JP2008179791A - Epoxy resin composition for use in semiconductor sealing and semiconductor device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an epoxy resin composition for use in semiconductor sealing that is excellent in low stress property, flowability and continuous moldability. <P>SOLUTION: The epoxy resin composition for use in the semiconductor sealing comprises (A) an epoxy resin having structure expressed by general formula (1), (B) a compound having 2 or more phenolic hydroxyl groups, (C) an inorganic filler, (D) a curing accelerator, and (E) oxidized polyethylene. In the general formula (1), Ar is an aromatic group, R1 and R2 are hydrocarbon groups, W1 is an oxygen atom or sulfur atom, R3 is a hydrogen, hydrocarbon group or aromatic group, and m and n represent a molar ratio. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置に関するものである。   The present invention relates to an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation and a semiconductor device.

近年、集積回路(IC)、大規模集積回路(LSI)、超大規模集積回路(VLSI)等の電子部品や半導体装置の高密度化、高集積化に伴い、それらの実装方式は、挿入実装から表面実装に移り変わりつつある。それに伴い、リードフレームの多ピン化及びリードの狭ピッチ化が要求されており、小型・軽量でかつ多ピン化に対応できる表面実装型のQFP(Quad Flat Package)等が各種の半導体装置に用いられている。そしてその半導体装置は、生産性、コスト、信頼性等のバランスに優れることから、エポキシ樹脂組成物を用いて封止されるのが主流となっている。また、更なる多ピン化、高速化に対応し半導体装置の表面実装化が促進されるなかで、エリア実装型半導体装置が開発されている。これらの半導体装置の信頼性は接続に用いられる半田に対する実装温度が高くなることにより、厳しい要求が出されている。特に車載搭載用の半導体装置ではより堅牢な半導体装置が求められている。従って、用いられる封止材に必要な特性としては低応力性が重要な課題である。   In recent years, as electronic components such as integrated circuits (ICs), large scale integrated circuits (LSIs), and very large scale integrated circuits (VLSIs) and semiconductor devices have been increased in density and integration, their mounting methods have been changed from insertion mounting. It is changing to surface mounting. Along with this, there is a demand for a multi-pin lead frame and a narrow lead pitch. Surface mount type QFP (Quad Flat Package), which is small, light, and compatible with multi-pin use, is used in various semiconductor devices. It has been. And since the semiconductor device is excellent in balance of productivity, cost, reliability, etc., it is mainstream to seal using an epoxy resin composition. In addition, area mounting type semiconductor devices have been developed in response to further increase in the number of pins and higher speed, and the promotion of surface mounting of semiconductor devices. The reliability of these semiconductor devices has been severely demanded due to an increase in mounting temperature for solder used for connection. In particular, a more robust semiconductor device is required for an on-vehicle semiconductor device. Accordingly, low stress is an important issue as a characteristic required for the sealing material used.

先に述べたエポキシ樹脂組成物の場合、エポキシ樹脂、硬化剤、無機充填材等から構成されるが、低応力性を発現させるためには樹脂構造の改良、樹脂成分と無機充填材との配合比率の最適化、添加剤による低応力化等様々な検討がなされている。特に樹脂構造の改良に関しては特定の構造を有するエポキシ樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献1、2参照。)。しかし、これらの樹脂は封止の際の温度において溶融粘度が高く、流動性が低下する問題があった。この問題は、信頼性を向上させる手段として線膨張係数を下げる検討が必要となる場合、封止材の無機充填材の添加割合を上げることに対して限界がでるため、特性改良の幅を狭める要因となっていた。また、これらの文献に示されている樹脂又は硬化剤を用いたエポキシ樹脂組成物は硬化性が低く、成形時のスティッキングや連続成形性に支障をきたす等の問題があった。
特開平03−281623号公報 特開平11−130944号公報
In the case of the epoxy resin composition described above, it is composed of an epoxy resin, a curing agent, an inorganic filler, etc. In order to develop low stress properties, the resin structure is improved, and a resin component and an inorganic filler are blended. Various studies have been made such as optimization of the ratio and reduction of stress by additives. In particular, an epoxy resin composition having a specific structure has been proposed for improving the resin structure (see, for example, Patent Documents 1 and 2). However, these resins have a problem that the melt viscosity is high at the sealing temperature and the fluidity is lowered. This problem is limited when increasing the proportion of the inorganic filler added to the sealing material when it is necessary to reduce the coefficient of linear expansion as a means to improve reliability. It was a factor. Moreover, the epoxy resin composition using the resin or the hardening | curing agent shown by these literature had low sclerosis | hardenability, and had problems, such as causing the sticking at the time of shaping | molding, and a trouble in continuous moldability.
Japanese Patent Laid-Open No. 03-281623 JP-A-11-130944

本発明は、低応力性に優れ、かつ流動性、連続成形性に優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びそれを用いて半導体素子を封止してなる半導体装置を提供するものである。   The present invention provides an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation excellent in low-stress property, fluidity and continuous moldability, and a semiconductor device obtained by encapsulating a semiconductor element using the same.

本発明は、
[1] (A)下記一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂と、(B)フェノール性水酸基を2個以上含む化合物と、(C)無機充填剤と、(D)硬化促進剤と、(E)酸化ポリエチレンとを含むことを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
The present invention
[1] (A) An epoxy resin having a structure represented by the following general formula (1), (B) a compound containing two or more phenolic hydroxyl groups, (C) an inorganic filler, and (D) curing acceleration An epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, comprising an agent and (E) oxidized polyethylene,

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(1)において、Arは炭素数6〜20の芳香族基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R2は炭素数1〜4の炭化水素基で、W1は酸素原子又は硫黄原子である。R3は水素、炭素数1〜4の炭化水素基又は炭素数6〜20の芳香族基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。aは0〜10の整数、bは1〜3の整数である。m、nはモル比を表し、0≦m<1、0<n≦1で、m+n=1、かつ、m/nの平均値は1/10〜1/1である。)
Figure 2008179791
(In the above general formula (1), Ar is an aromatic group having 6 to 20 carbon atoms, and may be the same or different from each other. R1 is a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms. And R2 is a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, W1 is an oxygen atom or a sulfur atom, R3 is hydrogen, a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, or An aromatic group having 6 to 20 carbon atoms, which may be the same or different from each other, a is an integer of 0 to 10, b is an integer of 1 to 3, and m and n represent molar ratios. 0 ≦ m <1, 0 <n ≦ 1, m + n = 1, and the average value of m / n is 1/10 to 1/1.)

[2] 前記(A)一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂が、フェノール性水酸基含有芳香族類、アルデヒド類、下記一般式(2)で表される化合物とを共縮合して得られたフェノール樹脂類をエピクロルヒドリンでグリシジルエーテル化したエポキシ樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、 [2] (A) The epoxy resin having the structure represented by the general formula (1) co-condenses the phenolic hydroxyl group-containing aromatics, aldehydes, and the compound represented by the following general formula (2). 2. The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1, which is an epoxy resin obtained by glycidyl etherification of an epoxy resin obtained by epichlorohydrin,

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(2)において、Arは炭素数6〜20の芳香族基である。R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R2は炭素数1〜4の炭化水素基で、W1は酸素原子又は硫黄原子である。aは0〜10の整数、bは1〜3の整数である。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (2), Ar is a C6-C20 aromatic group. R1 is a C1-C6 hydrocarbon group, and may mutually be same or different. R2 is a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, W1 is an oxygen atom or a sulfur atom, a is an integer of 0 to 10, and b is an integer of 1 to 3).

[3] 前記(A)一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂が、下記一般式(3)で表されるエポキシ樹脂であることを特徴とする第[1]項又は第[2]項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、 [3] The item [1] or [3], wherein the epoxy resin (A) having the structure represented by the general formula (1) is an epoxy resin represented by the following general formula (3): 2] An epoxy resin composition for encapsulating a semiconductor according to item

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(3)において、R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R2は炭素数1〜4の炭化水素基で、W1は酸素原子又は硫黄原子である。cは0〜5の整数、dは0〜3の整数である。m、nはモル比を表し、0≦m<1、0<n≦1で、m+n=1、かつ、m/nの平均値は1/10〜1/1である。)
[4] 前記一般式(3)で表されるエポキシ樹脂が、下記一般式(4)で表されるエポキシ樹脂であることを特徴とする第[3]項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (3), R1 is a C1-C6 hydrocarbon group and may mutually be same or different. R2 is a C1-C4 hydrocarbon group, W1 is an oxygen atom or a sulfur atom, c is an integer of 0 to 5, d is an integer of 0 to 3, m and n represent a molar ratio, 0 ≦ m <1, 0 <n ≦ 1, m + n = 1, and the average value of m / n is 1/10 to 1/1.)
[4] The epoxy resin for semiconductor encapsulation according to item [3], wherein the epoxy resin represented by the general formula (3) is an epoxy resin represented by the following general formula (4) Composition,

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(4)において、R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。cは0〜5の整数、dは0〜3の整数である。m、nはモル比を表し、0≦m<1、0<n≦1で、m+n=1、かつ、m/nの平均値は1/10〜1/1である。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (4), R1 is a C1-C6 hydrocarbon group and may mutually be same or different. C is an integer of 0-5, d is 0-3. M and n represent molar ratios, 0 ≦ m <1, 0 <n ≦ 1, m + n = 1, and the average value of m / n is 1/10 to 1/1. )

[5] 前記硬化促進剤(D)が、下記一般式(5)で表される化合物、下記一般式(6)で表される化合物、下記一般式(7)で表される化合物及び下記一般式(8)で表される化合物から選ばれる少なくとも1つであることを特徴とする第[1]項ないし第[4]項のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、 [5] The curing accelerator (D) is a compound represented by the following general formula (5), a compound represented by the following general formula (6), a compound represented by the following general formula (7), and the following general formula The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to any one of [1] to [4], which is at least one selected from compounds represented by formula (8):

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(5)において、Pはリン原子を表す。R4、R5、R6及びR7は芳香族基又はアルキル基を表す。Aはヒドロキシル基、カルボキシル基、チオール基か
ら選ばれる官能基のいずれかを芳香環に少なくとも1つ有する芳香族有機酸のアニオンを表す。AHはヒドロキシル基、カルボキシル基、チオール基から選ばれる官能基のいずれかを芳香環に少なくとも1つ有する芳香族有機酸を表す。x、yは1〜3の整数、zは0〜3の整数であり、かつx=yである。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (5), P represents a phosphorus atom. R4, R5, R6, and R7 represent an aromatic group or an alkyl group. A is a functional group chosen from a hydroxyl group, a carboxyl group, and a thiol group. Represents an anion of an aromatic organic acid having at least one of the following: AH is an aromatic organic acid having at least one functional group selected from a hydroxyl group, a carboxyl group, and a thiol group in the aromatic ring X and y are integers of 1 to 3, z is an integer of 0 to 3, and x = y.

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(6)において、X1は炭素数1〜3のアルキル基、Y1はヒドロキシル基を表す。e、fは0〜3の整数である。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (6), X1 represents a C1-C3 alkyl group, Y1 represents a hydroxyl group. E and f are integers of 0-3.)

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(7)において、Pはリン原子を表す。R8、R9及びR10は炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数6〜12のアリール基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。R11、R12及びR13は水素原子又は炭素数1〜12の炭化水素基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよく、R11とR12が結合して環状構造となっていてもよい。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (7), P represents a phosphorus atom. R8, R9, and R10 represent a C1-C12 alkyl group or a C6-C12 aryl group, and they are mutually the same. R11, R12 and R13 each represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms and may be the same or different from each other, and R11 and R12 are bonded to form a cyclic structure. May be.)

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(8)において、Pはリン原子を表し、Siは珪素原子を表す。R14、R15、R16及びR17は、それぞれ、芳香環又は複素環を有する有機基、あるいは脂肪族基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。式中X2は、基Y2及びY3と結合する有機基である。式中X3は、基Y4及びY5と結合する有機基である。Y2及びY3は、プロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基を表し、同一分子内の基Y2及びY3が珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。Y4及びY5はプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基を表し、同一分子内の基Y4及び
Y5が珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。X2、及びX3は互いに同一でも異なっていてもよく、Y2、Y3、Y4、及びY5は互いに同一であっても異なっていてもよい。Z1は芳香環又は複素環を有する有機基、あるいは脂肪族基である。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (8), P represents a phosphorus atom and Si represents a silicon atom. R14, R15, R16, and R17 are respectively an organic group or an aliphatic group which has an aromatic ring or a heterocyclic ring. X2 is an organic group bonded to the groups Y2 and Y3, where X3 is an organic group bonded to the groups Y4 and Y5. And Y3 represent a group formed by releasing a proton from a proton-donating substituent, and groups Y2 and Y3 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure. The functional substituent represents a group formed by releasing a proton, and the groups Y4 and Y5 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure, and X2 and X3 may be the same or different from each other. Often Y2, Y3, Y4, and Y5 is .Z1 which may be the same or different from each other is an organic group or an aliphatic group, an aromatic ring or a heterocyclic ring.)

[6] 更に(F)カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)、及び/又は、カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)とエポキシ樹脂との反応生成物(F2)を含むことを特徴とする第[1]項ないし第[5]項のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[7] 更に(G)カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)、及び/又は、カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)とエポキシ樹脂との反応生成物(G2)を含むことを特徴とする第[1]項ないし第[6]項のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[8] 前記無機充填剤(C)を当該樹脂組成物全体の80重量%以上、92重量%以下含むことを特徴とする第[1]項ないし第[7]項のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[9] 第[1]項ないし第[8]項のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物により半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置、
である。
[6] Further, (F) a butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group and / or a reaction product (F2) of a butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group and an epoxy resin. An epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to any one of items [1] to [5], comprising:
[7] The method further comprises (G) an organopolysiloxane having a carboxyl group (G1) and / or a reaction product (G2) of an organopolysiloxane having a carboxyl group (G1) and an epoxy resin. The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to any one of items [1] to [6],
[8] The semiconductor according to any one of [1] to [7], wherein the inorganic filler (C) is contained in an amount of 80% by weight to 92% by weight based on the entire resin composition. Epoxy resin composition for sealing,
[9] A semiconductor device comprising a semiconductor element sealed with a cured product of the epoxy resin composition for semiconductor sealing according to any one of [1] to [8],
It is.

本発明に従うと、低応力性に優れ、かつ流動性、連続成形性が良好な半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置を得ることができる。   According to the present invention, it is possible to obtain an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation and a semiconductor device that are excellent in low stress, fluidity, and continuous moldability.

本発明は、(A)一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂と、(B)フェノール性水酸基を2個以上含む化合物と、(C)無機充填剤と、(D)硬化促進剤と、(E)酸化ポリエチレンとを含むことにより、低応力性に優れ、かつ流動性、連続成形性に優れるエポキシ樹脂組成物が得られるものである。
以下、各成分について詳細に説明する。
The present invention includes (A) an epoxy resin having a structure represented by the general formula (1), (B) a compound containing two or more phenolic hydroxyl groups, (C) an inorganic filler, and (D) curing acceleration. By including an agent and (E) oxidized polyethylene, an epoxy resin composition having excellent low stress properties and excellent fluidity and continuous moldability can be obtained.
Hereinafter, each component will be described in detail.

本発明では、エポキシ樹脂として下記一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)を用いる。下記一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)は、分子内に芳香族環炭素が多く、これを用いたエポキシ樹脂組成物の硬化物は低応力性、耐燃性に優れ、吸水率が低くなるという特徴を有している。また、従来から、低応力性に優れていることが知られているフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル型エポキシ樹脂と比較すると、流動性に優れるという特徴を有している。また、下記一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)におけるmとnとの比率m/nの平均値としては、1/10〜1/1であることが好ましく、1/5〜2/5であることがより好ましい。m/nの平均値が上記範囲内であると、低応力性、耐燃性、低吸水性等を向上させる効果を得ることができる。また、上記範囲内であれば、該エポキシ樹脂の溶融粘度が高くなることによる樹脂組成物の流動性の低下を引き起す恐れが少ない。   In the present invention, an epoxy resin (A) having a structure represented by the following general formula (1) is used as the epoxy resin. The epoxy resin (A) having the structure represented by the following general formula (1) has many aromatic ring carbons in the molecule, and the cured product of the epoxy resin composition using this has excellent low-stress property and flame resistance. The water absorption rate is low. Further, it has a characteristic that it has excellent fluidity as compared with a naphthol aralkyl type epoxy resin having a phenylene skeleton that has been known to be excellent in low stress. The average value of the ratio m / n between m and n in the epoxy resin (A) having the structure represented by the following general formula (1) is preferably 1/10 to 1/1. More preferably, the ratio is / 5 to 2/5. When the average value of m / n is within the above range, an effect of improving low stress property, flame resistance, low water absorption and the like can be obtained. Moreover, if it is in the said range, there is little possibility of causing the fall of the fluidity | liquidity of the resin composition by the melt viscosity of this epoxy resin becoming high.

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(1)において、Arは炭素数6〜20の芳香族基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R2は炭素数1〜4の炭化水素基で、W1は酸素原子又は硫黄原子である。R3は水素、炭素数1〜4の炭化水素基又は炭素数6〜20の芳香族基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。aは0〜10の整数、bは1〜3の整数である。m、nはモル比を表し、0≦m<1、0<n≦1で、m+n=1、かつ、m/nの平均値は1/10〜1/1である。)
Figure 2008179791
(In the above general formula (1), Ar is an aromatic group having 6 to 20 carbon atoms, and may be the same or different from each other. R1 is a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms. And R2 is a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, W1 is an oxygen atom or a sulfur atom, R3 is hydrogen, a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, or An aromatic group having 6 to 20 carbon atoms, which may be the same or different from each other, a is an integer of 0 to 10, b is an integer of 1 to 3, and m and n represent molar ratios. 0 ≦ m <1, 0 <n ≦ 1, m + n = 1, and the average value of m / n is 1/10 to 1/1.)

本発明で用いられる一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)としては、特に限定するものではないが、例えば、下記一般式(4)で表される構造を有するエポキシ樹脂、下記一般式(9)で表される構造を有するエポキシ樹脂、下記一般式(10)で表される構造を有するエポキシ樹脂、下記一般式(11)で表される構造を有する化合物等が挙げられる。低応力性、耐燃性の観点からは、一般式(1)におけるArがナフタレン環である下記一般式(4)で表される構造を有するエポキシ樹脂、下記一般式(10)で表される構造を有するエポキシ樹脂がより好ましい。   Although it does not specifically limit as an epoxy resin (A) which has a structure represented by General formula (1) used by this invention, For example, the epoxy resin which has a structure represented by following General formula (4) , An epoxy resin having a structure represented by the following general formula (9), an epoxy resin having a structure represented by the following general formula (10), a compound having a structure represented by the following general formula (11), and the like. It is done. From the viewpoints of low stress and flame resistance, an epoxy resin having a structure represented by the following general formula (4) in which Ar in the general formula (1) is a naphthalene ring, a structure represented by the following general formula (10) An epoxy resin having is more preferable.

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(4)において、R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。cは0〜5の整数、dは0〜3の整数である。m、nはモル比を表し、0≦m<1、0<n≦1で、m+n=1、かつ、m/nの平均値は1/10〜1/1である。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (4), R1 is a C1-C6 hydrocarbon group and may mutually be same or different. C is an integer of 0-5, d is 0-3. M and n represent molar ratios, 0 ≦ m <1, 0 <n ≦ 1, m + n = 1, and the average value of m / n is 1/10 to 1/1. )

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(9)において、R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R2は炭素数1〜4の炭化水素基である。dは0〜3の整数である。m、nはモル比を表し、0≦m<1、0<n≦1で、m+n=1、かつ、m/nの平均値は1/10〜1/1である。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (9), R1 is a C1-C6 hydrocarbon group and may mutually be same or different. R2 is a C1-C4 hydrocarbon group. D is an integer of 0 to 3. m and n represent molar ratios, 0 ≦ m <1, 0 <n ≦ 1, m + n = 1, and the average value of m / n is 1/10 to 10 1/1.)

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(10)において、R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R2は炭素数1〜4の炭化水素基である。cは0〜5の整数、dは0〜3の整数である。m、nはモル比を表し、0≦m<1、0<n≦1で、m+n=1、かつ、m/nの平均値は1/10〜1/1である。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (10), R1 is a C1-C6 hydrocarbon group, and may mutually be same or different. R2 is a C1-C4 hydrocarbon group. C is an integer of 0 to 5, d is an integer of 0 to 3. m and n are molar ratios, 0 ≦ m <1, 0 <n ≦ 1, m + n = 1, and m / n The average value is 1/10 to 1/1.)

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(11)において、R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R2は炭素数1〜4の炭化水素基である。dは0〜3の整数である。m、nはモル比を表し、0≦m<1、0<n≦1で、m+n=1、かつ、m/nの平均値は1/10〜1/1である。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (11), R1 is a C1-C6 hydrocarbon group and may mutually be same or different. R2 is a C1-C4 hydrocarbon group. D is an integer of 0 to 3. m and n represent molar ratios, 0 ≦ m <1, 0 <n ≦ 1, m + n = 1, and the average value of m / n is 1/10 to 10 1/1.)

本発明で用いられる一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)は、フェ
ノール性水酸基含有芳香族類、アルデヒド類、下記一般式(2)で表される化合物(J)を共縮合して得られたフェノール樹脂類をエピクロルヒドリンでグリシジルエーテル化することにより得ることができる。下記一般式(2)で表される化合物(J)は、グルシジルエーテル基が結合していない芳香族環にW1R2(W1は酸素原子又は硫黄原子、R2は炭素数1〜4の炭化水素基)が結合している点を特徴とするものである。W1R2が結合していることで下記一般式(2)で表される化合物(J)は極性を有し、これにより反応性が向上するため、フェノール性水酸基含有芳香族類、アルデヒド類からなるノボラック樹脂の構造中に該化合物(J)の構造を導入することができるものである。

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(2)において、Arは炭素数6〜20の芳香族基である。R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R2は炭素数1〜4の炭化水素基で、W1は酸素原子又は硫黄原子である。aは0〜10の整数、bは1〜3の整数である。) The epoxy resin (A) having a structure represented by the general formula (1) used in the present invention comprises a phenolic hydroxyl group-containing aromatic, an aldehyde, and a compound (J) represented by the following general formula (2). The phenol resins obtained by co-condensation can be obtained by glycidyl etherification with epichlorohydrin. Compound (J) represented by the following general formula (2) has an aromatic ring to which a glycidyl ether group is not bonded, W1R2 (W1 is an oxygen atom or a sulfur atom, and R2 is a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms. ) Are connected to each other. Since W1R2 is bonded, the compound (J) represented by the following general formula (2) has polarity, and this improves the reactivity. Therefore, a novolak comprising a phenolic hydroxyl group-containing aromatic or aldehyde The structure of the compound (J) can be introduced into the resin structure.
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (2), Ar is a C6-C20 aromatic group. R1 is a C1-C6 hydrocarbon group, and may mutually be same or different. R2 is a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, W1 is an oxygen atom or a sulfur atom, a is an integer of 0 to 10, and b is an integer of 1 to 3).

一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)の製造に用いられるフェノール性水酸基含有芳香族類としては、特に限定されるものではないが、例えば、フェノール、カテコール、レゾルシノール、ヒドロキノン、o−クレゾール、p−クレゾール、m−クレゾール、フェニルフェノール、エチルフェノール、n−プロピルフェノール、iso−プロピルフェノール、t−ブチルフェノール、キシレノール、メチルプロピルフェノール、メチルブチルフェノール、ジプロピルフェノール、ジブチルフェノール、ノニルフェノール、メシトール、2,3,5−トリメチルフェノール、2,3,6−トリメチルフェノール等のフェノール類、1−ナフトール、2−ナフトール、メチルナフトール等のナフトール類が挙げられる。これらの中でも、フェノール、o−クレゾール、1−ナフトール、2−ナフトールが好ましく、更にo−クレゾールがより好ましい。これらは、1種類を単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。   Although it does not specifically limit as phenolic hydroxyl group containing aromatics used for manufacture of the epoxy resin (A) which has a structure represented by General formula (1), For example, phenol, catechol, resorcinol, hydroquinone , O-cresol, p-cresol, m-cresol, phenylphenol, ethylphenol, n-propylphenol, iso-propylphenol, t-butylphenol, xylenol, methylpropylphenol, methylbutylphenol, dipropylphenol, dibutylphenol, nonylphenol , Phenols such as mecitol, 2,3,5-trimethylphenol and 2,3,6-trimethylphenol, and naphthols such as 1-naphthol, 2-naphthol and methylnaphthol. Among these, phenol, o-cresol, 1-naphthol and 2-naphthol are preferable, and o-cresol is more preferable. These may be used alone or in combination of two or more.

一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)の製造に用いられるアルデヒド類としては、特に限定されるものではないが、例えば、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド等の脂肪族系アルデヒド、ベンズアルデヒド、4−メチルベンズアルデヒド、3,4−ジメチルベンズアルデヒド、4−ビフェニルアルデヒド、ナフチルアルデヒド、サリチルアルデヒド等の芳香族アルデヒドが挙げられる。これらの中でも、ホルムアルデヒド、ベンズアルデヒド、ナフチルアルデヒドが好ましく、更にホルムアルデヒドがより好ましい。これらは、1種類を単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。   Although it does not specifically limit as aldehydes used for manufacture of the epoxy resin (A) which has a structure represented by General formula (1), For example, aliphatic aldehydes, such as formaldehyde, acetaldehyde, propionaldehyde Aromatic aldehydes such as benzaldehyde, 4-methylbenzaldehyde, 3,4-dimethylbenzaldehyde, 4-biphenylaldehyde, naphthylaldehyde, and salicylaldehyde. Among these, formaldehyde, benzaldehyde, and naphthylaldehyde are preferable, and formaldehyde is more preferable. These may be used alone or in combination of two or more.

一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)の製造に用いられる一般式(2)で表される化合物(J)としては、一般式(2)の構造であれば特に限定されるものではないが、例えば、メトキシベンゼン、エトキシベンゼン、メチルフェニルスルフィド、エチルフェニルスルフィド、1−メトキシナフタレン、2−メトキシナフタレン、1−メチル−2−メトキシナフタレン、1−メトキシ−2−メチルナフタレン、1,3,5−トリメチル−2−メトキシナフタレン、1−エトキシナフタレン、2−エトキシナフタレン、1−t−ブトキシナフタレン、メチルナフチルスルフィド、エチルナフチルスルフィド、1,4−ジメトキシナフタレン、2,6−ジメトキシナフタレン、2,7−ジメトキシナフタレン、1−メトキシアントラセン等が挙げられる。これらの中でも、低応力性、
耐燃性、低吸水性等を考慮すると、下記式(12)で表される化合物が好ましく、下記式(13)で表されるメトキシナフタレン化合物がより好ましい。
The compound (J) represented by the general formula (2) used for the production of the epoxy resin (A) having the structure represented by the general formula (1) is particularly limited as long as it is a structure of the general formula (2). For example, methoxybenzene, ethoxybenzene, methylphenyl sulfide, ethylphenyl sulfide, 1-methoxynaphthalene, 2-methoxynaphthalene, 1-methyl-2-methoxynaphthalene, 1-methoxy-2-methylnaphthalene 1,3,5-trimethyl-2-methoxynaphthalene, 1-ethoxynaphthalene, 2-ethoxynaphthalene, 1-t-butoxynaphthalene, methyl naphthyl sulfide, ethyl naphthyl sulfide, 1,4-dimethoxynaphthalene, 2,6- Dimethoxynaphthalene, 2,7-dimethoxynaphthalene, 1-methoxya Anthracene, and the like. Among these, low stress,
In view of flame resistance, low water absorption and the like, a compound represented by the following formula (12) is preferable, and a methoxynaphthalene compound represented by the following formula (13) is more preferable.

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(12)において、R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R2は炭素数1〜4の炭化水素基で、W1は酸素原子又は硫黄原子である。cは0〜5の整数である。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (12), R1 is a C1-C6 hydrocarbon group, and may mutually be same or different. R2 is a C1-C4 hydrocarbon group, W1 is an oxygen atom or a sulfur atom, and c is an integer of 0 to 5.)

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(13)において、R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。cは0〜5の整数である。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (13), R1 is a C1-C6 hydrocarbon group and may mutually be same or different. C is an integer of 0-5.)

本発明で用いられる一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)の前駆体であるフェノール樹脂類の合成方法については特に限定しないが、例えば、フェノール性水酸基含有芳香族類とアルデヒド類と一般式(2)で表される化合物(J)とを共存下で酸性触媒を用いて共縮合させる方法が挙げられる。   The method for synthesizing the phenol resin which is a precursor of the epoxy resin (A) having the structure represented by the general formula (1) used in the present invention is not particularly limited. For example, the phenolic hydroxyl group-containing aromatics and Examples include a method in which an aldehyde and a compound (J) represented by the general formula (2) are co-condensed using an acidic catalyst in the coexistence.

本発明で用いられる一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)の合成方法については特に限定しないが、例えば、一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)の前駆体であるフェノール樹脂類を過剰のエピクロルヒドリンに溶解した後、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物の存在下で50℃以上、150℃以下、好ましくは60℃以上、120℃以下で1〜10時間反応させる方法等が挙げられる。反応終了後、過剰のエピクロルヒドリンを留去し、残留物をトルエン、メチルイソブチルケトン等の溶剤に溶解し、濾過し、水洗して無機塩を除去し、次いで溶剤を留去することにより目的の一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)を得ることができる。   The method for synthesizing the epoxy resin (A) having a structure represented by the general formula (1) used in the present invention is not particularly limited. For example, an epoxy resin having a structure represented by the general formula (1) (A ) In the presence of an alkali metal hydroxide such as sodium hydroxide or potassium hydroxide, dissolved in excess epichlorohydrin, and then dissolved in an excess of epichlorohydrin. Examples include a method of reacting at 120 ° C. or lower for 1 to 10 hours. After completion of the reaction, excess epichlorohydrin is distilled off, the residue is dissolved in a solvent such as toluene, methyl isobutyl ketone, filtered, washed with water to remove inorganic salts, and then the solvent is evaporated to remove the target general An epoxy resin (A) having a structure represented by the formula (1) can be obtained.

本発明では、一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)を用いることによる効果が損なわれない範囲で、他のエポキシ樹脂と併用することができる。併用できるエポキシ樹脂としては、例えばビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、フェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポ
キシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂等が挙げられる。半導体封止用エポキシ樹脂組成物としての耐湿信頼性を考慮すると、イオン性不純物であるNaイオンやClイオンが極力少ない方が好ましく、硬化性の点からエポキシ当量としては100g/eq以上、500g/eq以下が好ましい。
In this invention, it can use together with another epoxy resin in the range by which the effect by using the epoxy resin (A) which has a structure represented by General formula (1) is not impaired. Examples of epoxy resins that can be used in combination include biphenyl type epoxy resins, bisphenol type epoxy resins, stilbene type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, cresol novolac type epoxy resins, triphenolmethane type epoxy resins, and phenol aralkyl type epoxy resins having a phenylene skeleton. Examples thereof include a resin, a phenol aralkyl type epoxy resin having a biphenylene skeleton, a naphthol type epoxy resin, an alkyl-modified triphenol methane type epoxy resin, a triazine nucleus-containing epoxy resin, and a dicyclopentadiene-modified phenol type epoxy resin. In consideration of moisture resistance reliability as an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, it is preferable that Na ions and Cl ions, which are ionic impurities, be as small as possible. From the viewpoint of curability, the epoxy equivalent is 100 g / eq or more and 500 g / eq or less is preferable.

他のエポキシ樹脂を併用する場合における一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)の配合割合としては、全エポキシ樹脂に対して、好ましくは10重量%以上であり、更に好ましくは30重量%以上、特に好ましくは50重量%以上である。配合割合が上記範囲内であると、低応力性、耐燃性、低吸水性等を向上させる効果を得ることができる。   The blending ratio of the epoxy resin (A) having the structure represented by the general formula (1) when other epoxy resins are used in combination is preferably 10% by weight or more, more preferably based on the total epoxy resin. Is 30% by weight or more, particularly preferably 50% by weight or more. When the blending ratio is within the above range, an effect of improving low stress properties, flame resistance, low water absorption, and the like can be obtained.

本発明では、硬化剤として、耐燃性、耐湿性、電気特性、硬化性、保存安定性等の点からフェノール性水酸基を2個以上含む化合物(B)を用いる。このフェノール性水酸基を2個以上含む化合物(B)は、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般であり、その分子量、分子構造を特に限定するものではないが、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、トリフェノールメタン型フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂、フェニレン骨格及び/又はビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂、フェニレン及び/又はビフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル樹脂、ビスフェノール化合物、等が挙げられ、これらは1種類を単独で用いても2種類以上を併用してもよい。これらのうち、硬化性の点から水酸基当量は90g/eq以上、250g/eq以下のものが好ましい。   In the present invention, a compound (B) containing two or more phenolic hydroxyl groups is used as a curing agent from the viewpoints of flame resistance, moisture resistance, electrical properties, curability, storage stability, and the like. The compound (B) containing two or more phenolic hydroxyl groups is a monomer, oligomer or polymer in general having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, and its molecular weight and molecular structure are not particularly limited. For example, phenol novolak resin, cresol novolak resin, triphenolmethane type phenol resin, terpene modified phenol resin, dicyclopentadiene modified phenol resin, phenol aralkyl resin having phenylene skeleton and / or biphenylene skeleton, phenylene and / or biphenylene skeleton A naphthol aralkyl resin, a bisphenol compound, etc. are mentioned, These may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together. Among these, the hydroxyl equivalent is preferably 90 g / eq or more and 250 g / eq or less from the viewpoint of curability.

本発明に用いる無機充填剤(C)としては、一般に半導体封止用樹脂組成物に用いられているものを使用することができ、例えば、溶融シリカ、球状シリカ、結晶シリカ、アルミナ、窒化珪素、窒化アルミ等が挙げられる。無機充填剤(C)の粒径としては、金型への充填性を考慮すると0.01μm以上、150μm以下であることが望ましい。また、無機充填剤(C)の含有量としては、エポキシ樹脂組成物全体の80重量%以上、92重量%以下が好ましく、より好ましくは82重量%以上、91重量%以下、特に好ましくは84重量%以上、90重量%以下である。無機充填剤(C)の含有量が上記範囲内であると、エポキシ樹脂組成物の硬化物の吸水量が増加して強度が低下することによる耐半田クラック性の低下を引き起こす恐れが少ない。また、無機充填剤(C)の含有量が上記範囲内であると、流動性が損なわれることによる成形面での不具合の発生を引き起こす恐れが少ない。   As the inorganic filler (C) used in the present invention, those generally used for semiconductor sealing resin compositions can be used, for example, fused silica, spherical silica, crystalline silica, alumina, silicon nitride, Examples thereof include aluminum nitride. The particle size of the inorganic filler (C) is preferably 0.01 μm or more and 150 μm or less in consideration of the filling property to the mold. Further, the content of the inorganic filler (C) is preferably 80% by weight or more and 92% by weight or less, more preferably 82% by weight or more and 91% by weight or less, and particularly preferably 84% by weight of the entire epoxy resin composition. % To 90% by weight. When the content of the inorganic filler (C) is within the above range, the amount of water absorption of the cured product of the epoxy resin composition is increased and there is little possibility of causing a decrease in solder crack resistance due to a decrease in strength. Further, when the content of the inorganic filler (C) is within the above range, there is little possibility of causing defects on the molding surface due to the loss of fluidity.

本発明に用いる硬化促進剤(D)は、エポキシ樹脂のエポキシ基とフェノール性水酸基を2個以上含む化合物のフェノール性水酸基との反応を促進するものであればよく、一般の半導体封止用エポキシ樹脂組成物に使用されているものを利用することができる。具体例としては、有機ホスフィン、テトラ置換ホスホニウム化合物、ホスホベタイン化合物、ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物等のリン原子含有化合物、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7、ベンジルジメチルアミン、2−メチルイミダゾール等の窒素原子含有化合物が挙げられる。これらのうち、リン原子含有化合物が好ましく、特に流動性という点を考慮するとテトラ置換ホスホニウム化合物が好ましく、またエポキシ樹脂組成物の硬化物熱時低弾性率という点を考慮するとホスホベタイン化合物、ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物が好ましく、また潜伏的硬化性という点を考慮すると、ホスホニウム化合物とシラン化合物との付加物が好ましい。   The curing accelerator (D) used in the present invention is not limited as long as it accelerates the reaction between the epoxy group of the epoxy resin and the phenolic hydroxyl group of the compound containing two or more phenolic hydroxyl groups. What is used for the resin composition can be utilized. Specific examples include organic phosphines, tetra-substituted phosphonium compounds, phosphobetaine compounds, phosphorus atom-containing compounds such as adducts of phosphine compounds and quinone compounds, 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7, benzyl Nitrogen atom-containing compounds such as dimethylamine and 2-methylimidazole can be mentioned. Among these, a phosphorus atom-containing compound is preferable, and a tetra-substituted phosphonium compound is particularly preferable in consideration of fluidity, and a phosphobetaine compound and a phosphine compound in consideration of a low elastic modulus when cured of an epoxy resin composition. An adduct of quinone compound and a quinone compound is preferable, and an adduct of a phosphonium compound and a silane compound is preferable in consideration of latent curing property.

本発明で用いられる有機ホスフィンとしては、例えばエチルホスフィン、フェニルホスフィン等の第1ホスフィン、ジメチルホスフィン、ジフェニルホスフィン等の第2ホスフィン、トリメチルホスフィン、トリエチルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリフェ
ニルホスフィン等の第3ホスフィンが挙げられる。
Examples of the organic phosphine used in the present invention include a first phosphine such as ethylphosphine and phenylphosphine, a second phosphine such as dimethylphosphine and diphenylphosphine, and a third phosphine such as trimethylphosphine, triethylphosphine, tributylphosphine, and triphenylphosphine. Is mentioned.

本発明で用いられるテトラ置換ホスホニウム化合物としては、下記一般式(5)で表される化合物等が挙げられる。   Examples of the tetra-substituted phosphonium compound used in the present invention include compounds represented by the following general formula (5).

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(5)において、Pはリン原子を表す。R4、R5、R6及びR7は芳香族基又はアルキル基を表す。Aはヒドロキシル基、カルボキシル基、チオール基から選ばれる官能基のいずれかを芳香環に少なくとも1つ有する芳香族有機酸のアニオンを表す。AHはヒドロキシル基、カルボキシル基、チオール基から選ばれる官能基のいずれかを芳香環に少なくとも1つ有する芳香族有機酸を表す。x、yは1〜3の整数、zは0〜3の整数であり、かつx=yである。)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (5), P represents a phosphorus atom. R4, R5, R6, and R7 represent an aromatic group or an alkyl group. A is a functional group chosen from a hydroxyl group, a carboxyl group, and a thiol group. Represents an anion of an aromatic organic acid having at least one of the following: AH is an aromatic organic acid having at least one functional group selected from a hydroxyl group, a carboxyl group, and a thiol group in the aromatic ring X and y are integers of 1 to 3, z is an integer of 0 to 3, and x = y.

本発明で用いられる一般式(5)で表される化合物は、例えば以下のようにして得られるがこれに限定されるものではない。まず、テトラ置換ホスホニウムハライドと芳香族有機酸と塩基を有機溶剤に混ぜ均一に混合し、その溶液系内に芳香族有機酸アニオンを発生させる。次いで水を加えると、一般式(5)で表される化合物を沈殿させることができる。一般式(5)で表される化合物において、リン原子に結合するR3、R4、R5及びR6がフェニル基であり、かつAHはヒドロキシル基を芳香環に有する化合物、すなわちフェノール類であり、かつAは該フェノール類のアニオンであるものが好ましい。   Although the compound represented by General formula (5) used by this invention is obtained as follows, for example, it is not limited to this. First, a tetra-substituted phosphonium halide, an aromatic organic acid and a base are mixed in an organic solvent and mixed uniformly to generate an aromatic organic acid anion in the solution system. Then, when water is added, the compound represented by the general formula (5) can be precipitated. In the compound represented by the general formula (5), R3, R4, R5 and R6 bonded to the phosphorus atom are phenyl groups, and AH is a compound having a hydroxyl group in an aromatic ring, that is, phenols, and A Is preferably an anion of the phenol.

本発明で用いられるホスホベタイン化合物としては、下記一般式(6)で表される化合物等が挙げられる。

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(6)において、X1は炭素数1〜3のアルキル基、Y1はヒドロキシル基を表す。e、fは0〜3の整数である。) Examples of the phosphobetaine compound used in the present invention include compounds represented by the following general formula (6).
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (6), X1 represents a C1-C3 alkyl group, Y1 represents a hydroxyl group. E and f are integers of 0-3.)

一般式(6)で表される化合物は、例えば以下のようにして得られる。まず、第三ホスフィンであるトリ芳香族置換ホスフィンとジアゾニウム塩とを接触させ、トリ芳香族置換ホスフィンとジアゾニウム塩が有するジアゾニウム基とを置換させる工程を経て得られる。しかしこれに限定されるものではない。   The compound represented by the general formula (6) is obtained, for example, as follows. First, it is obtained through a step of bringing a triaromatic substituted phosphine, which is a third phosphine, into contact with a diazonium salt and replacing the triaromatic substituted phosphine with a diazonium group of the diazonium salt. However, the present invention is not limited to this.

本発明で用いられるホスフィン化合物とキノン化合物との付加物としては、下記一般式
(7)で表される化合物等が挙げられる。

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(7)において、Pはリン原子を表す。R8、R9及びR10は炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数6〜12のアリール基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。R11、R12及びR13は水素原子又は炭素数1〜12の炭化水素基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよく、R11とR12が結合して環状構造となっていてもよい。) Examples of the adduct of the phosphine compound and quinone compound used in the present invention include compounds represented by the following general formula (7).
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (7), P represents a phosphorus atom. R8, R9, and R10 represent a C1-C12 alkyl group or a C6-C12 aryl group, and they are mutually the same. R11, R12 and R13 each represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms and may be the same or different from each other, and R11 and R12 are bonded to form a cyclic structure. May be.)

ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物に用いるホスフィン化合物としては、トリフェニルホスフィン、トリス(アルキルフェニル)ホスフィン、トリス(アルコキシフェニル)ホスフィン、トリナフチルホスフィン、トリス(ベンジル)ホスフィン等の芳香環に無置換あるいはアルキル基、アルコキシル基等の置換基が存在するものが好ましく、アルキル基、アルコキシル基の有機基としては1〜6の炭素数を有するものが挙げられる。入手しやすさの観点からはトリフェニルホスフィンが好ましい。
またホスフィン化合物とキノン化合物との付加物に用いるキノン化合物としては、o−ベンゾキノン、p−ベンゾキノン、アントラキノン類が挙げられ、中でもp−ベンゾキノンが保存安定性の点から好ましい。
ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物の製造方法としては、有機第三ホスフィンとベンゾキノン類の両者が溶解することができる溶媒中で接触、混合させることにより付加物を得ることができる。溶媒としてはアセトンやメチルエチルケトン等のケトン類で付加物への溶解性が低いものがよい。しかしこれに限定されるものではない。
一般式(7)で表される化合物において、リン原子に結合するR8、R9及びR10がフェニル基であり、かつR11、R12及びR13が水素原子である化合物、すなわち1,4−ベンゾキノンとトリフェニルホスフィンを付加させた化合物がエポキシ樹脂組成物の硬化物熱時弾性率を低下させる点で好ましい。
The phosphine compound used as an adduct of a phosphine compound and a quinone compound has no substitution on aromatic rings such as triphenylphosphine, tris (alkylphenyl) phosphine, tris (alkoxyphenyl) phosphine, trinaphthylphosphine, tris (benzyl) phosphine, etc. Or what has substituents, such as an alkyl group and an alkoxyl group, is preferable, and what has 1-6 carbon atoms is mentioned as an organic group of an alkyl group and an alkoxyl group. From the viewpoint of availability, triphenylphosphine is preferable.
In addition, examples of the quinone compound used for the adduct of the phosphine compound and the quinone compound include o-benzoquinone, p-benzoquinone, and anthraquinones. Among them, p-benzoquinone is preferable from the viewpoint of storage stability.
As a method for producing an adduct of a phosphine compound and a quinone compound, the adduct can be obtained by contacting and mixing in a solvent capable of dissolving both organic tertiary phosphine and benzoquinone. The solvent is preferably a ketone such as acetone or methyl ethyl ketone, which has low solubility in the adduct. However, the present invention is not limited to this.
In the compound represented by the general formula (7), R8, R9 and R10 bonded to the phosphorus atom are phenyl groups, and R11, R12 and R13 are hydrogen atoms, that is, 1,4-benzoquinone and triphenyl A compound to which phosphine has been added is preferable in that it reduces the elastic modulus of the cured epoxy resin composition when heated.

本発明で用いられるホスホニウム化合物とシラン化合物との付加物としては、下記一般式(8)で表される化合物等が挙げられる。

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(8)において、Pはリン原子を表し、Siは珪素原子を表す。R14、R15、R16及びR17は、それぞれ、芳香環又は複素環を有する有機基、あるいは脂肪族基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。式中X2は、基Y2及
びY3と結合する有機基である。式中X3は、基Y4及びY5と結合する有機基である。Y2及びY3は、プロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基を表し、同一分子内の基Y2及びY3が珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。Y4及びY5はプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基を表し、同一分子内の基Y4及びY5が珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。X2、及びX3は互いに同一でも異なっていてもよく、Y2、Y3、Y4、及びY5は互いに同一であっても異なっていてもよい。Z1は芳香環又は複素環を有する有機基、あるいは脂肪族基である。) Examples of the adduct of the phosphonium compound and the silane compound used in the present invention include compounds represented by the following general formula (8).
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (8), P represents a phosphorus atom and Si represents a silicon atom. R14, R15, R16, and R17 are respectively an organic group or an aliphatic group which has an aromatic ring or a heterocyclic ring. X2 is an organic group bonded to the groups Y2 and Y3, where X3 is an organic group bonded to the groups Y4 and Y5. And Y3 represent a group formed by releasing a proton from a proton-donating substituent, and groups Y2 and Y3 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure. The functional substituent represents a group formed by releasing a proton, and the groups Y4 and Y5 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure, and X2 and X3 may be the same or different from each other. Often Y2, Y3, Y4, and Y5 is .Z1 which may be the same or different from each other is an organic group or an aliphatic group, an aromatic ring or a heterocyclic ring.)

一般式(8)において、R14、R15、R16及びR17としては、例えば、フェニル基、メチルフェニル基、メトキシフェニル基、ヒドロキシフェニル基、ナフチル基、ヒドロキシナフチル基、ベンジル基、メチル基、エチル基、n−ブチル基、n−オクチル基及びシクロヘキシル基等が挙げられ、これらの中でも、フェニル基、メチルフェニル基、メトキシフェニル基、ヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基等の芳香族基がより好ましい。   In the general formula (8), examples of R14, R15, R16, and R17 include a phenyl group, a methylphenyl group, a methoxyphenyl group, a hydroxyphenyl group, a naphthyl group, a hydroxynaphthyl group, a benzyl group, a methyl group, an ethyl group, An n-butyl group, an n-octyl group, a cyclohexyl group, and the like can be given. Among these, aromatic groups such as a phenyl group, a methylphenyl group, a methoxyphenyl group, a hydroxyphenyl group, and a hydroxynaphthyl group are more preferable.

また、一般式(8)において、X2は、Y2及びY3と結合する有機基である。同様に、X3は、基Y4及びY5と結合する有機基である。Y2及びY3はプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の基Y2及びY3が珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。同様にY4及びY5はプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の基Y4及びY5が珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。基Y2及びY3は互いに同一でも異なっていてもよく、基Y2、Y3、Y4、及びY5は互いに同一であっても異なっていてもよい。このような一般式(8)中の−Y2−X2−Y3−、及び−Y4−X3−Y5−で表される基は、プロトン供与体が、プロトンを2個放出してなる基で構成されるものであり、プロトン供与体としては、例えば、カテコール、ピロガロール、1,2−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレン、2,2’−ビフェノール、1,1’−ビ−2−ナフトール、サリチル酸、1−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、3−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、クロラニル酸、タンニン酸、2−ヒドロキシベンジルアルコール、1,2−シクロヘキサンジオール、1,2−プロパンジオール及びグリセリン等が挙げられるが、これらの中でも、カテコール、1,2−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレンがより好ましい。   Moreover, in General formula (8), X2 is an organic group couple | bonded with Y2 and Y3. Similarly, X3 is an organic group bonded to the groups Y4 and Y5. Y2 and Y3 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and groups Y2 and Y3 in the same molecule are bonded to a silicon atom to form a chelate structure. Similarly, Y4 and Y5 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and groups Y4 and Y5 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure. The groups Y2 and Y3 may be the same or different from each other, and the groups Y2, Y3, Y4, and Y5 may be the same or different from each other. The groups represented by -Y2-X2-Y3- and -Y4-X3-Y5- in general formula (8) are composed of groups in which a proton donor releases two protons. Examples of proton donors include catechol, pyrogallol, 1,2-dihydroxynaphthalene, 2,3-dihydroxynaphthalene, 2,2′-biphenol, 1,1′-bi-2-naphthol, and salicylic acid. 1-hydroxy-2-naphthoic acid, 3-hydroxy-2-naphthoic acid, chloranilic acid, tannic acid, 2-hydroxybenzyl alcohol, 1,2-cyclohexanediol, 1,2-propanediol and glycerin. Among these, catechol, 1,2-dihydroxynaphthalene, and 2,3-dihydroxynaphthalene are more preferable.

また、一般式(8)中のZ1は、芳香環または複素環を有する有機基または脂肪族基を表し、これらの具体的な例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基およびオクチル基等の脂肪族炭化水素基や、フェニル基、ベンジル基、ナフチル基およびビフェニル基等の芳香族炭化水素基、グリシジルオキシプロピル基、メルカプトプロピル基、アミノプロピル基およびビニル基等の反応性置換基などが挙げられるが、これらの中でも、メチル基、エチル基、フェニル基、ナフチル基およびビフェニル基が熱安定性の面から、より好ましい。   Z1 in the general formula (8) represents an organic group or an aliphatic group having an aromatic ring or a heterocyclic ring. Specific examples thereof include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, and a hexyl group. Reactions of aliphatic hydrocarbon groups such as octyl and octyl groups, aromatic hydrocarbon groups such as phenyl, benzyl, naphthyl and biphenyl, glycidyloxypropyl, mercaptopropyl, aminopropyl and vinyl Among them, a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a naphthyl group, and a biphenyl group are more preferable from the viewpoint of thermal stability.

ホスホニウム化合物とシラン化合物との付加物の製造方法としては、メタノールを入れたフラスコに、フェニルトリメトキシシラン等のシラン化合物、2,3−ジヒドロキシナフタレン等の2価以上のプロトン供与体を加えて溶かし、次に室温攪拌下ナトリウムメトキシド−メタノール溶液を滴下する。さらにそこへ予め用意したテトラフェニルホスホニウムブロマイド等のテトラ置換ホスホニウムハライドをメタノールに溶かした溶液を室温攪拌下滴下すると結晶が析出する。析出した結晶を濾過、水洗、真空乾燥すると、ホスホニウム化合物とシラン化合物との付加物が得られる。しかし、これに限定されるものではない。   As a method for producing an adduct of a phosphonium compound and a silane compound, a silane compound such as phenyltrimethoxysilane and a bivalent or higher proton donor such as 2,3-dihydroxynaphthalene are added to a flask containing methanol and dissolved. Then, a sodium methoxide-methanol solution is added dropwise with stirring at room temperature. Furthermore, when a solution prepared by dissolving a tetra-substituted phosphonium halide such as tetraphenylphosphonium bromide in methanol in methanol is added dropwise with stirring at room temperature, crystals are precipitated. The precipitated crystals are filtered, washed with water, and vacuum dried to obtain an adduct of a phosphonium compound and a silane compound. However, it is not limited to this.

本発明に用いる硬化促進剤(D)の配合量は、全エポキシ樹脂組成物中0.1重量%以
上、1重量%以下が好ましい。硬化促進剤(D)の配合量が上記範囲内であると、硬化性の低下を引き起こす恐れが少ない。また、硬化促進剤(D)の配合量が上記範囲内であると、流動性の低下を引き起こす恐れが少ない。
As for the compounding quantity of the hardening accelerator (D) used for this invention, 0.1 to 1 weight% is preferable in all the epoxy resin compositions. There is little possibility of causing curability fall that the compounding quantity of a hardening accelerator (D) exists in the said range. Moreover, there is little possibility of causing a fluid fall as the compounding quantity of a hardening accelerator (D) exists in the said range.

本発明に用いられる酸化ポリエチレン(E)は、カルボン酸等からなる極性基と長い炭素鎖からなる非極性基を有しているものであり、離型剤(ワックス)として用いられる。その例としては、市販のものを入手し、必要により粒度調整して使用することができる。その中で好ましい例としては、低圧重合法によって製造されたポリエチレンの酸化物、高圧重合法によって製造されたポリエチレンの酸化物、高密度ポリエチレンポリマーの酸化物などが好ましい。   The polyethylene oxide (E) used in the present invention has a polar group composed of carboxylic acid and the like and a nonpolar group composed of a long carbon chain, and is used as a release agent (wax). As an example, a commercially available product can be obtained, and the particle size can be adjusted if necessary. Among them, preferred examples include polyethylene oxide produced by a low pressure polymerization method, polyethylene oxide produced by a high pressure polymerization method, and oxide of a high density polyethylene polymer.

本発明で用いられる酸化ポリエチレン(E)の特性として、滴点(ASTM−D127準拠;溶融したワックスが金属ニップルを通して最初に滴下する温度)が挙げられるが、その範囲は60℃以上、140℃以下が好ましく、より好ましくは100℃以上、130℃以下である。滴点が上記範囲内であると、酸化ポリエチレン(E)は熱安定性に優れ、成形時に酸化ポリエチレン(E)が焼き付きにくい。そのため、金型からの硬化物の離型性に優れるとともに、連続成形性にも優れる。さらに、上記範囲内であると、エポキシ樹脂組成物を硬化させる際、酸化ポリエチレン(E)が十分に溶融する。これにより、硬化物中に酸化ポリエチレン(E)が略均一に分散する。そのため、硬化物表面における酸化ポリエチレン(E)の偏析が抑制され、金型表面の汚れや樹脂硬化物の外観の悪化を低減することができる。   A characteristic of the oxidized polyethylene (E) used in the present invention includes a dropping point (according to ASTM-D127; a temperature at which a molten wax is first dropped through a metal nipple), and the range thereof is 60 ° C. or more and 140 ° C. or less. Is more preferable, and it is 100 degreeC or more and 130 degrees C or less. When the dropping point is within the above range, the oxidized polyethylene (E) is excellent in thermal stability, and the oxidized polyethylene (E) is hardly seized at the time of molding. Therefore, it is excellent in the mold release property of the hardened | cured material from a metal mold | die, and is excellent also in continuous moldability. Furthermore, when it is within the above range, the polyethylene oxide (E) is sufficiently melted when the epoxy resin composition is cured. Thereby, polyethylene oxide (E) disperses | distributes substantially uniformly in hardened | cured material. Therefore, segregation of polyethylene oxide (E) on the surface of the cured product is suppressed, and the deterioration of the appearance of the mold surface and the resin cured product can be reduced.

酸化ポリエチレン(E)の酸価は、10mgKOH/g以上、50mgKOH/g以下が好ましく、より好ましくは15mgKOH/g以上、40mgKOH/g以下である。酸価は、樹脂硬化物と酸価ポリエチレン(E)との相溶性に影響を及ぼす。酸価は、JIS K 3504に準拠した方法により測定することができる。具体的には、ワックス類1g中に含有する遊離脂肪酸を中和するのに要する水酸化カリウムのミリグラム数として測定される。以下の例においても、同様の方法により測定することができる。酸価が上記範囲内にあると、酸化ポリエチレン(E)は、硬化物中において、エポキシ樹脂マトリックスと好ましい相溶状態となる。これにより、酸化ポリエチレン(E)と、エポキシ樹脂マトリックスとが、相分離を起こすことがない。そのため、硬化物表面における酸化ポリエチレン(E)の偏析が抑制され、金型の汚れや硬化物の外観の悪化を低減することができる。さらに、酸化ポリエチレン(E)が硬化物表面に存在するため、金型からの硬化物の離型性に優れる。一方、酸化ポリエチレン(E)とエポキシ樹脂マトリックスとの相溶性が高すぎると、酸化ポリエチレン(E)が硬化物表面に染み出すことができず、十分な離型性を確保することができない場合がある。   The acid value of the oxidized polyethylene (E) is preferably 10 mgKOH / g or more and 50 mgKOH / g or less, more preferably 15 mgKOH / g or more and 40 mgKOH / g or less. The acid value affects the compatibility between the cured resin and the acid value polyethylene (E). The acid value can be measured by a method based on JIS K 3504. Specifically, it is measured as the number of milligrams of potassium hydroxide required to neutralize free fatty acids contained in 1 g of waxes. In the following examples, it can be measured by the same method. When the acid value is within the above range, polyethylene oxide (E) is in a compatible state with the epoxy resin matrix in the cured product. Thereby, a polyethylene oxide (E) and an epoxy resin matrix do not raise | generate phase separation. Therefore, segregation of polyethylene oxide (E) on the cured product surface is suppressed, and deterioration of the appearance of the mold and the cured product can be reduced. Furthermore, since the oxidized polyethylene (E) is present on the surface of the cured product, the release property of the cured product from the mold is excellent. On the other hand, if the compatibility between the oxidized polyethylene (E) and the epoxy resin matrix is too high, the oxidized polyethylene (E) cannot be oozed out on the surface of the cured product, and sufficient releasability may not be ensured. is there.

酸化ポリエチレン(E)の数平均分子量は、500以上、5000以下が好ましく、より好ましくは1000以上、4000以下である。数平均分子量は、例えば東ソー(株)製のHLC−8120などのGPC装置を用いて、ポリスチレン換算により算出することができる。以下の例においても、同様の方法により測定することができる。数平均分子量が上記範囲内であると、酸化ポリエチレン(E)と、エポキシ樹脂マトリックスとが、好ましい親和状態となる。そのため、硬化物は、金型からの離型性に優れる。一方、酸化ポリエチレン(E)と、エポキシ樹脂マトリックスとの相溶性が高いと、十分な離型性を得ることができない場合がある。逆に、相溶性が低いと相分離を起こし、金型の汚れや樹脂硬化物外観の悪化を引き起こす場合がある。   The number average molecular weight of the oxidized polyethylene (E) is preferably 500 or more and 5000 or less, more preferably 1000 or more and 4000 or less. The number average molecular weight can be calculated by polystyrene conversion using a GPC apparatus such as HLC-8120 manufactured by Tosoh Corporation. In the following examples, it can be measured by the same method. When the number average molecular weight is within the above range, polyethylene oxide (E) and the epoxy resin matrix are in a preferable affinity state. Therefore, the cured product is excellent in releasability from the mold. On the other hand, if the compatibility between the oxidized polyethylene (E) and the epoxy resin matrix is high, sufficient releasability may not be obtained. On the other hand, if the compatibility is low, phase separation occurs, which may cause mold stains and deterioration of the appearance of the cured resin.

酸化ポリエチレン(E)の密度は、0.94g/cm以上、1.03g/cm以下が好ましく、より好ましくは0.97g/cm以上、0.99g/cm以下である。密度は、ASTM D1505に準拠した浮遊法にて、20℃における密度測定により算
出することができる。以下の例においても、同様の方法により測定することができる。密度が上記範囲内であると、酸化ポリエチレン(E)は熱安定性に優れ、成形時に酸化ポリエチレン(E)が焼き付きにくい。そのため、金型からの硬化物の離型性に優れるとともに、連続成形性にも優れる。さらに、上記範囲内であると、エポキシ樹脂組成物が硬化する際、酸化ポリエチレン(E)が十分に溶融する。これにより、硬化物中に酸化ポリエチレン(E)が均一に分散する。そのため、硬化物表面における酸化ポリエチレン(E)の偏析が抑制され、金型の汚れや硬化物の外観の悪化を低減することができる。
The density of the oxidized polyethylene (E) is preferably 0.94 g / cm 3 or more and 1.03 g / cm 3 or less, more preferably 0.97 g / cm 3 or more and 0.99 g / cm 3 or less. The density can be calculated by density measurement at 20 ° C. by a floating method based on ASTM D1505. In the following examples, it can be measured by the same method. When the density is within the above range, the oxidized polyethylene (E) is excellent in thermal stability, and the oxidized polyethylene (E) is hardly seized at the time of molding. Therefore, it is excellent in the mold release property of the cured product from the mold and also in the continuous moldability. Furthermore, when it is within the above range, the polyethylene oxide (E) is sufficiently melted when the epoxy resin composition is cured. Thereby, the polyethylene oxide (E) is uniformly dispersed in the cured product. Therefore, segregation of polyethylene oxide (E) on the cured product surface is suppressed, and deterioration of the appearance of the mold and the cured product can be reduced.

また、酸化ポリエチレン(E)の平均粒径は、0.1μm以上、100μm以下が好ましく、より好ましくは30μm以上、60μm以下である。平均粒径は、例えば(株)島津製作所製のSALD−7000などのレーザー回折式粒度分布測定装置を用いて、溶媒を水として、重量基準の50%粒子径を平均粒径として測定することができる。平均粒径が上記範囲内にあると、酸化ポリエチレン(E)は、硬化物中において、エポキシ樹脂マトリックスと好ましい相溶状態となる。これにより、酸化ポリエチレン(E)が硬化物表面に存在し、金型からの硬化物の離型性に優れる。一方、エポキシ樹脂マトリックスとの相溶性が高すぎると、硬化物表面に染み出すことができず、十分な離型性を確保することができない。さらに、酸化ポリエチレン(E)と、エポキシ樹脂マトリックスとが好ましい相溶状態にあるため、硬化物表面における酸化ポリエチレン(E)の偏析が抑制され、金型表面の汚れや樹脂硬化物の外観の悪化を低減することができる。またさらに、上記範囲にあると、エポキシ樹脂組成物を硬化させる際、酸化ポリエチレン(E)が十分に溶融する。そのため、エポキシ樹脂組成物は流動性に優れる。   The average particle diameter of the oxidized polyethylene (E) is preferably 0.1 μm or more and 100 μm or less, more preferably 30 μm or more and 60 μm or less. The average particle diameter can be measured by using a laser diffraction particle size distribution measuring device such as SALD-7000 manufactured by Shimadzu Corporation as a solvent and water, and a weight-based 50% particle diameter as an average particle diameter. it can. When the average particle diameter is within the above range, the polyethylene oxide (E) is in a compatible state with the epoxy resin matrix in the cured product. Thereby, polyethylene oxide (E) exists in the cured | curing material surface, and it is excellent in the mold release property of the cured | curing material from a metal mold | die. On the other hand, if the compatibility with the epoxy resin matrix is too high, the cured product surface cannot be oozed out and sufficient releasability cannot be ensured. Furthermore, since the polyethylene oxide (E) and the epoxy resin matrix are in a preferable compatible state, segregation of the polyethylene oxide (E) on the surface of the cured product is suppressed, and the mold surface is soiled and the appearance of the resin cured product is deteriorated. Can be reduced. Furthermore, when it exists in the said range, when hardening an epoxy resin composition, polyethylene oxide (E) will fully fuse | melt. Therefore, the epoxy resin composition is excellent in fluidity.

また、全酸化ポリエチレン(E)中における粒径106μm以上の粒子の含有比率は、0.1重量%以下であることが好ましい。この含有比率は、JIS Z 8801の目開き106μmの標準篩を用いて測定することができる。以下の例においても、同様の方法により測定することができる。上記の含有比率であれば、酸化ポリエチレン(E)が均一に分散し、金型の汚れや樹脂硬化物の外観の悪化を抑制することができる。また、エポキシ樹脂組成物を硬化させる際、酸化ポリエチレンが十分に溶融するため、流動性に優れる。   The content ratio of particles having a particle size of 106 μm or more in the total oxidized polyethylene (E) is preferably 0.1% by weight or less. This content ratio can be measured using a standard sieve having an opening of 106 μm according to JIS Z8801. In the following examples, it can be measured by the same method. If it is said content ratio, a polyethylene oxide (E) will disperse | distribute uniformly and it can suppress the deterioration of the external appearance of the stain | pollution | contamination of a metal mold | die, or resin cured material. In addition, when the epoxy resin composition is cured, the polyethylene oxide is sufficiently melted, and thus has excellent fluidity.

また、酸化ポリエチレン(E)の含有量は、エポキシ樹脂組成物中に0.01重量%以上、1重量%以下であることが好ましく、0.03重量%以上、0.5重量%以下がより好ましい。上記範囲内であると、金型からの硬化物の離型性に優れる。上記範囲内であると、さらに、リードフレーム部材又は回路基板との密着性に優れるため、半田処理時において、リードフレーム部材又は回路基板と樹脂硬化物との剥離を抑制することができる。また、成形時における金型表面の汚れや樹脂硬化物の外観の悪化を抑制することもできる。   The content of polyethylene oxide (E) is preferably 0.01% by weight or more and 1% by weight or less in the epoxy resin composition, more preferably 0.03% by weight or more and 0.5% by weight or less. preferable. It is excellent in the mold release property of the hardened | cured material from a metal mold | die within the said range. Within the above range, the adhesiveness to the lead frame member or the circuit board is further excellent, so that the peeling between the lead frame member or the circuit board and the cured resin can be suppressed during the soldering process. In addition, it is possible to suppress deterioration of the mold surface during molding and deterioration of the appearance of the cured resin.

本発明に用いられる一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)と酸化ポリエチレン(E)との組み合わせて用いることにより、更なる低応力性の向上と、連続成形性を含む成形性の大幅改善を図ることができる。組み合わせて用いることにより低応力性が向上する理由については明確ではないが、後述する実施例と比較例との比較によりその相乗効果を確認することができる。また、連続成形性を含む成形性の大幅改善については、一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)と酸化ポリエチレン(E)とが適度な相溶性を示すことで、金型表面の汚れや樹脂硬化物の外観の悪化を大幅に低減することができ、連続成形性を含む成形性を大幅に改善することができるものと考えられる。   By using a combination of the epoxy resin (A) having the structure represented by the general formula (1) and the oxidized polyethylene (E) used in the present invention, further improvement in low-stress property and continuous moldability are included. The moldability can be greatly improved. Although the reason why the low-stress property is improved by using in combination is not clear, the synergistic effect can be confirmed by comparing an example described later and a comparative example. Moreover, about the great improvement of the moldability including continuous moldability, the epoxy resin (A) having the structure represented by the general formula (1) and the polyethylene oxide (E) exhibit appropriate compatibility, It is considered that the mold surface contamination and the deterioration of the appearance of the cured resin can be greatly reduced, and the moldability including continuous moldability can be greatly improved.

尚、本発明では、酸化ポリエチレン(E)を添加する効果を損なわない範囲であれば、それ以外にも他の離型剤を併用することができる。併用可能な離型剤としては、例えば、
カルナバワックス等の天然ワックス、ステアリン酸亜鉛等の高級脂肪酸の金属塩類、脂肪酸エステル類等が挙げられる。
In addition, in this invention, if it is a range which does not impair the effect which adds polyethylene oxide (E), another mold release agent can be used together other than that. As a release agent that can be used in combination, for example,
Examples thereof include natural waxes such as carnauba wax, metal salts of higher fatty acids such as zinc stearate, and fatty acid esters.

本発明では、更に(F)カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)、及び/又は、カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)とエポキシ樹脂との反応生成物(F2)を用いることができる。カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)(以下、単に「ブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)」ともいう。)は、ブタジエンとアクリロニトリルの共重合体であり、封止用エポキシ樹脂組成物の低応力性を向上させる効果を有するものである。また、カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)中のカルボキシル基、アクリロニトリル基が極性を有しているため、封止用エポキシ樹脂組成物の原料として含まれるエポキシ樹脂との相溶性が適正な状態となり、封止用エポキシ樹脂組成物中でのブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)の分散性が良好となる。このため、カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)は、成形時の金型表面の汚れや樹脂硬化物表面の汚れの進行を抑えることができ、また連続成形性を向上させる効果も有するものである。   In the present invention, (F) a butadiene / acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group and / or a reaction product (F2) of a butadiene / acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group and an epoxy resin. Can be used. The butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group (hereinafter, also simply referred to as “butadiene-acrylonitrile copolymer (F1)”) is a copolymer of butadiene and acrylonitrile, and has an epoxy resin composition for sealing. It has the effect of improving the low stress property of the object. In addition, since the carboxyl group and acrylonitrile group in the butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group have polarity, the compatibility with the epoxy resin contained as a raw material of the epoxy resin composition for sealing is high. It becomes an appropriate state, and the dispersibility of the butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) in the epoxy resin composition for sealing becomes good. For this reason, the butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group can suppress the progress of dirt on the mold surface and the surface of the cured resin product during molding, and also has an effect of improving continuous moldability. It is what you have.

更に、カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)の全量又は一部を、エポキシ樹脂と硬化促進剤により予め溶融・反応させた反応生成物(F2)を用いることにより、封止用エポキシ樹脂組成物中でのブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)の分散性をより向上させることができ、連続成形後の金型表面の汚れがより発生し難く、連続成形性を極めて良好にすることができる。本発明で用いることができるカルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)とエポキシ樹脂との反応生成物(F2)の製法については、特に限定するものではないが、例えば、カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)とエポキシ樹脂とを、硬化促進剤の存在下で溶融・反応させて得ることができる。ここで言う、エポキシ樹脂とは、1分子内にエポキシ基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般であり、その分子量、分子構造を特に限定するものではなく、一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)、又は該エポキシ樹脂(A)と併用することができるエポキシ樹脂として前述したものと同じものを用いることができる。また、ここで言う硬化促進剤とは、ブタジエン・アクリロニトリル共重合体中のカルボキシル基とエポキシ樹脂中のエポキシ基との硬化反応を促進させるものであればよく、前述したエポキシ樹脂のエポキシ基とフェノール性水酸基を2個以上含む化合物のフェノール性水酸基との硬化反応を促進させる硬化促進剤と同じものも用いることができる。   Furthermore, by using a reaction product (F2) obtained by previously melting and reacting the whole or a part of the butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group with an epoxy resin and a curing accelerator, an epoxy for sealing is used. The dispersibility of the butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) in the resin composition can be further improved, the mold surface after continuous molding is less likely to be stained, and the continuous moldability is extremely good. Can do. The method for producing the reaction product (F2) of the butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group and the epoxy resin that can be used in the present invention is not particularly limited. A butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) and an epoxy resin can be obtained by melting and reacting in the presence of a curing accelerator. The term “epoxy resin” as used herein refers to monomers, oligomers, and polymers in general having two or more epoxy groups in one molecule. The molecular weight and molecular structure thereof are not particularly limited, and are represented by the general formula (1). As the epoxy resin (A) having a structure or an epoxy resin that can be used in combination with the epoxy resin (A), the same ones as described above can be used. The curing accelerator referred to here may be any accelerator that promotes the curing reaction between the carboxyl group in the butadiene-acrylonitrile copolymer and the epoxy group in the epoxy resin. The same thing as the hardening accelerator which accelerates | stimulates hardening reaction with the phenolic hydroxyl group of the compound containing 2 or more of a functional hydroxyl group can also be used.

本発明で用いることができるカルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)としては、特に限定するものではないが、その構造の両端にカルボキシル基を有する化合物が好ましく、下記一般式(14)で表される化合物がより好ましい。

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(14)において、iは1未満の正数、jは1未満の正数で、かつi+j=1。kは50〜80の整数。) Although it does not specifically limit as a butadiene acrylonitrile copolymer (F1) which has a carboxyl group which can be used by this invention, The compound which has a carboxyl group at the both ends of the structure is preferable, and following General formula (14) The compound represented by these is more preferable.
Figure 2008179791
(However, in the general formula (14), i is a positive number less than 1, j is a positive number less than 1, and i + j = 1. K is an integer of 50 to 80.)

一般式(14)において、iは1未満の正数、jは1未満の正数で、かつi+j=1。kは50〜80の整数である。一般式(14)で表される化合物におけるアクリロニトリ
ル含量jとしては、0.05以上、0.30以下が好ましく、より好ましくは0.10以上、0.25以下である。アクリロニトリル含量jは、エポキシ樹脂マトリックスとの相溶性に影響し、アクリロニトリル含量yが上記範囲内であると、ブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)はエポキシ樹脂マトリックスと適正な相溶状態となり、金型表面の汚れや樹脂硬化物の外観の悪化を引き起こす恐れが少ない。また、アクリロニトリル含量yが上記範囲内であると、流動性の低下による充填不良等の発生や、高粘度化による電子部品装置内における金線流れ等の不都合の発生を引き起こす恐れが少ない。
In the general formula (14), i is a positive number less than 1, j is a positive number less than 1, and i + j = 1. k is an integer of 50-80. The acrylonitrile content j in the compound represented by the general formula (14) is preferably 0.05 or more and 0.30 or less, more preferably 0.10 or more and 0.25 or less. The acrylonitrile content j affects the compatibility with the epoxy resin matrix. If the acrylonitrile content y is within the above range, the butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) is in an appropriate compatible state with the epoxy resin matrix, and the mold There is little risk of causing surface contamination or deterioration of the appearance of the cured resin. In addition, when the acrylonitrile content y is within the above range, there is little possibility of causing a defective filling due to a decrease in fluidity and a disadvantage such as a gold wire flow in the electronic component device due to an increase in viscosity.

本発明で用いることができる(F)成分の総配合量は、カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)としての配合量で、全エポキシ樹脂組成物中0.01重量%以上、1重量%以下が好ましく、0.05重量%以上、0.5重量%以下がより好ましく、0.1重量%以上、0.3重量%以下が特に好ましい。上記範囲にすることで、流動性の低下による成形時における充填不良の発生や高粘度化によるワイヤー流れ等の不具合の発生を抑えることができる。   The total blending amount of the component (F) that can be used in the present invention is a blending amount as a butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group, and is 0.01% by weight or more in the total epoxy resin composition. % By weight or less is preferable, 0.05% by weight or more and 0.5% by weight or less is more preferable, and 0.1% by weight or more and 0.3% by weight or less is particularly preferable. By setting it as the said range, generation | occurrence | production of malfunctions, such as generation | occurrence | production of the filling failure at the time of shaping | molding by fall of fluidity | liquidity, and the wire flow by high viscosity can be suppressed.

カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)の数平均分子量は、2000以上、5000以下が好ましく、より好ましくは3000以上、4000以下である。上記範囲内にすることで、流動性の低下による成形時における充填不良の発生や高粘度化による金線流れ等の不具合の発生を抑えることができる。   The number average molecular weight of the butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group is preferably 2000 or more and 5000 or less, and more preferably 3000 or more and 4000 or less. By making it within the above range, it is possible to suppress the occurrence of defective filling during molding due to a decrease in fluidity and the occurrence of defects such as gold wire flow due to increased viscosity.

また、カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)のカルボキシル基当量は、1200以上、3000以下が好ましく、より好ましくは1700以上、2500以下である。上記範囲内にすることで、樹脂組成物の成形時における流動性や離型性を低下させることなく、金型や樹脂硬化物の汚れがより発生し難く、連続成形性が特に良好となる効果が得られる。   Further, the carboxyl group equivalent of the butadiene-acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group is preferably 1200 or more and 3000 or less, and more preferably 1700 or more and 2500 or less. By making it within the above range, the mold and the cured resin are less likely to be stained without lowering the fluidity and releasability at the time of molding the resin composition, and the effect that the continuous moldability is particularly good. Is obtained.

本発明に用いられる(F)成分に含まれるナトリウムイオン量、塩素イオン量は、(F1)換算量に対して、それぞれ、10ppm以下、450ppm以下であることが好ましい。ナトリウムイオン量及び塩素イオン量は以下の方法で求めることができる。(F)成分を乾式分解・灰化後酸溶解し、ICP発光分析法にてナトリウムイオン量を測定する。また塩素イオン量は燃焼管式酸素法−IC法にて測定する。ナトリウムイオン量や塩素イオン量が上記範囲内であると、ナトリウムイオンや塩素イオンによる半田応対回路の腐食が進み易くなることによる半田応対装置の耐湿信頼性の低下を引き起こす恐れが少ない。   The amount of sodium ions and the amount of chlorine ions contained in the component (F) used in the present invention are preferably 10 ppm or less and 450 ppm or less, respectively, with respect to the (F1) equivalent. The amount of sodium ions and the amount of chloride ions can be determined by the following method. Component (F) is subjected to dry decomposition and ashing and then dissolved in acid, and the amount of sodium ions is measured by ICP emission analysis. Chlorine ion content is measured by the combustion tube oxygen method-IC method. When the amount of sodium ions or chlorine ions is within the above range, the corrosion resistance of the solder receiving circuit due to sodium ions or chlorine ions easily proceeds, and there is little possibility of causing a decrease in the moisture resistance reliability of the solder receiving device.

本発明においては、更に(G)カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)、及び/又は、カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)とエポキシ樹脂との反応生成物(G2)を用いることができる。(G)カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)、及び/又は、カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)とエポキシ樹脂との反応生成物(G2)を用いることにより、樹脂組成物の成形時における流動性や離型性を低下させることなく、金型表面や樹脂硬化物表面の汚れがより発生し難く、連続成形性が特に良好となる効果が得られる。   In the present invention, (G) a carboxyl group-containing organopolysiloxane (G1) and / or a reaction product (G2) of a carboxyl group-containing organopolysiloxane (G1) and an epoxy resin can be used. . (G) When molding a resin composition by using an organopolysiloxane (G1) having a carboxyl group and / or a reaction product (G2) of an organopolysiloxane (G1) having a carboxyl group and an epoxy resin. Without lowering the fluidity and releasability in the mold, stains on the mold surface and the cured resin surface are less likely to occur, and the effect that the continuous moldability is particularly good is obtained.

更に、カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)の全量又は一部をエポキシ樹脂と硬化促進剤により予め溶融・反応させた反応生成物(G2)を用いることで、連続成形後の金型表面の汚れがより発生し難く、連続成形性を極めて良好にすることができる。本発明で用いることができるカルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)とエポキシ樹脂との反応生成物(G2)の製法については、特に限定するものではないが、例えば、カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)とエポキシ樹脂とを、硬化促進剤の存在下で溶融・反応させて得ることができる。ここで言う、エポキシ樹脂とは、1分子内にエポキシ基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般
であり、その分子量、分子構造を特に限定するものではなく、一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)、又は該エポキシ樹脂(A)と併用することができるエポキシ樹脂として前述したものと同じものを用いることができる。また、ここで言う硬化促進剤とは、オルガノポリシロキサン中のカルボキシル基とエポキシ樹脂中のエポキシ基との硬化反応を促進させるものであればよく、前述したエポキシ樹脂のエポキシ基とフェノール性水酸基を2個以上含む化合物のフェノール性水酸基との硬化反応を促進させる硬化促進剤と同じものも用いることができる。
Furthermore, by using a reaction product (G2) obtained by previously melting and reacting all or part of the carboxyl group-containing organopolysiloxane (G1) with an epoxy resin and a curing accelerator, Dirt is less likely to occur and the continuous formability can be made extremely good. The method for producing the reaction product (G2) of the organopolysiloxane (G1) having a carboxyl group and the epoxy resin that can be used in the present invention is not particularly limited. For example, the organopolysiloxane having a carboxyl group is used. (G1) and an epoxy resin can be obtained by melting and reacting in the presence of a curing accelerator. The term “epoxy resin” as used herein refers to monomers, oligomers, and polymers in general having two or more epoxy groups in one molecule. The molecular weight and molecular structure thereof are not particularly limited, and are represented by the general formula (1). As the epoxy resin (A) having a structure or an epoxy resin that can be used in combination with the epoxy resin (A), the same ones as described above can be used. The curing accelerator referred to here may be any accelerator that promotes the curing reaction between the carboxyl group in the organopolysiloxane and the epoxy group in the epoxy resin. The same thing as the hardening accelerator which accelerates | stimulates hardening reaction with the phenolic hydroxyl group of the compound containing 2 or more can also be used.

本発明で用いることができるカルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)(以下、単に「オルガノポリシロキサン(G1)」ともいう。)は、1分子中に1個以上のカルボキシル基を有するオルガノポリシロキサンであり、特に限定するものではないが、下記一般式(15)で表されるオルガノポリシロキサンが望ましい。

Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(15)において、R18は少なくとも1つ以上がカルボキシル基を有する炭素数1〜40の有機基であり、残余の基は水素、フェニル基、又はメチル基から選ばれる基であり、互いに同一であっても異なっていてもよい。hの平均値は、1以上、50以下の正数である。) The organopolysiloxane (G1) having a carboxyl group that can be used in the present invention (hereinafter also simply referred to as “organopolysiloxane (G1)”) is an organopolysiloxane having one or more carboxyl groups in one molecule. Although not particularly limited, organopolysiloxanes represented by the following general formula (15) are desirable.
Figure 2008179791
(However, in the general formula (15), R18 is an organic group having 1 to 40 carbon atoms, at least one of which has a carboxyl group, and the remaining group is a group selected from hydrogen, a phenyl group, or a methyl group. Yes, they may be the same or different, and the average value of h is a positive number of 1 or more and 50 or less.)

一般式(15)において、R18は少なくとも1つ以上がカルボキシル基を有する炭素数1〜40の有機基であり、残余の基は水素、フェニル基、又はメチル基から選ばれる基であり、互いに同一であっても異なっていてもよい。尚、一般式(15)で示されるオルガノポリシロキサンのカルボキシル基を有する有機基の炭素数とは、有機基中の炭化水素基とカルボキシル基の炭素数を合計したものを指す。カルボキシル基を有する有機基の炭素数を上記範囲にすることで、樹脂との相溶性が低下することによる樹脂硬化物表面の外観の悪化を抑えることができる。また、一般式(15)において、hの平均値は、1以上、50以下の正数である。hの平均値を上記範囲にすることで、オイル単体の粘度が高くなることによる流動性の低下を抑えることができる。一般式(15)で表されるオルガノポリシロキサンを使用すると、流動性の低下を引き起こさず、樹脂硬化物表面の外観が特に良好になる。   In the general formula (15), R18 is an organic group having 1 to 40 carbon atoms, at least one of which has a carboxyl group, and the remaining groups are groups selected from hydrogen, a phenyl group, or a methyl group, and are identical to each other. Or different. In addition, the carbon number of the organic group having a carboxyl group of the organopolysiloxane represented by the general formula (15) refers to a sum of the hydrocarbon group in the organic group and the carbon number of the carboxyl group. By making the carbon number of the organic group having a carboxyl group within the above range, deterioration of the appearance of the cured resin surface due to a decrease in compatibility with the resin can be suppressed. Moreover, in General formula (15), the average value of h is a positive number of 1 or more and 50 or less. By setting the average value of h within the above range, it is possible to suppress a decrease in fluidity due to an increase in the viscosity of a single oil. When the organopolysiloxane represented by the general formula (15) is used, the fluidity is not lowered and the appearance of the resin cured product surface is particularly good.

本発明で用いることができる(G)成分の総配合量は、カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)としての配合量で、全エポキシ樹脂組成物中0.01重量%以上、3重量%以下が好ましく、0.03重量%以上、2重量%以下がより好ましく、0.05重量%以上、1重量%以下が特に好ましい。配合量を上記範囲にすることで、離型剤や過剰のオルガノポリシロキサンによる樹脂硬化物表面の汚れを抑え、良好な連続成形性を得ることができる。   The total blending amount of the component (G) that can be used in the present invention is the blending amount as the organopolysiloxane (G1) having a carboxyl group, and is 0.01% by weight or more and 3% by weight or less in the total epoxy resin composition. It is preferably 0.03% by weight or more and 2% by weight or less, more preferably 0.05% by weight or more and 1% by weight or less. By setting the blending amount in the above range, it is possible to suppress stains on the surface of the cured resin due to the release agent and excess organopolysiloxane and to obtain good continuous moldability.

また、本発明においては、(G)カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)、及び/又は、カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)とエポキシ樹脂との反応生成物(G2)を添加する効果を損なわない範囲で、他のオルガノポリシロキサンを併用することができる。   Moreover, in this invention, the effect of adding the reaction product (G2) of the organopolysiloxane (G1) which has (G) carboxyl group, and / or the organopolysiloxane (G1) which has a carboxyl group, and an epoxy resin. Other organopolysiloxanes can be used in combination as long as the above is not impaired.

本発明においては、エポキシ樹脂と無機充填剤との密着性を向上させるため、シランカ
ップリング剤等の密着助剤を添加することができる。その例としては特に限定されないが、エポキシシラン、アミノシラン、ウレイドシラン、メルカプトシラン等が挙げられ、エポキシ樹脂と無機充填剤との間で反応し、エポキシ樹脂と無機充填剤の界面強度を向上させるものであればよい。
より具体的には、エポキシシランとしては、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−(3,4エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等が挙げられる。また、アミノシランとしては、例えば、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−フェニルγ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニルγ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−6−(アミノヘキシル)3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(3−(トリメトキシシリルプロピル)−1,3−ベンゼンジメタナン等が挙げられる。また、ウレイドシランとしては、例えば、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン等が挙げられる。また、メルカプトシランとしては、例えば、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。これらのシランカップリング剤は1種類を単独で用いても2種類以上を併用してもよい。
In this invention, in order to improve the adhesiveness of an epoxy resin and an inorganic filler, adhesion assistants, such as a silane coupling agent, can be added. Examples thereof include, but are not limited to, epoxy silane, amino silane, ureido silane, mercapto silane, etc., which react between the epoxy resin and the inorganic filler to improve the interfacial strength between the epoxy resin and the inorganic filler. If it is.
More specifically, examples of the epoxy silane include γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, and β- (3,4 epoxy). (Cyclohexyl) ethyltrimethoxysilane and the like. Examples of the aminosilane include γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, and N-β (aminoethyl) γ-aminopropyl. Methyldimethoxysilane, N-phenylγ-aminopropyltriethoxysilane, N-phenylγ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltriethoxysilane, N-6- (aminohexyl) 3 -Aminopropyltrimethoxysilane, N- (3- (trimethoxysilylpropyl) -1,3-benzenedimethanane, etc. In addition, examples of ureidosilane include γ-ureidopropyltriethoxysilane, hexa Methyl disilazane, etc. In addition, mercap Examples of tosilane include γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, etc. These silane coupling agents may be used alone or in combination of two or more.

本発明に用いることができるシランカップリング剤の配合量としては、全エポキシ樹脂組成物中0.01重量%以上、1重量%以下が好ましく、より好ましくは0.05重量%以上、0.8重量%以下、特に好ましくは0.1重量%以上、0.6重量%以下である。シランカップリング剤の配合量が上記範囲内であれば、エポキシ樹脂と無機充填剤との界面強度が低下することによる半導体装置における耐半田クラック性の低下を引き起こす恐れが少ない。また、シランカップリング剤の配合量が上記範囲内であれば、エポキシ樹脂組成物の硬化物の吸水性が増大することによる耐半田クラック性の低下も引き起こす恐れが少ない。   As a compounding quantity of the silane coupling agent which can be used for this invention, 0.01 weight% or more and 1 weight% or less are preferable in all the epoxy resin compositions, More preferably, 0.05 weight% or more, 0.8 % By weight or less, particularly preferably 0.1% by weight or more and 0.6% by weight or less. If the blending amount of the silane coupling agent is within the above range, there is little possibility of causing a decrease in solder crack resistance in the semiconductor device due to a decrease in the interface strength between the epoxy resin and the inorganic filler. Moreover, if the compounding quantity of a silane coupling agent exists in the said range, there is little possibility of causing the fall of solder crack resistance by the water absorption of the hardened | cured material of an epoxy resin composition increasing.

本発明では、前述した成分以外に、カーボンブラック、ベンガラ、酸化チタン等の着色剤;シリコーンオイル、シリコーンゴム等の低応力添加剤;酸化ビスマス水和物等の無機イオン交換体;水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等の金属水酸化物や、硼酸亜鉛、モリブデン酸亜鉛、フォスファゼン等の難燃剤;等の添加剤を適宜配合してもよい。   In the present invention, in addition to the components described above, colorants such as carbon black, bengara, titanium oxide; low stress additives such as silicone oil and silicone rubber; inorganic ion exchangers such as bismuth oxide hydrate; aluminum hydroxide; Additives such as metal hydroxides such as magnesium hydroxide, flame retardants such as zinc borate, zinc molybdate, and phosphazene may be appropriately blended.

本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、本発明の構成成分及びその他の添加剤等を、例えば、ミキサー等を用いて常温で均一に混合したもの、更にその後、加熱ロール、ニーダー又は押出機等の混練機を用いて溶融混練し、続いて冷却、粉砕したものなど、必要に応じて適宜分散度や流動性等を調整したものを用いることができる。   The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention is obtained by uniformly mixing the components of the present invention and other additives at room temperature using, for example, a mixer, and then heating roll, kneader or extrusion. It is possible to use a material that has been appropriately adjusted in dispersity, fluidity, etc., if necessary, such as melt kneaded using a kneader such as a machine, followed by cooling and pulverization.

本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物により半導体素子を封止し半導体装置を製造するには、例えば、上記半導体素子を搭載したリードフレーム、回路基板等を金型キャビティ内に設置した後、上記半導体封止用エポキシ樹脂組成物をトランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の成形方法で成形硬化すればよい。   To manufacture a semiconductor device by sealing a semiconductor element with a cured product of the epoxy resin composition for semiconductor sealing of the present invention, for example, a lead frame, a circuit board, etc. mounted with the semiconductor element are placed in a mold cavity. Then, the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation may be molded and cured by a molding method such as transfer molding, compression molding, or injection molding.

本発明で封止を行う半導体素子としては、特に限定されるものではなく、例えば、集積回路、大規模集積回路、トランジスタ、サイリスタ、ダイオード、固体撮像素子等が挙げられる。
本発明の半導体装置の形態としては、特に限定されないが、例えば、デュアル・インライン・パッケージ(DIP)、プラスチック・リード付きチップ・キャリヤ(PLCC)、クワッド・フラット・パッケージ(QFP)、スモール・アウトライン・パッケージ(
SOP)、スモール・アウトライン・Jリード・パッケージ(SOJ)、薄型スモール・アウトライン・パッケージ(TSOP)、薄型クワッド・フラット・パッケージ(TQFP)、テープ・キャリア・パッケージ(TCP)、ボール・グリッド・アレイ(BGA)、チップ・サイズ・パッケージ(CSP)等が挙げられる。
上記トランスファーモールドなどの成形方法で封止された半導体装置は、そのまま、或いは80℃から200℃程度の温度で、10分から10時間程度の時間をかけて完全硬化させた後、電子機器等に搭載される。
The semiconductor element that performs sealing in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include an integrated circuit, a large-scale integrated circuit, a transistor, a thyristor, a diode, and a solid-state imaging element.
The form of the semiconductor device of the present invention is not particularly limited. For example, the dual in-line package (DIP), the plastic lead chip carrier (PLCC), the quad flat package (QFP), the small outline, and the like. package(
SOP), Small Outline J Lead Package (SOJ), Thin Small Outline Package (TSOP), Thin Quad Flat Package (TQFP), Tape Carrier Package (TCP), Ball Grid Array ( BGA), chip size package (CSP) and the like.
A semiconductor device sealed by a molding method such as the above transfer mold is mounted on an electronic device or the like as it is or after being completely cured at a temperature of about 80 ° C. to 200 ° C. for about 10 minutes to 10 hours. Is done.

図1は、本発明に係るエポキシ樹脂組成物を用いた半導体装置の一例について、断面構造を示した図である。ダイパッド3上に、ダイボンド材硬化体2を介して半導体素子1が固定されている。半導体素子1の電極パッドとリードフレーム5との間は金線4によって接続されている。半導体素子1は、封止用樹脂組成物の硬化体6によって封止されている。   FIG. 1 is a view showing a cross-sectional structure of an example of a semiconductor device using the epoxy resin composition according to the present invention. The semiconductor element 1 is fixed on the die pad 3 via the die bond material cured body 2. The electrode pad of the semiconductor element 1 and the lead frame 5 are connected by a gold wire 4. The semiconductor element 1 is sealed with a cured body 6 of a sealing resin composition.

以下、本発明を実施例にて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。以下配合割合は重量部とする。
実施例、比較例で用いた成分について、以下に示す。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited at all by these Examples. Hereinafter, the blending ratio is parts by weight.
The components used in Examples and Comparative Examples are shown below.

(エポキシ樹脂)
エポキシ樹脂1:下記式(16)で表される構造を有するエポキシ樹脂(o−クレゾールとホルムアルデヒドと2−メトキシナフタレンを共縮合して得られたフェノール樹脂をエピクロルヒドリンでグリシジルエーテル化したエポキシ樹脂。エポキシ当量251、軟化点58℃。下記一般式(16)において、m/nの平均値は1/4。)
エポキシ樹脂2:下記式(16)で表される構造を有するエポキシ樹脂(o−クレゾールとホルムアルデヒドと2−メトキシナフタレンを共縮合して得られたフェノール樹脂をエピクロルヒドリンでグリシジルエーテル化したエポキシ樹脂。エポキシ当量220、軟化点52℃。下記一般式(16)において、m/nの平均値は1/9。)
エポキシ樹脂3:下記式(16)で表される構造を有するエポキシ樹脂(o−クレゾールとホルムアルデヒドと2−メトキシナフタレンを共縮合して得られたフェノール樹脂をエピクロルヒドリンでグリシジルエーテル化したエポキシ樹脂。エポキシ当量270、軟化点63℃。下記一般式(16)において、m/nの平均値は3/7。)

Figure 2008179791
(Epoxy resin)
Epoxy resin 1: an epoxy resin having a structure represented by the following formula (16) (an epoxy resin obtained by glycidyl etherification of a phenol resin obtained by co-condensing o-cresol, formaldehyde, and 2-methoxynaphthalene with epichlorohydrin) Equivalent 251 and softening point 58 ° C. In the following general formula (16), the average value of m / n is ¼.)
Epoxy resin 2: an epoxy resin having a structure represented by the following formula (16) (an epoxy resin obtained by glycidyl etherification of a phenol resin obtained by co-condensing o-cresol, formaldehyde, and 2-methoxynaphthalene with epichlorohydrin) Equivalent 220, softening point 52 ° C. In the following general formula (16), the average value of m / n is 1/9.)
Epoxy resin 3: An epoxy resin having a structure represented by the following formula (16) (an epoxy resin obtained by glycidyl etherification of a phenol resin obtained by co-condensing o-cresol, formaldehyde, and 2-methoxynaphthalene with epichlorohydrin) Equivalent 270, softening point 63 ° C. In the following general formula (16), the average value of m / n is 3/7.)
Figure 2008179791

エポキシ樹脂4:下記式(17)で表される構造を有するエポキシ樹脂(フェノールとホルムアルデヒドとメチルフェニルスルフィドを共縮合して得られたフェノール樹脂をエピクロルヒドリンでグリシジルエーテル化したエポキシ樹脂。エポキシ当量196、軟化点54℃。下記一般式(17)において、m/nの平均値は1/4。)

Figure 2008179791
Epoxy resin 4: Epoxy resin having a structure represented by the following formula (17) (an epoxy resin obtained by glycidyl etherification of a phenol resin obtained by cocondensation of phenol, formaldehyde and methylphenyl sulfide with epichlorohydrin. Epoxy equivalent 196, (Softening point 54 ° C. In the following general formula (17), the average value of m / n is ¼.)
Figure 2008179791

エポキシ樹脂5:下記式(18)で表される構造を有するエポキシ樹脂(フェノールとベンズアルデヒドとメチルフェニルスルフィドを共縮合して得られたフェノール樹脂をエピクロルヒドリンでグリシジルエーテル化したエポキシ樹脂。エポキシ当量285、軟化点74℃。下記一般式(18)において、m/nの平均値は1/4。)

Figure 2008179791
Epoxy resin 5: An epoxy resin having a structure represented by the following formula (18) (an epoxy resin obtained by glycidyl etherification of a phenol resin obtained by cocondensation of phenol, benzaldehyde and methylphenyl sulfide with epichlorohydrin. Epoxy equivalent 285, Softening point 74 ° C. In the following general formula (18), the average value of m / n is ¼.)
Figure 2008179791

エポキシ樹脂6:下記式(19)で表される構造を有するエポキシ樹脂(1−ナフトールとホルムアルデヒドとメトキシベンゼンを共縮合して得られたフェノール樹脂をエピクロルヒドリンでグリシジルエーテル化したエポキシ樹脂。エポキシ当量273、軟化点68℃。下記一般式(19)において、m/nの平均値は1/4。)

Figure 2008179791
Epoxy resin 6: epoxy resin having a structure represented by the following formula (19) (an epoxy resin obtained by glycidyl etherification of a phenol resin obtained by cocondensing 1-naphthol, formaldehyde and methoxybenzene with epichlorohydrin. Epoxy equivalent 273) The softening point is 68 ° C. In the following general formula (19), the average value of m / n is ¼.)
Figure 2008179791

エポキシ樹脂7:フェニレン骨格を有するβ−ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂(東都化成(株)製、ESN−175。エポキシ当量252、軟化点58℃。)
エポキシ樹脂8:オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(住友化学(株)製、スミエポキシ(登録商標)ESCN195LA。エポキシ当量196、軟化点62℃。)
(フェノール性水酸基を2個以上含む化合物)
フェノール樹脂1:フェノールノボラック樹脂(住友ベークライト(株)製、スミライトレジン(登録商標)PR−HF−3。軟化点80℃、水酸基当量104。)
フェノール樹脂2:フェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂(三井化学(株)製、ミレックス(登録商標)XLC−4L。水酸基当量165、軟化点65℃。)
(無機充填剤)
溶融球状シリカ(平均粒径30μm)
(硬化促進剤)
硬化促進剤1:トリフェニルホスフィン
硬化促進剤2:1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7
Epoxy resin 7: β-naphthol aralkyl type epoxy resin having a phenylene skeleton (manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., ESN-175, epoxy equivalent 252 and softening point 58 ° C.)
Epoxy resin 8: Orthocresol novolak type epoxy resin (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., Sumiepoxy (registered trademark) ESCN195LA. Epoxy equivalent 196, softening point 62 ° C.)
(Compounds containing two or more phenolic hydroxyl groups)
Phenol resin 1: Phenol novolac resin (Sumitomo Bakelite Co., Ltd., Sumilite Resin (registered trademark) PR-HF-3, softening point 80 ° C., hydroxyl equivalent 104)
Phenol resin 2: Phenol aralkyl resin having a phenylene skeleton (Mitsui Chemicals, Millex (registered trademark) XLC-4L. Hydroxyl equivalent 165, softening point 65 ° C.)
(Inorganic filler)
Fused spherical silica (average particle size 30μm)
(Curing accelerator)
Curing accelerator 1: Triphenylphosphine Curing accelerator 2: 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7

硬化促進剤3:下記式(20)で表される硬化促進剤

Figure 2008179791
Curing accelerator 3: Curing accelerator represented by the following formula (20)
Figure 2008179791

硬化促進剤4:下記式(21)で表される硬化促進剤

Figure 2008179791
Curing accelerator 4: Curing accelerator represented by the following formula (21)
Figure 2008179791

(酸化ポリエチレン)
酸化ポリエチレン1(滴点120℃、酸価20mgKOH/g、数平均分子量2000、密度0.98g/cm、平均粒径45μm、106μm以上の粒子の含有量0.0重量%。高密度ポリエチレンの酸化物。)
酸化ポリエチレン2(滴点110℃、酸価12mgKOH/g、数平均分子量1200、密度0.97g/cm、平均粒径40μm、106μm以上の粒子の含有量0.0重量%。高密度ポリエチレンの酸化物。)
(その他の離型剤)
カルナバワックス(日興リカ(株)製、ニッコウカルナバ)
((F)成分)
F1−1:カルボキシル基を両末端に有するブタジエン−アクリロニトリル共重合体(
宇部興産(株)製、CTBN−1008SP。一般式(11)において、x=0.82、y=0.18、zの平均値は62。数平均分子量3550、カルボキシル基当量2200g/eq。ナトリウムイオン量5ppm、塩素イオン量200ppm。)
F2−1:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、YL
−6810(エポキシ当量172g/eq、融点45℃)65重量部を140℃で加温溶融し、前記F1−1を33重量部、トリフェニルホスフィンを0.8重量部添加して、140℃にて30分間溶融混合して得た溶融反応物
(Polyethylene oxide)
Polyethylene oxide 1 (drop point 120 ° C., acid value 20 mg KOH / g, number average molecular weight 2000, density 0.98 g / cm 3 , average particle size 45 μm, content of particles of 106 μm or more 0.0% by weight. Oxide.)
Polyethylene oxide 2 (drop point 110 ° C., acid value 12 mg KOH / g, number average molecular weight 1200, density 0.97 g / cm 3 , average particle size 40 μm, content of particles of 106 μm or more 0.0% by weight. Oxide.)
(Other release agents)
Carnauba wax (Nikko Rica Co., Ltd., Nikko Carnauba)
((F) component)
F1-1: butadiene-acrylonitrile copolymer having carboxyl groups at both ends (
CTBN-1008SP, manufactured by Ube Industries, Ltd. In the general formula (11), x = 0.82, y = 0.18, and the average value of z is 62. Number average molecular weight 3550, carboxyl group equivalent 2200 g / eq. Sodium ion amount 5ppm, chlorine ion amount 200ppm. )
F2-1: Bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., YL
-6810 (epoxy equivalent: 172 g / eq, melting point: 45 ° C.) 65 parts by weight was heated and melted at 140 ° C., and 33 parts by weight of F1-1 and 0.8 parts by weight of triphenylphosphine were added. Molten reaction product obtained by melt mixing for 30 minutes

((G)成分)
G1−1:下記式(22)で表される化合物(東レ・ダウコーニング(株)製、BY−750、分子量約1500)

Figure 2008179791
((G) component)
G1-1: Compound represented by the following formula (22) (Toray Dow Corning Co., Ltd., BY-750, molecular weight of about 1500)
Figure 2008179791

G2−1:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、jER(登録商標)YL−6810(エポキシ当量172g/eq、融点45℃)12重量部を140℃で加温溶融し、G1−1を6重量部、トリフェニルホスフィンを0.15重量部添加して、140℃にて30分間溶融混合して得た溶融反応物
(シランカップリング剤)
シランカップリング剤1:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
(着色剤)
カーボンブラック
G2-1: 12 parts by weight of bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., jER (registered trademark) YL-6810 (epoxy equivalent 172 g / eq, melting point 45 ° C.) at 140 ° C. is heated and melted, and G1 6 parts by weight of -1 and 0.15 parts by weight of triphenylphosphine were added and melted reaction product obtained by melt mixing at 140 ° C. for 30 minutes (silane coupling agent)
Silane coupling agent 1: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane (coloring agent)
Carbon black

実施例1
エポキシ樹脂1 8.80重量部
フェノール樹脂1 3.80重量部
溶融球状シリカ 86.00重量部
硬化促進剤1 0.20重量部
酸化ポリエチレン1 0.20重量部
F2−1 0.30重量部
G2−1 0.10重量部
シランカップリング剤1 0.30重量部
カーボンブラック 0.30重量部
をミキサーにて常温混合し、80〜100℃の加熱ロールで溶融混練し、冷却後粉砕し、エポキシ樹脂組成物を得た。得られたエポキシ樹脂組成物を用いて以下の方法で評価した。評価結果を表1に示す。
Example 1
Epoxy resin 1 8.80 parts by weight Phenolic resin 1 3.80 parts by weight Fused spherical silica 86.00 parts by weight Curing accelerator 1 0.20 parts by weight Polyethylene oxide 1 0.20 parts by weight F2-1 0.30 parts by weight G2 -1 0.10 parts by weight Silane coupling agent 1 0.30 parts by weight Carbon black 0.30 parts by weight is mixed at room temperature with a mixer, melted and kneaded with a heating roll at 80 to 100 ° C., cooled and crushed, A resin composition was obtained. It evaluated by the following method using the obtained epoxy resin composition. The evaluation results are shown in Table 1.

・スパイラルフロー:低圧トランスファー成形機(コータキ精機(株)製、KTS−15)を用いて、EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用金型に、175℃、注入圧力6.9MPa、保圧時間120秒の条件でエポキシ樹脂組成物を注入し、流動長を測定した。スパイラルフローは、流動性のパラメータであり、数値が大きい方が、流動性が良好である。単位はcm。 Spiral flow: Using a low-pressure transfer molding machine (KTS-15, manufactured by Kotaki Seiki Co., Ltd.), a spiral flow measurement mold conforming to EMMI-1-66 was maintained at 175 ° C., injection pressure 6.9 MPa. The epoxy resin composition was injected under a pressure time of 120 seconds, and the flow length was measured. The spiral flow is a fluidity parameter, and the larger the value, the better the fluidity. The unit is cm.

・金線流れ率:低圧トランスファー成形機((株)YKC製、YKC40TA−M)を用いて、金型温度175℃、注入圧力9.3MPa、硬化時間90秒の条件で、エポキシ樹脂組成物によりシリコンチップ等を封止成形して、208ピンQFP(銅フレーム:28mm×28mm×3.2mm厚、パッドサイズ:11mm×11mm、チップサイズ7mm×7mm×0.35mm厚)を得た後、175℃、4時間の条件で後硬化した。室温まで冷却後、軟X線透視装置(ソフテックス(株)製、PRO−TEST100)で観察し、金線の流れ率を(流れ量)/(金線長)の比率で表し、この値が最も大きくなる金線部の値を記した。単位は%。この値が5%を超えると、隣接する金線同士が接触する可能性が高い。判定基準は5%未満を○、5%以上を×とした。 -Wire flow rate: Using a low-pressure transfer molding machine (YKC, YKC40TA-M) under conditions of a mold temperature of 175 ° C, an injection pressure of 9.3 MPa, and a curing time of 90 seconds, After sealing and molding a silicon chip or the like to obtain 208 pin QFP (copper frame: 28 mm × 28 mm × 3.2 mm thickness, pad size: 11 mm × 11 mm, chip size 7 mm × 7 mm × 0.35 mm thickness), 175 Post-curing was performed at 4 ° C. for 4 hours. After cooling to room temperature, it was observed with a soft X-ray fluoroscope (PRO-TEST100, manufactured by Softex Corporation), and the flow rate of the gold wire was expressed as a ratio of (flow rate) / (gold wire length). The value of the gold wire part that becomes the largest is shown. Units%. When this value exceeds 5%, there is a high possibility that adjacent gold wires come into contact with each other. The criterion was ○ for less than 5% and x for 5% or more.

・連続成形性:低圧トランスファー自動成形機(第一精工(株)製、GP−ELF)を用
いて、金型温度175℃、注入圧力9.6MPa、硬化時間90秒の条件で、エポキシ樹脂組成物によりシリコンチップ等を封止して80ピンQFP(Cu製リードフレーム、パッケージ外寸:14mm×20mm×2.0mm厚、パッドサイズ:8.0mm×8.0mm、チップサイズ7.0mm×7.0mm×0.35mm厚)を得る成形を、連続で700ショットまで行なった。判定基準は未充填等全く問題なく700ショットまで連続成形できたものを◎、未充填等全く問題なく500ショットまで連続成形できたものを○、それ以外を×とした。
Continuous moldability: epoxy resin composition using a low-pressure transfer automatic molding machine (Daiichi Seiko Co., Ltd., GP-ELF) under conditions of a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 9.6 MPa, and a curing time of 90 seconds. 80 pin QFP (Cu lead frame, package outer dimensions: 14 mm x 20 mm x 2.0 mm thickness, pad size: 8.0 mm x 8.0 mm, chip size 7.0 mm x 7 .0 mm × 0.35 mm thickness) was continuously performed up to 700 shots. Judgment criteria were ◎ for those that could be continuously molded up to 700 shots without any problems such as unfilled, ◯ for those that could be continuously molded up to 500 shots without any problems such as unfilled, and x otherwise.

パッケージ外観及び金型汚れ性:上記連続成形性の評価において、500及び700ショット成形後のパッケージ表面及び金型表面について、目視で汚れを評価した。パッケージ外観判断及び金型汚れ基準は、700ショットまで汚れていないものを◎で、500ショットまで汚れていないものを○、汚れているものを×で表す。また、上記連続成形性において、500ショットまで問題なく成形できなかったものについては、連続成形を断念した時点でのパッケージ外観及び金型汚れ状況で判断した。   Package appearance and mold stain resistance: In the evaluation of the continuous moldability, the package surface and mold surface after 500 and 700 shot molding were visually evaluated for stain. The package appearance judgment and mold contamination criteria are indicated by ◎ for those that are not dirty up to 700 shots, ◯ for those that are not dirty up to 500 shots, and × that are dirty. Further, in the above-mentioned continuous formability, those that could not be formed without any problem up to 500 shots were judged based on the package appearance and mold contamination status when the continuous forming was abandoned.

・耐半田性:上記連続成形性の評価において成形したパッケージを、175℃で8時間の後硬化をした。得られたパッケージ10個を60℃、相対湿度60%で168時間加湿処理した後、IRリフロー処理(最大温度260℃)を三回行った。処理後のパッケージ内部の剥離、及びクラックの有無を超音波傷機で観察し、剥離又はクラックのいずれか一方でも発生したものを不良とした。不良パッケージの個数がn個であるとき、n/10と表示する。 Solder resistance: The package molded in the continuous moldability evaluation was post-cured at 175 ° C. for 8 hours. Ten packages obtained were humidified at 60 ° C. and 60% relative humidity for 168 hours, and then IR reflow treatment (maximum temperature 260 ° C.) was performed three times. After the treatment, the inside of the package and the presence or absence of cracks were observed with an ultrasonic scratching machine, and any of the peeling or cracking occurred was regarded as defective. When the number of defective packages is n, n / 10 is displayed.

・耐温度サイクル性:金線流れ率評価の際に得られたパッケージ10個を、−60℃/30分〜150℃/30分の環境下で繰り返し温度サイクル処理を行い、外部クラックの有無を観察した。評価したパッケージの50%以上の個数に外部クラックが生じた時間を測定し、「50%不良発生時間」で示した。単位はhr。50%不良発生時間が長いほど好ましく、1000時間以上で合格とした。 ・ Temperature cycle resistance: Ten packages obtained at the time of gold wire flow rate evaluation are repeatedly subjected to temperature cycle treatment in an environment of −60 ° C./30 minutes to 150 ° C./30 minutes to check for external cracks. Observed. The time when external cracks occurred in 50% or more of the evaluated packages was measured and indicated as “50% defect occurrence time”. The unit is hr. The longer the 50% defect occurrence time is, the more preferable.

実施例2〜21、比較例1〜5
表1、表2、表3の配合に従い、実施例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を製造し、実施例1と同様にして評価した。評価結果を表1、表2、表3に示す。
Examples 2 to 21 and Comparative Examples 1 to 5
According to the composition of Table 1, Table 2, and Table 3, an epoxy resin composition was produced in the same manner as in Example 1 and evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 1, Table 2, and Table 3.

Figure 2008179791
Figure 2008179791

Figure 2008179791
Figure 2008179791

Figure 2008179791
Figure 2008179791

実施例1〜21は、一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)、フェノール性水酸基を2個以上含む化合物(B)、無機充填剤(C)、硬化促進剤(D)及び酸化ポリエチレン(E)を含むものであり、エポキシ樹脂(A)の種類と配合量、フェノール性水酸基を2個以上含む化合物(B)の種類、酸化ポリエチレン(E)の種類と配合量、硬化促進剤(D)の種類、無機充填剤(C)の配合量を変えたものを含み、更にカルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)又はカルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)とエポキシ樹脂との反応生成物(F2)や、カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)、及び/又は、カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)とエポキシ樹脂との反応生成物(G2)を添加したものを含むものであるが、いずれにおいても、流動性(スパイラルフロー)、金線流れ率、連続成形性、パッケージ外観及び金型汚れ性、耐半田性、並びに耐温度サイクル性のバランスに優れた結果が得られた。   In Examples 1 to 21, an epoxy resin (A) having a structure represented by the general formula (1), a compound (B) containing two or more phenolic hydroxyl groups, an inorganic filler (C), a curing accelerator (D ) And oxidized polyethylene (E), the type and amount of epoxy resin (A), the type of compound (B) containing two or more phenolic hydroxyl groups, the type and amount of oxidized polyethylene (E), A butadiene / acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group, or a butadiene / acrylonitrile copolymer having a carboxyl group, including those having different types of curing accelerators (D) and inorganic fillers (C). Reaction product (F2) of (F1) and epoxy resin, organopolysiloxane (G1) having a carboxyl group, and / or an organopom having a carboxyl group This includes the addition of the reaction product (G2) of siloxane (G1) and epoxy resin, but in all cases, fluidity (spiral flow), wire flow rate, continuous moldability, package appearance and mold contamination The results were excellent in the balance of solderability, solder resistance, and temperature cycle resistance.

一方、一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)の替りに、フェニレン骨格を有するβ−ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂(エポキシ樹脂5)を用いた比較例1では、流動性、金線流れ率が劣る結果となった。また、一般式(1)で表される構造
を有するエポキシ樹脂(A)の替りに、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ樹脂6)を用いた比較例2では、流動性、耐半田性、耐温度サイクル性が劣る結果となった。また、酸化ポリエチレン(E)の替りにカルナバワックスを用いた比較例3、4では、連続成形性、パッケージ外観及び金型汚れ性、耐半田性、並びに耐温度サイクル性が劣る結果となった。また、一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)の替りに、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ樹脂6)を用い、かつ、酸化ポリエチレン(E)の替りにカルナバワックスを用いた比較例5では、流動性、連続成形性、パッケージ外観及び金型汚れ性、耐半田性、並びに耐温度サイクル性が劣る結果となった。
On the other hand, in Comparative Example 1 using a β-naphthol aralkyl type epoxy resin (epoxy resin 5) having a phenylene skeleton in place of the epoxy resin (A) having a structure represented by the general formula (1), fluidity, The gold wire flow rate was inferior. In Comparative Example 2 using an ortho-cresol novolac type epoxy resin (epoxy resin 6) instead of the epoxy resin (A) having the structure represented by the general formula (1), the fluidity, solder resistance, The result was inferior temperature cycling. In Comparative Examples 3 and 4 using carnauba wax instead of polyethylene oxide (E), continuous moldability, package appearance and mold dirt, solder resistance, and temperature cycle resistance were inferior. Further, instead of the epoxy resin (A) having the structure represented by the general formula (1), an ortho cresol novolac type epoxy resin (epoxy resin 6) is used, and carnauba wax is used instead of polyethylene oxide (E). In Comparative Example 5 used, fluidity, continuous formability, package appearance and mold stain resistance, solder resistance, and temperature cycle resistance were inferior.

一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)と酸化ポリエチレン(E)とを組み合わせて用いることによる低応力性における相乗効果は、実施例1と比較例2、3、5とを比較により明らかである。即ち、一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)を用いることのみによる低応力性向上効果は、比較例5と比較例3との差として示されているとおりであり(耐半田性:10/10→5/10、耐温度サイクル性:500時間→700時間)、本発明の課題を解決できるまでには至らないものである。また、酸化ポリエチレン(E)を用いることのみによる低応力性における効果は、比較例5と比較例2との差として示されているとおりであり(耐半田性:10/10→10/10、耐温度サイクル性:500時間→500時間)、殆どその効果が確認できないものである。一方、一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)と酸化ポリエチレン(E)と組み合わせて用いることによる低応力性向上効果は、比較例5と実施例1との差として示されているとおりであり(耐半田性:10/10→0/10、耐温度サイクル性:500時間→1000時間以上)、一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂(A)を用いることのみによる効果と、酸化ポリエチレン(E)を用いることのみによる効果とからは予想し得ない、顕著な相乗効果を示す結果となった。   The synergistic effect in low stress by using a combination of the epoxy resin (A) having the structure represented by the general formula (1) and the oxidized polyethylene (E) is as follows: Example 1 and Comparative Examples 2, 3, 5 It is clear by comparison. That is, the low-stress improvement effect only by using the epoxy resin (A) having the structure represented by the general formula (1) is as shown as a difference between Comparative Example 5 and Comparative Example 3 ( (Solder resistance: 10/10 → 5/10, temperature cycle resistance: 500 hours → 700 hours), the problem of the present invention cannot be solved. Moreover, the effect in the low stress property only by using the oxidized polyethylene (E) is as shown as a difference between the comparative example 5 and the comparative example 2 (solder resistance: 10/10 → 10/10, Temperature cycle resistance: 500 hours → 500 hours), almost no effect can be confirmed. On the other hand, the effect of improving low stress by using the epoxy resin (A) having the structure represented by the general formula (1) and the oxidized polyethylene (E) in combination is shown as a difference between Comparative Example 5 and Example 1. (Solder resistance: 10/10 → 0/10, temperature cycle resistance: 500 hours → 1000 hours or more) and an epoxy resin (A) having a structure represented by the general formula (1) The result showed a remarkable synergistic effect that could not be expected from the effect of using only and the effect of using only oxidized polyethylene (E).

本発明に従うと、低応力性に優れ、かつ流動性、連続成形性に優れたエポキシ樹脂組成物を得ることができるため、半導体装置封止用として好適である。   According to the present invention, an epoxy resin composition having excellent low stress properties and excellent fluidity and continuous moldability can be obtained, which is suitable for sealing a semiconductor device.

本発明に係るエポキシ樹脂組成物を用いた半導体装置の一例について、断面構造を示した図である。It is the figure which showed the cross-section about an example of the semiconductor device using the epoxy resin composition which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 半導体素子
2 ダイボンド材硬化体
3 ダイパッド
4 金線
5 リードフレーム
6 封止用樹脂組成物の硬化体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor element 2 Die-bonding material hardening body 3 Die pad 4 Gold wire 5 Lead frame 6 Hardening body of resin composition for sealing

Claims (9)

(A)下記一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂と、
(B)フェノール性水酸基を2個以上含む化合物と、
(C)無機充填剤と、
(D)硬化促進剤と、
(E)酸化ポリエチレンとを含むことを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(1)において、Arは炭素数6〜20の芳香族基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R2は炭素数1〜4の炭化水素基で、W1は酸素原子又は硫黄原子である。R3は水素、炭素数1〜4の炭化水素基又は炭素数6〜20の芳香族基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。aは0〜10の整数、bは1〜3の整数である。m、nはモル比を表し、0≦m<1、0<n≦1で、m+n=1、かつ、m/nの平均値は1/10〜1/1である。)
(A) an epoxy resin having a structure represented by the following general formula (1);
(B) a compound containing two or more phenolic hydroxyl groups;
(C) an inorganic filler;
(D) a curing accelerator;
(E) The epoxy resin composition for semiconductor sealing characterized by including polyethylene oxide.
Figure 2008179791
(In the above general formula (1), Ar is an aromatic group having 6 to 20 carbon atoms, and may be the same or different from each other. R1 is a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms. And R2 is a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, W1 is an oxygen atom or a sulfur atom, R3 is hydrogen, a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, or An aromatic group having 6 to 20 carbon atoms, which may be the same or different from each other, a is an integer of 0 to 10, b is an integer of 1 to 3, and m and n represent molar ratios. 0 ≦ m <1, 0 <n ≦ 1, m + n = 1, and the average value of m / n is 1/10 to 1/1.)
前記(A)一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂が、フェノール性水酸基含有芳香族類、アルデヒド類、下記一般式(2)で表される化合物(J)とを共縮合して得られたフェノール樹脂類をエピクロルヒドリンでグリシジルエーテル化したエポキシ樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(2)において、Arは炭素数6〜20の芳香族基である。R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R2は炭素数1〜4の炭化水素基で、W1は酸素原子又は硫黄原子である。aは0〜10の整数、bは1〜3の整数である。)
(A) The epoxy resin having the structure represented by the general formula (1) co-condenses the phenolic hydroxyl group-containing aromatics, aldehydes, and the compound (J) represented by the following general formula (2). 2. The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1, which is an epoxy resin obtained by glycidyl etherification of the phenol resin obtained in this way with epichlorohydrin.
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (2), Ar is a C6-C20 aromatic group. R1 is a C1-C6 hydrocarbon group, and may mutually be same or different. R2 is a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, W1 is an oxygen atom or a sulfur atom, a is an integer of 0 to 10, and b is an integer of 1 to 3).
前記(A)一般式(1)で表される構造を有するエポキシ樹脂が、下記一般式(3)で表されるエポキシ樹脂であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(3)において、R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。R2は炭素数1〜4の炭化水素基で、W1は酸素原子又は硫黄原子である。cは0〜5の整数、dは0〜3の整数である。m、nはモル比を表し、0≦m<1、0<n≦1で、m+n=1、かつ、m/nの平均値は1/10〜1/1である。)
3. The semiconductor according to claim 1, wherein the epoxy resin having a structure represented by the general formula (1) is an epoxy resin represented by the following general formula (3). An epoxy resin composition for sealing.
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (3), R1 is a C1-C6 hydrocarbon group and may mutually be same or different. R2 is a C1-C4 hydrocarbon group, W1 is an oxygen atom or a sulfur atom, c is an integer of 0 to 5, d is an integer of 0 to 3, m and n represent a molar ratio, 0 ≦ m <1, 0 <n ≦ 1, m + n = 1, and the average value of m / n is 1/10 to 1/1.)
前記一般式(3)で表されるエポキシ樹脂が、下記一般式(4)で表されるエポキシ樹脂であることを特徴とする請求項3に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(4)において、R1は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。cは0〜5の整数、dは0〜3の整数である。m、nはモル比を表し、0≦m<1、0<n≦1で、m+n=1、かつ、m/nの平均値は1/10〜1/1である。)
The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 3, wherein the epoxy resin represented by the general formula (3) is an epoxy resin represented by the following general formula (4).
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (4), R1 is a C1-C6 hydrocarbon group and may mutually be same or different. C is an integer of 0-5, d is 0-3. M and n represent molar ratios, 0 ≦ m <1, 0 <n ≦ 1, m + n = 1, and the average value of m / n is 1/10 to 1/1. )
前記硬化促進剤(D)が、下記一般式(5)で表される化合物、下記一般式(6)で表される化合物、下記一般式(7)で表される化合物及び下記一般式(8)で表される化合物から選ばれる少なくとも1つであることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(5)において、Pはリン原子を表す。R4、R5、R6及びR7は芳香族基又はアルキル基を表す。Aはヒドロキシル基、カルボキシル基、チオール基から選ばれる官能基のいずれかを芳香環に少なくとも1つ有する芳香族有機酸のアニオンを
表す。AHはヒドロキシル基、カルボキシル基、チオール基から選ばれる官能基のいずれかを芳香環に少なくとも1つ有する芳香族有機酸を表す。x、yは1〜3の整数、zは0〜3の整数であり、かつx=yである。)
Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(6)において、X1は炭素数1〜3のアルキル基、Y1はヒドロキシル基を表す。e、fは0〜3の整数である。)
Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(7)において、Pはリン原子を表す。R8、R9及びR10は炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数6〜12のアリール基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。R11、R12及びR13は水素原子又は炭素数1〜12の炭化水素基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよく、R11とR12が結合して環状構造となっていてもよい。)
Figure 2008179791
(ただし、上記一般式(8)において、Pはリン原子を表し、Siは珪素原子を表す。R14、R15、R16及びR17は、それぞれ、芳香環又は複素環を有する有機基、あるいは脂肪族基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。式中X2は、基Y2及びY3と結合する有機基である。式中X3は、基Y4及びY5と結合する有機基である。Y2及びY3は、プロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基を表し、同一分子内の基Y2及びY3が珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。Y4及びY5はプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基を表し、同一分子内の基Y4及びY5が珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。X2、及びX3は互いに同一でも異なっていてもよく、Y2、Y3、Y4、及びY5は互いに同一であっても異なっていてもよい。Z1は芳香環又は複素環を有する有機基、あるいは脂肪族基である。)
The curing accelerator (D) is a compound represented by the following general formula (5), a compound represented by the following general formula (6), a compound represented by the following general formula (7), and the following general formula (8). 5. The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1, wherein the epoxy resin composition is at least one selected from compounds represented by the formula:
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (5), P represents a phosphorus atom. R4, R5, R6, and R7 represent an aromatic group or an alkyl group. A is a functional group chosen from a hydroxyl group, a carboxyl group, and a thiol group. Represents an anion of an aromatic organic acid having at least one of the following: AH is an aromatic organic acid having at least one functional group selected from a hydroxyl group, a carboxyl group, and a thiol group in the aromatic ring X and y are integers of 1 to 3, z is an integer of 0 to 3, and x = y.
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (6), X1 represents a C1-C3 alkyl group, Y1 represents a hydroxyl group. E and f are integers of 0-3.)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (7), P represents a phosphorus atom. R8, R9, and R10 represent a C1-C12 alkyl group or a C6-C12 aryl group, and they are mutually the same. R11, R12 and R13 each represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms and may be the same or different from each other, and R11 and R12 are bonded to form a cyclic structure. May be.)
Figure 2008179791
(However, in the said General formula (8), P represents a phosphorus atom and Si represents a silicon atom. R14, R15, R16, and R17 are respectively an organic group or an aliphatic group which has an aromatic ring or a heterocyclic ring. X2 is an organic group bonded to the groups Y2 and Y3, where X3 is an organic group bonded to the groups Y4 and Y5. And Y3 represent a group formed by releasing a proton from a proton-donating substituent, and groups Y2 and Y3 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure. The functional substituent represents a group formed by releasing a proton, and the groups Y4 and Y5 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure, and X2 and X3 may be the same or different from each other. Often Y2, Y3, Y4, and Y5 is .Z1 which may be the same or different from each other is an organic group or an aliphatic group, an aromatic ring or a heterocyclic ring.)
更に(F)カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)、及び/又は、カルボキシル基を有するブタジエン・アクリロニトリル共重合体(F1)とエポキシ樹脂との反応生成物(F2)を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。   And (F) a butadiene / acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group and / or a reaction product (F2) of a butadiene / acrylonitrile copolymer (F1) having a carboxyl group and an epoxy resin. The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to any one of claims 1 to 5, wherein the composition is an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation. 更に(G)カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)、及び/又は、カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン(G1)とエポキシ樹脂との反応生成物(G2)を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。   Further, (G) an organopolysiloxane (G1) having a carboxyl group and / or a reaction product (G2) of an organopolysiloxane (G1) having a carboxyl group and an epoxy resin is included. The epoxy resin composition for semiconductor sealing in any one of thru | or 6. 前記無機充填剤(C)を当該樹脂組成物全体の80重量%以上、92重量%以下含むことを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。   The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to any one of claims 1 to 7, wherein the inorganic filler (C) is contained in an amount of 80% by weight or more and 92% by weight or less of the entire resin composition. . 請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物により半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。   A semiconductor device comprising a semiconductor element sealed with a cured product of the epoxy resin composition for semiconductor sealing according to claim 1.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011048765A1 (en) * 2009-10-20 2011-04-28 住友ベークライト株式会社 Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, semiconductor device, and release agent
JP2011178924A (en) * 2010-03-02 2011-09-15 Sumitomo Bakelite Co Ltd Resin composition for sealing semiconductor, and semiconductor device
JP2012201695A (en) * 2011-03-23 2012-10-22 Panasonic Corp Epoxy resin composition for sealing and semiconductor device
CN112852367A (en) * 2021-03-08 2021-05-28 南宁珀源能源材料有限公司 Double-component silicon rod splicing adhesive and preparation method thereof

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004065486A1 (en) * 2003-01-17 2004-08-05 Sumitomo Bakelite Co., Ltd. Epoxy resin composition and semiconductor device made with the same
JP2006124479A (en) * 2004-10-27 2006-05-18 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition and semiconductor device
JP2006182803A (en) * 2004-12-24 2006-07-13 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition and semiconductor device
JP2006274236A (en) * 2005-03-02 2006-10-12 Dainippon Ink & Chem Inc Epoxy resin composition, cured object obtained therefrom, semiconductor-encapsulating material, novel phenolic resin, and novel epoxy resin
JP2007231159A (en) * 2006-03-01 2007-09-13 Hitachi Chem Co Ltd Epoxy resin composition for sealing and electronic part device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004065486A1 (en) * 2003-01-17 2004-08-05 Sumitomo Bakelite Co., Ltd. Epoxy resin composition and semiconductor device made with the same
JP2006124479A (en) * 2004-10-27 2006-05-18 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition and semiconductor device
JP2006182803A (en) * 2004-12-24 2006-07-13 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition and semiconductor device
JP2006274236A (en) * 2005-03-02 2006-10-12 Dainippon Ink & Chem Inc Epoxy resin composition, cured object obtained therefrom, semiconductor-encapsulating material, novel phenolic resin, and novel epoxy resin
JP2007231159A (en) * 2006-03-01 2007-09-13 Hitachi Chem Co Ltd Epoxy resin composition for sealing and electronic part device

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011048765A1 (en) * 2009-10-20 2011-04-28 住友ベークライト株式会社 Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, semiconductor device, and release agent
CN102575085A (en) * 2009-10-20 2012-07-11 住友电木株式会社 Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, semiconductor device, and release agent
JPWO2011048765A1 (en) * 2009-10-20 2013-03-07 住友ベークライト株式会社 Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, semiconductor device and release agent
US9040606B2 (en) 2009-10-20 2015-05-26 Sumitomo Bakelite Co., Ltd. Epoxy resin composition for encapsulating semiconductor, semiconductor device, and mold releasing agent
JP5737183B2 (en) * 2009-10-20 2015-06-17 住友ベークライト株式会社 Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, semiconductor device and release agent
JP2011178924A (en) * 2010-03-02 2011-09-15 Sumitomo Bakelite Co Ltd Resin composition for sealing semiconductor, and semiconductor device
JP2012201695A (en) * 2011-03-23 2012-10-22 Panasonic Corp Epoxy resin composition for sealing and semiconductor device
CN112852367A (en) * 2021-03-08 2021-05-28 南宁珀源能源材料有限公司 Double-component silicon rod splicing adhesive and preparation method thereof

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