JP2008192975A - 基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理容器11の処理室14に設置されてウエハ1を保持するサセプタ21と、ガスをウエハ1に向けて供給するシャワーヘッド26と、ガスを励起させる筒状電極15と、磁界を形成する筒状磁石19とを備えたMMT装置を使用してウエハ1に酸窒化膜を形成する方法において、酸素ガスGoを単独で処理室14に供給した雰囲気で、高周波電力を印加してプラズマを着火させ、プラズマが安定する期間Tの経過後に、窒素ガスGnを供給してプラズマを維持しつつ、ウエハ1に酸窒化膜をプラズマ処理する。着火が毎回安定して起こる酸素ガス単独雰囲気によってプラズマを生成させた後に、窒素ガスを供給することにより、酸素ガスと窒素ガスとの混合雰囲気であっても、毎回、安定したプラズマを生成できるので、同じ品質ないし特性の酸窒化膜を安定して形成できる。
【選択図】図2
Description
しかし、酸化膜を窒化することによって誘電率を向上させる方法には限界があるため、様々な方法によってゲート絶縁膜を形成する方法が試みられている。
その一つの方法として、酸素(O2 )と窒素(N2 )の混合ガスを使用したプラズマによって酸窒化膜(SiON)を形成する方法が有力な候補として考えられる。
酸素含有ガスまたは窒素含有ガスの一方を供給し、プラズマ生成部によりプラズマを生成する第一ステップと、
前記第一ステップにおいて供給されなかった他方のガスを供給し、前記プラズマを維持しつつ酸素含有ガスおよび窒素含有ガスによってプラズマ処理する第二ステップと、
を備えている基板処理方法。
MMT装置は、電界と磁界とによって高密度プラズマを生成可能な変形マグネトロン型プラズマ源(Modified Magnetron Typed Plasma Source)を用いてウエハをプラズマ処理するプラズマ処理装置である。
図1に示されたMMT装置10は処理容器11を備えている。処理容器11は下側容器12と上側容器13とによって形成されており、処理室14を形成している。
下側容器12はアルミニウムが使用されて碗形状に形成されており、上側容器13は石英や酸化アルミニウム等の非金属材料が使用されてドーム形状に形成されている。上側容器13は下側容器12の上に被せられている。
筒状電極15には高周波電力を印加する高周波電源17が、インピーダンスの整合を行う整合器18を介して接続されている。筒状電極15、高周波電源17および整合器18は、プラズマ生成部を構成している。
筒状磁石19は筒状、例えば円筒状の永久磁石によって構成されている。
上下の筒状磁石19、19は、処理室14の半径方向に沿った両端(内周端と外周端)に磁極を持ち、上下の筒状磁石19、19の磁極の向きが逆向きに設定されている。
したがって、内周部の磁極同士が異極となっており、これにより、筒状電極15の内周面に沿って円筒軸方向に磁力線を形成するようになっている。
遮蔽板20は筒状電極15および筒状磁石19によって形成された電界や磁界が外部環境や他の基板処理装置に影響を及ぼさないようになっている。
ヒータは電力が印加されることにより、ウエハ1を700℃程度にまで加熱することができるように構成されている。
サセプタ21は例えば石英や窒化アルミニウムやセラミックス等の非金属材料によって形成されている。このような非金属材料によってサセプタ21を形成することにより、処理の際に膜中に取り込まれる金属汚染を低減することができる。
インピーダンス可変機構22はコイルや可変コンデンサから構成されており、コイルのパターン数や可変コンデンサの容量値を制御することによって、インピーダンス用電極およびサセプタ21を介してウエハ1の電位を制御することができるようになっている。
サセプタ21には貫通孔21aが設けられており、下側容器12の底面上にはウエハ1を突上げるためのウエハ突上げピン24が少なくとも3箇所に設けられている。
そして、貫通孔21aおよびウエハ突上げピン24は、サセプタ昇降機構23によってサセプタ21が下降させられた時には、ウエハ突上げピン24がサセプタ21と非接触な状態で貫通孔21aを突き抜けるような位置関係となるように配置されている。
ゲートバルブ25が開いている時には、図示しない搬送機構(搬送手段)により処理室14に対してウエハ1を搬入または搬出することができ、また、ゲートバルブ25が閉まっている時には、処理室14を気密に閉じることができる。
ガス排気口36は、シャワーヘッド26から処理室14にシャワー状に供給されたガスがウエハ1に接触後にサセプタ21の周囲から処理室14の底方向へ流れるように、設定されている。
ガス供給管41の上流側端には、酸素含有ガスとしての酸素ガスを供給する酸素ガス供給管42が接続されており、酸素ガス供給管42は開閉弁であるバルブ43および流量制御器(流量制御手段)であるマスフローコントローラ44を介して酸素ガス供給装置45に接続されている。
また、ガス供給管41の上流側端には、窒素含有ガスとしての窒素ガスを供給する窒素ガス供給管46が接続されており、窒素ガス供給管46は開閉弁であるバルブ47および流量制御器(流量制御手段)であるマスフローコントローラ48を介して窒素ガス供給装置49に接続されている。
コントローラ50はAPC38、バルブ39、真空ポンプ40を信号線Aを通じて制御するように構成されている。
コントローラ50はサセプタ昇降機構23を信号線Bを通じて制御するように構成されている。
コントローラ50はゲートバルブ25を信号線Cを通じて制御するように構成されている。
コントローラ50は整合器18、高周波電源17を信号線Dを通じて制御するように構成されている。
コントローラ50は、バルブ43および47、マスフローコントローラ44および48を信号線Eを通じて制御するように構成されている。
さらに、コントローラ50はサセプタに埋め込まれたヒータやインピーダンス可変機構22を、図示しない信号線を通じて制御するように構成されている。
以下、本発明の一実施の形態である酸窒化膜形成方法を図2に即して、前記構成に係るMMT装置によって実施した場合について説明する。
この搬送動作の詳細は、次の通りである。
サセプタ21がウエハ搬送位置まで下降すると、ウエハ突上げピン24の先端がサセプタ21の貫通孔21aを通過する。これにより、サセプタ21の表面よりも所定の高さ分だけ、ウエハ突き上げピン24が突き出された状態となる。
次に、下側容器12に設けられたゲートバルブ25が開かれ、図中省略の搬送機構によってウエハ1をウエハ突上げピン24の先端に移載する。
搬送機構が処理室14の外へ退避すると、ゲートバルブ25が閉じられる。
サセプタ21がサセプタ昇降機構23によって上昇されると、サセプタ21の上面にウエハ1が移載される。
その後に、サセプタ21はサセプタ昇降機構23によって、ウエハ1を処理する位置まで上昇される。
処理室14内の圧力は0.1〜200Paの範囲内の所定の圧力に、真空ポンプ40およびAPC38によって維持される。
この際、処理室14内の圧力は0.1〜200Paの範囲内のプラズマ放電可能な所定の圧力に、真空ポンプ40およびAPC38によって調整される。
高周波電力の電界は筒状磁石19、19の磁界の影響を受けてマグネトロン放電を発生(所謂着火)し、ウエハ1の上方空間に酸素ガスによる電荷をトラップしてプラズマ生成領域16に高密度プラズマを生成する。
しかし、本実施の形態においては、処理室14内には酸素ガスだけが供給された状態になっているので、図2に示されているように、高周波電力の印加と略同時にプラズマを生成(着火)させることができる。
この際、処理室14内の圧力は0.1〜200Paの範囲内のプラズマの生成を維持可能な所定の圧力に、真空ポンプ40およびAPC38によって調整される。
プラズマの着火から窒素ガス供給までの期間Tが10秒を超えると、酸素ガスGoだけによる酸化反応が進んでしまうために、厚い酸化膜が形成されてしまうことになる。
厚い酸化膜が形成されてしまうのを防止するためには、プラズマの着火から窒素ガス供給までの期間Tを可及的に短く設定すればよい訳であるが、酸素ガスによるプラズマの生成が安定化しないうちに窒素ガスを供給すると、酸素ガスによるプラズマの生成が窒素ガスの供給によって吹き消されてしまう現象が起こる。
酸素ガスによるプラズマの生成が窒素ガスの供給によって吹き消されてしまう現象の発生は、プラズマの生成の諸条件によって相違するので、プラズマの着火から窒素ガス供給までの期間Tの最小値は、実機による実験やコンピュータによるシミュレーション等の経験的手法によって具体的に設定することが望ましい。
本実施の形態に係るICP方式プラズマ処理装置の構成の詳細な説明は、前記実施形態と同様の機能を有する構成要素に同一の符号を付して代える。
本実施形態に係るICP方式プラズマ処理装置10Aは、電力を供給してプラズマを生成するプラズマ生成部としての誘導コイル15Aを備えており、誘導コイル15Aは処理容器11の天井壁の外側に敷設されている。
本実施の形態においても、酸素含有ガスおよび窒素含有ガスの一方をマスフローコントローラ35、バルブ34およびガス供給管33から、ガス吹出口32を経由して処理室14へ供給する。
また、ガス供給と前後して、プラズマ生成部である誘導コイル15Aへ高周波電力を流すと、電磁誘導により電界が生じる。この電界をエネルギーとして、供給されたガスはプラズマ化(プラズマ生成)される。
次に、供給されなかった他方のガスを供給する。
つまり、第一のステップとして酸素含有ガスを供給した場合には、第二のステップとして窒素含有ガスを供給する。また、第一のステップとして窒素含有ガスを供給した場合には、第二のステップとして窒素含有ガスを供給する。
誘導コイル15Aは第二のステップとして供給された他方のガスをプラズマ化(プラズマ生成)する。
以上のようにして、ウエハ1に酸窒化膜を形成する。
本実施の形態に係るECR方式プラズマ処理装置の構成の詳細な説明は、前記実施形態と同様の機能を有する構成要素に同一の符号を付して代える。
本実施形態に係るECR方式プラズマ処理装置10Bは、マイクロ波18Bを供給してプラズマを生成するプラズマ生成部としてのマイクロ波導入管17Bを備えている。
本実施の形態においても、酸素含有ガスまたは窒素含有ガスの一方をマスフローコントローラ35、バルブ34およびガス供給管33から、ガス吹出口32を経由して処理室14へ供給する。
また、ガス供給と前後して、プラズマ生成部であるマイクロ波導入管17Bへマイクロ波18Bを導入し、その後マイクロ波を処理室14内へ放射させる。供給されたガスは、このマイクロ波18Bによりプラズマ化(プラズマ生成)される。
次に、供給されなかった他方のガスを供給する。
つまり、第一のステップとして酸素含有ガスを供給した場合には、第二のステップとして窒素含有ガスを供給する。また、第一のステップとして窒素含有ガスを供給した場合には、第二のステップとして窒素含有ガスを供給する。
供給された他方のガスは、マイクロ波によりプラズマ化される。
以上のようにして、ウエハ1に酸窒化膜を形成する。
Claims (1)
- 酸素含有ガスまたは窒素含有ガスの一方を供給し、プラズマ生成部によりプラズマを生成する第一ステップと、
前記第一ステップにおいて供給されなかった他方のガスを供給し、前記プラズマを維持しつつ酸素含有ガスおよび窒素含有ガスによってプラズマ処理する第二ステップと、
を備えている基板処理方法。
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JP2007028080A JP2008192975A (ja) | 2007-02-07 | 2007-02-07 | 基板処理方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9070554B2 (en) | 2013-09-30 | 2015-06-30 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus, and recording medium |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003188172A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理方法 |
WO2004070816A1 (ja) * | 2003-02-06 | 2004-08-19 | Tokyo Electron Limited | プラズマ処理方法,半導体基板及びプラズマ処理装置 |
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