JP2008194579A - Temperature regulator of adhesive dispenser - Google Patents
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims abstract description 265
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims abstract description 261
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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Abstract
Description
本発明は、接着剤ディスペンサ内の接着剤を温度調節する接着剤ディスペンサの温度調節装置に関する発明である。 The present invention relates to a temperature adjusting device for an adhesive dispenser that adjusts the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser.
従来の接着剤ディスペンサの温度調節装置としては、例えば特許文献1(特開平10−99756号公報)に記載されているように、接着剤ディスペンサの吐出ノズル近傍に、温度調節用の空気を流通させる温度調節空気通路を形成して、この温度調節用の空気の温度を接着剤の設定温度と同一温度に調節することで、接着剤ディスペンサの吐出ノズル付近の接着剤の温度を設定温度に調節するようにしたものがある。
近年、部品実装機の装着ヘッドに接着剤ディスペンサを吸着保持させることで、接着剤ディスペンサを自動交換できるようにしたものがある。このシステムでは、接着剤塗布作業中は、接着剤ディスペンサが温度調節装置(温度調節用の空気の供給源)から切り離されて接着剤の温度調節を行うことができないため、接着剤の温度調節は、接着剤塗布作業を行っていないとき(つまり接着剤ディスペンサが温度調節テーブル部に準備されているとき)のみ行われる。 In recent years, there is an apparatus in which an adhesive dispenser can be automatically replaced by adsorbing and holding the adhesive dispenser on a mounting head of a component mounting machine. In this system, during the adhesive application operation, the adhesive dispenser is disconnected from the temperature adjustment device (the air supply source for temperature adjustment) and the temperature of the adhesive cannot be adjusted. It is performed only when the adhesive application operation is not performed (that is, when the adhesive dispenser is prepared in the temperature adjustment table section).
従来のシステムでは、温度調節用の空気の温度を設定温度に調節することで、接着剤ディスペンサの吐出ノズル付近の接着剤の温度を設定温度に調節するようにしているため、接着剤を冷めた状態から設定温度まで昇温するのに長い時間を必要とする(温度調節用の空気の温度と接着剤の温度との温度差が小さいためである)。 In the conventional system, the temperature of the temperature adjusting air is adjusted to the set temperature, so that the temperature of the adhesive near the discharge nozzle of the adhesive dispenser is adjusted to the set temperature. It takes a long time to raise the temperature from the state to the set temperature (because the temperature difference between the temperature of the temperature adjusting air and the temperature of the adhesive is small).
部品実装機の装着ヘッドに接着剤ディスペンサを吸着保持させるシステムでは、接着剤ディスペンサの交換が頻繁に起こるため、接着剤を冷めた状態から設定温度まで昇温する時間を短くする必要がある。 In the system in which the adhesive dispenser is sucked and held by the mounting head of the component mounting machine, the adhesive dispenser is frequently replaced. Therefore, it is necessary to shorten the time for raising the temperature of the adhesive from the cooled state to the set temperature.
そこで、この要求を満たすために、接着剤を冷めた状態から設定温度まで昇温する際に、温度調節用の空気の温度を設定温度よりも十分に高くして接着剤の温度調節を高速化することが考えられるが、このようにすると、熱慣性により接着剤の温度が許容温度範囲(設定温度±許容温度変化量)を越えてオーバーシュートしやすくなるという問題が発生する。 In order to meet this requirement, when the temperature of the adhesive is raised from the cooled state to the set temperature, the temperature of the temperature adjustment air is sufficiently higher than the set temperature to speed up the temperature adjustment of the adhesive. In this case, however, there is a problem that the temperature of the adhesive exceeds the allowable temperature range (set temperature ± allowable temperature change amount) due to thermal inertia, and overshooting easily occurs.
本発明はこのような事情を考慮してなされたものであり、従ってその目的は、接着剤ディスペンサ内の接着剤を冷めた状態から設定温度まで昇温するのに必要な時間を短くできると共に、接着剤の温度が許容温度範囲(設定温度±許容温度変化量)を越えてオーバーシュートすることを防止でき、接着剤の温度調節の高速化と熱慣性によるオーバーシュート防止とを両立させることができる接着剤ディスペンサの温度調節装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and the object thereof is to shorten the time required to raise the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser from the cooled state to the set temperature, It is possible to prevent the adhesive temperature from overshooting beyond the allowable temperature range (set temperature ± allowable temperature change), and to achieve both high-speed adjustment of the adhesive temperature and prevention of overshooting due to thermal inertia. An object of the present invention is to provide a temperature control device for an adhesive dispenser.
上記目的を達成するために、請求項1に係る発明は、接着剤ディスペンサ内の接着剤を温度調節するための熱交換媒体を流通させる温度調節通路と、前記温度調節通路の入口側で熱交換媒体の温度(以下「入口側熱交換媒体温度」という)を検出する入口側熱交換媒体温度検出手段と、前記接着剤ディスペンサ内の接着剤の温度を直接又は間接的に検出する接着剤温度検出手段と、前記温度調節通路に供給する熱交換媒体の温度を調節する熱交換媒体温度調節手段とを備え、前記熱交換媒体温度調節手段は、前記接着剤温度検出手段で検出した接着剤温度が設定温度から所定温度以上離れている場合には、前記熱交換媒体の温度と前記設定温度との温度差を大きくして接着剤温度を設定温度に向かって急速に変化させるように調節する“急速温調モード”を選択し、前記接着剤温度検出手段で検出した接着剤温度が前記設定温度から前記所定温度以内に入っている場合には、前記入口側熱交換媒体温度検出手段で検出した入口側熱交換媒体の温度が前記設定温度又はその付近となるように調節する“保温モード”を選択するようにしたものである。 In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is directed to a temperature adjustment passage for circulating a heat exchange medium for adjusting the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser, and heat exchange on the inlet side of the temperature adjustment passage. Inlet side heat exchange medium temperature detection means for detecting the temperature of the medium (hereinafter referred to as “inlet side heat exchange medium temperature”) and adhesive temperature detection for directly or indirectly detecting the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser And a heat exchange medium temperature adjusting means for adjusting the temperature of the heat exchange medium supplied to the temperature adjustment passage, wherein the heat exchange medium temperature adjusting means has an adhesive temperature detected by the adhesive temperature detecting means. When the temperature is away from the set temperature by a predetermined temperature or more, the temperature difference between the temperature of the heat exchange medium and the set temperature is increased to adjust the adhesive temperature to change rapidly toward the set temperature. In the case where the adhesive temperature detected by the adhesive temperature detecting means is within the predetermined temperature from the set temperature, the inlet side detected by the inlet heat exchange medium temperature detecting means is selected. The “heat retention mode” is selected in which the temperature of the heat exchange medium is adjusted to be at or near the set temperature.
本発明では、接着剤ディスペンサ内の接着剤を冷めた状態から設定温度まで昇温する場合に、まず、急速温調モードで、熱交換媒体の温度と設定温度との温度差を大きくして接着剤温度を設定温度に向かって急速に昇温し、その後、接着剤温度検出手段で検出した接着剤温度が設定温度から所定温度以内に入った時点で、急速温調モードから保温モードに切り換えるようにしたので、接着剤を冷めた状態から設定温度まで昇温するのに必要な時間を急速温調モードによって短くできると共に、接着剤温度と設定温度との温度差が所定温度以内に入った時点で急速温調モードから保温モードに切り換えることで、接着剤の温度が許容温度範囲(設定温度±許容温度変化量)を越えてオーバーシュートすることを保温モードによって防止することができ、接着剤の温度調節の高速化と熱慣性によるオーバーシュート防止とを両立させることができる。 In the present invention, when the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser is raised from the cooled state to the set temperature, first, in the rapid temperature adjustment mode, the temperature difference between the temperature of the heat exchange medium and the set temperature is increased. The temperature of the adhesive is rapidly raised toward the set temperature, and then the temperature control mode is switched from the rapid temperature adjustment mode to the heat retention mode when the adhesive temperature detected by the adhesive temperature detecting means falls within the predetermined temperature from the set temperature. The time required to raise the temperature of the adhesive from the cooled state to the set temperature can be shortened by the rapid temperature control mode, and the temperature difference between the adhesive temperature and the set temperature falls within the specified temperature. By switching from the rapid temperature control mode to the heat retention mode, the heat retention mode prevents the adhesive temperature from overshooting beyond the allowable temperature range (set temperature ± allowable temperature change). Can, it is possible to achieve both overshoot prevention by speed and thermal inertia of the temperature control of the adhesive.
しかも、本発明では、接着剤の温度が熱交換媒体の温度に対して追従遅れがあることを考慮して、急速温調モードから保温モードに切り換えるタイミングを、接着剤温度検出手段で検出した接着剤温度と設定温度との温度差に基づいて判断するようにしたので、熱慣性によるオーバーシュート(接着剤の温度上昇量)を確実に防止できる範囲内で急速温調モードの実行時間を最大限に長くすることができる。また、保温モードでは、入口側熱交換媒体温度検出手段で検出した入口側熱交換媒体の温度を設定温度又はその付近となるように調節するため、実際の接着剤温度の微妙な変化に振り回されることなく、接着剤温度を設定温度又はその付近に安定して保つことができる。 In addition, in the present invention, the adhesive temperature detecting means detects the timing of switching from the rapid temperature control mode to the heat retention mode in consideration of the fact that the adhesive temperature has a follow-up delay with respect to the temperature of the heat exchange medium. Judgment is made based on the temperature difference between the adhesive temperature and the set temperature, so the maximum execution time of the rapid temperature adjustment mode is maximized within a range that can reliably prevent overshoot (adhesive temperature rise) due to thermal inertia. Can be long. Further, in the heat retaining mode, the temperature of the inlet side heat exchange medium detected by the inlet side heat exchange medium temperature detecting means is adjusted so as to be at or near the set temperature, so that it is swayed by subtle changes in the actual adhesive temperature. Therefore, the adhesive temperature can be stably maintained at or near the set temperature.
また、保温モードでは、温度調節通路の出口側の熱交換媒体の温度(以下「出口側熱交換媒体温度」という)が接着剤温度に略一致することを考慮して、請求項2のように、入口側熱交換媒体温度検出手段に代えて、出口側熱交換媒体温度を検出する出口側熱交換媒体温度検出手段を設け、接着剤ディスペンサ内の接着剤を冷めた状態から設定温度まで昇温する場合に、まず、上記請求項1と同様の急速温調モードで、接着剤温度を設定温度に向かって急速に上昇させ、その後、接着剤温度検出手段で検出した接着剤温度が設定温度から所定温度以内に入った時点で、急速温調モードから保温モードに切り換え、出口側熱交換媒体温度検出手段で検出した出口側熱交換媒体の温度が設定温度又はその付近となるように調節するようにしても良い。このようにしても、請求項1と同様の効果を得ることができる。但し、熱交換媒体の流量が少ない場合は、出口側熱交換媒体温度が接着剤温度と一致しなくなる可能性があるため、熱交換媒体の流量が少ない場合は、前記請求項1のように、保温モード時に入口側熱交換媒体温度に基づいて接着剤の温度を管理した方が良い場合もある。 Further, in the heat retention mode, the temperature of the heat exchange medium on the outlet side of the temperature adjusting passage (hereinafter referred to as “outlet side heat exchange medium temperature”) is approximately equal to the adhesive temperature, as in claim 2. In place of the inlet side heat exchange medium temperature detecting means, outlet side heat exchange medium temperature detecting means for detecting the outlet side heat exchange medium temperature is provided, and the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser is raised from the cooled state to the set temperature. In this case, first, in the rapid temperature adjustment mode similar to the above-described claim 1, the adhesive temperature is rapidly raised toward the set temperature, and then the adhesive temperature detected by the adhesive temperature detecting means is changed from the set temperature. When the temperature falls within the predetermined temperature, switch from the rapid temperature control mode to the heat retention mode, and adjust so that the temperature of the outlet side heat exchange medium detected by the outlet side heat exchange medium temperature detecting means is at or near the set temperature. Anyway . Even if it does in this way, the effect similar to Claim 1 can be acquired. However, when the flow rate of the heat exchange medium is small, the outlet side heat exchange medium temperature may not match the adhesive temperature, so when the flow rate of the heat exchange medium is small, In some cases, it is better to manage the temperature of the adhesive based on the inlet-side heat exchange medium temperature during the heat retention mode.
