portion that holds the powder brake so that the powder brake can advance and retreat, and an actuator that adjusts the braking force applied to the driven roller by moving the powder brake along the slide portion. Is preferred.
さらにまた、アクチュエータは、少なくともシリンダ又はスプリングのいずれかを備えることが好ましい。 Furthermore, the actuator preferably includes at least either a cylinder or a spring.
また、本発明は、支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブと、基板とをラミネートローラ対により挟持することにより、前記感光性ウエブを前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け方法に関するものである。 In addition, the present invention provides a method for attaching a photosensitive web to which the photosensitive web is attached to the substrate by sandwiching the photosensitive web having at least a photosensitive material layer on the support and the substrate by a pair of laminating rollers. It is related to the attaching method.
貼り付け方法は、ラミネートローラ対を構成し、回転駆動源に連結されて回転する駆動側ローラと、回転自在で且つ前記駆動側ローラに対して進退する従動側ローラとにより、感光性ウエブ及び基板を挟持してラミネートする工程と、前記従動側ローラの回転を規制した状態で、前記従動側ローラを前記駆動側ローラから離間する方向に移動させる工程と、新たな基板が前記感光性ウエブに対応して配置されるとともに、回転規制されている前記従動側ローラを前記駆動側ローラに向かって移動させ、前記駆動側ローラと回転規制されている前記従動側ローラとにより前記新たな基板及び前記感光性ウエブを挟持する工程と、前記従動側ローラの回転規制を解除した後、前記駆動側ローラの回転作用下に前記新たな基板及び前記感光性ウエブのラミネートを行う工程とを有している。 The affixing method comprises a pair of laminating rollers, a driving side roller connected to a rotation driving source and rotating, and a driven side roller which is rotatable and moves back and forth with respect to the driving side roller. A step of moving the driven roller in a direction away from the driving roller while the rotation of the driven roller is restricted, and a new substrate corresponding to the photosensitive web The driven roller that is restricted in rotation is moved toward the driving roller, and the new substrate and the photosensitive member are moved by the driving roller and the driven roller that is restricted in rotation. A step of clamping the photosensitive web, and after releasing the rotation restriction of the driven side roller, the new substrate and the photosensitive web are rotated under the rotational action of the driving side roller. And a step of performing lamination.
本発明では、従動側ローラが進退する際に、ブレーキ機構の作用下に前記従動側ローラの回転が規制されている。そして、駆動側ローラと従動側ローラとにより基板及び感光性ウエブが挟持された後、ブレーキ機構による前記従動側ローラの回転規制が解除されている。 In the present invention, when the driven roller advances and retreats, the rotation of the driven roller is restricted under the action of the brake mechanism. Then, after the substrate and the photosensitive web are sandwiched between the driving side roller and the driven side roller, the rotation restriction of the driven side roller by the brake mechanism is released.
このため、従動側ローラが不要に回転(自転)して基板の位置ずれが惹起することを阻止し、前記基板を所望の位置に正確に配置することができ、貼り付け精度が有効に向上する。しかも、製造タクトが短縮され、製造作業全体の効率化が容易に遂行可能になるとともに、感光性ウエブの熱重合性能に影響を及ぼすことを阻止できる。 For this reason, it is possible to prevent the driven roller from rotating (spinning) unnecessarily and causing the positional deviation of the substrate, so that the substrate can be accurately arranged at a desired position, and the pasting accuracy is effectively improved. . In addition, the manufacturing tact time is shortened, the efficiency of the entire manufacturing operation can be easily performed, and the thermal polymerization performance of the photosensitive web can be prevented from being affected.
