JP2008214142A - カーボンナノチューブ製造装置と製造方法 - Google Patents
カーボンナノチューブ製造装置と製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008214142A JP2008214142A JP2007055231A JP2007055231A JP2008214142A JP 2008214142 A JP2008214142 A JP 2008214142A JP 2007055231 A JP2007055231 A JP 2007055231A JP 2007055231 A JP2007055231 A JP 2007055231A JP 2008214142 A JP2008214142 A JP 2008214142A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- reaction vessel
- recovery
- carbon nanotubes
- product
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 191
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 title claims abstract description 149
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 149
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 139
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims abstract description 39
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 36
- 239000002893 slag Substances 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 9
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 8
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 abstract description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 71
- 239000002109 single walled nanotube Substances 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 14
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 14
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 10
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 9
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 238000001241 arc-discharge method Methods 0.000 description 3
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 241000239290 Araneae Species 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- 229910021386 carbon form Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003610 charcoal Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010903 husk Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002048 multi walled nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
【解決手段】カーボンナノチューブ製造装置1は、反応容器3内に、互いに対向するように且つ隙間をあけて配置された一対の電極11,12を備える。電極11,12の上方には、水平方向に延びる二以上の横棒51,52,53が上下に間隔をあけて配置されたスケルトン構造の回収体50が設けられている。電極11,12間のアーク放電により陽極11から蒸発したカーボンからなるカーボンナノチューブを含有する生成物は、反応容器3内を上昇する途中で、必要に応じて回転される回収体50に引っかかる(横からすくい取られる)。これにより、生成物中における配置がよく維持された状態で回収体50に捕捉される。
【選択図】図1
Description
このうち特にアーク放電法は、欠陥が少なく品質の良いカーボンナノチューブが得られる点で優れている。アーク放電法では、少なくとも陽極に炭素を含有する一対の電極間にアーク放電を起こすことにより、陽極からカーボンを蒸発させ、カーボンナノチューブを含有する生成物を得ることができる。特許文献1には、アーク放電が生成された部分から蜘蛛の巣状または綿状に放出される生成物をからみ取って捕集する技術が記載されている。アーク放電により得られた炭素質生成物の回収に関する他の従来技術文献として特許文献2〜4が挙げられる。
そこで本発明は、生成物中における配置がよりよく維持された状態のカーボンナノチューブを効率よく得ることのできるカーボンナノチューブ製造方法および該方法の実施に適した製造装置を提供することを目的とする。
