JP2008221444A - Gantry type xy stage - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To propose a gantry type XY stage which assures a stage surface with a wide width without bringing about an increase in width, and reduces flexure of a gantry beam. <P>SOLUTION: In the gantry section 4 of the gantry type XY stage 1, left and right supporting shafts 7L, 7R supporting the gantry beam 8 are supported by left and right supporting arms 6L, 6R overhanging outwards. The clearance between the supporting shafts 7L, 7R can be expanded to be wider than the width of a stage board 3. The movement range of a unit 9 sliding in an X-axis direction along the gantry section can be expanded, compared with that of a conventional portal-type gantry section. The effective span of the gantry beam 8 is shortened, therefore, the maximum flexural amount is reduced. This is advantageous for upsizing of the gantry type XY stage. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶パネルなどのフラットディスプレイパネルの検査、加工などを行う際に使用されるガントリー型ＸＹステージに関し、特に、装置寸法の増加、ガントリービームの撓み量の増加を招くことなくステージ面を広くできるように改良を図ったガントリー型ＸＹステージに関する。   The present invention relates to a gantry type XY stage used when inspecting and processing a flat display panel such as a liquid crystal panel, and in particular, the stage surface can be formed without causing an increase in apparatus dimensions and an increase in the amount of deflection of a gantry beam. The present invention relates to a gantry type XY stage that has been improved so that it can be widely used.

液晶パネルなどのフラットディスプレイパネルなどの検査、加工などを行うために、ガントリー型ＸＹステージが使用されている。ガントリー型ＸＹステージは、装置架台上に水平に支持されているステージ盤(定盤)の上面に水平な矩形のステージ面が形成されており、ガントリー部がステージ面に沿ってその長辺方向(Ｙ軸方向)にスライドするように取り付けられている。ガントリー部には、ステージ面に沿ってその短辺方向(Ｘ軸方向)にスライドするように検査ユニットなどのユニットが搭載される。ガントリー部およびユニットをＸＹの２軸方向に移動させることにより、ステージ面に載せたパネルの任意の位置にユニットを位置決めすることができる。このようなガントリー型ＸＹステージは、特許文献１、２に開示されている。
特開２００６−４９３８４号公報 特開２００５−６２１４８号公報 A gantry type XY stage is used to inspect and process a flat display panel such as a liquid crystal panel. The gantry-type XY stage has a horizontal rectangular stage surface formed on the upper surface of a stage board (surface plate) that is horizontally supported on the apparatus base, and the gantry section extends in the long side direction along the stage surface ( It is attached to slide in the Y-axis direction). A unit such as an inspection unit is mounted on the gantry so as to slide in the short side direction (X-axis direction) along the stage surface. By moving the gantry section and the unit in the XY biaxial directions, the unit can be positioned at an arbitrary position on the panel placed on the stage surface. Such gantry-type XY stages are disclosed in Patent Documents 1 and 2.
JP 2006-49384 A JP 2005-62148 A

近年においてはディスプレイの大型化に伴い液晶パネルなどのフラットディスプレイパネルも大型化しており、これに伴い、ガントリー型ＸＹステージも大型のものが要求されている。すなわち、大版のパネルの検査などを行うためには、それを載せることのできる広いステージ面を備えたガントリー型ＸＹステージが必要とされている。   In recent years, flat display panels such as liquid crystal panels have been enlarged with the increase in size of displays, and accordingly, a large gantry type XY stage is required. That is, in order to inspect a large-sized panel, a gantry type XY stage having a wide stage surface on which it can be placed is required.

ステージ面の幅および長さを広げるためには、ガントリー型ＸＹステージの幅および長さ寸法を増やす必要がある。この結果、製造コストの増加、重量の増加を招き、広い設置場所も必要になってしまう。特に、ステージ盤を大きくする必要があるので、製造コストおよび重量が増加してしまう。また、幅寸法が増加すると、トレーラに搭載して運搬することができないので、分解して搬送しなければならず極めて不便である。   In order to increase the width and length of the stage surface, it is necessary to increase the width and length of the gantry type XY stage. As a result, the manufacturing cost increases and the weight increases, and a large installation place is required. In particular, since it is necessary to enlarge the stage board, the manufacturing cost and weight increase. Further, when the width dimension increases, it cannot be mounted on the trailer and transported, so it must be disassembled and transported, which is extremely inconvenient.

