JP2008216099A - 形状測定装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】計算機11が、CCDカメラ10により干渉計30を通じて得られる干渉縞の像が、測定領域waにおける端部weを除く領域において、X軸(試料wの半径方向に平行な軸)に対してほぼ平行に伸びて形成される複数本の縞の像となる平行縞形成状態となるように、変位装置21a、22aを制御し、調節後の干渉縞の像の輝度データに基づいて、X軸の各位置におけるキャリア波(Y軸方向の輝度データの列が表す空間的周期波)それぞれの位相Φを算出し、その位相Φ(x)からX軸方向の表面形状値h(x)を算出する。
【選択図】図1
Description
一方、近年、1枚のウェーハから得られる半導体チップの数を極力増やすため、ウェーハの端部(エッジ)により近い部分まで高い平坦度が要求される。このため、ウェーハの端部付近の表面形状を高精度で測定することが重要となっている。
例えば、特許文献1や非特許文献1には、ウェーハのエッジ先端にブロック部材を当接させ、そのブロック部材のウェーハに当接する面の位置を基準とし、触針式の形状計を移動させながらウェーハの表面形状を測定する技術が示されている。
ここで、ウェーハは、その半径方向にダレが生じるものであり、周方向における表面形状の変化はほとんど生じない。
これに対し、特許文献2には、ウェーハの半径方向の表面形状をその周方向の所定範囲にわたって複数測定し、それらの測定値を平均化することにより、ウェーハのダレを高精度で測定する技術が示されている。
特許文献2に示されるように、位相シフト法による形状測定では、干渉計の参照面又は試料(ウェーハ)の位置を光軸方向に変化させることにより、干渉計により得られる干渉縞の像を複数の状態に変化させ、これら複数の干渉縞の像の輝度データからウェーハの表面形状値を算出する。
また、干渉計を用いた空間キャリア周波数法により、試料の2次元の表面形状を測定する技術が知られている。空間キャリア周波数法による形状測定では、干渉計の参照面又は試料を傾けることにより、干渉計により得られる干渉縞の本数を増やした状態とし、その干渉縞の数を空間キャリア周波数と捉え、フーリエ変換及び逆フーリエ変換を行うことによって試料の2次元の表面形状値を算出する。
また、前述した空間キャリア周波数法による形状測定は、フーリエ変換後の特定のフーリエスペクトルを、他のフーリエスペクトルと分離して抽出する処理が必要となる。その処理は、干渉縞の空間周波数についてローパスフィルタ処理を行うのと同様の処理であり、これは、干渉縞のバックグランド強度分布や明暗変化の振幅が緩やかに変化する、即ち、試料の表面形状の変化がごく緩やかであることが前提となっている。このため、空間キャリア周波数法では、ウェーハの端部のように、その半径方向において比較的大きくに変化する表面形状を高精度で測定することができないという問題点があった。
従って、本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ウェーハの端部のように、その半径方向において比較的大きくに変化する表面形状を高精度かつ短時間で測定することができる形状測定装置及びその測定方法を提供することにある。
(1)前記測定領域を観測する干渉計の出力光において形成される干渉縞の像を撮像する撮像手段。
(2)前記干渉計における参照面(参照光を反射する面)の向き又は前記測定領域の面の向きを変更する向き変更手段。
(3)前記向き変更手段を制御することにより、前記撮像手段により得られる前記干渉縞の像が、前記測定領域における前記端部を除く領域において前記試料の半径方向に平行な軸(以下、基準軸という)に対し、平行もしくは平行に近い方向に伸びて形成される複数本の縞の像となるように調節する干渉縞像調節手段。
