JP2008178237A - リニアシステムの磁極位置補正方法およびこの補正方法を用いたリニアシステム - Google Patents
リニアシステムの磁極位置補正方法およびこの補正方法を用いたリニアシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008178237A JP2008178237A JP2007009998A JP2007009998A JP2008178237A JP 2008178237 A JP2008178237 A JP 2008178237A JP 2007009998 A JP2007009998 A JP 2007009998A JP 2007009998 A JP2007009998 A JP 2007009998A JP 2008178237 A JP2008178237 A JP 2008178237A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear
- magnetic pole
- mover
- motor
- linear motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Control Of Linear Motors (AREA)
Abstract
【課題】 磁極位置を検出できるセンサを付けていないリニアモータを用いたリニアシステムにおいて、磁極位置の誤差を高精度に補正できるようにする。
【解決手段】 本発明の磁極位置補正方法は、初期磁極検出動作によって検出した位相信号を取得した後、可動子1bを外力によって一定速度で移動させ、可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から、リニアモータ1の電気角がゼロになる位置を検出し、この位置をリニアモータの磁極位置として絶対値エンコーダ2の位置データを補正し、信号処理部2cに設けたEEPROMに記憶させるものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 本発明の磁極位置補正方法は、初期磁極検出動作によって検出した位相信号を取得した後、可動子1bを外力によって一定速度で移動させ、可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から、リニアモータ1の電気角がゼロになる位置を検出し、この位置をリニアモータの磁極位置として絶対値エンコーダ2の位置データを補正し、信号処理部2cに設けたEEPROMに記憶させるものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、リニアモータを使ったシステムにおいて磁極位置のバラツキを補正する方法に関する。
従来、永久磁石を有したリニアシステムを駆動するためには、永久磁石が作る磁束の向きである磁極位置を把握する必要があり、そのためのエンコーダが取り付けられており、磁極位置を検出している。しかしながら、加工あるいは組み立て時に発生する誤差のために前記エンコーダが指示する磁極位置と真の磁極位置には多少の差が生じる。この差を検出して、前記エンコーダの指示する磁極位置を補正して真の磁極位置を求める方法あるいは装置が各種提案されている。例えば、起動時における磁極位置を検出する誤差の補正方法として、永久磁石電動機を外部から駆動して、所定速度で回転させたときに生じる誘起電圧の位相とエンコーダで検出される磁極位置の位相を比較して、前記エンコーダが指示する磁極位置と真の磁極位置の求める方法が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
特開平11−168895号公報
ところが、従来技術では、磁極検出動作によって同じ構成のリニアスライダでも電気角で最大10度程度の磁極検出の検出誤差により性能差が現れるという問題があった。また、性能差を起こさないためには、磁極位置情報を検出するセンサを装着する必要があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、磁極情報を検出するセンサを取り付けることなしに、磁極位置の誤差を高精度に補正する方法を提供することを目的とする。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、磁極情報を検出するセンサを取り付けることなしに、磁極位置の誤差を高精度に補正する方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明では、次のようにしたものである。
請求項1に記載の発明は、磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記絶対値エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備え、前記リニアモータの初期磁極検出動作により磁極位置を検出しこれを補正するリニアシステムの磁極位置補正方法において、前記初期磁極検出動作によって検出した位相信号を取得した後、前記可動子を外力によって一定速度で移動させ、前記可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、前記信号処理部に設けたEEPROMに記憶させるようにしたものである。
請求項2に記載の発明は、磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記絶対値エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備えたリニアシステムの磁極位置補正方法において、前記可動子を外力によって一定速度で移動させ、前記可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、前記信号処理部に設けたEEPROMに記憶させるようにしたものである。
請求項3に記載の発明は、磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記前記リニアモータの固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記絶対値エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備え、前記リニアモータの初期磁極検出動作により磁極位置を検出し補正するリニアシステムにおいて、前記信号処理部は、前記磁極検出動作によって検出した位相信号を取得した後、前記可動子を外力によって一定速度で移動させ、前記可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、この補正値を記憶させるEEPROMが設けられているものである。
請求項4に記載の発明は、磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記前記リニアモータの固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記絶対値エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備えたリニアシステムにおいて、前記信号処理部は、前記可動子を外力によって一定速度で移動させ、前記可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、この補正値を記憶させるEEPROMが設けられているものである。
請求項5に記載の発明は、磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータを少なくとも2軸設け、前記複数の可動子をテーブルに並列に連結したガントリ構成のリニアスライダと、前記リニアモータの固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備えたリニアシステムの磁極位置補正方法において、前記テーブルを外力によって一定速度で移動させ、前記各可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、前記信号処理部に設けたEEPROMに記憶させるようにしたものである。
請求項6に記載の発明は、前記リニアモータの可動子を外力によって一定速度で移動させる駆動源を、前記リニアスライダ内の補正対象以外のリニアモータとしたものである。
請求項7に記載の発明は、磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記リニアモータを少なくとも2軸設け前記可動子をテーブルに連結したガントリ構成のリニアスライダと、前記リニアモータの固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備えたリニアシステムにおいて、前記信号処理部は、前記テーブルを外力によって一定速度で移動させ、前記各可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、この絶対位置が記憶されるEEPROMを設けられているものである。
請求項8に記載の発明は、前記可動子を外力によって一定速度で移動させる駆動源を、前記リニアスライダ内の補正対象以外のいずれかのリニアモータとするものである。
請求項1に記載の発明は、磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記絶対値エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備え、前記リニアモータの初期磁極検出動作により磁極位置を検出しこれを補正するリニアシステムの磁極位置補正方法において、前記初期磁極検出動作によって検出した位相信号を取得した後、前記可動子を外力によって一定速度で移動させ、前記可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、前記信号処理部に設けたEEPROMに記憶させるようにしたものである。
請求項2に記載の発明は、磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記絶対値エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備えたリニアシステムの磁極位置補正方法において、前記可動子を外力によって一定速度で移動させ、前記可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、前記信号処理部に設けたEEPROMに記憶させるようにしたものである。
請求項3に記載の発明は、磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記前記リニアモータの固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記絶対値エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備え、前記リニアモータの初期磁極検出動作により磁極位置を検出し補正するリニアシステムにおいて、前記信号処理部は、前記磁極検出動作によって検出した位相信号を取得した後、前記可動子を外力によって一定速度で移動させ、前記可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、この補正値を記憶させるEEPROMが設けられているものである。
請求項4に記載の発明は、磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記前記リニアモータの固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記絶対値エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備えたリニアシステムにおいて、前記信号処理部は、前記可動子を外力によって一定速度で移動させ、前記可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、この補正値を記憶させるEEPROMが設けられているものである。
請求項5に記載の発明は、磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータを少なくとも2軸設け、前記複数の可動子をテーブルに並列に連結したガントリ構成のリニアスライダと、前記リニアモータの固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備えたリニアシステムの磁極位置補正方法において、前記テーブルを外力によって一定速度で移動させ、前記各可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、前記信号処理部に設けたEEPROMに記憶させるようにしたものである。
請求項6に記載の発明は、前記リニアモータの可動子を外力によって一定速度で移動させる駆動源を、前記リニアスライダ内の補正対象以外のリニアモータとしたものである。
請求項7に記載の発明は、磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記リニアモータを少なくとも2軸設け前記可動子をテーブルに連結したガントリ構成のリニアスライダと、前記リニアモータの固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備えたリニアシステムにおいて、前記信号処理部は、前記テーブルを外力によって一定速度で移動させ、前記各可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、この絶対位置が記憶されるEEPROMを設けられているものである。
請求項8に記載の発明は、前記可動子を外力によって一定速度で移動させる駆動源を、前記リニアスライダ内の補正対象以外のいずれかのリニアモータとするものである。
本発明によれば、同構成のリニアシステムにおいて、磁極検出での検出精度のバラツキをなくすことができ、リニアシステムを組み込んだマシン間の性能差を抑えることが出来る。また、ガントリ構造などの磁極検出誤差が出やすく、モータの性能差があることを好まれないリニアシステムで効果が大きい上に、2つ以上のモータが直結しているために、外力での駆動も行ないやすく、磁極検出のシーケンス内に本発明の機能も組み込めば自動的に、位相誤差を補正することが出来るものである。
以下、本発明の方法の具体的実施例について、図に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施例1を示すリニアシステムの構成図である。図において、1はリニアモータ、2は絶対値エンコーダ、3はリニアモータ1を制御する制御部である。リニアモータ1は、固定子1a、可動子1b、永久磁石1a‘からなり、絶対値エンコーダ2は、絶対値リニアスケール2a、2bはリニアスケール1の位置を検出する検出ヘッド、2cはエンコーダの信号処理部である。
つぎに、本実施例の動作について説明する。
(1)先ず、リニアモータ1に動作指令を与えて可動子1bを動作させ、この磁極検出動作により位相情報を検出する。
(2)動作指令を解除し、リニアモータ1の可動子1bを外力により一定速度で移動させる。この動作によって発生するモータの誘起電圧波形又はモータ電流波形を検出する。なお、一定速度は、他のリニアモータに連結することで得ることができる。
(3)図2に示すように、U相の誘起電圧波形4(又はU相のモータ電流波形)の立ち上がり位置を検出し、この位置を絶対位置として絶対値エンコーダ2の信号処理部2cのEEPROMの位相情報へ記録する。そうすると、リニアモータ1の実際の磁極位置と絶対値エンコーダ2との位置のずれが補正できる。
つぎに、本実施例の動作について説明する。
(1)先ず、リニアモータ1に動作指令を与えて可動子1bを動作させ、この磁極検出動作により位相情報を検出する。
(2)動作指令を解除し、リニアモータ1の可動子1bを外力により一定速度で移動させる。この動作によって発生するモータの誘起電圧波形又はモータ電流波形を検出する。なお、一定速度は、他のリニアモータに連結することで得ることができる。
(3)図2に示すように、U相の誘起電圧波形4(又はU相のモータ電流波形)の立ち上がり位置を検出し、この位置を絶対位置として絶対値エンコーダ2の信号処理部2cのEEPROMの位相情報へ記録する。そうすると、リニアモータ1の実際の磁極位置と絶対値エンコーダ2との位置のずれが補正できる。
本実施例は、実施例1と同じ構成のリニアモータを用いたもので、磁極検出動作を行わずに、リニアモータ1の可動子1bを外力により一定速度で移動させるものである。
このため、予め磁極検出動作により位相情報を取り込み、信号処理部2cに設けたEEPROMの位相情報へ記録しておく。
つぎに、リニアモータ1の可動子1bを外力により一定速度で移動させ、実施例1と同様にモータの誘起電圧波形又はモータ電流波形を検出し、U相の誘起電圧波形又はU相のモータ電流波形の立ち上がり位置を、信号処理部2cのEEPROMの位相情報へ記録する。つぎに、位相情報を取り出し、絶対値エンコーダ2との絶対位置とのずれを補正し、この補正値を信号処理部2cのEEPROMの補正値情報へ記録する。
したがって、本実施例によれば、モータ起動時に磁極検出動作をする工程を省略することができる。
このため、予め磁極検出動作により位相情報を取り込み、信号処理部2cに設けたEEPROMの位相情報へ記録しておく。
つぎに、リニアモータ1の可動子1bを外力により一定速度で移動させ、実施例1と同様にモータの誘起電圧波形又はモータ電流波形を検出し、U相の誘起電圧波形又はU相のモータ電流波形の立ち上がり位置を、信号処理部2cのEEPROMの位相情報へ記録する。つぎに、位相情報を取り出し、絶対値エンコーダ2との絶対位置とのずれを補正し、この補正値を信号処理部2cのEEPROMの補正値情報へ記録する。
したがって、本実施例によれば、モータ起動時に磁極検出動作をする工程を省略することができる。
図3は、本発明の実施例3を示すリニアシステムの構成図である。本実施例は、リニアモータを3軸備え,可動子を並列に連結したガントリ構成のリニアスライダである。
図において、6はテーブル、7、8、9はリニアモータ、である。リニアモータ7、8、9は、固定子7a、8a、9aおよび可動子7b、8b、9bからなる。可動子7b、8b、9bは、テーブル6によって並列に固定されている。実施例2と同様に、各軸とも予め磁極検出動作により位相情報を取り込み、信号処理部2cに設けたEEPROMの位相情報へ記録しておく。つぎに、リニアモータ7を一定速度で移動させテーブル6に固定した可動子8b、9bの2軸の磁極位置を実施例1,2と同様に補正する。その後、リニアモータ8または9を一定速度で移動させ,リニアモータ7の補正をする。
図において、6はテーブル、7、8、9はリニアモータ、である。リニアモータ7、8、9は、固定子7a、8a、9aおよび可動子7b、8b、9bからなる。可動子7b、8b、9bは、テーブル6によって並列に固定されている。実施例2と同様に、各軸とも予め磁極検出動作により位相情報を取り込み、信号処理部2cに設けたEEPROMの位相情報へ記録しておく。つぎに、リニアモータ7を一定速度で移動させテーブル6に固定した可動子8b、9bの2軸の磁極位置を実施例1,2と同様に補正する。その後、リニアモータ8または9を一定速度で移動させ,リニアモータ7の補正をする。
モータを外力により駆動させ、生の誘起電圧波形又はモータ電流波形をモニタし磁極情報を得ることができるため、磁極情報を検出するセンサ取り付け情報の設計・製作ミスがあった場合のチェック及び補正を行なうことができる。
1、7、8、9 リニアモータ
1a 7a、8a、9a、固定子
1b、7b、8b、9b 可動子
2 絶対値エンコーダ
2a 絶対値リニアスケール
2b 検出ヘッド
2c 信号処理部
3 制御部
4 電圧波形
5 電気的ゼロ点
6 テーブル
1a 7a、8a、9a、固定子
1b、7b、8b、9b 可動子
2 絶対値エンコーダ
2a 絶対値リニアスケール
2b 検出ヘッド
2c 信号処理部
3 制御部
4 電圧波形
5 電気的ゼロ点
6 テーブル
Claims (8)
- 磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記絶対値エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備え、前記リニアモータの初期磁極検出動作により磁極位置を検出しこれを補正するリニアシステムの磁極位置補正方法において、
前記初期磁極検出動作によって検出した位相信号を取得した後、前記可動子を外力によって一定速度で移動させ、前記可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、前記信号処理部に設けたEEPROMに記憶させることを特徴とするリニアシステムの磁極位置補正方法。 - 磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記絶対値エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備えたリニアシステムの磁極位置補正方法において、
前記可動子を外力によって一定速度で移動させ、前記可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、前記信号処理部に設けたEEPROMに記憶させることを特徴とするリニアシステムの磁極位置補正方法。 - 磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記前記リニアモータの固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記絶対値エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備え、前記リニアモータの初期磁極検出動作により磁極位置を検出し補正するリニアシステムにおいて、
前記信号処理部は、前記磁極検出動作によって検出した位相信号を取得した後、前記可動子を外力によって一定速度で移動させ、前記可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、この補正値を記憶させるEEPROMが設けられていることを特徴とするリニアシステム。 - 磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記前記リニアモータの固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記絶対値エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備えたリニアシステムにおいて、
前記信号処理部は、前記可動子を外力によって一定速度で移動させ、前記可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、この補正値を記憶させるEEPROMが設けられていることを特徴とするリニアシステム。 - 磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータを少なくとも2軸設け、前記複数の可動子をテーブルに並列に連結したガントリ構成のリニアスライダと、前記リニアモータの固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備えたリニアシステムの磁極位置補正方法において、
前記テーブルを外力によって一定速度で移動させ、前記各可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、前記信号処理部に設けたEEPROMに記憶させることを特徴とするリニアシステムの磁極位置補正方法。 - 前記可動子を外力によって一定速度で移動させる駆動源を、前記リニアスライダ内の補正対象以外のいずれかのリニアモータとすることを特徴とする請求項5記載のリニアシステムの磁極位置補正方法。
- 磁石を有する固定子と駆動コイルを有する可動子からなるリニアモータと、前記リニアモータを少なくとも2軸設け前記可動子をテーブルに連結したガントリ構成のリニアスライダと、前記リニアモータの固定子側に付設した絶対値リニアスケールと、前記可動子側に固定され前記リニアスケールの値を読みとって位置を検出する検出ヘッドと前記検出した信号を処理する信号処理部とを有する絶対値エンコーダと、前記エンコーダの信号を入力し前記リニアモータを駆動させるモータ制御部とを備えたリニアシステムにおいて、
前記信号処理部は、前記テーブルを外力によって一定速度で移動させ、前記各可動子のコイルに誘起した誘起電圧波形又はモータ電流波形から前記リニアモータの電気角がゼロになる位置を検出し、この位置を前記リニアモータの磁極位置として前記絶対値エンコーダの位置データを補正し、この絶対位置が記憶されるEEPROMを設けられていることを特徴とするリニアシステム。 - 前記可動子を外力によって一定速度で移動させる駆動源を、前記リニアスライダ内の補正対象以外のいずれかのリニアモータとすることを特徴とする請求項7記載のリニアシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007009998A JP2008178237A (ja) | 2007-01-19 | 2007-01-19 | リニアシステムの磁極位置補正方法およびこの補正方法を用いたリニアシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007009998A JP2008178237A (ja) | 2007-01-19 | 2007-01-19 | リニアシステムの磁極位置補正方法およびこの補正方法を用いたリニアシステム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008178237A true JP2008178237A (ja) | 2008-07-31 |
Family
ID=39704827
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007009998A Pending JP2008178237A (ja) | 2007-01-19 | 2007-01-19 | リニアシステムの磁極位置補正方法およびこの補正方法を用いたリニアシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008178237A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013077402A1 (ja) * | 2011-11-25 | 2013-05-30 | Thk株式会社 | リニアモータ制御装置、及びリニアモータの制御方法 |
DE102013001295A1 (de) | 2012-01-26 | 2013-08-01 | Okuma Corp. | Verfahren zur Steuerung eines Linearmotors |
JP2019062599A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | キヤノン株式会社 | 搬送システム及び加工システム |
CN109738799A (zh) * | 2019-01-22 | 2019-05-10 | 浙江众邦机电科技有限公司 | 一种电机磁极相位角的检测方法、装置及设备 |
KR20220088009A (ko) * | 2020-12-18 | 2022-06-27 | 현대엘리베이터주식회사 | 선형전동기의 자기각 오차 보정 장치 및 방법 |
-
2007
- 2007-01-19 JP JP2007009998A patent/JP2008178237A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013077402A1 (ja) * | 2011-11-25 | 2013-05-30 | Thk株式会社 | リニアモータ制御装置、及びリニアモータの制御方法 |
JP2013115878A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Thk Co Ltd | リニアモータ制御装置、及び制御方法 |
DE102013001295A1 (de) | 2012-01-26 | 2013-08-01 | Okuma Corp. | Verfahren zur Steuerung eines Linearmotors |
US9024548B2 (en) | 2012-01-26 | 2015-05-05 | Okuma Corporation | Method of controlling linear motor |
DE102013001295B4 (de) | 2012-01-26 | 2022-03-17 | Okuma Corp. | Verfahren zur Steuerung eines Linearmotors |
JP2019062599A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | キヤノン株式会社 | 搬送システム及び加工システム |
CN109738799A (zh) * | 2019-01-22 | 2019-05-10 | 浙江众邦机电科技有限公司 | 一种电机磁极相位角的检测方法、装置及设备 |
CN109738799B (zh) * | 2019-01-22 | 2021-09-07 | 浙江众邦机电科技有限公司 | 一种电机磁极相位角的检测方法、装置及设备 |
KR20220088009A (ko) * | 2020-12-18 | 2022-06-27 | 현대엘리베이터주식회사 | 선형전동기의 자기각 오차 보정 장치 및 방법 |
KR102494056B1 (ko) | 2020-12-18 | 2023-02-06 | 현대엘리베이터주식회사 | 선형전동기의 자기각 오차 보정 장치 및 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5824660B2 (ja) | 位相ずれ検出装置、モータ駆動装置、およびブラシレスモータ、並びに位相ずれ検出方法 | |
JP6438176B1 (ja) | Dcモータの制御装置 | |
JP6291149B1 (ja) | ブラシレスdcサーボモータの制御装置 | |
US11448526B2 (en) | Position estimation method, position estimation device, and motor module for estimating position of rotor in motor | |
JP6578499B1 (ja) | 汎用型ロータリーエンコーダ及びそれを用いたサーボモータ | |
JP2008178237A (ja) | リニアシステムの磁極位置補正方法およびこの補正方法を用いたリニアシステム | |
JP6339307B1 (ja) | 直流モータの制御装置 | |
US10364103B2 (en) | Conveyor systems and methods of controlling moving stage | |
EP2412086B1 (en) | Motor for linear and rotary movement | |
US10389283B2 (en) | Motor drive apparatus for driving stepping motor and control method therefor | |
JPH10229691A (ja) | モータの速度制御装置 | |
JP6412281B1 (ja) | ブラシレスdcサーボモータの制御装置 | |
WO2016208474A1 (ja) | モータ | |
JP6844617B2 (ja) | モータモジュール、モータステップ動作制御システム、およびモータ制御装置 | |
KR101655297B1 (ko) | 리니어 홀 센서 위치보정장치 및 그 위치보정방법 | |
JP5529637B2 (ja) | リニアモータの位置検出システム | |
JP2009247105A (ja) | シャフト型リニアモータの位置検出装置 | |
JP5471473B2 (ja) | サーボシステム | |
KR102196028B1 (ko) | Bldc 전동기와, 상기 bldc 전동기 내의 홀 센서들의 부착 위치 정보를 제공하는 장치 및 방법 | |
US10326387B2 (en) | Phase detecting device, motor system, image forming apparatus, conveyance device, and sensor level obtaining method | |
JP2007312535A (ja) | 同期型電動機の駆動装置及び同期型電動機の駆動装置の製造装置 | |
JP2006033903A (ja) | モータ制御装置 | |
JPH07303390A (ja) | サーボモータシステム | |
JP5875966B2 (ja) | 永久磁石モータシステム及び永久磁石モータの磁極位置合わせ方法 | |
JP2006203961A (ja) | Pm型モータの制御方法 |