なお、上記スティック状陽極(好ましくはカーボン成形体)として、軸に垂直な断面における形状が多角形(典型的には直方体、より好ましくは正方形)の陽極を使用することは、例えば該断面形状が円形である陽極を使用する場合に比べて、かかる陽極の入手コスト等の観点から有利であることが多い。その一方で、このように断面形状(通常は、陰極との対向面の形状と概ね一致する。)が多角形の陽極では上記不均一な消耗が起こりやすい。上述のように陽極を回転させつつ該陽極と陰極との間にアーク放電を発生させることにより、コストの安い角型陽極を用いる場合においても品質の安定したカーボンナノチューブを製造することができる。したがって、このように陽極を回転させつつアーク放電を行う態様は、例えば断面形状が多角形(典型的には正方形)のスティック状陽極を用いてカーボンナノチューブを製造する場合において、特に好ましく適用され得る。
かかる構成のカーボンナノチューブ製造方法によると、アーク放電により蒸発したカーボンから成るカーボンナノチューブを、該カーボンナノチューブを含む炭素質生成物中における配置がよりよく維持された状態(例えば、配向の乱れ、絡み等がよりよく抑制された状態)で、効率よく回収することができる。本製造方法は、好適には、ここに開示されるいずれかのカーボンナノチューブ製造装置を用いて実施することができる。
本発明の装置では、アーク放電によって陽極からカーボンを蒸発させて、得られたカーボンナノチューブを回収体にて捕捉することができればよく、種々の材料および構成をその目的のために適用することができる。なお、ここで開示された製造装置は、単層カーボンナノチューブの製造に適する装置であるが、該装置を多層カーボンナノチューブの製造に使用することを制限するものではない。
図1にカーボンナノチューブ製造装置1の一構成例を示す。この装置1は、大まかに言って、反応容器3と、一対の電極11,12と、回収体50を有するカーボンナノチューブ回収部5と、から構成される。
なお、上記カーボンナノチューブ含有生成物が電極に絡まりにくいという観点から、使用する一対の電極の配置は上述のように両電極の隙間が水平方向に形成される配置とすることが好ましいが、上記隙間が例えば垂直方向に形成されるように一対の電極を配置した場合(例えば、対向する一対の電極を例えば垂直方向に配置した場合)であっても、本製造装置1によってカーボンナノチューブを製造することは可能である。
陽極11の長手方向(軸方向)の一方の端部は、陰極12に対向する陰極対向面(陽極先端部)11aとなっている。陽極11の他方の端部(基部)11bにはモータ14が接続されている。このモータ14は、図示しない電極保持部に保持された陽極11を、その長軸を回転軸として典型的には上記電極保持部ごと回転可能に設置されている。
この陰極12の長手方向(軸方向)の一方の端部は、陽極11に対向する陽極対向面(陰極先端部)12aとなっている。陰極12の他方の端部(基部)12bにはソレノイド15が接続されている。ソレノイド15は、図示しない電極保持部に保持された陰極12を、典型的には該電極保持部ごと水平方向(すなわち、陰極12を陽極11の陰極対向面(陽極先端部)11aに近づける方向、図1に示す例では右方向)に移動可能としている。したがって、カーボン蒸発による陽極11の消耗に伴い、陰極12を陽極11側に移動させて、両電極11,12間の隙間の大きさを一定に維持することができる。なお、陰極12の移動量を設定するにあたっては、陽極11の消耗量(先端部の減り具合)または両極間の隙間のサイズをセンサにより検知する、印加電圧から陽極11の消耗量を予測する、等の手法を適宜採用することにより、該消耗量に見合った(該消耗量を補填する)移動量が実現されるように設定するとよい。
なお、回収体50の構成材料は、所望の耐熱性および強度を備える材料であればよく、特に限定されない。例えば金属材料(ステンレス等)を好ましく採用することができる。また、回収体50を構成する各部材(ここでは支柱および横棒)の形状としては図1に示すような直線状の形状を好ましく採用し得るが、これに限定されず、例えば一または二以上の横棒の一部または全体が緩やかに湾曲していてもよく、鈍角で折れ曲がっていてもよい。生成物の分離容易性の観点から、上記各部材は平滑な表面を有するように形成されていることが好ましい。また、上記各部材の軸(長手方向)に垂直な断面形状は特に限定されず、例えば円形であってもよく多角形(例えば四角形)であってもよい。生成物の分離容易性の観点からは、各部材(特に横棒)が角のない断面形状(円形、長円形、楕円形等)に形成されていることが好ましい。
なお、このように構成されたスラグ除去器80は、例えば蒸発したカーボンから生じた炭素質生成物が陽極11および/または陰極12の先端または該電極間の隙間に絡まった場合等に、その絡まった生成物を電極11,12から除去する(払い除ける)ためにも利用することができる。
このように一方向によく配向した多数の長いカーボンナノチューブを含む生成物(典型的には薄膜状の生成物)は、該生成物を構成するカーボンナノチューブの長さの割にほぐれやすいので、後続する処理(精製処理、加工処理等)を行いやすいという利点を有する。したがって、例えば該生成物の精製を効率よく行うことができる。また、このような生成物は該生成物を糸状に紡ぐ(フィラメントに加工する)のに適している。
図1に示す電極11,12間の隙間にアーク放電を発生させると、反応容器3の中央部(典型的には上記隙間の上方)に上昇気流が生じる一方、反応容器3の側壁は中央部に比べて低温であるため、反応容器3の周辺部(外周付近)に下降気流が生じる。その結果、反応容器3の内部には、中央部で上昇して周辺部で下降するガス流(雰囲気ガスの対流)が形成される。内筒32内の冷媒通路および冷却ジャケット33の一方または両方に適当な冷媒(例えば水)を供給して内筒32および/または反応容器3を強制的に冷却することにより、反応容器3内の中央部と周辺部との温度差を増大させて対流を促進することができる。少なくとも内筒32内の冷媒通路に冷媒を流通させて内壁面32aを強制冷却することが好ましい。上記ガス流(上昇気流)に乗って電極11,12から上方に吹き上げられたが回収体50に捕捉されなかった生成物60は、引き続き上記ガス流(今度は下降気流)に乗って反応容器3の周辺部を降下する。この生成物60が、内筒32および/または反応容器3の内壁面、典型的には主として電極11,12よりも上方に位置する内筒32の内壁面32a(特に、強制冷却された内壁面32a)に付着する。なお、この内壁面32aは平滑な金属面、例えばステンレス製であることが、カーボンナノチューブ(生成物60)をそのファンデルワールス力によって付着させ易いため好ましい。また、内壁面32aの強制冷却は、例えば、該内壁面32aの温度が所定の温度、具体的には例えば15℃〜30℃(好ましくは18℃〜25℃)程度となるように行うとよい。