(4)前記干渉縞像調節手段による調節後に、前記撮像手段により得られる前記干渉縞の像の輝度データを収録する輝度データ収録手段。
(5)前記基準軸の各位置における、その基準軸に直交する方向の前記輝度データの列が表す空間的周期波(前記基準軸に直交する方向に輝度値が周期的に変化する波)それぞれの位相を算出する位相算出手段。
(6)前記位相算出手段により算出された前記位相に基づいて、前記測定領域における前記基準軸方向の表面形状値を算出する表面形状値算出手段。
しかも、1回の干渉縞像の測定によって前記基準軸方向の表面形状を測定(算出)できるので、短時間での測定が可能である。
また、本発明に係る形状測定装置は、さらに次の(7)〜(9)に示す構成要素を備えるものが考えられる。
(7)前記干渉計の出力光を集光することにより、その干渉計の出力光に重畳された物体光及び参照光それぞれが集光された2つのスポット像を前記撮像手段に結像させるスポット結像レンズ。
(8)前記撮像手段に対し、前記干渉縞の像を結像させる第1状態と、前記スポット結像レンズにより前記2つのスポット像を結像させる第2状態とを切り替える結像状態切替手段。
(9)前記干渉縞像調節手段が備えるものであり、前記結像状態切替手段により前記第2状態に切り替えられて前記撮像手段により得られる前記2つのスポット像の位置関係が予め定められた位置関係となるよう(即ち、両位置関係のずれに応じて)前記向き変更手段を制御するスポット像調節手段。
測定対象となる試料それぞれの前記測定領域の表面形状が大きく異ならなければ、前記干渉計における参照面の向きと、前記測定領域の面の向きとの相対関係により、干渉計により得られる干渉縞の像の概ねの内容が定まる。
同様に、前記2つのスポット像の位置関係(相対位置)も、前記干渉計における参照面の向きと、前記測定領域の面の向きとの相対関係によって概ね定まる。
従って、前記2つのスポット像の位置関係が、試料の形状測定のために適当な干渉縞の像が得られるときの標準的な位置関係となるように、前記干渉計における参照面の向きと、前記測定領域の面の向きとの相対関係を設定(調節)すれば、概ね、試料の形状測定のために適当な干渉縞の像が得られる状態となる。これにより、前記干渉縞像調節手段による干渉縞の像の調節において、干渉縞の像のみに基づいて(画像処理のみによって)調節するよりも調節が容易となる。
また、本発明は、前述した本発明に係る形状測定装置が備える各手段の実行内容を実行する形状測定方法として捉えることもできる。
ここに、図1は本発明の実施形態に係る形状測定装置Zの概略構成図、図2は形状測定装置Zによる形状測定手順を表すフローチャート、図3は形状測定装置Zにより試料の向き調節を行う際の干渉計における光路及び出力像を表す図、図4は形状測定装置Zによるキャリア波の位相算出処理(直交検波処理)の過程で得られるデータの一例を画像として表した図、図5は形状測定装置Zによるキャリア波の位相算出処理(直交検波処理)の過程で得られるデータを表すグラフ、図6は形状測定装置Zにより算出されたキャリア波の位相と表面形状値とを表すグラフである。
本発明の実施形態に係る形状測定装置Zは、図1(b)に示すように、円形板状或いはそれに近い形状を有する半導体ウェーハ(以下、試料wという)における端部(試料のエッジwe)からその内側の所定範囲にわたる領域(以下、測定領域waという)の表面形状を測定する装置である。なお、図1(b)に示す記号woは、試料wの中心位置を表す。
以下、測定領域waにおいて、試料wの半径方向に平行な方向の座標軸をX軸(基準軸に相当)とし、これに直交する方向の座標軸をY軸とする。
形状測定装置Zは、図1に示すように、レーザ光源1、干渉計30、スポット結像レンズ7、回転式レンズ保持具8、レンズ切替モータ9、CCDカメラ10、計算機11、回転ステージ12、昇降ステージ13、変位式試料支持部21、22、変位装置21a、22a、固定式試料支持部23などを備えて構成されている。