図1は、本発明の第1の実施形態に係る感光性積層体の製造システム(貼り付け装置)20の概略構成図である。この製造システム20は、液晶又は有機EL用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ22の感光性樹脂層28(後述する)をガラス基板24に熱転写(ラミネート)する作業を行う。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a photosensitive laminate manufacturing system (applying apparatus) 20 according to the first embodiment of the present invention. In the
図2は、製造システム20に使用される長尺状感光性ウエブ22の断面図である。この長尺状感光性ウエブ22は、可撓性ベースフイルム(支持体)26と、感光性樹脂層(感光材料層)28と、保護フイルム30とを積層して構成される。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the long
図1に示すように、製造システム20は、長尺状感光性ウエブ22をロール状に巻回した感光性ウエブロール23を収容し、前記感光性ウエブロール23から前記長尺状感光性ウエブ22を送り出し可能なウエブ送り出し機構32と、送り出された前記長尺状感光性ウエブ22に、保護フイルム30及び感光性樹脂層28の幅方向に切断可能な2個所の境界部分であるハーフカット部位34a、34b(図2参照)を形成する加工機構36と、一部に非接着部38aを有する接着ラベル38(図3参照)を前記保護フイルム30に接着させるラベル接着機構40とを備える。
As shown in FIG. 1, the
ラベル接着機構40の下流には、長尺状感光性ウエブ22をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構42と、前記長尺状感光性ウエブ22から保護フイルム30を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構44とが配設される。
Downstream of the
剥離機構44の下流には、ガラス基板24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構45と、保護フイルム30の剥離により露出した感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に一体的に貼り付ける貼り付け機構46と、基板間ウエブ切断機構48とが配設される。
Downstream of the
ウエブ送り出し機構32の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ22の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ22の先端とを貼り付ける貼り付け台49が配設される。貼り付け台49の下流には、感光性ウエブロール23の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器53が配設される。
In the vicinity of the downstream side of the
加工機構36は、ウエブ送り出し機構32に収容巻回されている感光性ウエブロール23のロール径を算出するためのローラ対50の下流に配置される。加工機構36は、距離M(図2参照)だけ離間した一対の丸刃52a、52bを備える。丸刃52a、52bは、長尺状感光性ウエブ22の幅方向に走行して、保護フイルム30の残存部分Bを挟んだ所定の2個所の位置にハーフカット部位34a、34bを形成する(図2参照)。
The
ハーフカット部位34a、34bは、少なくとも保護フイルム30及び感光性樹脂層28を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム26まで切り込むように丸刃52a、52bの切り込み深さが設定される。丸刃52a、52bは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ22の幅方向に移動してハーフカット部位34a、34bを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ22上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位34a、34bを形成する方式が採用される。
The half-
ハーフカット部位34a、34bは、感光性樹脂層28をガラス基板24に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板24の両端部からそれぞれ10mmずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板24間の保護フイルム30の残存部分Bは、後述する貼り付け機構46において感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
When the photosensitive resin layer 28 is attached to the
ラベル接着機構40は、ガラス基板24間に対応して保護フイルム30の残存部分Bを残すため、ハーフカット部位34b側の剥離部分Aとハーフカット部位34a側の剥離部分Aとを連結する接着ラベル38を供給する。
Since the
図3に示すように、接着ラベル38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム30と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部(微粘着を含む)38aを有するとともに、この非接着部38aの両側、すなわち、前記接着ラベル38の長手方向両端部に、前方の剥離部分Aに接着される第1接着部38bと、後方の剥離部分Aに接着される第2接着部38cとを有する。
As shown in FIG. 3, the
図1に示すように、ラベル接着機構40は、最大7枚の接着ラベル38を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド54a〜54gを備えるとともに、前記吸着パッド54a〜54gによる前記接着ラベル38の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ22を下方から保持するための受け台56が昇降自在に配置される。
As shown in FIG. 1, the
リザーバ機構42は、上流側の長尺状感光性ウエブ22のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ22の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ60を備える。
The
リザーバ機構42の下流に配置される剥離機構44は、長尺状感光性ウエブ22の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム62を備える。サクションドラム62の近傍には、剥離ローラ63が配置されるとともに、この剥離ローラ63を介して長尺状感光性ウエブ22から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム30は、残存部分Bを除いて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。
The
剥離機構44の下流側には、長尺状感光性ウエブ22にテンションを付与可能なテンション制御機構66が配設される。テンション制御機構66は、シリンダ68の駆動作用下にテンションダンサー70が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ22のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構66は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
A
基板供給機構45は、ガラス基板24を挟持するように配設される基板加熱部(例えば、ヒータ)74と、このガラス基板24を矢印Y方向に搬送する搬送部76と、前記ガラス基板24の後端部の停止位置を検出する停止位置検出センサ78とを備える。基板加熱部74では、ガラス基板24の温度を常時監視し、異常時には、搬送部76の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板24を後工程でNG排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部76には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板24が浮上されて矢印Y方向に搬送される。ガラス基板24の搬送は、ローラコンベアでも行える。
The
ガラス基板24の温度測定は、基板加熱部74内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式(例えば、熱電対)の他、非接触式であってもよい。
The temperature measurement of the
貼り付け機構46は、長尺状感光性ウエブ22とガラス基板24とを挟持してラミネートするラミネートローラ対80を備える。ラミネートローラ対80は、図4及び図5に示すように、回転駆動源であるモータ82に連結されて回転する駆動側ゴムローラ80aと、回転自在で且つ前記駆動側ゴムローラ80aに対して進退する従動側ゴムローラ80bとを有する。
The
駆動側ゴムローラ80a及び従動側ゴムローラ80bには、バックアップローラ84a、84bが摺接するとともに、前記バックアップローラ84bは、ローラクランプ部86を介して従動側ゴムローラ80bに押圧される。
図4に示すように、ローラクランプ部86は、駆動モータ88を備え、この駆動モータ88の駆動軸に連結された減速機90の駆動軸90aにボールねじ92が軸着される。ボールねじ92には、ナット部材94が螺合するとともに、このナット部材94は、スライドベース96に固定される。スライドベース96のウエブ幅方向(矢印Z方向)両端には、テーパカム97a、97bが固着される。テーパカム97a、97bの高さは、矢印Z1方向に向かって高くなるように設定される。テーパカム97a、97b上には、ローラ98a、98bが載置されており、このローラ98a、98bは、加圧シリンダ100a、100bの下部に保持される。
As shown in FIG. 4, the
加圧シリンダ100a、100bから上方に延在するロッド102a、102bには、支持板104a、104bが当接支持される。支持板104a、104bには、従動側ゴムローラ80b及びバックアップローラ84bの両端軸がベアリング(図示せず)等により回転自在に支持される。
図5に示すように、従動側ゴムローラ80bには、少なくとも前記従動側ゴムローラ80bが上下方向に進退する際に、前記従動側ゴムローラ80bの回転を規制するブレーキ機構106が設けられる。ブレーキ機構106は、基台108上に配置され、スライド部110を介して矢印C方向に進退自在なパウダーブレーキ112を備える。パウダーブレーキ112と従動側ゴムローラ80bとは、ベルト部材114を介して連結されており、前記パウダーブレーキ112は、前記従動側ゴムローラ80bに制動力が付与可能である。
As shown in FIG. 5, the driven-
基台108には、シリンダ(アクチュエータ)118が装着され、このシリンダ118から矢印C方向に延在するロッド118aは、パウダーブレーキ112に連結される。シリンダ118は、ロッド118aを矢印C1方向に付勢することにより、従動側ゴムローラ80bが昇降する際にも、パウダーブレーキ112と前記従動側ゴムローラ80bとに張り渡されているベルト部材114に一定のテンションを付与することができる。なお、スライド部110は、従動側ゴムローラ80bが上下方向に進退する際の軸間距離を調整する機能を有する。
A cylinder (actuator) 118 is mounted on the
図1に示すように、ガラス基板24は、貼り付け機構46から矢印Y方向に延在する搬送路120を介して搬送される。この搬送路120には、フイルム搬送ローラ122a、122b及び基板搬送ローラ124が配設される。駆動側ゴムローラ80a及び従動側ゴムローラ80bと基板搬送ローラ124との間隔は、ガラス基板24の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
As shown in FIG. 1, the
製造システム20では、ウエブ送り出し機構32、加工機構36、ラベル接着機構40、リザーバ機構42、剥離機構44及びテンション制御機構66が、貼り付け機構46の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構32から前記テンション制御機構66までを前記貼り付け機構46の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ22の上下が逆になって感光性樹脂層28をガラス基板24の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ22の搬送路を直線状に構成してもよい。
In the
製造システム20内は、仕切り壁160を介して第1クリーンルーム162aと第2クリーンルーム162bとに仕切られる。第1クリーンルーム162aと第2クリーンルーム162bとは、貫通部164を介して連通する。製造システム20は、制御部166を介して制御される。
The interior of the
このように構成される製造システム20の動作について、本実施形態に係る貼り付け方法との関連で説明する。
The operation of the
先ず、ウエブ送り出し機構32に取り付けられている感光性ウエブロール23から長尺状感光性ウエブ22が送り出される。長尺状感光性ウエブ22は、加工機構36に搬送される。
First, the long
加工機構36では、丸刃52a、52bが長尺状感光性ウエブ22の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ22を保護フイルム30から感光性樹脂層28乃至可撓性ベースフイルム26まで切り込む。これにより、保護フイルム30の残存部分Bの幅Mだけ離間するハーフカット部位34a、34bが形成され、長尺状感光性ウエブ22には、前記残存部分Bを挟んで前方の剥離部分Aと後方の剥離部分Aとが設けられる(図2参照)。
In the
次いで、長尺状感光性ウエブ22は、ラベル接着機構40に搬送されて、保護フイルム30の所定の貼り付け部位が受け台56上に配置される。ラベル接着機構40では、所定枚数の接着ラベル38が吸着パッド54b〜54gにより吸着保持される。そして、各接着ラベル38は、保護フイルム30の残存部分Bを跨いで、前方の剥離部分Aと後方の剥離部分Aとに一体的に接着される(図3参照)。
Next, the long
例えば、7枚の接着ラベル38が接着された長尺状感光性ウエブ22は、図1に示すように、リザーバ機構42を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構44に連続的に搬送される。剥離機構44では、長尺状感光性ウエブ22の可撓性ベースフイルム26がサクションドラム62に吸着保持されるとともに、保護フイルム30が残存部分Bを残して前記長尺状感光性ウエブ22から剥離される。この保護フイルム30は、剥離ローラ63を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる(図1参照)。
For example, as shown in FIG. 1, the long
剥離機構44の作用下に、保護フイルム30が残存部分Bを残して可撓性ベースフイルム26から剥離された後、長尺状感光性ウエブ22は、テンション制御機構66によってテンション調整が行われる。
Under the action of the
次いで、長尺状感光性ウエブ22は、貼り付け機構46に搬送されることで、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の熱転写処理(ラミネート)が行われる。貼り付け機構46では、予め駆動側ゴムローラ80a及び従動側ゴムローラ80bが離間した状態に設定されている。そして、駆動側ゴムローラ80a及び従動側ゴムローラ80b間の所定位置に、長尺状感光性ウエブ22のハーフカット部位34aが位置決めされた状態で、前記長尺状感光性ウエブ22の搬送が一旦停止される。
Next, the long
この状態で、図4に示すように、駆動モータ88に連結された減速機90の作用下にボールねじ92が所定方向に回転すると、このボールねじ92に螺合するナット部材94と一体的にスライドベース96が矢印Z2方向に移動する。このため、テーパカム97a、97bは、ローラ98a、98bとの接触面が高くなり、前記ローラ98a、98bを上方に変位させる。従って、加圧シリンダ100a、100bが上昇し、バックアップローラ84b及び従動側ゴムローラ80bを上昇させる。
In this state, as shown in FIG. 4, when the
これにより、駆動側ゴムローラ80a及び従動側ゴムローラ80b間には、ガラス基板24が所定のプレス圧力で挟み込まれる。その際、プレス圧力は、加圧シリンダ100a、100bのエア圧力により調整される。さらに、モータ82を介して駆動側ゴムローラ80aが回転することにより、ガラス基板24には、感光性樹脂層28が加熱溶融により熱転写(ラミネート)される。
As a result, the
なお、ラミネート条件としては、速度が1.0m/min〜10.0m/min、駆動側ゴムローラ80a及び従動側ゴムローラ80bの温度が80℃〜140℃、前記駆動側ゴムローラ80a及び前記従動側ゴムローラ80bのゴム硬度が40度〜90度、該駆動側ゴムローラ80a及び該従動側ゴムローラ80bのプレス圧(線圧)が50N/cm〜400N/cmである。
The laminating conditions include a speed of 1.0 m / min to 10.0 m / min, a temperature of the driving
ガラス基板24に対して長尺状感光性ウエブ22の一枚分のラミネートが終了すると、駆動側ゴムローラ80a及び従動側ゴムローラ80bの回転が停止される。一方、図1に示すように、長尺状感光性ウエブ22がラミネートされたガラス基板24である感光性積層体170の先端部は、基板搬送ローラ124によりクランプされる。このとき、駆動側ゴムローラ80a及び従動側ゴムローラ80b間の所定位置には、ハーフカット部位34bが配置される。
When the lamination of one long
そして、従動側ゴムローラ80bは、駆動側ゴムローラ80aから離間する方向に退避してクランプが解除される。具体的には、図4に示すように、駆動モータ88に連結された減速機90が前記とは逆方向に回転駆動され、ボールねじ92及びナット部材94を介してスライドベース96が矢印Z1方向に移動する。このため、テーパカム97a、97bは、ローラ98a、98bに接触する面の高さが低くなり、加圧シリンダ100a、100bが下降する。これにより、バックアップローラ84b及び従動側ゴムローラ80bが下降してクランプの解除が行われる。
Then, the driven-
次いで、図1に示すように、基板搬送ローラ124の回転が低速で再び開始される。感光性積層体170は、矢印Y方向に保護フイルム30の残存部分Bの幅Mに対応する距離だけ搬送され、次のハーフカット部位34aが駆動側ゴムローラ80aの下方付近の所定位置に搬送された後、駆動側ゴムローラ80aの回転が停止される。
Next, as shown in FIG. 1, the rotation of the
一方、前記の状態において、基板供給機構45を介して次なるガラス基板24が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、感光性積層体170が連続的に製造される。
On the other hand, in the above state, the
貼り付け機構46でラミネートされた感光性積層体170は、切断機構48によってガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22が切断されることで分離される。分離された感光性積層体170には、可撓性ベースフイルム26が装着されており、この可撓性ベースフイルム26がガラス基板24間の保護フイルム30とともに剥離された後、次の処理工程に供給される。
The
この場合、上記のラミネート処理工程では、図6に示すように、各ガラス基板24と長尺状感光性ウエブ22との貼り付け位置精度が予め設定されている。すなわち、ハーフカット部位34aは、各ガラス基板24の搬送方向先端部から距離S1だけ内方に離間した位置に設定されるとともに、ハーフカット部位34bは、各ガラス基板24の搬送方向後端部から内方に距離S2だけ離間した位置に設定される。さらに、長尺状感光性ウエブ22の幅方向両端部から各ガラス基板24の幅方向両端部までの距離S3が設定される。
In this case, in the above-described laminating process, as shown in FIG. 6, the accuracy of the bonding position between each
従って、各距離S1〜S3が、予め設定された範囲内に維持されるように、ラミネート処理を行うことが必要である。ハーフカット部位34a、34bがガラス基板24bからはみ出すと、長尺状感光性ウエブ22を前記ガラス基板24から剥離する際、前記長尺状感光性ウエブ22に塗布された材料が前記ガラス基板24の端面に付着するおそれがある。これにより、例えば、ガラス基板24の端面から糊がはみ出した状態になり、下流の露光工程や現像工程で塵埃等の付着による品質低下が惹起される。
Accordingly, it is necessary to perform the laminating process so that the distances S1 to S3 are maintained within a preset range. When the half-
そこで、第1の実施形態では、図5に示すように、回転自在で且つローラクランプ部86を介して駆動側ゴムローラ80aに対し進退可能な従動側ゴムローラ80bに、ブレーキ機構106が装着されている。
Therefore, in the first embodiment, as shown in FIG. 5, the
このため、図7に示すように、従動側ゴムローラ80bが、バックアップローラ84bと一体にローラクランプ部86を介して下降する際、この従動側ゴムローラ80bとパウダーブレーキ112とが、ベルト部材114を介して連結されており、前記パウダーブレーキ112の作用下に、前記従動側ゴムローラ80bの回転が規制されている。
Therefore, as shown in FIG. 7, when the driven
次いで、モータ82の作用下に、駆動側ゴムローラ80aが回転して長尺状感光性ウエブ22が矢印Y方向に送られるとともに、ガラス基板24が矢印Y方向に搬送される。そして、ガラス基板24の先端が従動側ゴムローラ80bに対応する位置に配置されると、前記従動側ゴムローラ80bが上昇する。
Next, under the action of the
従動側ゴムローラ80bには、パウダーブレーキ112による回転規制力(制動力)が作用しており、前記従動側ゴムローラ80bは、回転(自転)が抑制された状態で上昇し、ガラス基板24に押圧される(図5参照)。
The driven-
次に、図8に示すように、パウダーブレーキ112は、従動側ゴムローラ80bの回転規制を解除する。そこで、モータ82の駆動作用下に、駆動側ゴムローラ80aが回転駆動されることにより、前記駆動側ゴムローラ80aと従動側ゴムローラ80bとを介してガラス基板24に長尺状感光性ウエブ22がラミネート処理される。
Next, as shown in FIG. 8, the
これにより、第1の実施形態では、従動側ゴムローラ80bが進退動作する際に、この従動側ゴムローラ80b自体の偏心力によって回転することを確実に阻止することができる。従って、例えば、回転している従動側ゴムローラ80bが上昇してガラス基板24に接触することがなく、前記ガラス基板24の位置ずれを可及的に阻止して、前記ガラス基板24を所望の位置に正確に配置することが可能になる。このため、ガラス基板24と長尺状感光性ウエブ22との貼り付け精度が有効に向上するという効果が得られる。
Thereby, in 1st Embodiment, when the driven
しかも、従動側ゴムローラ80bを迅速に昇降動作させることができ、感光性積層体170の製造タクトが大幅に短縮される。従って、製造作業全体の効率化が容易に遂行可能になるとともに、長尺状感光性ウエブ22の熱重合性能を維持することができ、品質の低下を良好に阻止することが可能になるという利点がある。
In addition, the driven-
さらに、ブレーキ機構106は、パウダーブレーキ112を用いている。このため、ガラス基板24と従動側ローラ80bとの接触摩擦に応じて、ラミネート時に前記従動側ゴムローラ80bに適度な制動を与えることができる。これにより、長尺状感光性ウエブ22の貼り付け時の伸びや貼り付け面状を良好に制御することが可能になる。
Further, the
なお、第1の実施形態では、従動側ゴムローラ80bとパウダーブレーキ112とをベルト部材114により連結するとともに、このパウダーブレーキ112は、ばね116の弾発力によって前記従動側ゴムローラ80bから離間する方向に、すなわち、回転を規制する方向に押圧されているが、これに限定されるものではない。
In the first embodiment, the driven
例えば、パウダーブレーキ112を、ばね(図示せず)を介して、常時、矢印C1方向に付勢するように構成してもよい。また、従動側ゴムローラ80bの軸部に、直接、ブレーキ機構(図示せず)を取り付け、前記従動側ゴムローラ80bが昇降する際には、回転を規制する一方、ラミネート処理をする際には、回転規制を解除するように構成してもよい。
For example, you may comprise the
図9は、本発明の第2の実施形態に係る感光性積層体の製造システム(貼り付け装置)180の概略構成図である。なお、第1の実施形態に係る製造システム20と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
FIG. 9 is a schematic configuration diagram of a photosensitive laminate manufacturing system (sticking apparatus) 180 according to the second embodiment of the present invention. Note that the same components as those in the
製造システム180は、貼り付け機構46の下流に冷却機構182と、この冷却機構182の下流側に配置されるベース自動剥離機構184とを備える。冷却機構182は、ラミネートされた感光性積層体170に冷風を供給して冷却処理を施す。
The
ベース自動剥離機構184は、各ガラス基板24が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺な可撓性ベースフイルム26を連続して剥離するものであり、プレ剥離部186と、比較的小径な剥離ローラ188と、巻き取り軸190と、自動貼り付け機192とを備えている。
The automatic
巻き取り軸190は、駆動時にトルク制御して可撓性ベースフイルム26に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ188に張力検出器(図示せず)を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。プレ剥離部186は、ガラス基板24間で昇降可能な剥離バー194を備える。
The take-up
このように構成される第2の実施形態では、貼り付け機構46でラミネートされた感光性積層体170は、冷却機構182を通って冷却された後、プレ剥離部186に移送される。このプレ剥離部186では、剥離バー194が上昇することにより、保護フイルム30を隣接するガラス基板24の後端及び先端から剥離することができる。
In the second embodiment configured as described above, the
次いで、ベース自動剥離機構184では、巻き取り軸190の回転作用下に、感光性積層体170から可撓性ベースフイルム26が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された感光性積層体170の可撓性ベースフイルム26の先端と、巻き取り軸190に巻き取られている可撓性ベースフイルム26の後端とは、自動貼り付け機192を介して自動的に貼り付けられる。
Next, in the base
20、180…製造システム 22…感光性ウエブ
23…感光性ウエブロール 24…ガラス基板
26…可撓性ベースフイルム 28…感光性樹脂層
30…保護フイルム 32…ウエブ送り出し機構
34a、34b…ハーフカット部位 36…加工機構
44…剥離機構 45…基板供給機構
46…貼り付け機構 80…ラミネートローラ対
80a、80b…ゴムローラ 84a、84b…バックアップローラ
86…ローラクランプ部 88…駆動モータ
100a、100b…加圧シリンダ 106…ブレーキ機構
110…スライド部 112…パウダーブレーキ
114…ベルト部材 118…シリンダ
120…搬送路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 20,180 ...
Claims (5)
前記感光性ウエブと前記基板とを挟持してラミネートするラミネートローラ対を備え、
前記ラミネートローラ対は、回転駆動源に連結されて回転する駆動側ローラと、
回転自在で且つ前記駆動側ローラに対して進退する従動側ローラと、
を有し、
前記従動側ローラには、ブレーキ機構が設けられ、前記ブレーキ機構は、少なくとも該従動側ローラが進退する際に、前記従動側ローラの回転を規制することを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置。 A photosensitive web affixing device for affixing a photosensitive web having at least a photosensitive material layer laminated on a support to the substrate so that the photosensitive material layer side faces the substrate,
A laminate roller pair that sandwiches and laminates the photosensitive web and the substrate,
The laminating roller pair is connected to a rotation drive source and rotates on a driving side roller;
A driven roller that is rotatable and moves forward and backward with respect to the driving roller;
Have
The driven roller is provided with a brake mechanism, and the brake mechanism restricts the rotation of the driven roller at least when the driven roller advances and retreats. .
前記パウダーブレーキと前記従動側ローラとに装着されるベルト部材と、
を備えることを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置。 The pasting apparatus according to claim 1, wherein the brake mechanism includes a powder brake,
A belt member attached to the powder brake and the driven roller;
A photosensitive web pasting apparatus comprising:
前記パウダーブレーキを前記スライド部に沿って移動させることにより、前記従動側ローラに付与される制動力を調整するアクチュエータと、
を備えることを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置。 The pasting device according to claim 2, wherein the brake mechanism includes a slide portion that holds the powder brake so as to be able to advance and retreat.
An actuator for adjusting a braking force applied to the driven roller by moving the powder brake along the slide portion;
A photosensitive web pasting apparatus comprising:
前記ラミネートローラ対を構成し、回転駆動源に連結されて回転する駆動側ローラと、回転自在で且つ前記駆動側ローラに対して進退する従動側ローラとにより、前記感光性ウエブ及び前記基板を挟持してラミネートする工程と、
前記従動側ローラの回転を規制した状態で、前記従動側ローラを前記駆動側ローラから離間する方向に移動させる工程と、
新たな基板が前記感光性ウエブに対応して配置されるとともに、回転規制されている前記従動側ローラを前記駆動側ローラに向かって移動させ、前記駆動側ローラと回転規制されている前記従動側ローラとにより前記新たな基板及び前記感光性ウエブを挟持する工程と、
前記従動側ローラの回転規制を解除した後、前記駆動側ローラの回転作用下に前記新たな基板及び前記感光性ウエブのラミネートを行う工程と、
を有することを特徴とする感光性ウエブの貼り付け方法。 A method of attaching a photosensitive web, wherein the photosensitive web is attached to the substrate by sandwiching the substrate with a photosensitive web having at least a photosensitive material layer laminated on a support and a laminate roller pair,
The photosensitive web and the substrate are sandwiched between a driving side roller that constitutes the laminating roller pair and rotates by being connected to a rotational driving source and a driven side roller that is rotatable and advances and retreats with respect to the driving side roller. And laminating,
A step of moving the driven roller in a direction away from the driving roller in a state where the rotation of the driven roller is restricted;
A new substrate is arranged corresponding to the photosensitive web, and the driven roller that is restricted in rotation is moved toward the driving roller, and the driven side that is restricted in rotation with the driving roller. Sandwiching the new substrate and the photosensitive web with a roller;
After releasing the rotation restriction of the driven roller, laminating the new substrate and the photosensitive web under the rotating action of the driving roller;
A method for attaching a photosensitive web, comprising:
Priority Applications (1)
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JP2007086404A JP2008238762A (en) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | Method and device for sticking photosensitive web |
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CN117400524A (en) * | 2023-12-14 | 2024-01-16 | 江苏南晶红外光学仪器有限公司 | Optical glass surface film laminating equipment |
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2007
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