なお、第1補助回収部30の内壁面(回収面)32aに付着した生成物60は、例えば蓋体3aを開いて反応容器3から内筒32を取り出し、該内筒32の内壁面32aに捕捉された(付着した)生成物60を例えばピンセット等で掴んで引き剥がすことによって内壁面32aから分離することができる。第1補助回収部30によって回収された生成物には、例えば、回収体50に捕捉されて回収された生成物と同様に精製処理を施すことができる。
第2補助回収部40は、反応容器3の上部側面に設けられた排出管41を介して反応容器3内の空間と連通する分離室42と、この分離室42の内部に配置されたフィルタ(例えばHEPAフィルタ)43と、分離室42に接続された油回転ポンプ等の真空ポンプ45と含む。真空ポンプ45の作動により反応容器3内から雰囲気ガスを吸引すると(このとき、初期の雰囲気調整に用いた排気管27側では図1に示すバルブ27Aを閉じておくとよい。)、回収体50に捕捉されなかった生成物60のうち比較的軽い(細かい)ものは該雰囲気ガスの流れに乗って排出管41から分離室42へと導入される。この雰囲気ガスをフィルタ43に通すことにより、該雰囲気ガスに含まれる生成物60をフィルタ43により捕捉することができる。フィルタ43を通過した雰囲気ガスは、そのまま(または必要に応じて適切な処理を施した後に)系外に排出してもよく、あるいは反応容器3の例えば底部に設けられたガス戻し口48から反応容器3内に戻してもよい。このように雰囲気ガスを循環利用(リサイクル)することによって、装置の運転コスト(ひいてはカーボンナノチューブの製造コスト)を低減することができる。
なお、図13には分離室42内に3枚のフィルタ43を配置した例を示しているが、フィルタの枚数は特に限定されず、例えば1枚〜10枚(好ましくは2枚〜5枚)とすることができる。また、第2補助回収部40の構成は図13に示すものに限られず、反応容器3から排出された雰囲気ガスの流路にフィルタを配置して該フィルタによって雰囲気ガスからカーボンナノチューブ含有生成物を濾別し得る種々の構成を採用し得る。例えば、反応容器3と分離室42とを接続する位置(排出管41を設ける位置)を内筒32よりも下方(典型的には、内筒32の下端よりも低く電極11,12よりも高い位置)としてもよい。第2補助回収部40によって回収された生成物には、例えば、回収体50に捕捉されて回収された生成物と同様に精製処理を施すことができる。
例えば、横棒51,52,53が水平方向の配置を保ちつつ反応容器3内の空間を横切るように回収体50を移動させる態様として、図1および図13には、支柱55を回転軸として回収体50を一方向に回転(回転移動)させる態様を例示しているが、例えば図6に示すように、横棒51,52,53の軸に直交する方向(すなわち、横棒51,52,53を含む平面に直交する方向)に支柱55を往復移動させてもよい。これにより、横棒51,52,53が水平方向の配置を保ったまま、それらの軸に直交する方向に反応容器内の空間を水平に横切って往復移動する。また、図7に示すように、横棒51,52,53の軸に直交する方向への移動を含む所定の軌道(ここでは、前記直交方向を長軸方向とする長円状の軌道)に沿って支柱55を移動(周回)させてもよい。あるいは、図8に示すように、支柱55の上端を支点として、横棒51,52,53の軸に直交する方向に回収体50を振り子運動させてもよい。これらの態様によっても、反応容器3内の空間を横切る横棒51,52,53によって、反応容器3内に形成された上昇気流のなかから生成物60を適切にすくい取る(捕捉する)ことができる。
図9は一変形例に係る回収体150を反応容器3(図1参照)の上方からみた状態を示す模式図である。この回収体150は、図1に示す支柱55と同様に蓋体3aから下方に延びる支柱155と、支柱155の上端から約1/3の位置から外方へと水平に延びるように120°間隔で設けられたスティック状の横棒153a,153b,153cと、支柱155の上端から約2/3の位置から外方へと水平に延びるように120°間隔で設けられたスティック状の横棒152a,152b,152cと、支柱155の下端から外方へと水平に延びるように120°間隔で設けられたスティック状の横棒151a,151b,151cとを有するスケルトン構造である。これらの横棒はいずれも略同一形状であって、横棒152aおよび横棒151aは横棒153aの真下に、同様に横棒152bおよび横棒151bは横棒153bの真下に、横棒152cおよび横棒151cは横棒153cの真下にそれぞれ配置されている。
このような種々の形状の回収体により、好ましくは該回収体の備える横棒のうち少なくとも一つが反応容器内の空間を横切るように該回収体を移動(回転移動、往復移動、所定の軌道に沿った移動、振り子移動等であり得る、)させることにより、反応容器3内に形成された上昇気流のなかから生成物60をすくい取る(捕捉する)ことができる。
3 反応容器
3a 蓋体
5 カーボンナノチューブ回収部
11 陽極(電極)
11a 陰極対向面(陽極先端部)
12 陰極(電極)
12a 陽極対向面(陰極先端部)
30 第1補助回収部
32 内筒
32a 内壁面(回収面)
40 第2補助回収部
43 フィルタ
45 真空ポンプ
50,150,250,350,450 回収体
51,52,53,151a〜c,152a〜c,153a〜c,251,252,253,351,352,353,451,452 横棒
55,155,255,355,455 支柱
59 モータ(回収体移動機構)
60 生成物
70 電極ワイパー
80 スラグ除去器
Claims (10)
- 反応容器と、
該反応容器内に対向して且つ隙間をあけて配置された一対の電極であって該電極間においてカーボンを蒸発させ得るアーク放電を発生させる一対の電極と、
前記蒸発したカーボンからなるカーボンナノチューブを捕捉し得る回収体であって前記電極の上方に配置された回収体と、
を備え、
ここで、前記回収体は、前記反応容器内を水平方向に延びる二以上の横棒を含むスケルトン構造であって、それらの横棒が上下に間隔をあけて配置された構成を有する、カーボンナノチューブ製造装置。 - 少なくとも一の前記横棒が前記水平方向の配置を保ちつつ前記反応容器内の空間を横切るように前記回収体を移動させる回収体移動機構をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記回収体は、前記反応容器の上端から下方に延びる一の支柱を備え、前記二以上の横棒の中央部は前記支柱に支持されており、それらの横棒の両端は開放されている、請求項1または2に記載の装置。
- 前記一対の電極は、該電極間の隙間が水平方向に形成されるように配置される、請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極の外周に付着したゴミを払い除け可能に構成された電極ワイパーをさらに備える、請求項1から4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記一対の電極のうち少なくとも陽極の先端部を該陽極の側方から打撃可能に構成されたスラグ除去器をさらに備える、請求項1から5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記反応容器内の空間に面する回収面であって強制的に冷却可能に構成された回収面を有する第1補助回収部をさらに備える、請求項1から6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記反応容器内から排出される雰囲気ガス中から前記回収体において回収されなかったカーボンナノチューブを回収し得る第2補助回収部を該反応容器と連通して備える、請求項1から7のいずれかに記載の製造装置。
- 反応容器内に一対の電極を対向して且つ隙間をあけて配置し、該電極間にアーク放電を発生させ、該電極からカーボンを蒸発させるとともに、その蒸発したカーボンから成り前記反応容器内を上方に吹き上がるカーボンナノチューブを前記電極の上方に配置された回収体によって捕捉するカーボンナノチューブ製造方法であって、
ここで、前記回収体として、前記反応容器内を水平方向に延びる二以上の横棒を含むスケルトン構造であって、それらの横棒が上下に間隔をあけて配置された構成を有する回収体を用いる、カーボンナノチューブ製造方法。 - 少なくとも一の前記横棒が前記水平方向の配置を保ちつつ前記反応容器内の空間を横切るように前記回収体を移動させて前記カーボンナノチューブを捕捉する、請求項9に記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007055231A JP5176199B2 (ja) | 2007-03-06 | 2007-03-06 | カーボンナノチューブ製造装置と製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007055231A JP5176199B2 (ja) | 2007-03-06 | 2007-03-06 | カーボンナノチューブ製造装置と製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008214142A true JP2008214142A (ja) | 2008-09-18 |
JP5176199B2 JP5176199B2 (ja) | 2013-04-03 |
Family
ID=39834635
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007055231A Active JP5176199B2 (ja) | 2007-03-06 | 2007-03-06 | カーボンナノチューブ製造装置と製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5176199B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2015133387A1 (ja) * | 2014-03-01 | 2017-04-06 | 昭和電工株式会社 | カーボンナノチューブアレイ、材料、電子機器、カーボンナノチューブアレイの製造方法および電界効果トランジスタの製造方法 |
WO2017057751A1 (ja) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | 株式会社名城ナノカーボン | カーボンナノチューブの製造装置および製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002234713A (ja) * | 2001-02-06 | 2002-08-23 | Sony Corp | フラーレン類の製造方法および装置 |
JP2002234715A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-08-23 | Sony Corp | フラーレン類の製造方法および装置 |
JP2002249306A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-09-06 | Sony Corp | カーボンナノチューブの製造方法および装置 |
JP2003183011A (ja) * | 2001-12-14 | 2003-07-03 | Sony Corp | 炭素質材料捕獲器、炭素質材料の製造方法及び製造装置 |
JP2004210607A (ja) * | 2003-01-06 | 2004-07-29 | Futaba Corp | ナノカーボン物質の連続製造装置及び連続製造方法 |
-
2007
- 2007-03-06 JP JP2007055231A patent/JP5176199B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002234713A (ja) * | 2001-02-06 | 2002-08-23 | Sony Corp | フラーレン類の製造方法および装置 |
JP2002234715A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-08-23 | Sony Corp | フラーレン類の製造方法および装置 |
JP2002249306A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-09-06 | Sony Corp | カーボンナノチューブの製造方法および装置 |
JP2003183011A (ja) * | 2001-12-14 | 2003-07-03 | Sony Corp | 炭素質材料捕獲器、炭素質材料の製造方法及び製造装置 |
JP2004210607A (ja) * | 2003-01-06 | 2004-07-29 | Futaba Corp | ナノカーボン物質の連続製造装置及び連続製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2015133387A1 (ja) * | 2014-03-01 | 2017-04-06 | 昭和電工株式会社 | カーボンナノチューブアレイ、材料、電子機器、カーボンナノチューブアレイの製造方法および電界効果トランジスタの製造方法 |
US11005046B2 (en) | 2014-03-01 | 2021-05-11 | The University Of Tokyo | Carbon nanotube array, material, electronic device, process for producing carbon nanotube array, and process for producing field effect transistor |
WO2017057751A1 (ja) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | 株式会社名城ナノカーボン | カーボンナノチューブの製造装置および製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5176199B2 (ja) | 2013-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5416402B2 (ja) | カーボンナノチューブを製造するための方法及び反応器 | |
CN1305760C (zh) | 碳纳米管的制造设备和方法 | |
JP3017161B2 (ja) | 単層カーボンナノチューブの製造方法 | |
JP2002348108A (ja) | ナノカーボンの製造方法及びその方法を用いて製造されたナノカーボン及びナノカーボンと金属微粒子を含む複合材料又は混合材料,ナノカーボンの製造装置、ナノカーボンのパターン化方法及びその方法を用いてパターン化されたナノカーボン基材及びそのパターン化されたナノカーボン基材を用いた電子放出源 | |
JP2004518600A (ja) | 二重壁炭素ナノチューブ並びにその製造および使用方法 | |
JP5176199B2 (ja) | カーボンナノチューブ製造装置と製造方法 | |
JP5644537B2 (ja) | カーボンナノチューブ集合体及びその製造方法 | |
JP5354592B2 (ja) | カーボンナノ粒子の製造方法 | |
JP4724930B2 (ja) | 炭素質材料の製造方法及び製造装置 | |
WO2007125816A1 (ja) | カーボンナノホーンの製造装置及び製造方法 | |
JP2002265209A (ja) | カーボンナノチューブの精製方法 | |
KR100836260B1 (ko) | 상압조건하의 결정성 탄소 나노입자 생성 방법 | |
JP2006281168A (ja) | 二層カーボンナノチューブを製造するための触媒とこれを用いる二層カーボンナノチューブの製造方法 | |
JP2009502702A (ja) | ナノ構造体の生成方法及び装置 | |
Kim et al. | The preparation of carbon nanotubes by dc arc discharge using a carbon cathode coated with catalyst | |
WO2020031883A1 (ja) | 窒化ホウ素ナノチューブ材料、窒化ホウ素ナノチューブ複合材料、及び窒化ホウ素ナノチューブ材料の製造方法 | |
JP2002249306A (ja) | カーボンナノチューブの製造方法および装置 | |
JP5477624B2 (ja) | 二層カーボンナノチューブを主体とする炭素質材料の製造方法 | |
Vittori Antisari et al. | Carbon nanostructures produced by an AC arc discharge | |
JP3885719B2 (ja) | グラフェンシート筒の先端部の一部又は全部が破れているカーボンナノチューブの製造方法及び製造装置 | |
Kia et al. | Electric field induced needle-pulsed arc discharge carbon nanotube production apparatus: Circuitry and mechanical design | |
JP3952476B2 (ja) | 単層カーボンナノチューブ及びその製造方法 | |
Bera et al. | Optoelectronically automated system for carbon nanotubes synthesis via arc-discharge in solution | |
JP4524546B2 (ja) | カーボンナノチューブおよびその製造方法 | |
JP2006188384A (ja) | ホウ素含有カーボンナノ構造物及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100513 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121213 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5176199 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |