JP2008216197A - エッジ検出装置及びその光束調整方法 - Google Patents
エッジ検出装置及びその光束調整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008216197A JP2008216197A JP2007057489A JP2007057489A JP2008216197A JP 2008216197 A JP2008216197 A JP 2008216197A JP 2007057489 A JP2007057489 A JP 2007057489A JP 2007057489 A JP2007057489 A JP 2007057489A JP 2008216197 A JP2008216197 A JP 2008216197A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- line sensor
- projector
- measurement
- monochromatic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000004907 flux Effects 0.000 title claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 163
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 31
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 claims description 45
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】光源6からの単色光をその光軸に対し平行から所定の範囲で収束させた単色光束としてラインセンサ8に投光する。
【選択図】図2
Description
図1は、この発明の実施の形態1によるエッジ検出装置の構成を示す図である。図1において、実施の形態1によるエッジ検出装置は、投光器1、受光器2及びエッジ検出部3を備える。投光器1は、受光器2のラインセンサ8の受光面に対向して配置され、レーザダイオード(LD)からなる光源6及び投光レンズ7を備える。光源6は、不図示の移動ステージ上に設けられ、少なくとも図1中の投光レンズ7との距離Aが調整可能である。この距離Aを調整することにより、投光レンズ7は、光源6により発生された単色光を、ラインセンサ8の中央部に光軸を合わせつつ、該光軸に対し平行から所定の範囲で収束(絞った)させた単色光束として出力する。
図3は、図1中の投光器の内部構成を示す図であり、投光器1の上部カバーをはずした内部構造を上面から示している。なお、図3において、本発明における特徴部分以外は、記載を省略するか、簡略して記載している。
図4は、実施の形態1によるエッジ検出装置のラインセンサ出力を示す図であり、投光器1からの照射光を受光したラインセンサ8の受光セル分布を示している。なお、図4の横軸は、ラインセンサ8の受光セル位置に対応する受光セル番号を示し、縦軸は受光された単色光の強度である実光量を示している。ここで、受光セル番号とは、ラインセンサ8に配置された受光セルに対して最端部の受光セル(図2中の受光セル8a)から順に付した通し番号である。また、実光量とは、受光器2のA/D変換部9によってデジタル信号に変換されたラインセンサ8の出力信号のカウント値である。
この実施の形態2では、投光器1と受光器2との間に形成される測定空間4において、投光器1の近傍と受光器2の近傍とに所定寸法を有する測定対象物5を交互に配置し、それぞれの場合で測定対象物5の寸法(単色光を受光できない受光セルの配列幅の寸法)をそれぞれ計測して、これら測定対象物5の計測寸法差を基準として単色光束の収束度合いを調整する。
上記実施の形態2では、ラインセンサ8の受光面からの測定対象物5の距離ごとの測定対象物5の計測寸法の差を基準として用いたが、この実施の形態3は、投光器1と受光器2との間隔を変え、そのときラインセンサ8の出力から求められる受光セル分布を基準として単色光束の収束度合いを調整する。
2 受光器
3 エッジ検出部
4 測定空間
5,5a 測定対象物
6 光源
7 投光レンズ
8 ラインセンサ
8a 受光セル
9 A/D変換部
10 プロセッサ
11 表示部
12〜14 位置調整ステージ
15,18,20 固定用ねじ
16a,16b 板状部材
17,19 長穴
21a レンズホルダ
21b 留め具
100 ラインセンサ
101 投光器
101a 光源
101b 光ファイバ
101c 投光レンズ
102 エッジ検出部
103 測定空間
104,104a,104b 測定対象物
105 受光セル
Claims (5)
- 複数の受光セルを配列したラインセンサを有する受光器と、
単色光を発生する光源と、前記光源からの単色光をその光軸に対し平行から所定の範囲で収束させた単色光束に変換して前記ラインセンサに投光する投光レンズとを有する投光器とを備えたエッジ検出装置。 - 投光器は、光源の単色光の出射部が投光レンズに向くように前記光源を搭載する第1ステージと、前記第1ステージを前記投光レンズに向かって左右に稼働させる第2ステージと、前記第2ステージを前記投光レンズの方向に沿って前後に稼働させる第3ステージとを備えたことを特徴とする請求項1記載のエッジ検出装置。
- 所定の範囲は、光軸を中心として0.01°以内であり、
前記所定の範囲で収束させた単色光束は、ラインセンサの計測に使用する受光セルが配列された範囲に照射されることを特徴とする請求項1または請求項2記載のエッジ検出装置。 - 請求項1記載のエッジ検出装置の光束調整方法において、
投光器と受光器を対向配置するステップと、
前記投光器と前記受光器の間に形成される測定空間の投光器側に所定寸法を有する測定対象物を配置して当該測定対象物の寸法を計測するステップと、
前記測定空間の受光器側に前記所定寸法を有する測定対象物を配置して当該測定対象物の寸法を計測するステップと、
前記両ステップで計測された測定対象物の寸法差に基づいて、光源及び投光レンズのうちの少なくとも1つの位置を調整することにより、前記投光レンズから前記ラインセンサへ投光される単色光束の収束度合いを調整するステップとを備えたエッジ検出装置の光束調整方法。 - 請求項1記載のエッジ検出装置の光束調整方法において、
投光器と受光器を異なる間隔で対向配置し、各間隔で前記投光器からの単色光束を受光した前記ラインセンサの受光セル分布を計測するステップと、
前記各間隔で計測された受光セル分布に基づいて、光源及び投光レンズのうちの少なくとも1つの位置を調整することにより、前記投光レンズから前記ラインセンサへ投光される単色光束の収束度合いを調整するステップとを備えたエッジ検出装置の光束調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007057489A JP4989993B2 (ja) | 2007-03-07 | 2007-03-07 | エッジ検出装置及びその光束調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007057489A JP4989993B2 (ja) | 2007-03-07 | 2007-03-07 | エッジ検出装置及びその光束調整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008216197A true JP2008216197A (ja) | 2008-09-18 |
JP4989993B2 JP4989993B2 (ja) | 2012-08-01 |
Family
ID=39836392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007057489A Active JP4989993B2 (ja) | 2007-03-07 | 2007-03-07 | エッジ検出装置及びその光束調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4989993B2 (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62173007U (ja) * | 1986-04-23 | 1987-11-04 | ||
JPH02110303A (ja) * | 1988-06-07 | 1990-04-23 | Contrologic Inc | 非接触光学ゲージ |
JPH07234108A (ja) * | 1994-02-24 | 1995-09-05 | Keyence Corp | 測定装置 |
JPH08247722A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-27 | Omron Corp | 寸法測定装置 |
JPH1047928A (ja) * | 1996-08-06 | 1998-02-20 | Omron Corp | 光学式外形計測装置 |
JP2000088533A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-31 | Hitachi Metals Ltd | 長尺管の寸法計測装置 |
JP2001166202A (ja) * | 1999-12-10 | 2001-06-22 | Katsura Oputo System:Kk | 焦点検出方法及び焦点検出装置 |
JP2004125531A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Sunx Ltd | 寸法測定装置 |
-
2007
- 2007-03-07 JP JP2007057489A patent/JP4989993B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62173007U (ja) * | 1986-04-23 | 1987-11-04 | ||
JPH02110303A (ja) * | 1988-06-07 | 1990-04-23 | Contrologic Inc | 非接触光学ゲージ |
JPH07234108A (ja) * | 1994-02-24 | 1995-09-05 | Keyence Corp | 測定装置 |
JPH08247722A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-27 | Omron Corp | 寸法測定装置 |
JPH1047928A (ja) * | 1996-08-06 | 1998-02-20 | Omron Corp | 光学式外形計測装置 |
JP2000088533A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-31 | Hitachi Metals Ltd | 長尺管の寸法計測装置 |
JP2001166202A (ja) * | 1999-12-10 | 2001-06-22 | Katsura Oputo System:Kk | 焦点検出方法及び焦点検出装置 |
JP2004125531A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Sunx Ltd | 寸法測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4989993B2 (ja) | 2012-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7505150B2 (en) | Device and method for the measurement of the curvature of a surface | |
US7626688B2 (en) | Optical measuring system with a high-speed optical sensing device enabling to sense luminous intensity and chromaticity | |
EP2437029B1 (en) | Distance measuring instrument | |
TW201411272A (zh) | 影像感測器定位裝置及方法 | |
CN107843412B (zh) | 光检测系统及光检测装置 | |
ITMI20071931A1 (it) | Sorveglianza optoelettronica con test mediante dinamizzazione | |
US9097516B2 (en) | Surface angle and surface angle distribution measurement device | |
JP2014006134A (ja) | 光学測定装置 | |
US11639846B2 (en) | Dual-pattern optical 3D dimensioning | |
CN102650602B (zh) | 放射线检查装置 | |
JP2013036948A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP4989993B2 (ja) | エッジ検出装置及びその光束調整方法 | |
JP2007263587A (ja) | 吸光度測定用プローブ及び吸光度測定装置 | |
JP2007526461A (ja) | 透明試料の厚み測定装置及びその方法 | |
KR101600187B1 (ko) | 묘화 장치 | |
WO2011108263A1 (ja) | 光束平行度測定装置 | |
US8665438B2 (en) | Color sensing device | |
JP2008196855A (ja) | ウェハの位置決め方法および位置決め装置 | |
JPS6291833A (ja) | 光源の2次元配光分布測定装置 | |
WO2019033624A1 (zh) | 微透镜阵列检测系统及微透镜阵列的检测方法 | |
CN216954847U (zh) | 一种校准光源 | |
CN214096358U (zh) | 一种光束质量分析仪 | |
JP2010237167A (ja) | 光電センサ | |
JP4979335B2 (ja) | エッジ検出装置 | |
KR100550521B1 (ko) | 노광기 및 그 글래스 정렬방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080908 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111026 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111101 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120403 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120501 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4989993 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |