JP2008197058A - リングレーザジャイロ - Google Patents
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Abstract
【課題】小型・高精度なリングレーザジャイロを提供する。
【解決手段】リング状の光導波路共振器構造を有するリングレーザ51、光導波路52〜55及び光検出器56を基板50上に有する。光導波路52,53はリングレーザ51内を互いに反対回りに伝播する2つの発振光のそれぞれに方向性結合器61を介して結合し、光導波路54は光導波路53と反射面62を介して結合している。光導波路55は光導波路52,54と結合し、それら光導波路52,54の伝播光の合波光が伝播する。光検出器56はその合波光を検出するように基板50上に集積される。
【選択図】図1
【解決手段】リング状の光導波路共振器構造を有するリングレーザ51、光導波路52〜55及び光検出器56を基板50上に有する。光導波路52,53はリングレーザ51内を互いに反対回りに伝播する2つの発振光のそれぞれに方向性結合器61を介して結合し、光導波路54は光導波路53と反射面62を介して結合している。光導波路55は光導波路52,54と結合し、それら光導波路52,54の伝播光の合波光が伝播する。光検出器56はその合波光を検出するように基板50上に集積される。
【選択図】図1
Description
この発明は光導波路型のリングレーザを用いる構造のリングレーザジャイロに関する。
図2はこの種のリングレーザジャイロの従来例として、特許文献1に記載されている構成を示したものであり、この例では基板(半導体基板)10上に四角形状の光導波路共振器構造を有するリングレーザ11が構成されている。リングレーザ11の4隅には反射面12が形成されており、そのうち2箇所の反射面12には光出力面13,14が形成されている。光出力面13はリングレーザ11内を時計回りに伝播する光15の一部を出力光18として出射し、光出力面14はリングレーザ11内を反時計回りに伝播する光16の一部を出力光19として出射する。
これら2箇所の光出力面13,14から出射された出力光18,19は基板10上に設けられた光検出器17の位置において重ね合わされる。図2中、22はリングレーザ11に電流を流し、レーザ発振を生じさせるための電極を示し、23は光検出器17の電極を示す。
このような構成を有するリングレーザジャイロでは基板面に垂直な軸回りに回転角速度が入力すると、サニャック効果により入力角速度に応じたレーザ発振周波数差が時計回りに伝播する光15と反時計回りに伝播する光16との間に生じ、つまり2つの出力光18,19の間に周波数差が発生し、それら2つの出力光18,19の干渉によるビート周波数を光検出器17によって検出することにより、入力回転角速度を検出することができるものとなっている。なお、2つの出力光18,19は図2に示した構成では空間を広がりながら伝播するものとなっている。
一方、図3は特許文献2に記載されているリングレーザジャイロの構成を示したものであり、この例では基板30上に入力光導波路31とリング状の光導波路共振器構造を有するリングレーザ32とU字形の出力光導波路33とが形成されている。入力光導波路31とリングレーザ32とは方向性結合器(カプラ)34を介して結合されており、出力光導波路33とリングレーザ32とは方向性結合器35を介して結合されている。
基板30の外にはレーザダイオード36及び光検出器37が配置され、レーザダイオード36と入力光導波路31とは光ファイバ38を介して接続されている。また、出力光導波路33の2つの脚部33a,33bには光ファイバ41,42が接続されている。なお、図3中、43は信号プロセッサを示し、44,45は位相変調器を示す。
この構成ではレーザダイオード36から出射された光は光ファイバ38を介して入力光導波路31に入力され、入力光導波路31を伝播する光が方向性結合器34を介してリングレーザ32に結合される。これにより、リングレーザ32内に時計回り、反時計回りに伝播する2つのレーザ発振光が生じ、それら2つの発振光のそれぞれ一部が方向性結合器35を介して出力光導波路33の脚部33a,33bにそれぞれ結合される。光ファイバ41,42は両脚部33a,33bからの光を光検出器37に導き、光検出器37はそれら2つの光の干渉光を電気信号として検出し、その検出出力より入力回転角速度が検知されるものとなっている。なお、位相変調器44,45は周波数ロック及び単一方向レーザ発振を防止すべく、機能する。
特許第3221576号公報
特表平9−500720号公報
しかるに、図2に示した構成のリングレーザジャイロでは2箇所の光出力面13,14から出射する出力光18,19を重ね合わせるためには相応の距離が必要であり、つまり光出力面13,14と光検出器17との間に相応の距離が必要であり、その分基板10が大型化し、リングレーザジャイロの小型化が制限されるものとなっていた。
また、出力光18,19が空間伝播中に基板10の表面にて散乱される可能性があり、検出されるビートがなまってしまうために検出誤差が生じ、高精度の角速度測定を行えないといった問題もある。
このような問題を解消するためには光出力面13,14から出射する出力光18,19がより短かい距離で効率よく重なり合うようにすべく、出力光18,19の基板面内方向の広がり角を大きくする必要があり、一方基板面垂直方向では出力光18,19の広がり角を小さくする必要がある。そのためには、例えば光出力面13,14を単なる平面ではなく、所定の曲率を有する面としたり、リングレーザ11の光導波路断面を幅の狭い高アスペクト比構造とするといったことが考えられるが、このような構成の採用はリングレーザジャイロの作製の難易度が増すことになる。加えて、光出力面13,14を単なる平面ではない構造とすると、光出力面13,14における後方散乱が生じ、結果として角速度測定精度が低下するといった状況が生じうる。
一方、図3に示した構成のリングレーザジャイロではリングレーザ32内の時計回り、反時計回りの2つの発振光を方向性結合器35を介して取り出すように光導波路が構成されており、基板30自体は図2における基板10よりも小型化が可能であるものの、例えば光検出器37は基板30の外部に配置されており、その点で集積化が不十分であって、リングレーザジャイロ全体として小型化が制限されるものとなっていた。
この発明の目的はこのような状況に鑑み、小型化でき、かつ回転角速度を高精度に検出することができるリングレーザジャイロを提供することにある。
請求項1の発明によれば、リング状の光導波路共振器構造を有するリングレーザ、そのリングレーザに結合する光導波路及び光検出器を基板上に有し、基板面に垂直な軸回りの回転角速度を検出するリングレーザジャイロは、基板上に、リングレーザ内を互いに反対回りに伝播する2つの発振光のそれぞれに同一の方向性結合器を介してそれぞれ結合する第1及び第2の光導波路と、その第2の光導波路と反射面を介して結合する第3の光導波路と、その第3の光導波路と第1の光導波路とに結合し、それら第1及び第3の光導波路の伝播光の合波光が伝播する第4の光導波路とが形成され、光検出器は第4の光導波路を伝播する合波光を検出するように基板上に集積される。
請求項2の発明では請求項1の発明において、反射面に基板の劈開面を用いる。
請求項3の発明では請求項1又は2の発明において、基板が化合物半導体で構成され、リングレーザはリング状の光導波路共振器構造に電流注入電極を具備してなる半導体リングレーザとされる。
請求項2の発明では請求項1の発明において、反射面に基板の劈開面を用いる。
請求項3の発明では請求項1又は2の発明において、基板が化合物半導体で構成され、リングレーザはリング状の光導波路共振器構造に電流注入電極を具備してなる半導体リングレーザとされる。
この発明によれば、小型化を図ることができ、かつ回転角速度を高精度に検出することができるリングレーザジャイロを実現することができ、例えば携帯端末や輸送機械、入力デバイス等の用途に用いて好適なリングレーザジャイロを提供することができる。
この発明の実施形態を図面を参照して実施例により説明する。
図1はこの発明によるリングレーザジャイロの一実施例の構成を示したものであり、この例では化合物半導体よりなる基板50上にリング状の光導波路共振器構造を有するリングレーザ51と、第1〜第4の光導波路52〜55と、光検出器56とを有する構造となっており、リングレーザ51はリング状の光導波路共振器構造に電流を注入するための電極57を具備してなる半導体リングレーザとされている。図1中、58は光検出器56の電極を示す。また、矢印は光の進行方向を示す。
図1はこの発明によるリングレーザジャイロの一実施例の構成を示したものであり、この例では化合物半導体よりなる基板50上にリング状の光導波路共振器構造を有するリングレーザ51と、第1〜第4の光導波路52〜55と、光検出器56とを有する構造となっており、リングレーザ51はリング状の光導波路共振器構造に電流を注入するための電極57を具備してなる半導体リングレーザとされている。図1中、58は光検出器56の電極を示す。また、矢印は光の進行方向を示す。
基板(化合物半導体基板)50は例えばInP基板とされ、リングレーザ51はこのInP基板上にエピタキシャル成長したInGaAsP結晶による利得導波路にて構成される。
第1の光導波路52と第2の光導波路53とは互いに連結されて、その連結部がリングレーザ51の一部に近接平行配置されており、この連結部によってリングレーザ51より光を取り出すための方向性結合器61が構成されている。
第1の光導波路52と第2の光導波路53とは連結部(方向性結合器61)から互いに反対方向に延伸されており、第1の光導波路52は第4の光導波路55に至り、第2の光導波路53は基板50の端面に至る。第3の光導波路54は基板50の端面に構成された反射面62を介して第2の光導波路53と結合されており、他端は第4の光導波路55に結合されている。第1の光導波路52と第3の光導波路54とが結合された第4の光導波路55は図1に示したように、光検出器56に至るものとされる。
これら第1〜第4の光導波路52〜55もリングレーザ51と同様、基板50上にエピタキシャル成長した結晶により構成することができる。このようにエピタキシャル成長による光導波路を基板50上に構成することにより、反射面62として完全に平坦な面である基板劈開面を用いることができるので、反射面62における散乱の防止という点で好ましい。なお、反射面62にはこの例では高反射コーティングを施してある。
上記のような構成を有するリングレーザジャイロではリングレーザ51内で励起され、互いに反対回り(時計回り、反時計回り)に伝播する2つの発振光のそれぞれ一部は方向性結合器61によって取り出されてそれぞれ第1及び第2の光導波路52,53に結合され、第2の光導波路53を伝播する光は反射面62で反射され、第3の光導波路54を伝播して第4の光導波路55に至り、第4の光導波路55において第1の光導波路52の伝播光と合波されて、合波光が光検出器56に入射される。
リングレーザ51内を互いに反対回りに伝播する2つの発振光はこのようにして最終的に第4の光導波路55によって合波されて光検出器56に入射され、よって基板面に垂直な軸回りに回転角速度が入力した時にサニャック効果により生じる両発振光の周波数差により生じる合波光のビート周波数を光検出器56によって検出することにより入力回転角速度を検出することができる。
以上説明したように、この例によればリングレーザ51からの光取り出しは方向性結合器61によって行われ、取り出された2方向の光は導波路中を伝播し、そのうち一方は反射により方向を変えた後に、それら2方向の光が合波されて、基板50上に集積された光検出器56に入射する構造となっている。
従って、図2や図3に示した従来のリングレーザジャイロに比し、この例によればリングレーザジャイロ全体を極めて小型に構成することができる。また、光検出器56に至る光は光導波路を伝播する構成のため、図2に示した従来例のような散乱は発生せず、結果として回転角速度を高精度に検出することができる。
なお、上述した例では第1〜第4の光導波路52〜55をリングレーザ51と同様、エピタキシャル成長により形成するものとしているが、リングレーザ51以外の光導波路はポリマー塗布によって作製しても良く、またSOG(Spin on glass)の手法によってポリマーや酸化物によって作製してもよい。この場合、第2の光導波路53と第3の光導波路54とを結合するための反射面はドライエッチングなどの手法により形成することとなる。
また、上述した例ではリングレーザ51は半導体リングレーザとしているが、これに限るものではなく、この発明は光学結晶その他の固体基板導波路に利得媒質を有して形成され、別途の光源のポンピング光その他のエネルギ源でポンピングされるリングレーザ、その他あらゆる形式の基板導波路型のリングレーザを利用してなるリングレーザジャイロに適用することができる。
Claims (3)
- リング状の光導波路共振器構造を有するリングレーザ、そのリングレーザに結合する光導波路及び光検出器を基板上に有し、基板面に垂直な軸回りの回転角速度を検出するリングレーザジャイロであって、
前記基板上に、前記リングレーザ内を互いに反対回りに伝播する2つの発振光のそれぞれに同一の方向性結合器を介してそれぞれ結合する第1及び第2の光導波路と、その第2の光導波路と反射面を介して結合する第3の光導波路と、その第3の光導波路と前記第1の光導波路とに結合し、それら第1及び第3の光導波路の伝播光の合波光が伝播する第4の光導波路とが形成され、
前記光検出器は前記第4の光導波路を伝播する前記合波光を検出するように前記基板上に集積されていることを特徴とするリングレーザジャイロ。 - 請求項1記載のリングレーザジャイロにおいて、
前記反射面に前記基板の劈開面を用いることを特徴とするリングレーザジャイロ。 - 請求項1又は2記載のリングレーザジャイロにおいて、
前記基板は化合物半導体で構成され、
前記リングレーザは前記リング状の光導波路共振器構造に電流注入電極を具備してなる半導体リングレーザであることを特徴とするリングレーザジャイロ。
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2007
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