JP2008209317A - 磁気式角度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気式角度センサ10によれば、基板14上に配置された一対の第1磁気抵抗素子16および第2磁気抵抗素子18が、それらの一対の薄膜ヨークの磁化容易方向が90°よりも所定角度2θだけ小さい角度Aとなるように予め配置されていることから、一対の第1磁気抵抗素子16および第2磁気抵抗素子18の薄膜ヨーク40、42が相互に近接させられてそれら薄膜ヨーク40、42に誘導される磁束が相互に影響するときに、一方の第1磁気抵抗素子16の一対の薄膜ヨーク40、42の磁化容易方向と他方の第2磁気抵抗素子18の一対の薄膜ヨーク40、42の磁化容易方向とが相互に略直角を形成するようになるので、外部磁界Hの検出方向のずれの発生が好適に抑制される。
【選択図】図1
Description
ω=tan−1(A・sinω/A・cosω)・・・(1)
但し、ω0は外部磁界Hの角度の真の値、ωは外部磁界Hの角度の測定値
16:第1磁気抵抗素子( 磁気抵抗素子)
18:第2磁気抵抗素子( 磁気抵抗素子)
24:第1抵抗素子( 磁気抵抗素子)
Claims (7)
- 軟磁性材料からなり且つ所定の間隙を介して配置された一対の薄膜ヨークと、該一対の薄膜ヨーク間の間隙において該一対の薄膜ヨークを電気的に接続するように形成されたGMR膜とから成る一対の磁気抵抗素子が、該磁気抵抗素子の長手方向が直角状に交差するように基板上に所定間隔を隔てて配置され、該一対の磁気抵抗素子の抵抗値の変化に基づいて外部磁界の方向を検出する磁気式角度センサにおいて、
前記一対の磁気抵抗素子が、前記一対の薄膜ヨークの磁化容易方向が90°よりも所定角度2θだけ小さい角度Aとなるように配置されていることを特徴とする磁気式角度センサ。 - 前記外部磁界は地磁気であることを特徴とする請求項1の磁気式角度センサ。
- 前記所定角度2θは、0.2乃至2°以内の範囲であることを特徴とする請求項1または2の磁気式角度センサ。
- 前記一対の磁気抵抗素子は、他の一対の抵抗素子と直列に接続されることにより一対のハーフブリッジをそれぞれ構成し、
該一対のハーフブリッジは、前記外部磁界の方向の変化に応じて位相の異なる信号をそれぞれ出力するものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかの磁気式角度センサ。 - 前記他の一対の抵抗素子は、前記一対の磁気抵抗素子よりも低いゲインを有する他は該一対の磁気抵抗素子と同様に構成された磁気抵抗素子であることを特徴とする請求項4の磁気式角度センサ。
- 前記他の一対の抵抗素子は、該一対の抵抗素子の一対の薄膜ヨークの磁化容易方向が前記一対の磁気抵抗素子の磁化容易方向と平行となるように配置されていることを特徴とする請求項5の磁気式角度センサ。
- 前記一対の磁気抵抗素子は、相互に同じゲインを有し、互いに直列に接続されることにより1つのハーフブリッジを構成するものである請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気式角度センサ。
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