また、請求項3のように、接着剤温度検出手段は、接着剤ディスペンサの吐出ノズル付近の温度を接着剤温度として検出するようにすると良い。このようにすれば、接着剤ディスペンサの外部から接着剤温度を精度良く検出することができる。 According to a third aspect of the present invention, the adhesive temperature detecting means may detect the temperature near the discharge nozzle of the adhesive dispenser as the adhesive temperature. In this way, it is possible to accurately detect the adhesive temperature from the outside of the adhesive dispenser.
また、急速温調モードでも、接着剤温度と出口側熱交換媒体温度とがある程度の相関性を持って変化するため、出口側熱交換媒体温度から接着剤温度を推定可能である。この点を考慮して、請求項4のように、入口側熱交換媒体温度検出手段と出口側熱交換媒体温度検出手段の両方を設けて(接着剤温度検出手段を省略して)、出口側熱交換媒体温度検出手段で検出した出口側熱交換媒体温度が接着剤の設定温度から所定温度以上離れている場合には、熱交換媒体の温度と設定温度との温度差を大きくして接着剤温度を設定温度に向かって急速に変化させるように調節する“急速温調モード”を選択し、前記出口側熱交換媒体温度検出手段で検出した出口側接着剤温度が前記設定温度から前記所定温度以内に入っている場合には、前記入口側熱交換媒体温度検出手段で検出した入口側熱交換媒体の温度が前記設定温度又はその付近となるように調節する“保温モード”を選択するようにしても良い。 Further, even in the rapid temperature control mode, the adhesive temperature and the outlet side heat exchange medium temperature change with a certain degree of correlation, so that the adhesive temperature can be estimated from the outlet side heat exchange medium temperature. In consideration of this point, both the inlet-side heat exchange medium temperature detecting means and the outlet-side heat exchange medium temperature detecting means are provided (the adhesive temperature detecting means is omitted) as in the fourth aspect, and the outlet side If the outlet side heat exchange medium temperature detected by the heat exchange medium temperature detection means is more than the predetermined temperature from the set temperature of the adhesive, the temperature difference between the heat exchange medium and the set temperature is increased to increase the adhesive The “rapid temperature control mode” for adjusting the temperature so as to rapidly change toward the set temperature is selected, and the outlet side adhesive temperature detected by the outlet side heat exchange medium temperature detecting means is changed from the set temperature to the predetermined temperature. If the temperature is within the range, the “heat retention mode” is selected in which the temperature of the inlet side heat exchange medium detected by the inlet side heat exchange medium temperature detecting means is adjusted to be at or near the set temperature. May be.
この場合、出口側熱交換媒体温度から推定する接着剤温度の推定誤差を考慮して、その推定誤差分だけ余裕を持って急速温調モードから保温モードに早めに切り換えるようにすれば、接着剤の温度が許容温度範囲を越えてオーバーシュートすることを防止でき、接着剤の温度調節の高速化と熱慣性によるオーバーシュート防止とを両立させることができる。 In this case, if the estimated error of the adhesive temperature estimated from the outlet-side heat exchange medium temperature is taken into account, the adhesive can be switched from the rapid temperature control mode to the heat retention mode early with a margin corresponding to the estimated error. The temperature of the adhesive can be prevented from overshooting beyond the allowable temperature range, and both speeding up of the temperature adjustment of the adhesive and prevention of overshooting due to thermal inertia can be achieved.
以上説明した本発明は、請求項5のように、接着剤ディスペンサを部品実装機の温度調節テーブル部にセットした状態で前記熱交換媒体温度調節手段によって接着剤の温度を調節し、接着剤塗布作業時に該接着剤ディスペンサを部品実装機の装着ヘッドに吸着保持させて使用するようにすると良い。このようにすれば、部品実装機の稼働中に、接着剤ディスペンサの交換が頻繁に起こる場合でも、接着剤を冷めた状態から設定温度まで速やかに昇温させながら、熱慣性によるオーバーシュートを防止することができる。 In the present invention described above, the temperature of the adhesive is adjusted by the heat exchange medium temperature adjusting means in a state where the adhesive dispenser is set on the temperature adjustment table of the component mounting machine, and the adhesive is applied. It is preferable to use the adhesive dispenser by adsorbing and holding the adhesive dispenser on the mounting head of the component mounter during work. In this way, even if the adhesive dispenser is frequently replaced while the component mounter is in operation, overshoot due to thermal inertia is prevented while quickly raising the temperature of the adhesive from the cooled state to the set temperature. can do.
以下、本発明を実施するための最良の形態を具体化した5つの実施例1〜5を説明する。 Hereinafter, five examples 1 to 5 embodying the best mode for carrying out the present invention will be described.
本発明の実施例1を図1乃至図4に基づいて説明する。
まず、図1に基づいて接着剤ディスペンサ11の構成を説明する。
接着剤ディスペンサ11の本体ケース12内に、接着剤を貯留したシリンジ13が収納されている。本体ケース12の下端部には、シリンジ13から供給される接着剤を吐出する吐出ノズル14がナット部材27によって下向きに固定されている。シリンジ13内には、接着剤を押し出すためのフロート15が収容されている。
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
First, the structure of the
A
本体ケース12の下部には、熱交換媒体である温度調節用の空気を導入する入口21と、この入口21から導入した空気を吐出ノズル14の上部周囲に沿って流通させる円環状の温度調節通路22とが設けられている。本体ケース12の内周面とシリンジ13の外周面との間にも温度調節通路23が設けられ、吐出ノズル14の上部周囲の温度調節通路22を流れる空気が連通孔24からシリンジ13の外周面の温度調節通路23に流入して、本体ケース12の周側面に形成された出口25から排出されるようになっている。尚、熱交換媒体は空気以外の気体を使用しても良い。
In the lower part of the
以上のように構成された接着剤ディスペンサ11は、部品実装機の装着ヘッド(図示せず)に吸着する前は、温度調節テーブル部(図示せず)に準備され、接着剤の塗布作業に使用する時に、この接着剤ディスペンサ11を部品実装機の装着ヘッドに吸着保持させて接着剤の塗布作業を実行する。
The
温度調節テーブル部(接着剤ディスペンサの温度調節装置)には、図2に示すように、温度調節通路22に供給する温度調節用の空気の温度を調節する空気温度調節装置31(熱交換媒体温度調節手段)と、温度調節通路22の入口21側で温度調節用の空気の温度(以下「入口側空気温度」という)を検出する入口側空気温度センサ32(入口側熱交換媒体温度検出手段)と、接着剤ディスペンサ11の吐出ノズル14付近の温度を接着剤温度として検出する接着剤温度センサ33(接着剤温度検出手段)とが設けられている。
As shown in FIG. 2, the temperature adjustment table unit (adhesive dispenser temperature adjustment device) has an air temperature adjustment device 31 (heat exchange medium temperature) for adjusting the temperature of the temperature adjustment air supplied to the
入口側空気温度センサ32と接着剤温度センサ33の出力信号は、接着剤温度管理用のコンピュータ34に入力される。この接着剤温度管理用のコンピュータ34は、部品実装機を制御するコンピュータを用いても良い。この接着剤温度管理用のコンピュータ34は、後述する図4の接着剤温度管理プログラムを実行することで、接着剤温度センサ33で検出した接着剤温度と入口側空気温度センサ32で検出した入口側空気温度とに基づいて温度調節用の空気の温度を調節することで、接着剤ディスペンサ11内の接着剤の温度を設定温度付近に維持するように管理する。
Output signals from the inlet side
具体的には、図3に示すように、接着剤温度センサ33で検出した接着剤温度が設定温度から所定温度以上(例えば2℃以上)離れている場合には、入口側空気温度と設定温度との温度差を大きくして接着剤温度を設定温度に向かって急速に変化させるように調節する“急速温調モード”を選択する。そして、接着剤温度センサ33で検出した接着剤温度が設定温度から所定温度以内に入っている場合には、入口側空気温度センサ32で検出した入口側空気温度が設定温度(又はその付近)となるように調節する“保温モード”を選択する。
Specifically, as shown in FIG. 3, when the adhesive temperature detected by the adhesive temperature sensor 33 is away from the set temperature by a predetermined temperature or more (for example, 2 ° C. or more), the inlet side air temperature and the set temperature The “rapid temperature control mode” is selected to adjust the adhesive temperature so as to rapidly change toward the set temperature by increasing the temperature difference between the temperature and the temperature. When the adhesive temperature detected by the adhesive temperature sensor 33 is within a predetermined temperature from the set temperature, the inlet side air temperature detected by the inlet side
ここで、急速温調モード実行中の接着剤温度の上昇速度は、接着剤ディスペンサ11内の接着剤量によって変化し、接着剤量が少なくなるほど、接着剤温度の上昇速度が速くなって設定温度を越えてオーバーシュートしやすくなる。そこで、急速温調モードから保温モードに切り換えるときの接着剤温度(設定温度±所定温度)は、接着剤ディスペンサ11内の接着剤量が少ない場合でも、接着剤温度が許容温度範囲(設定温度±許容温度変化量)を越えてオーバーシュートしないように設定されている。
Here, the rising speed of the adhesive temperature during execution of the rapid temperature control mode varies depending on the amount of adhesive in the
以上説明した接着剤の温度管理は、接着剤温度管理用のコンピュータ34によって図4の接着剤温度管理プログラムに従って実行される。この図4の接着剤温度管理プログラムは、部品実装機の稼働中に所定周期で実行され、特許請求の範囲でいう熱交換媒体温度調節手段としての役割を果たす。
The adhesive temperature management described above is executed by the adhesive
図4の接着剤温度管理プログラムが起動されると、まずステップ101で、接着剤温度センサ33で検出した接着剤温度と入口側空気温度センサ32で検出した入口側空気温度を読み込む。この後、ステップ102に進み、接着剤温度が設定温度から所定温度以上離れているか否か(|設定温度−接着剤温度|>所定温度であるか否か)を判定し、接着剤温度が設定温度から所定温度以上離れていれば、ステップ103に進み、温調モードを急速温調モードに設定する。
When the adhesive temperature management program of FIG. 4 is started, first, in
急速温調モードの実行中は、ステップ104で、接着剤温度を「設定温度±所定温度」と比較し、接着剤温度が「設定温度−所定温度」よりも低い場合は、ステップ105に進み、接着剤温度を急速加熱できるように、空気温度調節装置31によって入口側空気温度を設定温度よりもかなり高い温度(設定温度+ΔT)に調節する。これにより、接着剤ディスペンサ11内の接着剤を急速加熱して、その接着剤温度を「設定温度−所定温度」まで急速に昇温させる。
During execution of the rapid temperature adjustment mode, in
一方、上記ステップ104で、「No」と判定された場合、つまり、接着剤温度が「設定温度+所定温度」よりも高い場合は、ステップ106に進み、接着剤を急速冷却できるように、空気温度調節装置31によって入口側空気温度を設定温度よりもかなり低い温度(設定温度−ΔT)に調節する。これにより、接着剤ディスペンサ11内の接着剤を急速冷却して、その接着剤温度を「設定温度+所定温度」まで急速に低下させる。
On the other hand, if “No” is determined in
この急速温調モードの実行中に、接着剤温度センサ33で検出した接着剤温度が設定温度から所定温度以内に入った時点(|設定温度−接着剤温度|≦所定温度となった時点)で、前記ステップ102で「No」と判定され、ステップ107に進み、温調モードを保温モードに切り換える。
When the adhesive temperature detected by the adhesive temperature sensor 33 falls within a predetermined temperature from the set temperature during the execution of the rapid temperature control mode (when the set temperature−adhesive temperature | ≦ the predetermined temperature). In
保温モードの実行中は、ステップ108で、空気温度調節装置31によって入口側空気温度を設定温度(又はその付近)に調節する。これにより、接着剤ディスペンサ11内の接着剤の温度を設定温度(又はその付近)に維持する。
While the heat retention mode is being executed, the air
以上説明した本実施例1によれば、接着剤ディスペンサ11内の接着剤を冷めた状態から設定温度まで昇温する場合に、まず、急速温調モードで、入口側空気温度と設定温度との温度差を大きくして接着剤温度を設定温度に向かって急速に昇温し、その後、接着剤温度センサ33で検出した接着剤温度が設定温度から所定温度以内に入った時点で、急速温調モードから保温モードに切り換えるようにしたので、接着剤を冷めた状態から設定温度まで昇温するのに必要な時間を急速温調モードによって短くできると共に、接着剤温度と設定温度との温度差が所定温度以内に入った時点で急速温調モードから保温モードに切り換えることで、接着剤の温度が許容温度範囲(設定温度±許容温度変化量)を越えてオーバーシュートすることを保温モードによって防止することができ、接着剤の温度調節の高速化と熱慣性によるオーバーシュート防止とを両立させることができる。
According to the first embodiment described above, when the temperature of the adhesive in the
しかも、本実施例1では、接着剤の温度が入口側空気温度に対して追従遅れがあることを考慮して、急速温調モードから保温モードに切り換えるタイミングを、接着剤温度センサ33で検出した接着剤温度と設定温度との温度差に基づいて判断するようにしたので、熱慣性によるオーバーシュート(接着剤の温度上昇量)を確実に防止できる範囲内で急速温調モードの実行時間を最大限に長くすることができる。また、保温モードでは、入口側空気温度センサ32で検出した入口側空気温度を設定温度(又はその付近)となるように調節するため、実際の接着剤温度の微妙な変化に振り回されることなく、接着剤温度を設定温度(又はその付近)に安定して保つことができる。
Moreover, in the first embodiment, the adhesive temperature sensor 33 detects the timing for switching from the rapid temperature adjustment mode to the heat retention mode in consideration of the fact that the adhesive temperature has a follow-up delay with respect to the inlet side air temperature. Judgment was made based on the temperature difference between the adhesive temperature and the set temperature, so the maximum execution time of the rapid temperature control mode was maximized within a range that could reliably prevent overshoot (adhesive temperature rise) due to thermal inertia. Can be as long as possible. Further, in the heat retaining mode, the inlet side air temperature detected by the inlet side
保温モードでは、温度調節通路22,23の出口25側の温度調節用の空気の温度(以下「出口側空気温度」という)が接着剤温度に略一致することを考慮して、本発明の実施例2では、入口側空気温度センサ32(入口側熱交換媒体温度検出手段)に代えて、出口側空気温度を検出する出口側空気温度センサ(出口側熱交換媒体温度検出手段)を設け、接着剤ディスペンサ11内の接着剤を冷めた状態から設定温度まで昇温する場合に、まず、上記実施例1と同様の急速温調モードで、接着剤温度を設定温度に向かって急速に上昇させ、その後、接着剤温度センサ33で検出した接着剤温度が設定温度から所定温度以内に入った時点で、急速温調モードから保温モードに切り換え、出口側空気温度センサで検出した出口側空気温度が設定温度(又はその付近)となるように調節する。これ以外の点は前記実施例1と同じである。
In the heat retention mode, the temperature of the temperature adjusting air on the
本実施例2でも、前記実施例1と同様の効果を得ることができる。但し、温度調節通路22,23を流れる温度調節用の空気の流量が少ない場合は、出口側空気温度が接着剤温度と一致しなくなる可能性があるため、前記実施例1のように、保温モード時に入口側空気温度に基づいて接着剤の温度を管理した方が良い場合もある。
Also in the second embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained. However, when the flow rate of the temperature adjusting air flowing through the
急速温調モードでも、接着剤温度と出口側空気温度とがある程度の相関性を持って変化するため、出口側空気温度から接着剤温度を推定可能である。
この点を考慮して、本発明の実施例3では、入口側空気温度センサ32(入口側熱交換媒体温度検出手段)と出口側空気温度センサ(出口側熱交換媒体温度検出手段)の両方を設けて、接着剤温度センサ33(接着剤温度検出手段)を省略し、出口側空気温度センサで検出した出口側空気温度が接着剤の設定温度から所定温度以上離れている場合には、空気の温度と設定温度との温度差を大きくして接着剤温度を設定温度に向かって急速に変化させるように調節する“急速温調モード”を選択する。そして、出口側空気温度センサで検出した出口側接着剤温度が設定温度から所定温度以内に入っている場合には、入口側空気温度センサ32で検出した入口側空気温度が設定温度(又はその付近)となるように調節する“保温モード”を選択する。
Even in the rapid temperature control mode, the adhesive temperature and the outlet side air temperature change with a certain degree of correlation, so that the adhesive temperature can be estimated from the outlet side air temperature.
In consideration of this point, in the third embodiment of the present invention, both the inlet side air temperature sensor 32 (inlet side heat exchange medium temperature detecting means) and the outlet side air temperature sensor (outlet side heat exchange medium temperature detecting means) are provided. Provided, the adhesive temperature sensor 33 (adhesive temperature detection means) is omitted, and when the outlet side air temperature detected by the outlet side air temperature sensor is more than a predetermined temperature from the set temperature of the adhesive, The “rapid temperature control mode” is selected in which the temperature difference between the temperature and the set temperature is increased to adjust the adhesive temperature so as to rapidly change toward the set temperature. When the outlet side adhesive temperature detected by the outlet side air temperature sensor is within a predetermined temperature from the set temperature, the inlet side air temperature detected by the inlet side
この場合、出口側空気温度から推定する接着剤温度の推定誤差を考慮して、その推定誤差分だけ余裕を持って急速温調モードから保温モードに早めに切り換えるようにすれば、接着剤の温度が許容温度範囲(設定温度±許容温度変化量)を越えてオーバーシュートすることを防止でき、接着剤の温度調節の高速化と熱慣性によるオーバーシュート防止とを両立させることができる。 In this case, if the estimated error of the adhesive temperature estimated from the outlet side air temperature is taken into account and the rapid temperature control mode is switched to the heat retention mode early with a margin of the estimated error, the temperature of the adhesive Can be prevented from overshooting beyond the allowable temperature range (set temperature ± allowable temperature change amount), and both speeding up of the adhesive temperature adjustment and prevention of overshooting due to thermal inertia can be achieved.
ところで、部品実装機の装着ヘッドに吸着保持させた接着剤ディスペンサ11によって回路基板に接着剤を塗布する作業を開始する前に、接着剤の塗布位置を補正する必要がある。
By the way, it is necessary to correct the application position of the adhesive before starting the operation of applying the adhesive to the circuit board by the
従来の接着剤の塗布位置の補正方法は、捨て打ち(試し塗布)を行い、これを画像処理して接着剤の塗布位置を補正するようにしているが、接着剤ディスペンサ11を自動交換する部品実装機では、接着剤ディスペンサ11の交換が頻繁に行われるため、部品実装機の稼働中に接着剤ディスペンサ11の交換毎に捨て打ちを行うと、捨て打ちが頻繁に行われるようになり、これが生産タクトを延ばして生産性を低下させる原因となる。
The conventional method for correcting the application position of the adhesive is to perform discarding (trial application), and image processing is performed to correct the application position of the adhesive. In the mounting machine, since the
そこで、実施例4では、接着剤ディスペンサ11の交換が行われる毎に、部品実装機の装着ヘッドに吸着保持された接着剤ディスペンサ11の下面をカメラで撮像して、接着剤ディスペンサ11の下面のうちの吐出ノズル14と同心状に位置するナット部材27の円形の外周縁(図1及び図5の円環状隙間28)を画像処理によって認識して、このナット部材27の円形の外周縁(円環状隙間28)の中心位置を算出し、この中心位置を吐出ノズル14の位置(接着剤の塗布位置)と見なして接着剤の塗布位置を補正する。その他の点は、前記実施例1〜3のいずれかと同じである。
Therefore, in Example 4, every time the
以上説明した本実施例4では、接着剤ディスペンサ11の交換毎に捨て打ちを行う必要がないため、生産タクトを短縮でき、生産性を向上させることができると共に、捨て打ちを行う場所の削減にもなる。
In the fourth embodiment described above, since it is not necessary to perform discarding every time the
図6に示す本発明の実施例5では、接着剤ディスペンサ11の下面に、吐出ノズル14と一定の位置関係で2個の点状の位置認識マーク37,38を形成している。そして、接着剤ディスペンサ11の交換が行われる毎に、部品実装機の装着ヘッドに吸着保持された接着剤ディスペンサ11の下面をカメラで撮像して、接着剤ディスペンサ11の下面の2個の位置認識マーク37,38の位置を画像処理によって認識して、2個の位置認識マーク37,38と吐出ノズル14の位置をそれぞれ頂点とする三角形を想定して、2個の位置認識マーク37,38の位置から吐出ノズル14の位置(接着剤の塗布位置)を算出して、接着剤の塗布位置を補正する。その他の点は、前記実施例1〜3のいずれかと同じである。
In the fifth embodiment of the present invention shown in FIG. 6, two dot-like position recognition marks 37 and 38 are formed on the lower surface of the
以上説明した本実施例5では、前記実施例4と同様の効果が得られる。
尚、2個の点状の位置認識マーク37,38に代えて、例えば、1本の直線状の位置認識マークを形成して、この直線状の位置認識マークを底辺とし、吐出ノズル14の位置を頂点とする三角形を想定して、吐出ノズル14の位置を算出するようにしたり、或は、2個の位置認識マークを結ぶ直線の中央に吐出ノズル14が位置するように構成して、吐出ノズル14の位置を算出しても良い。
In the fifth embodiment described above, the same effect as in the fourth embodiment can be obtained.
In place of the two point-like position recognition marks 37 and 38, for example, a single linear position recognition mark is formed, and the position of the
11…接着剤ディスペンサ、12…本体ケース、13…シリンジ、14…吐出ノズル、21…入口、22,23…温度調節通路、24…連通孔、25…出口、27…ナット部材、28…円環状隙間、31…空気温度調節装置(熱交換媒体温度調節手段)、32…入口側空気温度センサ(入口側熱交換媒体温度検出手段)、33…接着剤温度センサ(接着剤温度検出手段)、34…接着剤温度管理用のコンピュータ(熱交換媒体温度調節手段)、37,38…位置認識マーク
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記接着剤ディスペンサ内の接着剤を温度調節するための熱交換媒体を流通させる温度調節通路と、
前記温度調節通路の入口側で熱交換媒体の温度(以下「入口側熱交換媒体温度」という)を検出する入口側熱交換媒体温度検出手段と、
前記接着剤ディスペンサ内の接着剤の温度を直接又は間接的に検出する接着剤温度検出手段と、
前記温度調節通路に供給する熱交換媒体の温度を調節する熱交換媒体温度調節手段とを備え、
前記熱交換媒体温度調節手段は、前記接着剤温度検出手段で検出した接着剤温度が設定温度から所定温度以上離れている場合には、前記熱交換媒体の温度と前記設定温度との温度差を大きくして接着剤温度を設定温度に向かって急速に変化させるように調節し、前記接着剤温度検出手段で検出した接着剤温度が前記設定温度から前記所定温度以内に入っている場合には、前記入口側熱交換媒体温度検出手段で検出した入口側熱交換媒体の温度が前記設定温度又はその付近となるように調節することを特徴とする接着剤ディスペンサの温度調節装置。 In a temperature adjusting device for an adhesive dispenser for adjusting the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser,
A temperature adjusting passage for circulating a heat exchange medium for adjusting the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser;
Inlet side heat exchange medium temperature detecting means for detecting the temperature of the heat exchange medium (hereinafter referred to as “inlet side heat exchange medium temperature”) on the inlet side of the temperature adjusting passage;
An adhesive temperature detecting means for directly or indirectly detecting the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser;
Heat exchange medium temperature adjustment means for adjusting the temperature of the heat exchange medium supplied to the temperature adjustment passage,
When the adhesive temperature detected by the adhesive temperature detecting means is a predetermined temperature or more away from a set temperature, the heat exchange medium temperature adjusting means calculates a temperature difference between the temperature of the heat exchange medium and the set temperature. When the adhesive temperature detected by the adhesive temperature detecting means is within the predetermined temperature from the set temperature, the adhesive temperature is adjusted so that the adhesive temperature is rapidly changed toward the set temperature. A temperature adjusting device for an adhesive dispenser, wherein the temperature of the inlet side heat exchange medium detected by the inlet side heat exchange medium temperature detecting means is adjusted so as to be at or near the set temperature.
前記接着剤ディスペンサ内の接着剤を温度調節するための熱交換媒体を流通させる温度調節通路と、
前記温度調節通路の出口側で熱交換媒体の温度(以下「出口側熱交換媒体温度」という)を検出する出口側熱交換媒体温度検出手段と、
前記接着剤ディスペンサ内の接着剤の温度を直接又は間接的に検出する接着剤温度検出手段と、
前記温度調節通路に供給する熱交換媒体の温度を調節する熱交換媒体温度調節手段とを備え、
前記熱交換媒体温度調節手段は、前記接着剤温度検出手段で検出した接着剤温度が設定温度から所定温度以上離れている場合には、前記熱交換媒体の温度と前記設定温度との温度差を大きくして接着剤温度を設定温度に向かって急速に変化させるように調節し、前記接着剤温度検出手段で検出した接着剤温度が前記設定温度から前記所定温度以内に入っている場合には、前記出口側熱交換媒体温度検出手段で検出した出口側熱交換媒体の温度が前記設定温度又はその付近となるように調節することを特徴とする接着剤ディスペンサの温度調節装置。 In a temperature adjusting device for an adhesive dispenser for adjusting the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser,
A temperature adjusting passage for circulating a heat exchange medium for adjusting the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser;
Outlet side heat exchange medium temperature detecting means for detecting the temperature of the heat exchange medium (hereinafter referred to as “outlet side heat exchange medium temperature”) on the outlet side of the temperature adjusting passage;
An adhesive temperature detecting means for directly or indirectly detecting the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser;
Heat exchange medium temperature adjustment means for adjusting the temperature of the heat exchange medium supplied to the temperature adjustment passage,
When the adhesive temperature detected by the adhesive temperature detecting means is a predetermined temperature or more away from a set temperature, the heat exchange medium temperature adjusting means calculates a temperature difference between the temperature of the heat exchange medium and the set temperature. When the adhesive temperature detected by the adhesive temperature detecting means is within the predetermined temperature from the set temperature, the adhesive temperature is adjusted so that the adhesive temperature is rapidly changed toward the set temperature. A temperature adjusting device for an adhesive dispenser, wherein the temperature of the outlet side heat exchange medium detected by the outlet side heat exchange medium temperature detecting means is adjusted to be at or near the set temperature.
前記接着剤ディスペンサ内の接着剤を温度調節するための熱交換媒体を流通させる温度調節通路と、
前記温度調節通路の入口側で熱交換媒体の温度(以下「入口側熱交換媒体温度」という)を検出する入口側熱交換媒体温度検出手段と、
前記温度調節通路の出口側で熱交換媒体の温度(以下「出口側熱交換媒体温度」という)を検出する出口側熱交換媒体温度検出手段と、
前記温度調節通路に供給する熱交換媒体の温度を調節する熱交換媒体温度調節手段とを備え、
前記熱交換媒体温度調節手段は、前記出口側熱交換媒体温度検出手段で検出した出口側熱交換媒体温度が接着剤の設定温度から所定温度以上離れている場合には、前記熱交換媒体の温度と前記設定温度との温度差を大きくして接着剤温度を設定温度に向かって急速に変化させるように調節し、前記出口側熱交換媒体温度検出手段で検出した出口側接着剤温度が前記設定温度から前記所定温度以内に入っている場合には、前記入口側熱交換媒体温度検出手段で検出した入口側熱交換媒体の温度が前記設定温度又はその付近となるように調節することを特徴とする接着剤ディスペンサの温度調節装置。 In a temperature adjusting device for an adhesive dispenser for adjusting the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser,
A temperature adjusting passage for circulating a heat exchange medium for adjusting the temperature of the adhesive in the adhesive dispenser;
Inlet side heat exchange medium temperature detecting means for detecting the temperature of the heat exchange medium (hereinafter referred to as “inlet side heat exchange medium temperature”) on the inlet side of the temperature adjusting passage;
Outlet side heat exchange medium temperature detecting means for detecting the temperature of the heat exchange medium (hereinafter referred to as “outlet side heat exchange medium temperature”) on the outlet side of the temperature adjusting passage;
Heat exchange medium temperature adjustment means for adjusting the temperature of the heat exchange medium supplied to the temperature adjustment passage,
When the outlet side heat exchange medium temperature detected by the outlet side heat exchange medium temperature detecting means is separated from the set temperature of the adhesive by a predetermined temperature or more, the heat exchange medium temperature adjusting means is a temperature of the heat exchange medium. The adhesive temperature is adjusted to change rapidly toward the set temperature by increasing the temperature difference between the outlet side and the set temperature, and the outlet side adhesive temperature detected by the outlet side heat exchange medium temperature detecting means is the set value. When the temperature falls within the predetermined temperature, the temperature of the inlet side heat exchange medium detected by the inlet side heat exchange medium temperature detecting means is adjusted so as to be at or near the set temperature. Temperature control device for adhesive dispenser.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007030235A JP5279109B2 (en) | 2007-02-09 | 2007-02-09 | Component mounter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007030235A JP5279109B2 (en) | 2007-02-09 | 2007-02-09 | Component mounter |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008194579A true JP2008194579A (en) | 2008-08-28 |
JP2008194579A5 JP2008194579A5 (en) | 2009-12-10 |
JP5279109B2 JP5279109B2 (en) | 2013-09-04 |
Family
ID=39754028
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007030235A Active JP5279109B2 (en) | 2007-02-09 | 2007-02-09 | Component mounter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5279109B2 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011171708A (en) * | 2010-01-25 | 2011-09-01 | Tokyo Electron Ltd | Processing device, processing method, program, and computer storage medium |
US20180207674A1 (en) * | 2016-01-04 | 2018-07-26 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Adhesive material applying apparatus |
JP2020093210A (en) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | 株式会社Fuji | Thermostat unit |
US20220016669A1 (en) * | 2016-07-08 | 2022-01-20 | Macdonald, Dettwiler And Associates Inc. | System and Method for Automated Artificial Vision Guided Dispensing Viscous Fluids for Caulking and Sealing Operations |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58102415A (en) * | 1981-12-14 | 1983-06-18 | 昭和電線電纜株式会社 | Method of controlling temperature of varnish |
JPH03251685A (en) * | 1990-02-28 | 1991-11-11 | Suzuki Motor Corp | Heat exchanging device |
JPH0470160U (en) * | 1990-10-31 | 1992-06-22 | ||
JPH07245499A (en) * | 1994-03-03 | 1995-09-19 | Sanyo Electric Co Ltd | Method for applying viscous fluid and component mounting device using this method |
JPH08242068A (en) * | 1995-03-06 | 1996-09-17 | Ckd Corp | Adhesive dispensing device |
JPH0973977A (en) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Ckd Corp | Adhesive extractor |
JPH10229277A (en) * | 1997-02-18 | 1998-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Bond applicator |
JPH10244196A (en) * | 1997-03-03 | 1998-09-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Coating applicator of bond |
JP2001125650A (en) * | 1999-08-17 | 2001-05-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | Tank temperature control method and device |
JP2003225603A (en) * | 2002-02-05 | 2003-08-12 | Hirata Corp | Liquid application apparatus |
JP2006518931A (en) * | 2003-02-20 | 2006-08-17 | アーエスエムエル ホールディング ナームローゼ フェンノートシャップ | Method and apparatus for dispensing semiconductor processing solutions using a multi-syringe fluid dispensing system |
-
2007
- 2007-02-09 JP JP2007030235A patent/JP5279109B2/en active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58102415A (en) * | 1981-12-14 | 1983-06-18 | 昭和電線電纜株式会社 | Method of controlling temperature of varnish |
JPH03251685A (en) * | 1990-02-28 | 1991-11-11 | Suzuki Motor Corp | Heat exchanging device |
JPH0470160U (en) * | 1990-10-31 | 1992-06-22 | ||
JPH07245499A (en) * | 1994-03-03 | 1995-09-19 | Sanyo Electric Co Ltd | Method for applying viscous fluid and component mounting device using this method |
JPH08242068A (en) * | 1995-03-06 | 1996-09-17 | Ckd Corp | Adhesive dispensing device |
JPH0973977A (en) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Ckd Corp | Adhesive extractor |
JPH10229277A (en) * | 1997-02-18 | 1998-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Bond applicator |
JPH10244196A (en) * | 1997-03-03 | 1998-09-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Coating applicator of bond |
JP2001125650A (en) * | 1999-08-17 | 2001-05-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | Tank temperature control method and device |
JP2003225603A (en) * | 2002-02-05 | 2003-08-12 | Hirata Corp | Liquid application apparatus |
JP2006518931A (en) * | 2003-02-20 | 2006-08-17 | アーエスエムエル ホールディング ナームローゼ フェンノートシャップ | Method and apparatus for dispensing semiconductor processing solutions using a multi-syringe fluid dispensing system |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011171708A (en) * | 2010-01-25 | 2011-09-01 | Tokyo Electron Ltd | Processing device, processing method, program, and computer storage medium |
US20180207674A1 (en) * | 2016-01-04 | 2018-07-26 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Adhesive material applying apparatus |
US20220016669A1 (en) * | 2016-07-08 | 2022-01-20 | Macdonald, Dettwiler And Associates Inc. | System and Method for Automated Artificial Vision Guided Dispensing Viscous Fluids for Caulking and Sealing Operations |
US11969751B2 (en) * | 2016-07-08 | 2024-04-30 | Macdonald, Dettwiler And Associates Inc. | System and method for automated artificial vision guided dispensing viscous fluids for caulking and sealing operations |
JP2020093210A (en) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | 株式会社Fuji | Thermostat unit |
JP7120900B2 (en) | 2018-12-12 | 2022-08-17 | 株式会社Fuji | temperature control unit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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