JP2008235806A - 光パルス発生装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】出力パルスのパルス幅が狭くなり、より加工等に適したレーザ光を発生させることが可能なパルス発生装置の提供。
【解決手段】Qスイッチにより光パルスを発生する装置であって、共振器内に、発生する光パルスの出力がピークを超えた後に、共振器内の損失を増加させる機構と、共振器内の利得を減少させる機構とのいずれか一方又は両方を有することを特徴とする光パルス発生装置。
【選択図】図2
【解決手段】Qスイッチにより光パルスを発生する装置であって、共振器内に、発生する光パルスの出力がピークを超えた後に、共振器内の損失を増加させる機構と、共振器内の利得を減少させる機構とのいずれか一方又は両方を有することを特徴とする光パルス発生装置。
【選択図】図2
Description
本発明は、Qスイッチを利用し、短いパルス幅の光パルスを発生させる装置に関する。本発明の光パルス発生装置は、例えば高いパワーを出力するファイバレーザ等を構成するのに好適である。
一般的なQスィツチの理論については、非特許文献1〜2に記載されているように、ジャイアントパルスを発生させる手段としてよく知られている。
また、Qスイッチを用いた光ファイバ型のパルス発生装置としては、例えば、特許文献1〜5に開示された装置が提案されている。
レーザとその応用,70−73頁,産報(1969) レーザ光学の基礎,112頁,オーム社(1988) 特開平5−83228号公報
特開2003−149697号公報
特開平5−347445号公報
特開平9−232655号公報
特開2005−183853号公報
また、Qスイッチを用いた光ファイバ型のパルス発生装置としては、例えば、特許文献1〜5に開示された装置が提案されている。
レーザとその応用,70−73頁,産報(1969) レーザ光学の基礎,112頁,オーム社(1988)
従来のQスイッチ法によるパルス発生装置において、発生するパルスは、共振器のQを0から急激に大きな値にするような操作を加えると、急峻にジャイアントパルスが立ち上がるが、出力光強度がピークに達した後は、いくぶんゆるやかに減衰し、パルスの形は対称とはならない。これは、理論的にも示されている(例えば非特許文献1「レーザとその応用」の73頁参照。)。
また、加工用ファイバレーザ等では、パルス発生装置で発生させたパルスを、さらに増幅するアンプを後段に設けた構成が知られている。このとき、パルスの幅が狭ければ、平均出力が等しいパルス幅の広いパルスと比較して、最終的に尖塔値の高いパルスを出力することができるようになるので、加工に使用するレーザにおいては有効である。しかし、パルス幅を狭くする際、Qスイッチ法により発生するパルスは、前述した通り、出力光強度がピークに達した後、いくぶん緩やかに減衰するため、パルス幅はいくぶん広くなる傾向にあり、パルス幅を狭くするいという課題に対しては不利になる。
本発明は、前記事情に鑑みてなされ、出力パルスのパルス幅が狭くなり、より加工等に適したレーザ光を発生させることが可能なパルス発生装置の提供を目的とする。
前記目的を達成するため、本発明は、Qスイッチにより光パルスを発生する装置であって、共振器内に、発生する光パルスの出力がピークを超えた後に、共振器内の損失を増加させる機構と、共振器内の利得を減少させる機構とのいずれか一方又は両方を有することを特徴とする光パルス発生装置を提供する。
本発明のパルス発生装置において、前記損失を増加させる機構が、光パルス出力レベルを測定し、出力の低下開始を検知したときに、共振器内の損失を増加させる機構であることが好ましい。
本発明のパルス発生装置において、前記利得を減少させる機構が、光パルス出力レベルを測定し、出力の低下開始を検知したときに、共振器内の利得を減少させる機構であることが好ましい。
本発明のパルス発生装置において、前記損失を増加させる機構が、Qスイッチ機構と同期したあらかじめ設定された時刻に共振器内の損失を増加させる機構であることが好ましい。
本発明のパルス発生装置において、前記利得を減少させる機構が、Qスイッチ機構と同期したあらかじめ設定された時刻に共振器内の利得を減少させる機構であることが好ましい。
本発明のパルス発生装置において、前記損失を増加させる機構が、共振器内に設けられた、光強度に応じて損失が変化する機能を持った部品であることが好ましい。
本発明によれば、出力パルスのパルス幅が狭くなり、より加工等に適したレーザ光を発生させることが可能なパルス発生装置を提供することができる。
図1に、光ファイバを用いたQスイッチ法によるパルス発生装置の一般的な構成を示す。図1中、符号101は励起用レーザダイオード(以下、励起LDと記す。)、102は励起光入力カプラ、103は希土類添加ファイバ、104は光アイソレータ、105は発振光出力カプラ、106はバンドパスフィルタ、107は音響光学素子モジュールである。このパルス発生装置は、リング型共振器を備え、励起LD101から励起光入力カプラ102を介して励起光をリング型共振器内に入力することで、光励起媒体である希土類添加ファイバ103のコアに添加された希土類イオンを励起し、図1においては反時計方向に光を周回させ、このリング型共振器内でレーザ発振すると共に、音響光学素子モジュール107をQスイッチとして動作させてパルス光を発振光出力カプラ105を通して取り出すように構成されている。このQスイッチ法によれば、出力光強度がピークに達した後、ゆるやかに出力が低下するため、結果として出力されるパルスのパルス幅が広くなるという問題がある。
本発明では、この問題を解決するために、出力光強度がピークに達した後に共振器内の損失を増加させる、あるいは共振器の利得を低下させる、あるいはその両方の効果により、出力光強度の低下を加速させる手段を提供する。
より具体的には、出力光強度検出機構を用いて、出力光強度がピークに達した後、共振器内の損失を増加、あるいは利得を低下させる機構をもたせる。
ここで、具体的な共振器内の損失を増加させる手段としては、共振器のQが0で有るときから、共振器のQを大きな値にし出力光強度がピークになるまでの間は、共振器内の損失を小さな値にし、出力光強度がピークになった後からは、共振器内の、損失が大きくなるように、可変光アッテネータや分岐比可変カプラへ与える電圧を変化させる方法が挙げられる。その装置構成を図2及び図3に例示する。
ここで、具体的な共振器内の損失を増加させる手段としては、共振器のQが0で有るときから、共振器のQを大きな値にし出力光強度がピークになるまでの間は、共振器内の損失を小さな値にし、出力光強度がピークになった後からは、共振器内の、損失が大きくなるように、可変光アッテネータや分岐比可変カプラへ与える電圧を変化させる方法が挙げられる。その装置構成を図2及び図3に例示する。
図2は、本発明のパルス発生装置の第1実施形態を示す図である。本実施形態のパルス発生装置は、励起LD201、リング型共振器を構成する励起光入力カプラ202、希土類添加ファイバ203、光アイソレータ204、発振光出力カプラ205、バンドパスフィルタ206及び音響光学素子モジュール207の各構成要素については、図1に示す一般的な光パルス発生装置のそれぞれの構成要素と同様であるが、発振光出力カプラ205の下流側光伝送路に光出力モニタ用カプラ208を設け、出力光の一部を分岐してO/E変換器209に送り、ここで検出した光出力データを制御電気回路210に送り、出力光強度がピークになった後に、リング型共振器内の光アイソレータ204と発信光出力カプラ205との間に設けた可変光アッテネータ211に信号を発して、リング型共振器内の損失を増加させるように構成されている。
図3は、本発明のパルス発生装置の第2実施形態を示す図である。本実施形態のパルス発生装置は、励起LD301、リング型共振器を構成する励起光入力カプラ302、希土類添加ファイバ303、光アイソレータ304、発振光出力カプラ305、バンドパスフィルタ306及び音響光学素子モジュール307の各構成要素については、図1に示す一般的な光パルス発生装置のそれぞれの構成要素と同様であるが、発振光出力カプラ205の下流側光伝送路に光出力モニタ用カプラ308を設け、出力光の一部を分岐してO/E変換器309に送り、ここで検出した光出力データを制御電気回路310に送り、出力光強度がピークになった後に、リング型共振器内の光アイソレータ304と発信光出力カプラ305との間に設けた、無反射終端312を持つ分岐比可変カプラ311に信号を発して、リング型共振器内の損失を増加させるように構成されている。
発生させるパルスの幅がおおよそわかっている場合は、直接出力光強度を検知しなくとも、共振器のQを変化させるための機構と同期させ、ある一定のタイミングで共振器内の損失を上げることも可能である。その装置構成を図4に例示する。
図4は、本発明のパルス発生装置の第3実施形態を示す図である。本実施形態のパルス発生装置は、励起LD401、リング型共振器を構成する励起光入力カプラ402、希土類添加ファイバ403、光アイソレータ404、発振光出力カプラ405、バンドパスフィルタ406及び音響光学素子モジュール407の各構成要素については、図1に示す一般的な光パルス発生装置のそれぞれの構成要素と同様であるが、音響光学素子モジュール407の駆動を制御すると共に、ある一定のタイミングでリング型共振器内の光アイソレータ404と発信光出力カプラ405との間に設けた可変光アッテネータ409にリング型共振器内の損失を増加させるように信号を発する制御電気回路408を設けた構成になっている。本実施形態のパルス発生装置は、共振器のQを変化させるための音響光学素子モジュール407と同期させ、出力光強度がピークになった後の所定のタイミングで共振器内の損失を上げることができる。
なお、損失を増加させる手段として、音響光学素子モジュールなどの開閉状態がデジタル的に変化する部品を利用してもかまわないが、損失を段階的に変化させることができる部品を使用するほうが、出力パルスの波長を制御しやすいので好ましい。
また、出力光強度がピークに達した後に、利得が低下するような機構を設ける方法でも同様の効果が得られる。例えば、励起光源と共振器の間に可変光アッテネータを設ける方法や、励起光源自体をオフにする、という方法が考えられる。その装置構成を図5及び図6に例示する。
図5は、本発明のパルス発生装置の第4実施形態を示す図である。本実施形態のパルス発生装置は、励起LD501、リング型共振器を構成する励起光入力カプラ502、希土類添加ファイバ503、光アイソレータ504、発振光出力カプラ505、バンドパスフィルタ506及び音響光学素子モジュール507の各構成要素については、図1に示す一般的な光パルス発生装置のそれぞれの構成要素と同様であるが、発振光出力カプラ505の下流側光伝送路に光出力モニタ用カプラ508を設け、出力光の一部を分岐してO/E変換器509に送り、ここで検出した光出力データを制御電気回路510に送り、出力光強度がピークになった後に、励起LD501の出力側と励起光入力カプラ502との間に設けた可変光アッテネータ511に信号を発して、リング型共振器内に入力される励起光を減じて利得を低下させるように構成されている。
図6は、本発明のパルス発生装置の第5実施形態を示す図である。本実施形態のパルス発生装置は、励起LD601、リング型共振器を構成する励起光入力カプラ602、希土類添加ファイバ603、光アイソレータ604、発振光出力カプラ605、バンドパスフィルタ606及び音響光学素子モジュール607の各構成要素については、図1に示す一般的な光パルス発生装置のそれぞれの構成要素と同様であるが、発振光出力カプラ605の下流側光伝送路に光出力モニタ用カプラ608を設け、出力光の一部を分岐してO/E変換器609に送り、ここで検出した光出力データを制御電気回路610に送り、出力光強度がピークになった後に、励起LD601に信号を発して、リング型共振器内に入力される励起光を減じて利得を低下させるように構成されている。
本発明のパルス発生装置において、共振器内の損失の増加と利得の低下の双方の機構をもたせてもかまわない。例えば、光ファイバを使用したリング型共振器の場合、励起光の導入部と増幅用ファイバの間に可変光アッテネータを設けることで、双方の機能を同時に持つこととなる。その装置構成を図7に例示する。
図7は、本発明のパルス発生装置の第6実施形態を示す図である。本実施形態のパルス発生装置は、励起LD701、リング型共振器を構成する励起光入力カプラ702、希土類添加ファイバ703、光アイソレータ704、発振光出力カプラ705、バンドパスフィルタ706及び音響光学素子モジュール707の各構成要素については、図1に示す一般的な光パルス発生装置のそれぞれの構成要素と同様であるが、発振光出力カプラ705の下流側光伝送路に光出力モニタ用カプラ708を設け、出力光の一部を分岐してO/E変換器709に送り、ここで検出した光出力データを制御電気回路710に送り、出力光強度がピークになった後に、励起光入力カプラ702と希土類添加ファイバ703との間に設けた可変光アッテネータ711に信号を発して、リング型共振器内の損失を増加させると共に、リング型共振器内に入力される励起光を減じて利得を低下させるように構成されている。
さらに、能動的に共振器内の損失を増加させるのでなく、出力光強度が低下した際に受動的に損失が増加する機構を持たせる手段もある。例えば、共振器内に過飽和吸収体を設ける方法などである。その装置構成を図8に例示する。
図8は、本発明のパルス発生装置の第7実施形態を示す図である。本実施形態のパルス発生装置は、励起LD801、リング型共振器を構成する励起光入力カプラ802、希土類添加ファイバ803、光アイソレータ804、発振光出力カプラ805、バンドパスフィルタ806及び音響光学素子モジュール807の各構成要素については、図1に示す一般的な光パルス発生装置のそれぞれの構成要素と同様であるが、光アイソレータ804と発振光出力カプラ805との間に過飽和吸収体808を設けた構成になっている。この過飽和吸収体808は、リング型共振器から出力される出力光強度がピークに達するまでは低損失状態を維持し、出力光強度が低下した際に受動的に損失が増加する機能を有している。
図2〜図8に例示した各実施形態は、リング型共振器に本発明を適用した例を示したが、本発明の適用はリング型に限定されるものではなく、ミラー型共振器を有するパルス発生装置についても適用が可能である。ミラー型共振器を備えたパルス発生装置の構成を図9に示す。
図9は、本発明のパルス発生装置の第8実施形態を示す図である。本実施形態のパルス発生装置は、全反射ファイバグレーティング907と部分透過ファイバグレーティング908との間に、全反射ファイバグレーティング907側から順に、音響光学素子モジュール906,バンドパスフィルタ905,励起LD901が結合された励起光入力カプラ、希土類添加ファイバ903,光アイソレータ904、可変光アッテネータ912を接続したミラー型共振器を有している。このミラー型共振器では、励起LD901から励起光入力カプラ902を介して希土類添加ファイバ903に励起光を入力することでレーザ発振を行い、音響光学素子モジュール906を用いたQスイッチ法により、部分透過ファイバグレーティング908からパルス光を出力できるようになっている。
さらに本実施形態の装置では、部分透過ファイバグレーティング908の下流側光伝送路に光出力モニタ用カプラ909を設け、出力光の一部を分岐してO/E変換器910に送り、ここで検出した光出力データを制御電気回路911に送り、出力光強度がピークになった後に、ミラー型共振器内の光アイソレータ904と部分透過ファイバグレーティング908との間に設けた可変光アッテネータ912に信号を発して、ミラー型共振器内の損失を増加させるように構成されている
以下、実施例により、本発明の効果を実証する。
以下、実施例により、本発明の効果を実証する。
図1〜図9に図示した構成のパルス発生装置を作製し、それぞれの装置について、表1に記したように、励起LDパワーを400mW、パルス周波数を20kHzとした条件で運転し、各装置からの出力光尖塔値及び出力光パルス幅を測定した。その結果を例1〜例9とし、表1に記す。
また、同じく図1〜図9に図示した構成のパルス発生装置を作製し、それぞれの装置について、表2に記したように、励起LDパワーを400mW、パルス周波数を10kHzとした条件で運転し、各装置からの出力光尖塔値及び出力光パルス幅を測定した。その結果を例10〜例18とし、表2に記す。
表1及び表2の結果から、本発明に係る例2〜例9及び例11〜例18のパルス発生装置では、従来例である例1及び例10と比べて、同等の出力光尖塔値が得られ、且つ出力光パルス幅を狭めることができた。
101,201,301,401,501,601,701,801,901…励起LD、102,202,302,402,502,602,702,802,902…励起光入力カプラ、103,203,303,403,503,603,703,803,903…希土類添加ファイバ、104,204,304,404,504,604,704,804,904…光アイソレータ、105,205,305,405,505,605,705,805…発振光出力カプラ、106,206,306,406,506,606,706,806,905…バンドパスフィルタ、107,207,307,407,507,607,707,807,906…音響光学素子モジュール、208,308,508,608,708,909…光出力モニタ用カプラ、209,309,509,609,709、910…O/E変換機、210,310,408,501,610,710,911…制御電気回路、211,409,511,711,912…可変光アッテネータ、311…分岐比可変カプラ、312…無反射終端、808…過飽和吸収体、907…全反射ファイバグレーティング、908…部分透過ファイバグレーティング。
Claims (6)
- Qスイッチにより光パルスを発生する装置であって、共振器内に、発生する光パルスの出力がピークを超えた後に、共振器内の損失を増加させる機構と、共振器内の利得を減少させる機構とのいずれか一方又は両方を有することを特徴とする光パルス発生装置。
- 前記損失を増加させる機構が、光パルス出力レベルを測定し、出力の低下開始を検知したときに、共振器内の損失を増加させる機構であることを特徴とする請求項1に記載の光パルス発生装置。
- 前記利得を減少させる機構が、光パルス出力レベルを測定し、出力の低下開始を検知したときに、共振器内の利得を減少させる機構であることを特徴とする請求項1に記載の光パルス発生装置。
- 前記損失を増加させる機構が、Qスイッチ機構と同期したあらかじめ設定された時刻に共振器内の損失を増加させる機構であることを特徴とする請求項1に記載の光パルス発生装置。
- 前記利得を減少させる機構が、Qスイッチ機構と同期したあらかじめ設定された時刻に共振器内の利得を減少させる機構であることを特徴とする請求項1に記載の光パルス発生装置。
- 前記損失を増加させる機構が、共振器内に設けられた、光強度に応じて損失が変化する機能を持った部品であることを特徴とする請求項1に記載の光パルス発生装置。
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