一方、従来のガントリー型ＸＹステージは門型のガントリー部を備えており、検査ユニットなどのユニットがスライドするガントリービームは、その両端において支持シャフトによって両持ち状態で支持されている。この構造のガントリー部では、ユニットがガントリービームのスパン方向の中央に位置した状態において、ガントリービームの中央部分が大きく撓み、ユニットが両端側に移動するとガントリービームの撓み量が減少する。このようにユニットの移動、すなわち荷重移動によりガントリービームの撓み量が大きく変化する。また、ガントリー型ＸＹステージの大型化に伴ってガントリービームのスパンが長くなると、撓み量はスパンの三乗に比例して増加するので、その最大撓み量が大幅に増加してしまう。撓み量を低減するためにはガントリービームの剛性を高めるなどの対策が必要であり、このために、コスト高および重量増加を招くことになってしまう。   On the other hand, a conventional gantry-type XY stage has a gate-type gantry section, and a gantry beam on which a unit such as an inspection unit slides is supported in both ends by support shafts at both ends thereof. In the gantry portion having this structure, in the state where the unit is located at the center in the span direction of the gantry beam, the central portion of the gantry beam is greatly bent, and when the unit moves to both ends, the amount of bending of the gantry beam is reduced. In this way, the amount of deflection of the gantry beam greatly changes due to the movement of the unit, that is, the load movement. Further, if the span of the gantry beam becomes longer as the size of the gantry type XY stage increases, the amount of deflection increases in proportion to the third power of the span, so that the maximum amount of deflection greatly increases. In order to reduce the amount of deflection, it is necessary to take measures such as increasing the rigidity of the gantry beam, which leads to an increase in cost and weight.

本発明の課題は、このような点に鑑みて、幅寸法の増加を伴うことなく広幅のステージ面を確保することのできる構造のガントリー型ＸＹステージを提案することにある。   In view of the above, an object of the present invention is to propose a gantry-type XY stage having a structure capable of ensuring a wide stage surface without increasing the width dimension.

また、本発明の課題は、ガントリービームの撓みを抑制可能な構造のガントリー型ＸＹステージを提案することにある。   Another object of the present invention is to propose a gantry type XY stage having a structure capable of suppressing the deflection of the gantry beam.

図１を参照して説明すると、本発明のガントリー型ＸＹステージ１は、上面にステージ面２が形成されているステージ盤３と、ステージ面２に平行なＸ軸方向に沿って、当該ステージ面２を跨ぐ状態に架け渡されたガントリー部４と、ガントリー部４をステージ面２に平行でＸ軸に直交するＹ軸方向にスライド可能な状態で支持しているＹ軸リニアガイド５とを有している。また、ガントリー部４は、Ｙ軸リニアガイド５によって支持され、ステージ盤３のＸ軸方向の両側面３ａ、３ｂから外方に張り出している左右の支持アーム６Ｌ、６Ｒと、これら左右の支持アーム６Ｌ、６Ｒによって支持されている左右の支持シャフト７Ｌ、７Ｒと、左右の支持シャフト７Ｌ、７Ｒの間に架け渡されているガントリービーム８とを備えていることを特徴としている。ここで、左右の支持アーム６Ｌ、６Ｒは一般的にはＸ軸方向に張り出すようにすればよい。   Referring to FIG. 1, a gantry-type XY stage 1 of the present invention includes a stage board 3 having a stage surface 2 formed on the upper surface, and the stage surface along the X-axis direction parallel to the stage surface 2. 2 and a Y-axis linear guide 5 that supports the gantry unit 4 in a slidable state in the Y-axis direction parallel to the stage surface 2 and perpendicular to the X-axis. is doing. The gantry unit 4 is supported by a Y-axis linear guide 5 and protrudes outward from both side surfaces 3a and 3b in the X-axis direction of the stage board 3, and the left and right support arms. It is characterized by including left and right support shafts 7L and 7R supported by 6L and 6R, and a gantry beam 8 bridged between the left and right support shafts 7L and 7R. Here, the left and right support arms 6L and 6R may generally project in the X-axis direction.

本発明のガントリー型ＸＹステージ１では、ガントリービーム８の両端８ａ、８ｂを支持している支持シャフト７Ｌ、７Ｒが、ステージ盤３の両端３ａ、３ｂから外方に張り出した支持アーム６Ｌ、６Ｒによって支持されている。ガントリービーム８に沿ってＸ軸方向にスライドする検査ユニットなどのユニット９は左右の支持シャフト７Ｌ、７Ｒの間のＸ軸方向にスライド可能である。外方に張り出している左右の支持アーム６Ｌ、６Ｒによって左右の支持シャフト７Ｌ、７Ｒを支持しているので、左右の支持シャフト７Ｌ、７Ｒの間隔を、ステージ盤３の幅寸法と同一、あるいはそれ以上に広げることができる。   In the gantry type XY stage 1 of the present invention, support shafts 7L and 7R supporting both ends 8a and 8b of the gantry beam 8 are supported by support arms 6L and 6R projecting outward from both ends 3a and 3b of the stage board 3. It is supported. A unit 9 such as an inspection unit that slides in the X-axis direction along the gantry beam 8 is slidable in the X-axis direction between the left and right support shafts 7L and 7R. Since the left and right support shafts 7L and 7R are supported by the left and right support arms 6L and 6R projecting outward, the distance between the left and right support shafts 7L and 7R is the same as the width dimension of the stage board 3, or More than that.

これに対して、図２に示すように従来のガントリー型ＸＹステージ１１では、ステージ盤１３の上面に、門型のガントリー部１４がＹ軸リニアガイド１５Ｌ、１５ＲによってＹ軸方向にスライド可能な状態で支持されている。したがって、ガントリー部１４に沿ってＸ軸方向にスライド可能なユニット１９の移動範囲は、ステージ盤１３の幅寸法よりも狭い。   On the other hand, as shown in FIG. 2, in the conventional gantry type XY stage 11, the portal gantry section 14 is slidable in the Y axis direction by the Y axis linear guides 15L and 15R on the upper surface of the stage board 13. It is supported by. Therefore, the moving range of the unit 19 that can slide in the X-axis direction along the gantry portion 14 is narrower than the width dimension of the stage board 13.

したがって、本発明によれば、ステージ盤の上に左右の支持シャフトが支持されている従来の門型のガントリー部に比べて、当該ガントリー部に沿ってＸ軸方向にスライドする検査ユニットなどのユニットの移動範囲を広くすることができる。この結果、同一幅のステージ面を備えたステージ盤として従来よりも幅の狭いステージ盤を用いることができる。換言すると、同一幅のステージ盤を用いて従来よりも広幅のステージ面を形成することができる。   Therefore, according to the present invention, a unit such as an inspection unit that slides in the X-axis direction along the gantry portion as compared with the conventional portal gantry portion in which the left and right support shafts are supported on the stage board. Can be widened. As a result, a stage board having a narrower width than the conventional one can be used as a stage board having a stage surface of the same width. In other words, it is possible to form a stage surface wider than the conventional one using a stage board having the same width.

また、図３に示すように、本発明のガントリー部４では、その左右の支点(Ｙ軸リニアガイド５による支点)がガントリービーム８の両端よりも内側に位置している。したがって、ガントリービーム８の有効スパン長Ｌｅ(８)を実際のガントリービーム８の長さＬ(８)よりも短くできるので、その中央に荷重が作用した場合の最大撓み量Ａを小さくできる。よって、ステージ面を広げるためにガントリービームを長くする場合に、従来に比べてガントリービームの撓み量を少なくすることができる。また、荷重の移動に伴うガントリービーム８の撓み量の変動も抑制することができる。   Further, as shown in FIG. 3, in the gantry unit 4 of the present invention, the left and right fulcrums (fulcrum by the Y-axis linear guide 5) are located inside the both ends of the gantry beam 8. Accordingly, since the effective span length Le (8) of the gantry beam 8 can be made shorter than the actual length L (8) of the gantry beam 8, the maximum deflection amount A when a load acts on the center thereof can be reduced. Therefore, when the gantry beam is lengthened to widen the stage surface, the amount of deflection of the gantry beam can be reduced as compared with the conventional case. Moreover, the fluctuation | variation of the deflection amount of the gantry beam 8 accompanying the movement of a load can also be suppressed.

次に、本発明では、図１に示すように、支持アーム６Ｌ、６Ｒにおけるステージ盤３の両側面３ａ、３ｂから外方に張り出している張り出し部分の下側、すなわち、左右の支持シャフト７Ｌ、７Ｒの下方の部位に、ガントリー部４およびステージ盤３の間を連結しているケーブル１０が配置されている。   Next, in the present invention, as shown in FIG. 1, the lower side of the projecting portion of the support arms 6L, 6R projecting outward from the both side surfaces 3a, 3b of the stage board 3, that is, the left and right support shafts 7L, A cable 10 connecting between the gantry unit 4 and the stage board 3 is disposed at a site below 7R.

従来においては、図２に示すように、ステージ盤１３の側方にケーブル２０が配置されており、ガントリー型ＸＹテーブル１１の幅寸法はステージ盤１３の幅寸法にケーブル２０の幅寸法を加えた寸法となっていた。   Conventionally, as shown in FIG. 2, the cable 20 is arranged on the side of the stage board 13, and the width dimension of the gantry type XY table 11 is obtained by adding the width dimension of the cable 20 to the width dimension of the stage board 13. It was a dimension.

本発明では、左右に張り出した支持アーム６Ｌ、６Ｒの下側の空間を利用してケーブル１０を配置している。すなわち、従来におけるケーブル２０の設置スペースを利用して左右の支持アーム６Ｌ、６Ｒを設置している。したがって、左右に張り出した支持アーム６Ｌ、６Ｒによってガントリー型ＸＹステージ１の幅寸法が増加することを抑制あるいは回避できる。換言すると本発明のガントリー型ＸＹステージでは、当該ガントリー型ＸＹステージのＸ軸方向における最大幅寸法が、ガントリー部のＸ軸方向の幅寸法によって規定されることになる。従来に比べて、幅寸法の増加を抑制でき、また、従来よりも幅寸法を縮小することも可能になる。   In the present invention, the cable 10 is arranged using the space below the support arms 6L, 6R projecting left and right. That is, the left and right support arms 6L and 6R are installed using the conventional installation space of the cable 20. Therefore, it is possible to suppress or avoid an increase in the width dimension of the gantry type XY stage 1 due to the support arms 6L and 6R projecting to the left and right. In other words, in the gantry-type XY stage of the present invention, the maximum width dimension in the X-axis direction of the gantry-type XY stage is defined by the width dimension in the X-axis direction of the gantry part. Compared with the prior art, an increase in the width dimension can be suppressed, and the width dimension can be reduced as compared with the prior art.

次に、図１に示すように、ガントリー部４を支持しているＹ軸リニアガイド５として、ステージ面のＸ軸方向の両側の部位において、左右の支持アームをそれぞれ支持している左右のＹ軸リニアガイド５Ｌ、５Ｒを用いる場合には、左右の支持アームの間に、Ｘ軸方向に沿って、連結プレート８Ａを架け渡しておいてもよい。   Next, as shown in FIG. 1, left and right Y supporting left and right support arms are respectively supported at portions on both sides in the X-axis direction of the stage surface as Y-axis linear guides 5 supporting the gantry unit 4. When the shaft linear guides 5L and 5R are used, the connecting plate 8A may be bridged between the left and right support arms along the X-axis direction.

本発明のガントリー型ＸＹステージのガントリー部は、ステージ盤の両側(Ｘ軸方向の端)から左右に張り出した支持アームを備え、これらの支持アームによって支持されている支持シャフトの間にガントリービームが架け渡された構造となっている。   The gantry section of the gantry type XY stage of the present invention includes support arms that protrude from the left and right sides (ends in the X-axis direction) of the stage board, and a gantry beam is supported between the support shafts supported by these support arms. It has a bridged structure.

この構造のガントリー部を採用することにより、ガントリービームに沿ってＸ軸方向に移動する検査ユニットなどのユニットの移動範囲を広くすることができ、ステージ盤の上面を有効利用できる。したがって、ステージ盤の上面に広いステージ面を確保することが可能になるので、全体の幅寸法の増加を招くことなく幅の広いパネルの検査などを行うことのできる幅広のステージ面を備えたガントリー型ＸＹステージを実現できる。   By adopting the gantry portion having this structure, the movement range of a unit such as an inspection unit that moves in the X-axis direction along the gantry beam can be widened, and the upper surface of the stage board can be effectively used. Therefore, it becomes possible to secure a wide stage surface on the upper surface of the stage board, so that a gantry having a wide stage surface capable of inspecting a wide panel without causing an increase in the overall width dimension. A type XY stage can be realized.

