JP2008235579A - プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - Google Patents
プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008235579A JP2008235579A JP2007073138A JP2007073138A JP2008235579A JP 2008235579 A JP2008235579 A JP 2008235579A JP 2007073138 A JP2007073138 A JP 2007073138A JP 2007073138 A JP2007073138 A JP 2007073138A JP 2008235579 A JP2008235579 A JP 2008235579A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma processing
- signal
- high frequency
- plasma
- processing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】真空容器101内にアンテナ102と電極103を配置し、これらに印加すべき高周波に例えば180°の位相差を与えるとともに、所定のデューティ比でオンオフするようにしたプラズマ処理装置において、位相コントローラ123を設け、オンオフの立ち上がりをフィードバック制御し、オンオフの位相ズレが生じないようにしたもの。
【選択図】図1
Description
102:アンテナ
103:電極
104:ガス導入板
105:真空排気装置
106:コイル
107:ガス供給装置
108:プラズマ発生用高周波電源
109、111、114、116:整合器
110、115:Vpp 検出器
112:アンテナバイアス電源
113:静電チャック用電源
117:基板バイアス電源
118、119:位相フィードバック信号
120:位相差検出部
121:位相差信号
122:位相制御部
123:位相コントローラ
124、126:位相制御信号
125、127:変調出力同期信号
128:周波数及びオン・オフ設定信号
129:目標位相差設定信号
130:制御マイコン
131、132:変調出力位相同期制御信号
Claims (8)
- 真空容器内に配置され、その上面に処理対象のウェハが載せられる試料台と、この試料台内に配置され、高周波が供給される第1の電極と、前記真空容器内の前記試料台上方で前記ウェハに対向に配置され、高周波が供給される第2の電極と、前記試料台の周囲を囲んで配置され、接地された側壁とを備え、前記第1及び第2の電極間と前記側壁との間の空間にプラズマを形成するプラズマ処理装置であって、
前記第1の電極に高周波を供給する第1の電源と前記第2の電極に高周波を供給する第2の電源による夫々の高周波の位相を所定角度ずらす第1の信号と、前記夫々の高周波を変調させる第2の信号と、前記各々の高周波の変調出力の立ち上がりを同期させる第3の信号を発生する制御手段が設けられていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置において、
前記所定角度が180°であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1又は請求項2に記載のプラズマ処理装置において、
前記制御手段は、前記第1及び第2並びに第3の信号をアナログ信号及びデジタル信号のいずれかで発生させるものであることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1から請求項3の何れかに記載のプラズマ処理装置において、
前記第1の信号と前記第3の信号を前記第1と第2の電源に供給する信号線の各々の長さが等しいことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 真空容器内に配置され、内側壁が接地された処理室内にある試料台に処理対象のウェハを載置し、前記処理室内にプラズマを形成した後、前記試料台内の第1の電極及び前記真空容器内の前記試料台上方で前記ウェハに対向して配置された第2の電極に高周波を供給して、前記ウェハを処理するプラズマ処理方法であって、
前記第1と第2の電極に供給される各々の高周波の位相を所定の角度ずらす第1の手段と、前記各々の高周波を変調させる第2の手段と、前記各々の高周波の変調出力の立ち上がりを同期させる第3の手段とが備えられていることを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項5に記載のプラズマ処理方法において、前記第1の手段による前記所定の角度が180°であることを特徴とするプラズマ処理方法。
- 請求項5から請求項6の何れかに記載のプラズマ処理方法において、
前記第1の手段と第2の手段、それに第3の手段は、アナログ信号及びデジタル信号のいずれかにより信号を出力することを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項5から請求項7の何れかに記載のプラズマ処理方法において、
前記第1の手段から出力される信号と前記第3の手段から出力される信号の各々を伝送する信号線の長さが等しくされていることを特徴とするプラズマ処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007073138A JP5063154B2 (ja) | 2007-03-20 | 2007-03-20 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007073138A JP5063154B2 (ja) | 2007-03-20 | 2007-03-20 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008235579A true JP2008235579A (ja) | 2008-10-02 |
JP5063154B2 JP5063154B2 (ja) | 2012-10-31 |
Family
ID=39908026
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007073138A Expired - Fee Related JP5063154B2 (ja) | 2007-03-20 | 2007-03-20 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5063154B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20120009441A (ko) * | 2009-04-06 | 2012-01-31 | 램 리써치 코포레이션 | 변조된 멀티-주파수 처리 방법 |
KR101510775B1 (ko) * | 2008-11-24 | 2015-04-10 | 삼성전자주식회사 | 동기식 펄스 플라즈마 에칭 장비 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05205898A (ja) * | 1991-07-24 | 1993-08-13 | Tokyo Electron Yamanashi Kk | プラズマ処理装置 |
JPH1140544A (ja) * | 1997-07-18 | 1999-02-12 | Ulvac Japan Ltd | 反応性イオンエッチング装置 |
JP2002184766A (ja) * | 2000-09-12 | 2002-06-28 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置および方法 |
JP2004030931A (ja) * | 2002-06-21 | 2004-01-29 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ生成装置用高周波電源装置 |
JP2004111432A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP2006156530A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の制御方法 |
JP2006302924A (ja) * | 2005-04-15 | 2006-11-02 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 |
-
2007
- 2007-03-20 JP JP2007073138A patent/JP5063154B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05205898A (ja) * | 1991-07-24 | 1993-08-13 | Tokyo Electron Yamanashi Kk | プラズマ処理装置 |
JPH1140544A (ja) * | 1997-07-18 | 1999-02-12 | Ulvac Japan Ltd | 反応性イオンエッチング装置 |
JP2002184766A (ja) * | 2000-09-12 | 2002-06-28 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置および方法 |
JP2004030931A (ja) * | 2002-06-21 | 2004-01-29 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ生成装置用高周波電源装置 |
JP2004111432A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP2006156530A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の制御方法 |
JP2006302924A (ja) * | 2005-04-15 | 2006-11-02 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101510775B1 (ko) * | 2008-11-24 | 2015-04-10 | 삼성전자주식회사 | 동기식 펄스 플라즈마 에칭 장비 |
KR20120009441A (ko) * | 2009-04-06 | 2012-01-31 | 램 리써치 코포레이션 | 변조된 멀티-주파수 처리 방법 |
CN102388439A (zh) * | 2009-04-06 | 2012-03-21 | 朗姆研究公司 | 多频调整的处理方法 |
KR101690812B1 (ko) * | 2009-04-06 | 2016-12-28 | 램 리써치 코포레이션 | 변조된 멀티-주파수 처리 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5063154B2 (ja) | 2012-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7455174B2 (ja) | Rf発生器及び方法 | |
KR102038617B1 (ko) | 플라즈마 처리 방법 및 플라즈마 처리 장치 | |
JP5808697B2 (ja) | ドライエッチング装置及びドライエッチング方法 | |
KR20210019400A (ko) | 제어 방법 및 플라즈마 처리 장치 | |
TW202017043A (zh) | 電漿處理方法及電漿處理裝置 | |
JP4922705B2 (ja) | プラズマ処理方法および装置 | |
KR101938151B1 (ko) | 플라스마 처리 장치 및 플라스마 처리 방법 | |
TWI594322B (zh) | 電漿處理方法及電漿處理裝置 | |
US11094512B2 (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method | |
JP7000521B2 (ja) | プラズマ処理装置及び制御方法 | |
JP6976228B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5063154B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
KR101197023B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 | |
JP2001007089A (ja) | プラズマ処理方法及び装置 | |
JP5358364B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
US11908662B2 (en) | Device and method for tuning plasma distribution using phase control | |
KR20210113949A (ko) | 검사 방법 및 플라즈마 처리 장치 | |
JP2007012555A (ja) | プラズマ処理装置 | |
WO2023074816A1 (ja) | プラズマ処理装置、給電システム、制御方法、プログラム、及び記憶媒体 | |
JP4928816B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
JP2017123214A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2007115867A (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100128 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120515 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120710 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120731 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120807 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |