JP2008217954A - 回折格子およびそれを用いた光学ヘッド装置 - Google Patents

Abstract

【課題】使用する材料の屈折率の調整が少なくて済む、回折効率の波長依存性の小さい２波長対応の回折格子およびそれを用いた光ヘッド装置を提供すること。
【解決手段】第１の光学多層膜１２によって第１の波長λ１の透過率を、第２の光学多層膜１５によって第２の波長λ２の透過率を制御して、位相変調型の回折と比較して、振幅変調型の回折を多く生じさせることで波長依存性の小さい回折格子１０を得ることができる。また、使用する低屈折率材料および高屈折率材料の屈折率に応じて、第１および第２の光学多層膜１２，１５の層数、各層の膜厚を決めることにより、第１および第２の波長の透過率を決めることができる。さらに、ガラス基板１と略同じ屈折率の第１および第２の透明材料１１，１４を用いるので使用する材料の屈折率の調整を少なくできる。
【選択図】図２

Description

本発明は、２波長対応の回折格子およびそれを用いた光学ヘッド装置に関する。

ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）、ＣＤ（Compact Disc）等の複数の光記録媒体に対応した光ヘッド装置では、光記録媒体に応じた波長のレーザ光を発光する半導体レーザが必要である。一方、複数の波長を発光可能な２波長用半導体レーザが開発されている。光ヘッド装置に２波長用半導体レーザを用いれば、光源としての半導体レーザの数が減り、光ヘッド装置が小型になる。
光ヘッド装置では、レーザ光を情報記録面のトラック上にトレースさせるために、レーザ光を分岐して利用する、いわゆるトラッキングを行っている。レーザ光を分岐するには回折格子が用いられる。その中で、２波長に対応したガラス基板の回折格子が知られている。２波長対応の回折格子は、第１の波長λ１のレーザ光を回折する第１の回折格子と、第２の波長λ２のレーザ光を回折する第２の回折格子とを、ガラス基板の両主面の夫々形成した構造を有している。ここで、第１の波長λ１のレーザ光と第２の波長λ２のレーザ光は、ガラス基板の両主面を通過するとき、第１の波長λ１のレーザ光は第２の回折格子でも回折し、第２の波長λ２のレーザ光は第１の回折格子でも回折してしまうので、ノイズ光が発生したり、光の利用効率が低下したりする。
また、回折効率の波長依存性を小さくするために、周期的な凸部を光学多層膜で形成し、その間の凹部を充填材によって充填した回折格子が知られている（特許文献１参照）。

特開２００３−１８５８１９号公報（３頁、図１）

しかしながら、特許文献１に記載された構成では、所望の光学特性を満足するように透明な充填材の屈折率を適宜１．５〜１．９の範囲で調整しなければならず、特に高屈折率の充填材に関しては適切な材料が少ない。
本発明の目的は、使用する材料の屈折率の調整が少なくて済む、回折効率の波長依存性の小さい２波長対応の回折格子およびそれを用いた光ヘッド装置を提供することにある。

本発明の回折格子は、透明基板の一方の主面に形成された第１の波長の光を回折する周期的な凹凸を有する第１の回折格子と、前記透明基板の他方の主面に形成された第２の波長の光を回折する周期的な凹凸を有する第２の回折格子とを備えた回折格子であって、前記第１の回折格子の凹凸は、低屈折率材料と高屈折率材料とが交互に積層された第１の光学多層膜と、前記透明基板と屈折率が同等の第１の透明材料とを前記透明基板の表面に交互に配置して形成し、前記第２の回折格子の凹凸は、低屈折率材料と高屈折率材料とが交互に積層された第２の光学多層膜と、前記透明基板と屈折率が同等の第２の透明材料とを前記透明基板の表面に交互に配置して形成したことを特徴とする。

この発明によれば、第１の光学多層膜によって第１の波長の透過率を、第２の光学多層膜によって第２の波長の透過率を制御して、位相変調型の回折と比較して、振幅変調型の回折を多く生じさせることで波長依存性の小さい回折格子が得られる。また、使用する低屈折率材料および高屈折率材料の屈折率に応じて、第１および第２の光学多層膜の層数、各層の膜厚を決めることにより、第１および第２の波長の透過率が決まる。さらに、透明基板と同じ屈折率の透明材料を用いるので使用する材料の屈折率の調整が少なくなる。
ここで、透明基板の屈折率と第１および第２の透明材料の屈折率が同等とは、透明材料の製造上および形成上のばらつきを考慮して、屈折率の差が５／１００までの屈折率は同等の屈折率に含まれるものとする。

本発明では、前記第１の光学多層膜は、前記第２の波長のレーザ光の透過率が前記第１の波長のレーザ光の透過率より高く、前記第２の光学多層膜は、前記第１の波長のレーザ光の透過率が前記第２の波長のレーザ光の透過率より高いのが好ましい。
この発明では、レーザ光において、回折効率の波長依存性のより小さい回折格子が得られる。

本発明では、前記第１の回折格子の前記第２の波長における位相差は、２πの整数倍であり、前記第２の回折格子の前記第１の波長における位相差は、２πの整数倍であるのが好ましい。
この発明では、第１の波長のレーザ光で回折が起こる第１の回折格子において、第１の光学多層膜を透過した第２の波長のレーザ光と第１の透明材料を透過した第２の波長のレーザ光の位相差が２πの整数倍なので、第１の回折格子で第２の波長のレーザ光の位相差変調型の回折が生じず、効率よく透過する。同様に、第２の回折格子においても第１の波長のレーザ光の回折が生じず、レーザ光の利用効率が向上する。

本発明では、前記第１の波長は７８５ｎｍであり、前記第２の波長は６６０ｎｍであるのが好ましい。
この発明では、ＣＤ用およびＤＶＤ用の２波長に対応した回折格子が得られる。

本発明では、前記低屈折率材料は、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、フッ化マグネシウムから選ばれる少なくとも１つ以上の材料であり、前記高屈折率材料は、二酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化セリウムから選ばれる少なくとも１つ以上の材料であるのが好ましい。
この発明では、光学多層膜形成用の材料として、光学的、機械的に安定した材料を使用するので耐久性に優れた回折格子が得られる。また、光学多層膜形成によく用いられる材料なので、屈折率調整の必要が少なくて済む。

本発明では、前記透明基板、前記第１および前記第２の透明材料は、二酸化ケイ素であるのが好ましい。
この発明では、透明基板と第１および第２の透明材料が同じ材料であるので、透明基板とそれぞれの透明材料との界面での屈折率差による反射が抑えられ、レーザ光の利用効率が高まる。

本発明の光ヘッド装置は、第１の波長λ１および第２の波長λ２の２つの光を出射する光源と、前記２つの光を光記録媒体に集光する対物レンズと、前記光記録媒体からの反射光を検出する光検出器とを備える光ヘッド装置であって、前記光源と前記対物レンズとの間の光路中に、上記に記載の回折格子が設置されていることを特徴とする。

この発明によれば、前述の効果を有する光ヘッド装置が得られる。

以下、本発明を具体化した実施形態、実施例および比較例について、図面に基づいて説明する。
なお、実施形態、実施例および比較例の図面において、同じ構成要素には同じ符号を付して説明する。

図１は、実施形態における光ヘッド装置１００の全体構成と光記録媒体９０とを示す側面図である。
光記録媒体９０に向かうレーザ光は実線（往路）で示され、光記録媒体９０からの戻るレーザ光は破線（復路）で示されている。

図１において、光ヘッド装置１００は、第１の波長λ１であるＣＤ用波長および第２の波長λ２であるＤＶＤ用波長のレーザ光を出射する光源としての２波長対応の半導体レーザ光源２０を備えている。
また、半導体レーザ光源２０から出射されたレーザ光を３ビーム（０次光と±１次光の３ビーム）に分岐するための回折格子１０を備えている。
さらに、半導体レーザ光源２０から出射されたレーザ光を平行光にするためのコリメータレンズ３０とレーザ光を直線偏光から円偏光へ変換する広帯域１／４波長板４０とハーフミラー５０と対物レンズ６０とフロントモニタ７０と光検出器としてのフォトディテクタ８０とを備えている。

半導体レーザ光源２０は、紙面に向かって左方向にレーザ光を出射するように配置されている。半導体レーザ光源２０は、ＣＤ用波長７８５ｎｍのレーザ光とＤＶＤ用波長６６０ｎｍのレーザ光とを出射することができる。レーザ光は、直線偏光の発散光である。
なお、出射されるレーザ光の波長はこれらの波長に限られない。例えば、ＣＤ用レーザ光として波長７８０ｎｍのレーザ光を出射してもよいし、ＤＶＤ用レーザ光として波長６５０ｎｍのレーザ光を出射してもよい。

回折格子１０は半導体レーザ光源２０から出射されるレーザ光の出射方向で最初の位置に配置されている。以下に、図２に基づいて回折格子１０について詳しく説明する。
図２は本実施形態における回折格子１０の概略拡大断面図である。レーザ光の入射方向と出射方向とを実線矢印で示した。
図２において、回折格子１０は透明基板であるガラス基板１と、レーザ光の入射面１３に形成されている凸部および凹部からなる第１の回折格子１７と、レーザ光の出射面１６に形成されている凸部および凹部からなる第２の回折格子１８とを備えている。第１の回折格子１７は第１の波長λ１である７８５ｎｍのレーザ光を回折し、第２の回折格子１８は第２の波長λ２である６６０ｎｍのレーザ光を回折する。第１の回折格子１７および第２の回折格子１８の格子数、格子ピッチや大きさ等は模式的に示してあり、実際とは異なる。

第１の回折格子１７の凹凸において、凸部は第１の透明材料１１で形成され、凹部は、低屈折率材料と高屈折率材料とが交互に積層された第１の光学多層膜１２で形成されている。
また、第２の回折格子１８の凹凸も、凸部は第２の透明材料１４で形成され、凹部は、低屈折率材料と高屈折率材料とが交互に積層された第２の光学多層膜１５で形成されている。光学多層膜の層数は模式的に示しており、実際の層数とは異なる。

第１の光学多層膜１２は、第２の波長λ２の透過率が第１の波長λ１の透過率より高いダイクロイックミラー膜である。
一方、第２の光学多層膜１５は、第１の波長λ１の透過率が第２の波長λ２の透過率より高いダイクロイックミラー膜である。
ダイクロイックミラー膜は、よく知られているものを使用することができる。低屈折率材料として、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、フッ化マグネシウム等から選ばれる一つまたは二つ以上の材料を用い、高屈折率材料として、二酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化セリウム等から選ばれる一つまたは二つ以上の材料を用いて、低屈折率材料と高屈折率材料とを交互に積層することによって得られる。光学多層膜の形成方法としては、真空蒸着法、スパッタ法などを挙げることができる。

第２の波長λ２のレーザ光が第１の回折格子１７を透過するとき、第１の光学多層膜１２を透過したレーザ光と第１の透明材料１１を透過したレーザ光との位相差は２πとなりレーザ光は回折しない。そして、第１の波長λ１のレーザ光が第２の回折格子１８を通過するとき、第２の光学多層膜１５を透過したレーザ光と第２の透明材料１４を透過したレーザ光との位相差は２πとなりレーザ光は回折しない。
ガラス基板１の屈折率が１．４６程度であれば、第１および第２の透明材料１１，１４として、略同等の屈折率である二酸化ケイ素を用いることができる。

図１において、コリメータレンズ３０、広帯域１／４波長板４０、ハーフミラー５０およびフロントモニタ７０は、半導体レーザ光源２０から出射されたレーザ光の進む方向に、回折格子１０に続いて順次配置されている。
ハーフミラー５０はその反射面が半導体レーザ光源２０から出射されたレーザ光の進む方向に対して４５°になるように配置されている。ハーフミラー５０から、紙面に対して上方向には対物レンズ６０が、紙面に対して下方向にはフォトディテクタ８０が配置されている。紙面に対して上下方向は、半導体レーザ光源２０から出射されたレーザ光の進む方向と直交する方向である。対物レンズ６０の上方向には光記録媒体９０が配置されている。

以下に、半導体レーザ光源２０から出射されたレーザ光の光路について光記録媒体９０を含めて説明する。光記録媒体９０には、ＤＶＤまたはＣＤを用いている。
図１において、半導体レーザ光源２０から出射されたレーザ光は、トラッキングのために、回折格子１０によって３ビームに分離されるが、図１では、説明を単純にするために１つの線（０次光）で光路を示してある。

回折格子１０を透過したレーザビームは、コリメータレンズ３０に向かい、コリメータレンズ３０で平行にされたレーザ光は、広帯域１／４波長板４０へ向かう。
広帯域１／４波長板４０では、レーザ光の直線偏光が円偏光に変換され、ハーフミラー５０に向かう。
ハーフミラー５０では、レーザ光の光量の１０％程度が透過し、フロントモニタ７０に向かう。フロントモニタ７０では、レーザ光の強度をモニタしており、その情報は半導体レーザ光源２０の電源等にフィードバックされる。

ハーフミラー５０では、レーザ光の光量の９０％程度が反射し、対物レンズ６０に向かう。対物レンズ６０によって、レーザ光は光記録媒体９０の光記録層に集光および結像される。記録、消去は、集光したレーザ光で行われる。

一方、再生の場合は、信号記録層に記録された信号に応じた反射光である戻りレーザ光は、光記録媒体９０で反射したときに往路のときとは逆回転の円偏光となって、行きの光路を逆に辿り、再び対物レンズ６０を透過し、ハーフミラー５０へと向かう。ハーフミラー５０を透過したレーザ光は、フォトディテクタ８０に向かう。フォトディテクタ８０では、光を検出し信号を読み取る。

以下に、実施形態の回折格子１０の回折特性を実施例を用いて具体的に説明する。また、比較例として透明材料のみで形成された回折格子を用いて説明する。
［実施例］
実施例の回折格子１０は以下の条件で形成した。
第１の回折格子１７については、第１の光学多層膜１２は、ガラス基板１上に酸化アルミニウムの層を２６８．５ｎｍ設け、その上に二酸化チタンの膜を９８．６ｎｍ、二酸化ケイ素の膜を１３９．６ｎｍ、二酸化チタンの膜を９１．２ｎｍ、二酸化ケイ素の膜を１５７．９ｎｍ、二酸化チタンの膜を８７．４ｎｍ、二酸化ケイ素の膜を１４７．５ｎｍ、二酸化チタンの膜を８３．９ｎｍ、二酸化ケイ素の膜を１５６．８ｎｍ、二酸化チタンの膜を９３．４ｎｍ、二酸化ケイ素の膜を１３０．２ｎｍ、二酸化チタンの膜を１０２．０ｎｍ、二酸化ケイ素の膜を１３９．６ｎｍ、二酸化チタンの膜を１１７．６ｎｍ、二酸化ケイ素の膜を６０．４ｎｍを順次積層し形成した。第１の光学多層膜１２の膜厚ｄ２は１８７４．５ｎｍであった。また、第１の透明材料１１として、二酸化ケイ素をガラス基板１上に膜厚ｄ１として２０００．０ｎｍ形成した。第１の回折格子１７は、ＣＤ用の波長である７８５ｎｍのレーザ光を回折する。

第２の回折格子１８については、第２の光学多層膜１５は、ガラス基板１上に酸化アルミニウムの層を１８８．５ｎｍ設け、その上に二酸化チタンの膜を５６．９ｎｍ設けた後に、二酸化ケイ素の膜を１００．４ｎｍ設け、その後、二酸化チタンの膜６２．６ｎｍと二酸化ケイ素の膜１０５．４を交互に４回繰り返して積層した。さらにその上に二酸化チタンの膜６２．６、二酸化ケイ素の膜８１．１ｎｍ、二酸化チタンの膜５０．１ｎｍ、二酸化ケイ素の膜４２．４ｎｍを順次積層し形成した。全体の膜厚ｄ４は１２５３．７ｎｍであった。また、第２の透明材料１４として、二酸化ケイ素をガラス基板１上に膜厚ｄ３として２２００．０ｎｍ形成した。第２の回折格子１８は、ＤＶＤ用の波長である６６０ｎｍのレーザ光を回折する。

図３は、第１の回折格子１７（ＣＤ用）での０次光と１次光の透過光量の波長依存性の例を示すグラフである。図４は、第２の回折格子１８（ＤＶＤ用）での０次光と１次光の透過光量の波長依存性の例を示すグラフである。図５は、第１の回折格子１７および第２の回折格子１８を透過したときの透過光量の波長依存性を示した図である。

図３において、ＣＤ用の第１の回折格子１７では、波長が７００ｎｍ以上で回折が起こり、０次光と１次光の光量が得られ、一方、ＤＶＤ用の波長である６６０ｎｍでは、回折は起こらず透過するのが分る。

図４において、ＤＶＤ用の第２の回折格子１８では、６００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲で回折が起こり、０次光と１次光の光量が得られ、一方、７５０ｎｍ以上では、回折は起こらず透過するのが分る。

図５は、回折格子１０全体としての回折効率の波長依存性の例を示すグラフである。図５において、ＣＤ用波長の第１の波長λ１である７８５ｎｍでは第１の回折格子１７だけに回折が起こり、ＤＶＤ用波長の第２の波長λ２である６６０ｎｍでは第２の回折格子１８だけに回折が起こり、６００ｎｍから８５０ｎｍ波長領域で０次光の光量が略一定になり、回折格子１０は２波長対応の回折格子として機能しているのが分る。

以下に、比較例についての説明をする。
［比較例］
図６は比較例における回折格子２００の概略拡大断面図である。レーザ光の入射方向と出射方向とを実線矢印で示した。
図６において、ガラス基板１のレーザ光の入射面１３上に、ＣＤ用回折格子１１０として、二酸化ケイ素の厚さｄ５を２７７０ｎｍとして形成し、レーザ光の出射面１６上に、ＤＶＤ用回折格子１４０として、二酸化ケイ素の厚さｄ６を３４２０ｎｍとして形成した。

図７は、ＣＤ用回折格子１１０での０次光と１次光の透過光量の波長依存性を示すグラフである。図８は、ＤＶＤ用回折格子１４０での０次光と１次光の透過光量の波長依存性を示すグラフである。図９は、ＤＶＤおよびＣＤ用回折格子を透過したときの透過光量の波長依存性を示すグラフである。

図７において、ＣＤ用回折格子１１０では、６６０〜８５０ｎｍで回折が起こり、７８５ｎｍで０次光と１次光の光量が略同じ光量で得られ、一方、ＤＶＤ用の波長である６６０ｎｍでは、回折は起こらず透過するのが分る。

図８において、ＤＶＤ用回折格子１４０では、６００〜７７０ｎｍで回折が起こり、６６０ｎｍ付近で１次光の光量が多く得られ、一方、ＣＤ用の波長である７８５ｎｍ付近では、回折せずに透過しているのが分る。

図９において、ＣＤ用波長の第１の波長λ１である７８５ｎｍではＣＤ用回折格子１１０だけに回折が起こり、ＤＶＤ用波長の第２の波長λ２である６６０ｎｍではＤＶＤ用回折格子１４０だけに回折が起こり、７３０ｎｍ付近をピークとして０次光の光量は最大となり、６６０ｎｍから８５０ｎｍの波長領域で０次光の光量は大きく変化しており、一定の値でないことが分る。

第１の回折格子１７および第２の回折格子１８の凹凸の形成方法としては、基板の表面をエッチングして凹部を形成する方法や蒸着、スパッタ等によって基板の表面に凸部を形成する方法などがある。

実施例と比較例の結果から、実施形態の回折格子１０は、比較例の回折格子２００と比較して、回折効率の波長依存性が小さいことが確認できた。

本実施形態によれば、以下の効果がある。
（１）第１の光学多層膜１２によって第１の波長λ１の透過率を、第２の光学多層膜１５によって第２の波長λ２の透過率を制御して、位相変調型の回折と比較して、振幅変調型の回折を多く生じさせることで波長依存性の小さい回折格子１０を得ることができる。また、使用する低屈折率材料および高屈折率材料の屈折率に応じて、第１および第２の光学多層膜１２，１５の層数、各層の膜厚を決めることにより、第１および第２の波長の透過率を決めることができる。さらに、ガラス基板１と略同じ屈折率の第１および第２の透明材料１１，１４を用いるので使用する材料の屈折率の調整を少なくできる。

（２）第１の波長λ１のレーザ光で回折が起こる第１の回折格子１７において、第１の光学多層膜１２を透過した第２の波長λ２のレーザ光と第１の透明材料１１を透過した第２の波長λ２のレーザ光の位相差が２πの整数倍なので、第１の回折格子１７で第２の波長λ２のレーザ光の位相変調型の回折が生じず、効率よく透過する。同様に、第２の回折格子１８においても第１の波長λ１のレーザ光の回折が生じず、レーザ光の利用効率を向上できる。

（３）ＣＤ用およびＤＶＤ用の２波長に対応した回折格子１０が得られる。

（４）光学多層膜形成用の材料として、光学的、機械的に安定した材料を使用するので耐久性に優れた回折格子１０を得ることができる。また、光学多層膜形成によく用いられる材料なので、屈折率調整の必要を少なくできる。

（５）ガラス基板１と第１および第２の透明材料１１，１４が同じ材料であるので、ガラス基板１と第１および第２の透明材料１１，１４との界面での反射が抑えられ、レーザ光の利用効率を高めることができる。

（６）前述の効果を有する光ヘッド装置１００を得ることができる。

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、ガラス基板１は一枚からなるものでなくてもよく、第１の回折格子１７が形成されたガラス基板と、第２の回折格子１８が形成されたガラス基板が貼り合わされたものであってもよい。
また、透明基板は、水晶基板、その他使用する波長帯で透明な基板であってもよい。
さらに、レーザ光は、ＤＶＤ用の６６０ｎｍとＣＤ用の７８５ｎｍの波長のレーザ光を用いて実施例を説明したが、波長はこれに限らず、ＨＤ−ＤＶＤあるいはBlu-ray Disc用の４００ｎｍ〜４５０ｎｍ付近の波長のレーザ光であってもよい。

また、本発明を実施するための最良の方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態、実施例および比較例に関して説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態等に対し、使用する材料、形状、数量その他の詳細な事項において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。したがって、上記に開示した材料、形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの材料、形状、数量などの限定の一部もしくは全部の限定を外した記載は、本発明に含まれるものである。

本実施形態における光ヘッド装置の全体構成と光記録媒体とを示す側面図。 本発明の実施形態における回折格子の概略拡大断面図。 第１の回折格子での０次光と１次光の透過光量の波長依存性を示す図。 第２の回折格子での０次光と１次光の透過光量の波長依存性を示す図。 第１の回折格子および第２の回折格子を透過したときの透過光量の波長依存性を示した図。 比較例での回折格子の概略拡大断面図。 比較例のＣＤ用回折格子での０次光と１次光の透過光量の波長依存性を示す図。 比較例のＤＶＤ用回折格子での０次光と１次光の透過光量の波長依存性を示す図。 比較例のＣＤおよびＤＶＤ用回折格子を透過したときの透過光量の波長依存性を示す図。

符号の説明

１…透明基板としてのガラス基板、１０…回折格子、１１…第１の透明材料、１２…第１の光学多層膜、１３…入射面、１４…第２の透明材料、１５…第２の光学多層膜、１６…出射面、１７…第１の回折格子、１８…第２の回折格子、２０…光源としての半導体レーザ光源、５０…ハーフミラー、８０…光検出器としてのフォトディテクタ、９０…光記録媒体、１００…光ヘッド装置。

Claims (7)

1. 透明基板の一方の主面に形成された第１の波長の光を回折する周期的な凹凸を有する第１の回折格子と、
   前記透明基板の他方の主面に形成された第２の波長の光を回折する周期的な凹凸を有する第２の回折格子とを備えた回折格子であって、
   前記第１の回折格子の凹凸は、低屈折率材料と高屈折率材料とが交互に積層された第１の光学多層膜と、前記透明基板と屈折率が同等の第１の透明材料とを前記透明基板の表面に交互に配置して形成し、
   前記第２の回折格子の凹凸は、低屈折率材料と高屈折率材料とが交互に積層された第２の光学多層膜と、前記透明基板と屈折率が同等の第２の透明材料とを前記透明基板の表面に交互に配置して形成した
   ことを特徴とする回折格子。
2. 請求項１に記載の回折格子において、
   前記第１の光学多層膜は、前記第２の波長のレーザ光の透過率が前記第１の波長のレーザ光の透過率より高く、
   前記第２の光学多層膜は、前記第１の波長のレーザ光の透過率が前記第２の波長のレーザ光の透過率より高い
   ことを特徴とする回折格子。
3. 請求項１または請求項２に記載の回折格子において、
   前記第１の回折格子の前記第２の波長における位相差は、２πの整数倍であり、
   前記第２の回折格子の前記第１の波長における位相差は、２πの整数倍である
   ことを特徴とする回折格子。
4. 請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の回折格子において、
   前記第１の波長は７８５ｎｍであり、
   前記第２の波長は６６０ｎｍである
   ことを特徴とする回折格子。
5. 請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の回折格子において、
   前記低屈折率材料は、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、フッ化マグネシウムから選ばれる少なくとも１つ以上の材料であり、
   前記高屈折率材料は、二酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化セリウムから選ばれる少なくとも１つ以上の材料である
   ことを特徴とする回折格子。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の回折格子において、
   前記透明基板、前記第１および前記第２の透明材料は、二酸化ケイ素である
   ことを特徴とする回折格子。
7. 第１の波長λ１および第２の波長λ２の２つの光を出射する光源と、
   前記２つの光を光記録媒体に集光する対物レンズと、
   前記光記録媒体からの反射光を検出する光検出器とを備える光ヘッド装置であって、
   前記光源と前記対物レンズとの間の光路中に、
   請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の回折格子が設置されている
   ことを特徴とする光ヘッド装置。

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