JP2008180706A - Defect detection device for optically transparent film - Google Patents
Defect detection device for optically transparent film Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008180706A JP2008180706A JP2007332903A JP2007332903A JP2008180706A JP 2008180706 A JP2008180706 A JP 2008180706A JP 2007332903 A JP2007332903 A JP 2007332903A JP 2007332903 A JP2007332903 A JP 2007332903A JP 2008180706 A JP2008180706 A JP 2008180706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light transmissive
- film
- observation
- transmissive film
- auxiliary member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
本発明は、光学用途、建築用途、車載用途などの用途において、反射防止、飛散防止、熱線防止(遮断)、断熱、防汚、耐久性(保護)などの目的で使用される光透過性フィルム(光透過性を有するフィルム)の欠陥を検出するための装置に関するものであり、殊に表面に微小膜厚のコーティング層が形成されている光透過性フィルムの欠陥を検出する欠陥検出装置に関するものである。 The present invention is a light transmissive film used for the purposes of antireflection, scattering prevention, heat ray prevention (blocking), heat insulation, antifouling, durability (protection), etc. in applications such as optical applications, architectural applications, and automotive applications The present invention relates to a device for detecting defects in (light-transmitting film), and more particularly to a defect detecting device for detecting defects in a light-transmitting film in which a coating layer having a small film thickness is formed on the surface. It is.
光学用途、建築用途、車載用途等に用いられる上記のような光透過性フィルムとしては、例えば、複数のコーティング層を形成した光透過性フィルムである反射防止フィルムを挙げることができる。このような光透過性フィルムは、プラズマディスプレーや液晶ディスプレーなどのディスプレイの表面に反射防止フィルターとして適用することができる。波長透過特性機能を持たせるための上記コーティング層は、その厚みが1μm以下の厚みのものを例示することができる。 Examples of the light transmissive film used in optical applications, architectural applications, vehicle-mounted applications, and the like include an antireflection film that is a light transmissive film in which a plurality of coating layers are formed. Such a light transmissive film can be applied as an antireflection filter to the surface of a display such as a plasma display or a liquid crystal display. The said coating layer for giving a wavelength transmission characteristic function can illustrate the thing whose thickness is 1 micrometer or less.
このコーティング層を有する光透過性フィルムにおいて、フィルムとコーティング層との間に異物が入り込んで生じる欠陥(核有り欠陥)は目視によっても検出することができるが、コーティング層の厚みのばらつきによって微妙に周囲と色目が違う部分として発生する欠陥(核無し欠陥)は、目視による検出がきわめて困難であり、目視検査では90%ほどの不良を見逃してしまうことになる。 In the light-transmitting film having this coating layer, defects (defects with nuclei) caused by foreign matter entering between the film and the coating layer can be detected by visual observation, but are subtle due to variations in the thickness of the coating layer. Defects (nuclear-free defects) that occur as parts with different colors from the surroundings are extremely difficult to detect visually, and about 90% of defects are missed by visual inspection.
このために特許文献1には、黒色のガイドローラの表面に位置する光透過性フィルムに対して、光透過性フィルムに形成されたコーティング層の表裏面で反射した光が干渉するように照明を行い、その干渉模様を撮像することで欠陥を検出することが提案されている。 For this purpose, Patent Document 1 illuminates the light transmissive film located on the surface of the black guide roller so that the light reflected by the front and back surfaces of the coating layer formed on the light transmissive film interferes. It has been proposed to detect defects by imaging the interference pattern.
この場合、上記核有り欠陥はもちろん上記核無し欠陥も検出することができるが、ガイドローラの表面状態で反射が変わり、少しでも空気の隙間があると、この部分でも干渉縞が生じるために、欠陥として検出してしまう。 In this case, the defect without core as well as the defect with nucleus can be detected, but the reflection changes depending on the surface state of the guide roller. It will be detected as a defect.
また、上記検査でOKとなった光透過性フィルムも、最終製品であるディスプレーに用いた時、上記検査時に観察用補助部材として機能していたガイドローラと、ディスプレーにおいて光透過性フィルムが実際に貼り付けられる部材(一般的には黒色ガラス)との光反射特性の違いのために、実際上は欠陥が存在するものとなってしまうことが多々ある。
本発明は上記の従来の問題点に鑑みて発明したものであって、欠陥検出を高精度で行うことができる光透過性フィルムの欠陥検出装置を提供することを課題とするものである。 This invention is invented in view of said conventional problem, Comprising: It aims at providing the defect detection apparatus of the light transmissive film which can perform a defect detection with high precision.
上記課題を解決するために本発明に係る光透過性フィルムの欠陥検出装置は、検査対象である光透過性フィルムを搬送するフィルム搬送手段と、光透過性フィルムの外観を撮像する撮像部と、撮像部で撮像される光透過性フィルムの背後に配された観察用補助部材と、撮像部で得られた画像を分析して欠陥を検出する演算部とを備えているとともに、上記光透過性フィルムを観察用補助部材の表面に密着させるフィルム密着手段を備え、上記観察用補助部材は光透過性フィルムが最終製品において貼り付けられる部材とほぼ同一の光反射特性を有していることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a defect detection apparatus for a light transmissive film according to the present invention includes a film transport unit that transports a light transmissive film to be inspected, an imaging unit that captures an appearance of the light transmissive film, An auxiliary member for observation arranged behind the light transmissive film imaged by the imaging unit, and a calculation unit for analyzing the image obtained by the imaging unit to detect a defect, and A film adhesion means for bringing the film into close contact with the surface of the auxiliary member for observation is provided, and the auxiliary member for observation has almost the same light reflection characteristics as the member to which the light transmissive film is attached in the final product. And
上記フィルム密着手段としては、光透過性フィルムと観察用補助部材との間にフィルムを浸食しない液体を介在させる液体充填手段を好適に用いることができる。 As the film contact means, a liquid filling means in which a liquid that does not erode the film is interposed between the light transmissive film and the observation auxiliary member can be suitably used.
撮像部はラインカメラであることが、観察用補助部材の大きさを小さくすることが可能で検査スペースを小さくできる点で有利である。 It is advantageous that the imaging unit is a line camera in that the size of the observation auxiliary member can be reduced and the inspection space can be reduced.
本発明は、観察用補助部材を背面に配しているために、光透過性フィルム単体で見る時よりも欠陥が見つけやすいものであり、しかも光透過性フィルムと観察用補助部材との間に空気が入りこんで欠陥と認識されてしまうことがなく、また光透過性フィルムが観察用補助部材上にある時と、光透過性フィルムが最終製品において貼り付けられる部材上にある時とでの欠陥の出具合がほぼ同じとなるために、欠陥と判断する際の判断レベルの設定が容易となるとともに、欠陥がないと判断したものが実使用に際して欠陥があると認識されてしまうような事態を招くことがなくなる。 In the present invention, since the auxiliary member for observation is arranged on the back surface, it is easier to find defects than when the light transmissive film is viewed alone, and between the light transmissive film and the auxiliary member for observation. Defects when air enters and is not recognized as a defect, and when the light-transmitting film is on the auxiliary member for observation and when the light-transmitting film is on the member to be attached in the final product Since the output level of the product is almost the same, it is easy to set the judgment level when judging that it is a defect. You will never be invited.
以下、本発明を添付図面に示す実施形態に基いて説明すると、図1において、1は表面に多層膜コーティングが施された反射防止フィルムとしての光透過性フィルムであり、巻き出しドラム10に巻かれている光透過性フィルム1はモータ11駆動による巻き出しによって巻き取りドラム12側に送られる。
Hereinafter, the present invention will be described with reference to an embodiment shown in the accompanying drawings. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a light-transmitting film as an antireflection film having a multilayer coating on the surface. The light transmissive film 1 is fed to the take-up
図中2はローラ状の観察用補助部材であり、純水が供給される水槽20に下部を浸漬して配置されており、上記光透過性フィルム1はこのローラ状の観察用補助部材2の表面に接した状態で送られる。上記純水の代わりに、メチルエチルケトンなどの揮発性溶剤やエッセンシャルオイルなどの油脂系液体を用いてもよい。
In the figure,
観察用補助部材2の上方には三波長蛍光灯である照明部4が配置されて、光透過性フィルム1における観察用補助部材2に裏面が接している部分の表面を照明する。また、照明部4で照明された部分を撮像するラインカメラで構成された撮像部5を備えており、撮像部5で得られた画像を分析した欠陥を検出する演算部6に撮像部5が接続されている。
An
図中61は光透過性フィルム1に付着した水分を落とすための水切りドクター、62はエアブロアである。
In the figure, 61 is a draining doctor for removing water adhering to the light
光透過性フィルム1の欠陥検出にあたっては、上記ローラ状の観察用補助部材2を回転させることで観察用補助部材2の表面を純水で濡らすとともに、テンションをかけた状態の光透過性フィルム1を上記観察用補助部材2に接触させる。この時、上記純水により、光透過性フィルム1と観察用補助部材2との間に空気層が生じることを防いで、光透過性フィルム1の背面を観察用補助部材2の表面に密着させる。
In detecting the defect of the light transmissive film 1, the roller-shaped
また、ここで用いている観察用補助部材2は、光透過性フィルム1が最終的に使用される製品上で貼り付けられる部材の光反射特性とほぼ同一の光反射特性を有する表面を備えるものとなっている。上記部材と全く同一の材質で観察用補助部材2を構成することが最も好ましいが、光反射特性がほぼ同一であれば、他の材質のものであってもよい。上記部材が前述のようにガラス部材であり、観察用補助部材2がアルミニウムや鉄であっても、その表面処理でほぼ同一の光反射特性を持たせることができればよい。フィルム密着手段として水を用いる場合は、その表面が親水性を有していることが好ましい。