また、干渉計30は、フィゾー干渉計であり、第1レンズ2、ビームスプリッタ3、第2レンズ4、参照ガラス5、干渉縞結像レンズ6を備えて構成されている。
そして、参照ガラス5に入射した平行光は、その一部が、参照ガラス5の下面である参照面5aに反射し、その反射光である参照光が、再び参照ガラス5及び第2レンズ4を逆方向に透過し、ビームスプリッタ3に至る。
一方、参照ガラス5に入射した平行光の残りの一部は、参照ガラス5を通過して試料wの測定領域waを含む領域を照射し、その反射光である物体光が、再び参照ガラス5及び第2レンズ4を逆方向に透過し、前記参照光と重なってビームスプリッタ3に至る。
そして、前記参照光と前記物体光とが重なった干渉光が、ビームスプリッタ3で反射され、干渉縞結像レンズ6を通過してCCDカメラ10に入力される。ここで、干渉縞結像レンズ6は、干渉計30の出力光の径をCCDカメラ10の光検出部に応じた大きさに調節することにより、干渉縞の像をCCDカメラ10に結像させるレンズである。
CCDカメラ10は、試料の測定領域waを観測する干渉計30の出力光において形成される干渉縞の像を撮像するカメラ(撮像手段)である。
形状測定装置Zでは、図4(a)に示すように、CCDカメラ10により得られる干渉縞の像が、測定領域waにおける端部weを除く領域において、X軸(試料wの半径方向に平行な軸)に対してほぼ平行に伸びて形成される複数本の縞の像となる状態(以下、平行縞形成状態という)に調節した上で、X軸方向における表面形状(表面高さの分布)を測定する。
前述したように、試料w(半導体ウェーハ)は、その半径方向(測定領域waにおけるX軸方向)にダレが生じるものであり、Y軸方向における表面形状の変化はほとんど生じない。
従って、前記平行縞形成状態では、CCDカメラ10を通じて得られる干渉縞の像の輝度データは、X軸の方向の各位置において、Y軸方向のデータ列(輝度データの列)として見ると、所定の空間周波数を有する周期波(空間的周期波)を表すデータ列となる。以下、このY軸方向のデータ列が表す空間的周期波をキャリア波という。
そして、X軸の各位置におけるキャリア波それぞれの位相は、X軸方向の表面形状の変化を表すことになる。従って、X軸の各位置におけるキャリア波それぞれの位相(X軸方向のキャリア波の分布)を算出すれば、その位相に基づいて、測定領域waのX軸方向の表面形状値(プロファイル)を光学的に高精度で測定(算出)することができる。しかも、1回の干渉縞像の測定によってX軸方向の表面形状を測定(算出)できるので、短時間での測定が可能である。
なお、図4(a)に示す例は、X軸の各位置において、Y軸方向に6本(濃淡6組)の縞が形成された干渉縞の像を示している。
ここで、図4(a)に示すような平行縞形成状態の干渉縞を得るためには、参照ガラス5の参照面5aと測定領域waの表面とを、それらが非平行となる所定の向き関係に設定する必要がある。
即ち、試料wは、変位装置21a及び22aによってそれぞれ独立して上下方向に変位可能(位置調節可能)に構成された2つの変位式試料支持部21、22と、固定式試料支持部23とにより3箇所で支持(3点支持)され。変位装置21a、22aは、例えばペルチェ素子などにより構成され、計算機11によってその変位位置(高さ)が制御される。
この変位装置21a、22aは、試料wを支持する2つの変位式試料支持部21、22を変位させることにより、試料wの表面の向き、即ち、測定領域waの面の向きを変更するものである(向き変更手段の一例)。
このように、本実施形態では、試料wを3箇所で支持する3つの試料支持部21〜23のうちの2つをそれぞれ独立して変位させる機構により、測定領域waの面の向きを変更する。
図1(b)に示す例では、一方の変位装置21aにより、測定領域waの表面のX軸方向の傾きが調節され、他方の変位装置22aにより、測定領域waの表面のY軸方向の傾きが調節されるよう構成されている。
ここで、昇降ステージ13は、計算機11からの制御指令に従って、回転ステージ12を昇降させるものである。
そして、回転ステージ12は、昇降ステージ13によりその上面(支持部)が各試料支持部21〜23よりも上側となるように持ち上げられることにより、試料wを支持する状態(以下、試料支持状態という)となる。回転ステージ12は、その試料支持状態において、計算機11からの制御指令に従ってその上面(支持部)を回転及び停止させることにより、試料wにおける測定領域waの位置(光の照射位置)を変更する。測定領域waの位置の変更後は、昇降ステージ13は、計算機11からの制御指令に従って回転ステージ12を降下させ、試料wが各試料支持部21〜23により支持された状態に戻す。
形状測定装置Zでは、干渉縞結像レンズ6とスポット結像レンズ7とが回転式レンズ保持具8によって保持される。さらに、計算機11によって制御されるレンズ切替モータ9が、その回転式レンズ保持具8を、回転駆動させて所定位置で位置決めすることにより、前記干渉縞結像状態(第1状態に相当)と、前記スポット結像状態(第2状態に相当)とを切り替え可能に構成されている(結像状態切替手段の一例)。
前記スポット結像状態では、物体光が発生しない状態(試料wを参照ガラス5に対向配置しない状態や、参照ガラス5と試料wとの間に吸光部材が配置された状態など)である場合、図3(b)に示すように、CCDカメラ10により、参照光のスポット像P1のみ現れる像が得られる。
一方、前記スポット結像状態において、物体光が発生する状態(試料wを参照ガラス5に対向配置する状態)である場合は、参照ガラス5の参照面5aと測定領域waの表面とが非平行に設定されていると、図3(a)に示すように、参照光の光路R1と、物体光の光路R2とにズレが生じる。このため、図3(c)に示すように、CCDカメラ10により、参照光のスポット像P1と物体光のスポット像P2との両方が現れる像が得られる。
同様に、2つのスポット像P1、P2の位置関係(相対位置)も、参照面5aの向きと測定領域waの面の向きとの相対関係によって概ね定まる。
従って、2つのスポット像P1、P2の位置関係が、試料wの形状測定のために適当な干渉縞の像(図4(a)に示すような前記平行縞形成状態)が得られるときの標準的な位置関係となるように、試料wの面の向き(傾き)を調節すれば、前記干渉縞結像状態において、概ね、試料wの形状測定のために適当な干渉縞の像が得られる状態となる。
さらに、計算機11は、CCDカメラ10からの画像情報(輝度データ)の入力や、各種の駆動装置9、12、13、21a、22aに対する制御信号の出力を行うための信号入出力インターフェースも備えている。
以下、計算機11が実行するものとして説明する各処理は、計算機11が備えるCPUが所定のプログラムを実行することによって実現される。
[ステップS1〜S5]
まず、計算機11が、レンズ切替モータ9を制御することにより、前記スポット結像状態(スポット結像レンズ7がCCDカメラ10前方に配置される状態)に設定される(S1、結像状態切替手順の一例)。
次に、前記スポット結像において、試料wを配置しない状態(物体光が発生しない状態)で、計算機11が、CCDカメラ11により得られる画像(参照光のスポット像P1のみが形成された図3(b)の画像)の輝度データを収録(取得して記憶部に記憶)する(S2)。
次に、計算機11が、ステップS2で得た輝度データから、参照光のスポット像P1の位置(例えば、所定輝度以上の領域の中心位置)を検出し、これをスポット像P1の標準位置として記憶部に記憶させる(S3)。
次に、試料wが試料支持部21〜23に載置された状態で、計算機11が、昇降ステージ13及び回転ステージ12を制御することにより、測定領域waの設定(所望の測定領域waを光照射位置に配置すること)を行う(S4)。
次に、測定領域waが設定された状態で、計算機11が、変位装置21a、22aを制御することにより、試料wの向き(即ち、変位式試料支持部21、22それぞれの高さ)を所定の初期状態に設定する(S5)。
次に、計算機11が、CCDカメラ11により得られる画像(参照光及び物体光それぞれの2つのスポット像P1、P2が形成された図3(c)の画像)の輝度データを収録する(S6)。
次に、計算機11が、ステップS6で得た輝度データから、参照光のスポット像P1及び物体光のスポット像P2それぞれの位置を検出する(S7)。ここで、計算機11は、輝度データから抽出される2つのスポット像のうち、その位置が、ステップS3で検出したスポット像P1の標準位置に対して所定範囲内である方を、参照光のスポット像P1であると判別する。
次に、計算機11が、ステップS7で検出した2つのスポット像P1、P2の位置関係(相対位置)と、予め計算機11の記憶部に記憶された目標の位置関係との差異(以下、スポット位置の差異という)を算出し、そのスポット位置の差異が所定の誤差範囲内に収まっているか否かを判別する(S8)。
ここで、目標の位置関係は、試料wの形状測定のために適当な干渉縞の像(図4(a)に示すような前記平行縞形成状態)が得られるときの標準的な位置関係であり、予め実験的に(或いは、シミュレーション計算等により)取得しておく情報である。
ここで、計算機11は、前記スポット位置の差異が所定の誤差範囲内に収まっていないと判別すると、そのスポット位置の差異(X軸方向の差分とY軸方向の差分)に応じて、試料wの向きの補正値(即ち、変位装置21a、22aそれぞれの変位位置の補正値)を計算する(S9)。さらに計算機11が、その補正値に基づいて変位装置21a、22aを制御することにより、試料wの向きを補正し(S10)、その上で、再び前述したステップS6〜S8の処理を実行する。
計算機11は、このステップS6〜S10の処理を実行することにより、前記レンズ切替モータ9によって前記スポット結像(第2状態)に切り替えられている(S1)際に、CCDカメラ10により得られる2つのスポット像P1、P2の位置関係が、予め定められた目標の位置関係となるよう変位装置21a、22a(向き変更手段の一例)を制御する(スポット像調節手段、及びその手順の一理)。
そして、計算機11が、ステップS6〜S10の処理により、前記スポット位置の差異が所定の誤差範囲内に収まったと判別すると、レンズ切替モータ9を制御することにより、前記干渉縞結像状態(干渉縞結像レンズ6がCCDカメラ10前方に配置される状態)へ切り替られる(S11、結像状態切替手順の一例)。
次に、前記干渉縞結像状態において、計算機11が、CCDカメラ11により得られる画像(干渉縞の像が形成された画像)の輝度データを収録する(S12)。ここで、ステップS1〜S10の処理により、試料wの向き調節が概ね完了しているので、このステップS12で得られる干渉縞の画像は、図4(a)に示す前記平行縞形成状態の画像、或いはほぼそれに近い画像である。
次に、計算機11が、ステップS12で収録した輝度データに基づいて、干渉縞画像における縞の数を検出する(S13)。ここで、検出対象となる干渉縞の画像は、ほぼ前記平行縞形成状態の画像であるので、輝度データにおけるY軸方向の輝度の濃淡の繰り返し回数を検出するという簡易な処理により、縞の数を検出できる。
次に、計算機11が、ステップS13で検出した縞の数が予め定められた目標数であるか否かを判別する(S14)。
ここで、計算機11は、縞の数が目標数ではないと判別すると、縞の数の目標数に対する差分に応じて、試料wの向きの補正値(即ち、変位装置21a、22aそれぞれの変位位置の補正値)を計算する(S15)。さらに計算機11が、その補正値に基づいて変位装置21a、22aを制御することにより、試料wの向きを補正し(S16)、その上で、再び前述したステップS12〜S14の処理を実行する。
計算機11は、以上に示したステップS6〜S16の処理を実行することにより、変位装置21a、22a(向き変更手段の一例)を制御(S10、S16)し、CCDカメラ10により得られる干渉縞の像が、図4(a)に示す理想的な前記平行縞形成状態の像となるように調節する(干渉縞像調節手段及びその手順の一例)。
なお、ステップS14で縞の数が目標数であると判別される直前に、計算機11が、ステップS12(輝度データ収録手順の一例)において収録する最新の輝度データが、干渉縞像の調節処理(ステップS6〜S16)による調節後に、CCDカメラ10により得られる干渉縞の像の輝度データである。
次に、計算機11が、ステップS12で収録した最新の輝度データに基づいて、X軸の各位置におけるキャリア波(Y軸方向の輝度データの列が表す空間的周期波)それぞれの位相Φを、直交検波処理により算出する(位相算出手段及びその手順の一例)。
以下、計算機11が実行する、直交検波処理による位相Φの算出処理について説明する。
一般に、直交検波では、処理対象の時間領域の信号f(t)を分岐し、その分岐信号各々に対し、それと周波数がほぼ等しいcosin波の信号(cosωt)とsin波の信号(sinωt)各々を乗算し、さらに、その乗算後の信号各々にローパスフィルタ処理を施し、処理後の信号のarctan(tan-1)計算を行う。これにより、処理対象の信号f(t)の位相を検出できる。
一方、ステップS17では、計算機11は、時間領域での直交検波処理ではなく、Y軸方向の空間領域(y)での直交検波処理を実行する。
次に、計算機11は、そのキャリア波の空間周波数を有する(空間周波数が等しい)cosin波及びsin波それぞれを表すデータを生成する。ここで、cosin波及びsin波それぞれを表すデータの値は、CCDカメラ10を通じて得られる輝度に相当する値である。以下、それぞれcos輝度データ、sin輝度データという。
図4(b)、(c)は、それぞれ計算機11により生成されたcos輝度データ及びsin輝度データを画像として表したものである。
図4(d)、(e)は、それぞれ計算機11により計算されたcos輝度積データ及びsin輝度積データを画像として表したものである。
さらに、計算機11は、cos輝度積データ及びsin輝度積データ各々について、Y軸方向におけるガウシアン分布の重み付け処理(ガウシアンフィルタ処理)を行う。これは、ローパスフィルタ処理(次に示す加算処理又は平均処理)の重み付けを行う処理であり、省略してもよい。
図4(f)、(g)は、それぞれ計算機11によりガウシアンフィルタ処理が施された後のcos輝度積データ及びsin輝度積データを画像として表したものである。以下、図4(f)、(g)各々に示す画像を、それぞれ画像f及び画像gという。
図5は、データc(x)、s(x)を表すグラフである。なお、X軸の座標は、試料wのエッジからの距離に換算し、輝度データは、±50の範囲で正規化している。
次に、計算機11は、データc(x)、s(x)のarctan計算を行うことにより、X軸の各位置ごとのキャリア波の位相Φ(x)を算出する[Φ(x)=tan-1(s(x)/c(x))]。
図6に、計算機11により算出した位相Φのグラフの一例を示す。なお、X軸の座標は、試料wのエッジからの距離に換算している。
以上に示したように、計算機11は、ステップS17において、測定領域waの端部weを除く領域におけるキャリア波(空間的周期波)と空間周波数が等しいsin波及びcosin波それぞれを表すデータに基づく直交検波処理により、キャリア波の位相Φ(x)を算出する(位相算出手段及びその手順の一例)。
次に、計算機11は、ステップS17(位相算出手順)で算出した位相Φ(x)に基づいて、測定領域waにおけるX軸方向の表面形状値h(x)を算出するし、算出結果を記憶部に記憶させる(S18、表面形状値算出手段及びその手順の一例)。
図6に示すように、キャリア波の位相Φ(x)は、2πの周期で折り返され、不連続な状態となっている。一方、試料wの表面形状の変化は連続的である(滑らかに変化する)。
そこで、計算機11は、ステップS18において、試料wの表面形状の変化が連続的であることを前提とし、位相Φ(x)の接続処理(いわゆるアンラップ処理)を行うことにより、測定領域waのX軸方向における表面形状値h(x)(プロファイル)を計算する。
ここで、干渉計30がフィゾー干渉計である場合、干渉縞の「明部」と「明部」との間隔(キャリア波の波長)が、照射光(レーザ光源1の出力光)の波長λの1/2の長さに相当する。従って、計算機11は、位相接続(アンラップ処理)した後の位相Φ’(x)に、(λ/4π)を乗算することによって表面形状地h(x)を算出する。
図6に、計算機11により算出した表面形状地h(x)のグラフの一例を示す。なお、X軸の座標は、試料wのエッジからの距離に換算している。
次に、計算機11は、ステップS19で算出した試料wの表面形状値h(x)にを所定の評価式(評価値算出式)に適用することにより、その試料wのエッジだれの評価値を計算し、計算結果を出力(表示部への出力や、外部装置への出力)する(S19)。
前記評価値としては、例えば、測定領域waにおける最も内側(試料wの中心側)の位置の表面形状値h(x)を基準とし、その基準に対する表面形状値h(x)の差が、所定の最大許容値以内となる位置(X軸上の位置)等が考えられる。
さらに、計算機11は、セットされた試料wについて、所定の測定終了条件(予定していた全ての測定領域waの形状測定が終了したこと等)が成立したか否かを判別する(S20)。
ここで、計算機11は、前記測定終了条件が成立していないと判別した場合は、前述したステップS4と同様に、新たな測定領域waの設定処理を実行し(S21)、その新たな測定領域waについて、前述したステップS12〜S20の処理を繰り返す。なお、同一の試料wについての2回目以降のステップS12〜S20の処理においては、試料wの向き補正(S15、S16)の処理は実行されない(補正を行わなくても適切な干渉縞像が得られる)場合が多いと考えられる。
一方、計算機11は、前記測定終了条件が成立したと判別した場合は、セットされた試料wについての形状測定処理を終了させる。
また、前述した実施形態では、ローパスフィルタ処理として、ガウシアン重み付け処理及び加算処理(積算処理)を採用した例を示したが、前述の実施形態においてガウシアン重み付け処理を省略した実施形態や、重み付けを行う各種の平均化処理、FFTによるローパスフィルタ処理など、他の処理を採用することも考えられる。
また、前述の実施形態では、試料wを3点支持する試料支持部21〜23のうちの2つを独立して変位させる機構を採用した例を示した。しかしながら、同様の支持機構を、干渉計30における参照面5aが形成された部材である参照ガラス5の支持機構として採用し、試料wの面の向きは固定(固定式の支持機構)とした構成であってもかまわない。
1…レーザ光源
2…第1レンズ
3…ビームスプリッタ
4…第2レンズ
5…参照ガラス
6…干渉縞結像レンズ
7…スポット結像レンズ
8…回転式レンズ保持具
9…レンズ切替モータ
10…CCDカメラ
11…計算機
12…回転ステージ
13…昇降ステージ
21、22…変位式試料支持部
21a、22a…変位装置
23…固定式試料支持部
30…干渉計
P1…参照光のスポット像
P2…物体光のスポット像
S1、S2・・ …処理手順(ステップ)
Claims (6)
- 略円形板状の試料における端部からその内側の所定範囲にわたる測定領域の表面形状を測定する形状測定装置であって、
前記測定領域を観測する干渉計の出力光において形成される干渉縞の像を撮像する撮像手段と、
前記干渉計における参照面の向き又は前記測定領域の面の向きを変更する向き変更手段と、
前記向き変更手段を制御することにより、前記撮像手段により得られる前記干渉縞の像が、前記測定領域における前記端部を除く領域において前記試料の半径方向に平行な基準軸に対し略平行に伸びて形成される複数本の縞の像となるように調節する干渉縞像調節手段と、
前記干渉縞像調節手段による調節後に、前記撮像手段により得られる前記干渉縞の像の輝度データを収録する輝度データ収録手段と、
前記基準軸の各位置における、該基準軸に直交する方向の前記輝度データの列が表す空間的周期波それぞれの位相を算出する位相算出手段と、
前記位相算出手段により算出された前記位相に基づいて、前記測定領域における前記基準軸方向の表面形状値を算出する表面形状値算出手段と、
を有してなることを特徴とする形状測定装置。 - 前記位相算出手段が、前記測定領域の前記端部を除く領域における前記空間的周期波と空間周波数が略等しいsin波及びcosin波それぞれを表すデータに基づく直交検波処理により前記位相を算出してなる請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記干渉計の出力光を集光することにより、該干渉計の出力光に重畳された物体光及び参照光それぞれが集光された2つのスポット像を前記撮像手段に結像させるスポット結像レンズと、
前記撮像手段に対し、前記干渉縞の像を結像させる第1状態と、前記スポット結像レンズにより前記2つのスポット像を結像させる第2状態とを切り替える結像状態切替手段と、を具備し、
前記干渉縞像調節手段が、前記結像状態切替手段により前記第2状態に切り替えられて前記撮像手段により得られる前記2つのスポット像の位置関係が予め定められた位置関係となるよう前記向き変更手段を制御するスポット像調節手段を具備してなる請求項1又は2のいずれかに記載の形状測定装置。 - 略円形板状の試料における端部からその内側の所定範囲にわたる測定領域の表面形状を測定する形状測定方法であって、
干渉計により得られる前記測定領域への照射光に基づく干渉縞の像を撮像手段により撮像する干渉縞撮像手順と、
前記干渉計における参照面の向き又は前記測定領域の面の向きを変更する向き変更手段を制御することにより、前記干渉縞撮像手順により得られる前記干渉縞の像が、前記測定領域における前記端部を除く領域において前記試料の半径方向に平行な基準軸に対し略平行に伸びて形成される複数本の縞の像となるよう調節する干渉縞像調節手順と、
前記干渉縞像調節手順による調節後に、前記干渉縞撮像手順により得られる前記干渉縞の像の輝度データを収録する輝度データ収録手順と、
前記基準軸の各位置における、該基準軸に直交する方向の前記輝度データの列が表す空間的周期波それぞれの位相を所定のプロセッサにより算出する位相算出手順と、
前記位相算出手順により算出された前記位相に基づいて、前記測定領域における前記基準軸方向の表面形状値を所定のプロセッサにより算出する表面形状値算出手順と、
を有してなることを特徴とする形状測定方法。 - 前記位相算出手順が、前記測定領域の前記端部を除く領域における前記空間的周期波と空間周波数が略等しいsin波及びcosin波それぞれを表すデータに基づく直交検波処理により前記位相を算出する手順である請求項4に記載の形状測定方法。
- 前記撮像手段に対し、前記干渉縞の像を結像させる第1状態と、前記干渉計の出力光を所定のレンズで集光することによって該干渉計の出力光に重畳された物体光及び参照光それぞれが集光された2つのスポット像を前記撮像手段に結像させる第2状態とを切り替える結像状態切替手順を有し、
前記干渉縞像調節手順が、前記結像状態切替手順により前記第2状態に切り替えられている際に前記撮像手段により得られる前記2つのスポット像の位置関係が予め定められた位置関係となるよう前記向き変更手段を制御するスポット像調節手順を有してなる請求項4又は5のいずれかに記載の形状測定方法。
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