JP2008203831A - 光学マイクロ技術化合物内のキャビティを流体材料で充填する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、材料の第1および第2の層の間で、少なくとも部分的に流体(18)で充填された気密なキャビティ(16)を規定する、材料(10)の第1の層、材料(20)の第2の層および壁(14)、材料(10)の第1の層に強固に接続され、第2の層(20)の材料で少なくとも部分的(V)に充填されたハウジング(500)を規定するブロック(50,60)、を有するデバイス(22)に関する。本発明によれば、前記ブロックのハウジング(500)が、それぞれ、キャビティ(16)の材料(20)をシールする接着ポイントを形成する。
【選択図】図3C
Description
・ある構造の上にキャビティを規定する壁を製造するステップと、
・壁に接触する前記構造の面の上に、少なくとも1つのハウジングを規定するブロックを製造するステップと、
・機能的な流体によってキャビティを充填するステップと、
・機能的な流体で充填されたキャビティをシールし、ハウジングの内部を少なくとも部分的に占有するシール材料の連続的な層を、コンフォーマルに堆積するステップと、
を有することを特徴とする方法にも関連する。
・図3Aは、それぞれのキャビティ16(当然、それぞれのキャビティに対して複数作ることができる)内にブロック50を作ることを示し、
・図3Bは、ブロック50が壁14の一体部分でありうることを示し、
・図3Cは、ブロック50が壁14の交点に位置できることを示す。
・図4に従ってキャビティの周りに4μmの内径Dintをもつ、28に等しい数
・図5に従ってキャビティの周りに16μmの内径Dintをもつ、4に等しい数
である。
10 基板
14 壁
16 キャビティ
18 流体
20 シール層(シール材料)
50、60 ブロック(マイクロキャビティ)
70 材料
100 表面
140 頂点
500 ハウジング
500a 内壁
500b 底部
Claims (26)
- 材料(10)の第1の層と、シール層を形成する材料(20)の第2の層と、壁(14)と、材料の第1および第2の層および前記壁によって限定され、少なくとも部分的に流体(18)で充填された気密なキャビティ(16)と、材料(10)の第1の層に強固に接続され、第2の層(20)の材料で少なくとも部分的(V)に充填されたハウジング(500)を規定するブロック(50,60)とを、有することを特徴とするデバイス(22)。
- 壁(14)とブロック(50,60)とは実質的に同じ高さを持つことを特徴とする請求項1に記載のデバイス(22)。
- いくつかのブロック(50)の少なくとも1つの部分が壁(14)を形成することを特徴とする請求項1または2に記載のデバイス(22)。
- すべてのブロック(50)が部分的に壁(14)を形成することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のデバイス(22)。
- ブロック(50)の少なくとも一部がいくつかの壁(14)の交点に位置していることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のデバイス(22)。
- ブロック(50)の少なくとも一部が壁(14)に隣接していることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のデバイス(22)。
- 第2の層(20)は、ハウジング(500)において第1の層(10)と接触することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のデバイス(22)。
- キャビティ(16)は所定の光学特性をもった機能的な流体(18)で充填されることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のデバイス。
- 流体(18)は感光性または熱感応性流体、あるいは決定された光学的屈折率を持った流体であることを特徴とする請求項8に記載のデバイス。
- 第2の層(20)の材料はパリレンであることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載のデバイス。
- 第2の層(20)の材料はハウジング内およびキャビティ上にコンフォーマルな方法で堆積されることを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載のデバイス。
- ハウジング(500)は第2の層(20)の材料で完全に充填されることを特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載のデバイス。
- ハウジング(500)は第2の層(20)の材料で部分的に充填されることを特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載のデバイス。
- 第2の層(20)の材料で部分的に充填されたハウジングは、ある材料(70)で充填されることを特徴とする請求項13に記載のデバイス。
- 材料(70)は機能的な流体(18)と同じ光学的屈折率を持つことを特徴とする請求項14に記載のデバイス。
- 機能的な流体(18)と同じ光学的屈折率を持ち、ブロック(50)のハウジング(500)を充填する材料(70)は、材料(20)の第2の層の上に重ねられた材料の第3の層(70)を形成することを特徴とする請求項15に記載のデバイス。
- 壁(14)によって分離された機能的な流体を有するキャビティ(16)が備えられたデバイス(22)を製造するための方法であって、以下のステップ:
・ある構造(10)の上にキャビティ(16)を規定する壁(14)を製造するステップと、
・壁(14)に接触する前記構造の面(100)の上に、少なくとも1つのハウジング(500)を規定するブロック(50)を製造するステップと、
・機能的な流体(18)によってキャビティ(16)を充填するステップと、
・機能的な流体(18)で充填されたキャビティ(16)をシールし、ハウジング(500)の内部を少なくとも部分的に占有するシール材料(20)の連続的な層を、コンフォーマルに堆積するステップと、
を有することを特徴とする方法。 - シール材料(20)の連続的な層のコンフォーマルな堆積は、パリレン堆積であることを特徴とする請求項17に記載の方法。
- パリレン堆積はCVD堆積であり、続いて環境条件の下での重合が行なわれることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- ブロック(50)は、壁(14)と同じ方法を使って、また同時に製造されることを特徴とする請求項17から19のいずれか1項に記載の方法。
- 壁および/またはブロックは、樹指フォトリソグラフィを用いて作られることを特徴とする請求項17から20のいずれか1項に記載の方法。
- 壁および/またはブロックの製造は、ポリマー層のマスクを介するエッチングを用いて行なわれることを特徴とする請求項17から20のいずれか1項に記載の方法。
- キャビティ(16)の充填は、プリントヘッド(T)を使った液滴形態での機能的な流体(18)のジェット技術を用いて行なわれることを特徴とする請求項17から22のいずれか1項に記載の方法。
- キャビティ(16)をシールするブロック(50)のハウジング(500)内のシール材料(20)の堆積の後に、シール材料(20)でコーティングされたハウジング(500)の残余の体積部分(V)が、ある材料(70)で充填されることを特徴とする請求項17から23のいずれか1項に記載の方法。
- キャビティ(16)をシールするブロック(50)のハウジング(500)内のシール材料(20)の堆積の後に、ある材料(70)が、シール材料(20)の層の上と、ブロック(50)のハウジング(500)内の残余の体積部分(V)と、に堆積されることを特徴とする請求項17から23のいずれか1項に記載の方法。
- 材料(70)の堆積はスピンコーティングタイプ技術を用いて行なわれ、続いて材料の硬化が行なわれることを特徴とする請求項25に記載の方法。
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