また、ガントリービームの撓み量を小さくすることができるので、本発明は、長いガントリービームが必要とされる大型のガントリー型ＸＹステージを実現するために極めて有効である。   Further, since the amount of deflection of the gantry beam can be reduced, the present invention is extremely effective for realizing a large gantry type XY stage that requires a long gantry beam.

図４は本発明を適用したガントリー型ＸＹステージの実施の形態を示す斜視図であり、図５(ａ)〜(ｃ)はその平面図、側面図および正面図である。また、図６(ａ)〜(ｄ)はそのガントリー部のみを取り出して示す平面図、正面図、側面図および底面図である。   FIG. 4 is a perspective view showing an embodiment of a gantry-type XY stage to which the present invention is applied, and FIGS. 5A to 5C are a plan view, a side view and a front view thereof. FIGS. 6A to 6D are a plan view, a front view, a side view, and a bottom view showing only the gantry portion taken out.

本実施の形態に係るガントリー型ＸＹステージ３０は、大版の液晶パネルの検査などに使用するためのものである。このガントリー型ＸＹステージ３０は、装置架台３１と、この上に水平に支持されている矩形のステージ盤(定盤)３３と、ステージ盤３３によってスライド可能な状態で支持されているガントリー部３４と、このガントリー部３４にスライド可能な状態で搭載されている検査ユニット３９とを備えている。   The gantry type XY stage 30 according to the present embodiment is used for inspection of a large-sized liquid crystal panel. The gantry-type XY stage 30 includes an apparatus base 31, a rectangular stage board (surface plate) 33 supported horizontally on the apparatus base 31, and a gantry section 34 supported in a slidable state by the stage board 33. And an inspection unit 39 mounted on the gantry 34 in a slidable state.

装置架台３１は、マトリクス状に配置した例えば９本の支柱４１と、これらを相互に連結している梁４２とを備えており、各支柱４１の頭部に防振(制振)マウント４３を介して、ステージ盤３３が水平に支持されている。ステージ盤３３は前後方向(Ｙ軸方向)に長い矩形形状をしており、その上面の両側部分には、それぞれ前後方向に平行に延びる一対の直線状のガイドレール４４が配置されている。左右のガイドレール４４の間が検査対象の液晶パネル(図示せず)を載せるための長方形のステージ面３２とされている。   The device mount 31 includes, for example, nine support columns 41 arranged in a matrix and beams 42 that connect them to each other. A vibration isolation (vibration suppression) mount 43 is attached to the head of each support column 41. The stage board 33 is supported horizontally. The stage board 33 has a rectangular shape that is long in the front-rear direction (Y-axis direction), and a pair of linear guide rails 44 extending in parallel in the front-rear direction are disposed on both side portions of the upper surface. A space between the left and right guide rails 44 is a rectangular stage surface 32 on which a liquid crystal panel (not shown) to be inspected is placed.

左右の一対のガイドレール４４の間には、これらと平行に延びる横方に開口した扁平な溝形断面のリニアモータ固定子４５が配置されている。また、リニアモータ固定子４５と一方のガイドレール４４の間には、ガントリー部３４のスライド位置を検出するためのリニアスケール４６が配置されている。   Between the pair of left and right guide rails 44, a linear motor stator 45 having a flat groove-shaped cross section that opens in a lateral direction and extends in parallel with the guide rails 44 is disposed. A linear scale 46 for detecting the slide position of the gantry 34 is disposed between the linear motor stator 45 and one guide rail 44.

ガントリー部３４は、左右の支持アーム３６Ｌ、３６Ｒと、これらによって支持されている左右の支持シャフト３７Ｌ、３７Ｒと、これら支持シャフト３７Ｌ、３７Ｒの間に架け渡されているガントリービーム３８とを備えている。左右の支持アーム３６Ｌ、３６Ｒは細長い矩形板形状のものであり、ステージ盤３３の上面の左右の端部において、ガイドレール４４の上からステージ盤３３の両側面３３ａ、３３ｂの側方(Ｘ軸方向の外方)に張り出している。   The gantry section 34 includes left and right support arms 36L and 36R, left and right support shafts 37L and 37R supported by the arms, and a gantry beam 38 spanned between the support shafts 37L and 37R. Yes. The left and right support arms 36L and 36R are in the shape of an elongated rectangular plate, and at the left and right ends of the upper surface of the stage board 33, the sides (X-axis) of the side surfaces 33a and 33b of the stage board 33 from the upper side of the guide rail 44. (Outward direction).

支持アーム３６Ｌ、３６Ｒの内端部裏面にはガイドレール４４に沿ってスライド自在な状態で当該ガイドレール４４に上側から装着されているスライダ４７が取り付けられている。これらガイドレール４４およびスライダ４７によってＹ軸ニリアガイド４８が構成されている。また、支持アーム３６Ｌ、３６Ｒの内端部裏面には、スライダ４７の間にリニアモータ可動子(図示せず)が取り付けられており、これがリニアモータ固定子４５の溝に差し込まれた状態に保持されている。これらリニアモータ固定子４５およびリニアモータ可動子によって、ガントリー部３４をＹ軸方向にスライドさせるためのＹ軸リニアモータが構成されている。   A slider 47 mounted on the guide rail 44 from above is attached to the back surfaces of the inner end portions of the support arms 36L and 36R so as to be slidable along the guide rail 44. The guide rail 44 and the slider 47 constitute a Y-axis niria guide 48. A linear motor movable element (not shown) is attached between the sliders 47 on the back surfaces of the inner end portions of the support arms 36L and 36R, and is held in a state where it is inserted into the groove of the linear motor stator 45. Has been. The linear motor stator 45 and the linear motor movable element constitute a Y-axis linear motor for sliding the gantry 34 in the Y-axis direction.

支持アーム３６Ｌ、３６Ｒにおけるステージ盤３３の両側面３３ａ、３３ｂから外方に張り出している部分の上面には垂直に矩形断面の支持シャフト３７Ｌ、３７Ｒが固定されている。これら支持シャフト３７Ｌ、３７Ｒによって、矩形断面形状のガントリービーム３８が、幅方向(Ｘ軸方向)に水平に延びる状態で支持されている。ガントリービーム３８の上面には、Ｘ軸方向に沿って２条のガイドレール５１が直線状に配置されている。また、ガイドレール５１の間には、横方に開口した溝形断面のリニアモータ固定子(図示せず)がＸ軸方向に沿って直線状に配置されている。また、リニアモータ固定子の側方には、検査ユニット３９のＸ軸方向のスライド位置を検出するためのリニアスケール(図示せず)も配置されている。   Support shafts 37L and 37R having a rectangular cross section are fixed vertically to the upper surfaces of the portions of the support arms 36L and 36R that protrude outwardly from both side surfaces 33a and 33b of the stage board 33. By these support shafts 37L and 37R, the gantry beam 38 having a rectangular cross section is supported in a state of extending horizontally in the width direction (X-axis direction). On the upper surface of the gantry beam 38, two guide rails 51 are linearly arranged along the X-axis direction. Between the guide rails 51, a linear motor stator (not shown) having a groove-shaped cross section that opens laterally is arranged linearly along the X-axis direction. A linear scale (not shown) for detecting the slide position of the inspection unit 39 in the X-axis direction is also arranged on the side of the linear motor stator.

検査ユニット３９はスライドベース６１に搭載されている。スライドベース６１の裏面には、ガイドレール５１に沿ってスライド自在の状態で当該ガイドレール５１に上側から装着されたスライダ６２が取り付けられている。これらガイドレール５１およびスライダ６２によってＸ軸リニアガイド６３が構成されており、Ｘ軸スライドベース６１はガントリービーム３８の上面に沿ってＸ軸方向にスライド可能である。また、スライドベース６１の裏面にはリニアモータ固定子の溝に差し込まれた状態に保持されたリニアモータ可動子(図示せず)が取り付けられている。これらリニアモータ固定子およびリニアモータ可動子によって、検査ユニット３９が搭載されているスライドベース６１をＸ軸方向にスライドさせるためのＸ軸リニアモータが構成されている。   The inspection unit 39 is mounted on the slide base 61. A slider 62 attached to the guide rail 51 from above is attached to the back surface of the slide base 61 so as to be slidable along the guide rail 51. These guide rails 51 and sliders 62 constitute an X-axis linear guide 63, and the X-axis slide base 61 can slide in the X-axis direction along the upper surface of the gantry beam 38. Further, a linear motor movable element (not shown) that is held in a state of being inserted into the groove of the linear motor stator is attached to the back surface of the slide base 61. The linear motor stator and the linear motor movable element constitute an X-axis linear motor for sliding the slide base 61 on which the inspection unit 39 is mounted in the X-axis direction.

ここで、ステージ盤３３の両側面３３ａ、３３ｂにおける後側の部分には、それらの下縁部分に沿って前後方向に一定の長さのケーブルガイド７１が水平に取り付けられている。このケーブルガイド７１の前端部と、左右に張り出している支持アーム３６Ｌ、３６Ｒの張り出し部分の裏面との間には、後方に扁平なＵ状に湾曲した状態に配置したケーブル７２が架け渡されている。   Here, a cable guide 71 having a fixed length in the front-rear direction is horizontally attached to the rear portions of the side surfaces 33a and 33b of the stage board 33 along the lower edge portions thereof. Between the front end portion of the cable guide 71 and the back surface of the projecting portion of the support arms 36L and 36R projecting to the left and right, a cable 72 arranged in a state of being bent in a flat U shape is bridged rearward. Yes.

(ガントリー部の別の構成例)
図７(ａ)〜(ｄ)は，ガントリー部の別の構成例を示す平面図、正面図、側面図および裏面図である。ここに示すガントリー部８０の基本構成は、図６に示すガントリー部３４と同様であるので、対応する部位には同一の符号を付してある。異なる点は、左右の支持アーム３６Ｌ、３６Ｒが、Ｘ軸方向に延びる１枚の細長い矩形板状の支持アーム８１から形成されていることである。この構造のガントリー部８０を、上記のガントリー部３４の代わりに用いることができ、当該ガントリー部３４を用いた場合と同様な作用効果を得ることができる。 (Another configuration example of the gantry section)
7A to 7D are a plan view, a front view, a side view, and a back view showing another configuration example of the gantry section. Since the basic configuration of the gantry unit 80 shown here is the same as that of the gantry unit 34 shown in FIG. 6, the corresponding parts are denoted by the same reference numerals. The difference is that the left and right support arms 36L, 36R are formed of one elongated rectangular plate-like support arm 81 extending in the X-axis direction. The gantry unit 80 having this structure can be used in place of the gantry unit 34 described above, and the same operational effects as when the gantry unit 34 is used can be obtained.

(その他の実施の形態)
上記の例においては、ガントリー部をＹ軸方向に案内するためにガイドレールを備えたリニアガイドを使用しているが、例えば、エアーベリングを備えた構成など、別の構成のリニアガイドを用いてもよいことは勿論である。 (Other embodiments)
In the above example, a linear guide provided with a guide rail is used to guide the gantry section in the Y-axis direction. For example, a linear guide having another configuration such as a configuration provided with air belling is used. Of course, it is also good.

また、ガントリー部をＹ軸方向に移動させるための駆動機構としてリニアモータを用いているが、リニアモータ以外の駆動機構を用いることもできる。例えば、通常のモータの回転力を、ガントリー部を直線移動させるための駆動力に変換するように駆動機構を構成することもできる。   Moreover, although the linear motor is used as a drive mechanism for moving the gantry section in the Y-axis direction, a drive mechanism other than the linear motor can be used. For example, the drive mechanism can be configured to convert a normal motor rotational force into a drive force for linearly moving the gantry unit.

本発明のガントリー型ＸＹステージの構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the gantry type XY stage of this invention. 従来のガントリー型ＸＹステージの構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the conventional gantry type XY stage. 本発明のガントリー部の撓み状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the bending state of the gantry part of this invention. 本発明を適用したガントリー型ＸＹステージの実施の形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows embodiment of the gantry type XY stage to which this invention is applied. (ａ)〜(ｃ)は図４のガントリー型ＸＹステージの平面図、側面図および正面図である。(a)-(c) is the top view of the gantry type XY stage of FIG. 4, a side view, and a front view. (ａ)〜(ｄ)は図４のガントリー部のみを取り出して示す平面図、正面図、側面図および底面図である。(a)-(d) is the top view, front view, side view, and bottom view which take out and show only the gantry part of FIG. (ａ)〜(ｄ)は図４のガントリー部の別の構成例を示す平面図、正面図、側面図および底面図である。(a)-(d) is the top view, front view, side view, and bottom view which show another structural example of the gantry part of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１、３０ ガントリー型ＸＹステージ
２、３２ ステージ面
３、３３ ステージ盤
３ａ、３ｂ、３３ａ、３３ｂ 側面
４、３４ ガントリー部
５、４８ Ｙ軸リニアガイド
６Ｌ、６Ｒ、３６Ｌ、３６Ｒ 支持アーム
７Ｌ、７Ｒ、３７Ｌ、３７Ｒ 支持シャフト
８、３８ ガントリービーム
８ａ、８ｂ 端部
９、３９ ユニット
１０、７２ ケーブル
３１ 装置架台
４１ 支柱
４２ 梁
４３ 防振マウント
４４ ガイドレール
４５ リニアモータ固定子
４６ リニアスケール
４７ スライダ
５１ ガイドレール
６１ スライドガイド
７１ ケーブルガイド
８０ ガントリー部
８１ 支持アーム 1, 30 Gantry type XY stage 2, 32 Stage surface 3, 33 Stage panel 3a, 3b, 33a, 33b Side surface 4, 34 Gantry part 5, 48 Y-axis linear guides 6L, 6R, 36L, 36R Support arms 7L, 7R, 37L, 37R Support shaft 8, 38 Gantry beam 8a, 8b End 9, 39 Unit 10, 72 Cable 31 Device base 41 Post 42 Beam 43 Anti-vibration mount 44 Guide rail 45 Linear motor stator 46 Linear scale 47 Slider 51 Guide rail 61 Slide guide 71 Cable guide 80 Gantry part 81 Support arm

Claims (5)

上面にステージ面が形成されているステージ盤と、
ステージ面に平行なＸ軸方向に沿って、当該ステージ面を跨ぐ状態に架け渡されたガントリー部と、
ガントリー部をステージ面に平行でＸ軸に直交するＹ軸方向にスライド可能な状態で支持しているＹ軸リニアガイドとを有し、
ガントリー部は、
Ｙ軸リニアガイドによって支持され、ステージ盤のＸ軸方向の両端から外方に張り出している左右の支持アームと、
これら左右の支持アームによって支持されている左右の支持シャフトと、
左右の支持シャフトの間に架け渡されているガントリービームとを備えていることを特徴とするガントリー型ＸＹステージ。 A stage board having a stage surface formed on the upper surface;
A gantry section spanned across the stage surface along the X-axis direction parallel to the stage surface;
A Y-axis linear guide that supports the gantry part in a slidable state in the Y-axis direction parallel to the stage surface and perpendicular to the X-axis,
The gantry department
Left and right support arms supported by a Y-axis linear guide and projecting outward from both ends in the X-axis direction of the stage board;
Left and right support shafts supported by these left and right support arms;
A gantry-type XY stage comprising a gantry beam spanned between left and right support shafts. 請求項１に記載のガントリー型ＸＹステージにおいて、
前記支持アームはＸ軸方向に張り出していることを特徴とするガントリー型ＸＹステージ。 In the gantry type XY stage according to claim 1,
A gantry-type XY stage characterized in that the support arm projects in the X-axis direction. 請求項１に記載のガントリー型ＸＹステージにおいて、
前記支持アームにおける前記ステージ盤の両側面から外方に張り出している張り出し部分の下側に、ガントリー部およびステージ盤の間を連結しているケーブルが配置されていることを特徴とするガントリー型ＸＹステージ。 In the gantry type XY stage according to claim 1,
A gantry-type XY characterized in that a cable connecting the gantry section and the stage board is disposed below the projecting portion of the support arm that projects outward from both side surfaces of the stage board. stage. 請求項１に記載のガントリー型ＸＹステージにおいて、
当該ガントリー型ＸＹステージのＸ軸方向における最大幅寸法が、ガントリー部のＸ軸方向の幅寸法によって規定されていることを特徴とするガントリー型ＸＹステージ。 In the gantry type XY stage according to claim 1,
A gantry-type XY stage characterized in that the maximum width dimension in the X-axis direction of the gantry-type XY stage is defined by the width dimension of the gantry section in the X-axis direction. 請求項１に記載のガントリー型ＸＹステージにおいて、
Ｙ軸リニアガイドは、ステージ面のＸ軸方向の両側の部において、左右の支持アームを支持している左右のＹ軸リニアガイドであり、
左右の支持アームの間には、Ｘ軸方向に沿って、連結プレートが架け渡されていることを特徴とするガントリー型ＸＹステージ。 In the gantry type XY stage according to claim 1,
The Y-axis linear guides are left and right Y-axis linear guides that support left and right support arms at both sides of the stage surface in the X-axis direction.
A gantry-type XY stage characterized in that a connecting plate is stretched between the left and right support arms along the X-axis direction.
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