Further, the observation
このものにおいては、光透過性フィルム1が観察用補助部材2に密着しているために、光透過性フィルム1と観察用補助部材2との間の空気が欠陥検出に際して誤った結果を導いてしまうことがない。また、前記核無し欠陥は、光源の種類が変われば見えなくなってしまうことが生じるものであるが、観察用補助部材2の表面の光反射特性が光透過性フィルムが最終製品において貼り付けられる部材の光反射特性とほぼ同一となっているために、観察用補助部材2上に光透過性フィルム1がある時と、光透過性フィルムが最終製品において貼り付けられる部材上にある時とで欠陥の出具合がほぼ同じとなるものであり、このために欠陥と判断する際の判断レベルの設定が容易となるとともに、欠陥がないと判断したものが実使用に際して欠陥があると認識されてしまうような事態を招くことがないものである。
In this case, since the light transmissive film 1 is in close contact with the observation
図2に他例を示す。ここでは観察用補助部材2として平板状のものを用いると同時に、フィルム密着手段として、純水を光透過性フィルム1と観察用補助部材2との間に注入する注水手段71と、光透過性フィルム1を観察用補助部材2に押し付けるローラ72とを備えている。図中73は水受け皿である。観察用補助部材2を光透過性フィルム1側に押し付けて密着させるものであってもよい。
FIG. 2 shows another example. Here, a flat plate-like member is used as the observation
この場合、観察用補助部材2として平板状のものを用いることから、光透過性フィルムが最終製品において貼り付けられる部材そのものを利用することが容易となる。
In this case, since the observation
1 光透過性フィルム
2 観察用補助部材
5 撮像部
6 演算部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007332903A JP4989453B2 (en) | 2006-12-25 | 2007-12-25 | Defect detection device for light transmissive film |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006348622 | 2006-12-25 | ||
JP2006348622 | 2006-12-25 | ||
JP2007332903A JP4989453B2 (en) | 2006-12-25 | 2007-12-25 | Defect detection device for light transmissive film |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008180706A true JP2008180706A (en) | 2008-08-07 |
JP4989453B2 JP4989453B2 (en) | 2012-08-01 |
Family
ID=39724700
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007332884A Expired - Fee Related JP4989452B2 (en) | 2006-12-25 | 2007-12-25 | Defect detection device for light transmissive film |
JP2007332903A Expired - Fee Related JP4989453B2 (en) | 2006-12-25 | 2007-12-25 | Defect detection device for light transmissive film |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007332884A Expired - Fee Related JP4989452B2 (en) | 2006-12-25 | 2007-12-25 | Defect detection device for light transmissive film |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP4989452B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023089140A (en) * | 2019-09-03 | 2023-06-27 | 王子ホールディングス株式会社 | Device for inspecting sheet-like material for defects and method for manufacturing the same |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5255341B2 (en) * | 2008-06-25 | 2013-08-07 | パナソニック株式会社 | Defect detection device for light transmissive film |
CN117074423B (en) * | 2023-10-16 | 2023-12-12 | 江苏图恩视觉科技有限公司 | Film defect detection system and working method thereof |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05332950A (en) * | 1992-05-26 | 1993-12-17 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Defect inspection instrument |
JPH07253401A (en) * | 1994-03-16 | 1995-10-03 | Dainippon Ink & Chem Inc | Method and apparatus for inspecting surface |
JPH0843319A (en) * | 1994-03-31 | 1996-02-16 | Saint Gobain Vitrage | Method and equipment for measuring optical property on surface of transparent material body |
JP2005300275A (en) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Central Glass Co Ltd | Method for detecting defect in transparent plate and its apparatus |
JP2006003226A (en) * | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Toray Ind Inc | Defect inspection device for laminated film |
JP2006112828A (en) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Toppan Printing Co Ltd | Device and method for detecting defect in antireflection film |
JP2006208196A (en) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Dainippon Printing Co Ltd | Coating inspection device and method |
-
2007
- 2007-12-25 JP JP2007332884A patent/JP4989452B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-12-25 JP JP2007332903A patent/JP4989453B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05332950A (en) * | 1992-05-26 | 1993-12-17 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Defect inspection instrument |
JPH07253401A (en) * | 1994-03-16 | 1995-10-03 | Dainippon Ink & Chem Inc | Method and apparatus for inspecting surface |
JPH0843319A (en) * | 1994-03-31 | 1996-02-16 | Saint Gobain Vitrage | Method and equipment for measuring optical property on surface of transparent material body |
JP2005300275A (en) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Central Glass Co Ltd | Method for detecting defect in transparent plate and its apparatus |
JP2006003226A (en) * | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Toray Ind Inc | Defect inspection device for laminated film |
JP2006112828A (en) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Toppan Printing Co Ltd | Device and method for detecting defect in antireflection film |
JP2006208196A (en) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Dainippon Printing Co Ltd | Coating inspection device and method |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023089140A (en) * | 2019-09-03 | 2023-06-27 | 王子ホールディングス株式会社 | Device for inspecting sheet-like material for defects and method for manufacturing the same |
JP7513149B2 (en) | 2019-09-03 | 2024-07-09 | 王子ホールディングス株式会社 | Sheet defect inspection device and manufacturing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4989453B2 (en) | 2012-08-01 |
JP2008180705A (en) | 2008-08-07 |
JP4989452B2 (en) | 2012-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5274622B2 (en) | Defect inspection apparatus and method | |
WO2006057125A1 (en) | Method and device for inspecting defect of transparent plate body | |
JP4930748B2 (en) | Film inspection apparatus and method | |
KR20030093956A (en) | Method for inspecting polarizing film and apparatus for the method | |
JP2024107487A (en) | Visual inspection method and visual inspection device | |
JP5607734B2 (en) | Apparatus and method for inspecting defects in discrete low-rigidity transparent or translucent bodies | |
JP2011226957A (en) | Defect inspection method and defect inspection device of polarizing plate | |
TW200307117A (en) | Method for inspecting polarizing film and apparatus for the method | |
JP4989453B2 (en) | Defect detection device for light transmissive film | |
JP2005181070A (en) | Flaw detecting method of transparent plate-shaped body and flaw detector therefor | |
JP2001201429A (en) | Method and device for inspecting defect in inspected base body | |
JP5255342B2 (en) | Defect detection device for light transmissive film | |
JP2010281772A (en) | Defect inspection method mainly concerned with unevenness of sheet-like transparent body | |
JP2013205091A (en) | Film inspection system, and film inspection method | |
JP2012026863A (en) | Film inspection device, inspection method, and manufacturing method | |
JP2012247343A (en) | Defect inspection method of antireflection film and defect inspection apparatus | |
EP3786621B1 (en) | Foreign material inspection system of display unit | |
JP2007278784A (en) | Defect detection method and device of transparent body | |
JP2007333449A (en) | Inspection system | |
JP2005351825A (en) | Defect inspection device | |
KR100971081B1 (en) | Defect Inspection Method of Polarizing Film | |
JP2002014058A (en) | Method and apparatus for checking | |
JP2005308517A (en) | Outside surface inspection method and outside surface inspection device | |
JP2007033389A (en) | Surface inspection apparatus | |
JP2007170945A (en) | Inspection device of flaw of antireflection film |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090522 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100812 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110614 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110808 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20120112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120403 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120427 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4989453 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |