JP2008176130A - 表示装置、及び、検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】コストの増大を招くことなくパネル上の配線不良の有無を確実に検査することができ、しかも、製造歩留まりの低下を抑制することが可能な表示装置、及び、この表示装置に適用される検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の画素によって構成されたアクティブエリアにおいて、各画素に対して駆動信号を供給する信号配線を備え、アクティブエリアの外側に位置する外周部において、駆動源が接続されるとともに信号配線の一端にそれぞれ接続された出力パッドと、出力パッドのそれぞれと接続された検査パッドと、を備えた表示装置に適用される検査装置１００であって、検査信号を生成する信号生成部１１０と、複数の検査パッドに対して同時に接触して信号生成部１１０によって生成された検査信号を入力する検査端子１２０と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】 図６Ａ

Description

この発明は、配線不良を検査するための検査部を備えた表示装置、及び、この表示装置の検査部を介して配線不良を検査する検査装置に関する。

液晶表示装置などの表示装置は、マトリクス状の画素によって構成されたアクティブエリアを備えている。このアクティブエリアは、画素の行方向に沿って延在する複数のゲート線、画素の列方向に沿って延在する複数のソース線、これらゲート線とソース線との交差部付近に配置されたスイッチング素子、このスイッチング素子に接続された画素電極などを備えている。これらの各ゲート線及び各ソース線は、アクティブエリア外に引き出されている。

近年では、高精細化による画素数の増加及び狭額縁化の要求に伴い、アクティブエリア及びアクティブエリアの外周において、ゲート線やソース線などの各種配線は、細い線幅でしかも僅かなスペースで隣接するように配置する必要がある。しかしながら、各種配線の線幅及び配線間ギャップを狭めることには、パターン形成精度や製造歩留まりの制約から限界がある。つまり、配線間でのショートや各配線の断線などといった配線不良の発生を抑制しつつ、限られた領域に高密度で配線を形成することは極めて困難である。

このため、駆動ＩＣチップやフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）基板などの駆動源をパネルに実装する以前の検査工程において、配線不良の有無を確実にすることが要求される。以下に、２種類の検査方式について説明する。

（１）第１の検査方式は、例えば、「赤表示用ソース線」、「緑表示用ソース線」、「青表示用ソース線」、「偶数番ゲート線」、「奇数番ゲート線」といった束ねた配線群ごとの点灯表示検査を一括で行う検査配線を別途レイアウトし、その検査配線にスイッチング素子を介して検査信号を入力してアクティブエリアの各画素を表示させ、表示欠陥の有無によって配線不良の有無を検査するものである（例えば、特許文献１参照）。

（２）第２の検査方式は、駆動源が接続される全出力パッドに、対応するプローブを接続し、プローブから検査信号を入力してアクティブエリアの各画素を表示させ、表示欠陥の有無によって配線不良の有無を検査するものである。
特開２００６−０４７１９７号公報

近年、駆動ＩＣチップなどの駆動源にかかるコストを低減するために、特に、駆動ＩＣチップのサイズが縮小される傾向にある。この時、上述した検査方式を適用する際に以下のような問題が生じる。

すなわち、第１の検査方式については、アクティブエリア内のソース線及びゲート線と駆動ＩＣチップの出力パッドとの間の配線不良も検査するため、駆動ＩＣチップ下に検査部として検査配線及びスイッチング素子を配置する必要がある。しかしながら、駆動ＩＣチップの縮小により、検査部を配置するスペースも縮小し、複雑な回路構成が配置しにくくなっている。駆動ＩＣチップのサイズによっては、検査部のすべてを駆動ＩＣチップの下に配置しきれない場合もある。

第２の検査方式については、駆動ＩＣチップの縮小により、出力パッドの配置ピッチも縮小（例えば２０μｍ程度のピッチ）するため、このような狭ピッチのプローブを作成することはコストの増大を招く。また、検査工程において、プローブをこの精度で合せることも困難である。

この発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、コストの増大を招くことなくパネル上の配線不良の有無を確実に検査することができ、しかも、製造歩留まりの低下を抑制することが可能な表示装置、及び、この表示装置に適用される検査装置を提供することにある。

この発明の第１の態様による表示装置は、
複数の画素によって構成されたアクティブエリアを備え、各画素が複数色の副画素を備え、各色の組み合わせによってカラー表示を行う表示装置であって、
前記アクティブエリアにおいて、副画素の行方向に沿って延在する複数のゲート線、及び、副画素の列方向に沿って延在する複数のソース線と、
前記アクティブエリアの外側に位置する外周部に配置され、駆動源が接続されるとともに前記ソース線のそれぞれに接続された出力パッドと、
駆動源が接続された際に駆動源と重なる領域に配置され、前記出力パッドのそれぞれと接続された検査パッドと、を備え、
前記検査パッドのうち、同一色の副画素に対応した前記検査パッドは、同一直線上に並んで配置されたことを特徴とする。

この発明の第２の態様による表示装置は、
複数の画素によって構成されたアクティブエリアを備えた表示装置であって、
前記アクティブエリアにおいて、各画素に対して駆動信号を供給する信号配線と、
前記アクティブエリアの外側に位置する外周部において、駆動源が接続されるとともに前記信号配線の一端にそれぞれ接続された出力パッドと、第１検査部及び第２検査部と、を備え、
前記第１検査部は、駆動源が接続された際に駆動源と重なる領域に配置され、前記出力パッドのそれぞれと接続された検査パッドを備え、
前記第２検査部は、前記信号配線の他端にそれぞれ接続されたスイッチング素子と、前記スイッチング素子のオン・オフを制御する制御信号を供給するための制御配線と、隣接する前記信号配線のうちの一方に対して前記スイッチング素子を介して検査信号を供給するための第１検査配線と、隣接する前記信号配線のうちの他方に対して前記スイッチング素子を介して検査信号を供給するための第２検査配線と、を備えたことを特徴とする。

この発明の第３の態様による検査装置は、
複数の画素によって構成されたアクティブエリアにおいて、各画素に対して駆動信号を供給する信号配線を備え、アクティブエリアの外側に位置する外周部において、駆動源が接続されるとともに前記信号配線の一端にそれぞれ接続された出力パッドと、前記出力パッドのそれぞれと接続された検査パッドと、を備えた表示装置に適用される検査装置であって、
検査信号を生成する信号生成部と、
複数の前記検査パッドに対して同時に接触して、前記信号生成部によって生成された検査信号を入力する検査端子と、
を備えたことを特徴とする。

この発明によれば、コストの増大を招くことなくパネル上の配線不良の有無を確実に検査することができ、しかも、製造歩留まりの低下を抑制することが可能な表示装置、及び、この表示装置に適用される検査装置を提供することができる。

以下、この発明の一実施の形態に係る表示装置、及び、表示装置の検査装置について図面を参照して説明する。ここでは、まず、表示装置の一例として液晶表示装置、特に駆動源として駆動ＩＣチップが実装された液晶表示装置の構成について説明する。

図１Ａには、アクティブエリア６のゲート線に駆動信号を供給するゲートドライバ用の駆動ＩＣチップ１１Ａ及びソース線に駆動信号を供給するソースドライバ用の駆動ＩＣチップ１１Ｂが液晶表示パネル１に実装された構成例の液晶表示装置を図示している。

図１Ｂには、アクティブエリア６の奇数番ゲート線に駆動信号を供給する第１ゲート線駆動部１１Ｇ１、偶数番ゲート線に駆動信号を供給する第２ゲート線駆動部１１Ｇ２、及び、ソース線に駆動信号を供給するソース線駆動部１１Ｓを有する単一の駆動ＩＣチップ１１が液晶表示パネル１に実装された構成例の液晶表示装置を図示している。

図１Ｃには、アクティブエリア６を２分割したときの一方のエリアのゲート線に駆動信号を供給する第１ゲート線駆動部１１Ｇ１、他方のエリアのゲート線に駆動信号を供給する第２ゲート線駆動部１１Ｇ２、及び、ソース線に駆動信号を供給するソース線駆動部１１Ｓを有する単一の駆動ＩＣチップ１１が液晶表示パネル１に実装された構成例の液晶表示装置を図示している。

図１Ｄには、アクティブエリア６のゲート線に駆動信号を供給するゲート線駆動部１１Ｇ、及び、ソース線に駆動信号を供給するソース線駆動部１１Ｓを有する単一の駆動ＩＣチップ１１が液晶表示パネル１に実装された構成例の液晶表示装置を図示している。

以下、特に図１Ｂに示した構成の液晶表示装置を例に、より詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１Ｂ及び図２に示すように、第１実施形態に係る液晶表示装置は、略矩形平板状の液晶表示パネル１を備えている。この液晶表示パネル１は、一対の基板すなわちアレイ基板３及び対向基板４と、これら一対の基板の間に光変調層として保持された液晶層５と、によって構成されている。この液晶表示パネル１は、画像を表示する矩形状のアクティブエリア６を備えている。このアクティブエリア６は、マトリクス状に配置された複数の画素ＰＸによって構成されている。

アレイ基板３は、例えばガラス基板等の光透過性を有する絶縁基板３Ａを用いて形成されている。このアレイ基板３は、アクティブエリア６において、信号配線として、画素ＰＸの行方向に沿って延在する複数のゲート線Ｇ（１、２、３、…、ｍ）、及び、画素ＰＸの列方向に沿って延在する複数のソース線Ｓ（１、２、３、…、ｎ）を備えている。また、アレイ基板３は、これらゲート線Ｇとソース線Ｓとの交差部を含む領域において画素ＰＸ毎に配置されたスイッチング素子７、このスイッチング素子７に接続された画素電極８などを備えている。

スイッチング素子７は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）などで構成されている。このスイッチング素子７のゲート電極７Ｇは、対応するゲート線Ｇに電気的に接続されている（あるいはゲート線と一体に形成されている）。スイッチング素子７のドレイン電極７Ｄは、対応するソース線Ｓに電気的に接続されている（あるいはソース線と一体に形成されている）。スイッチング素子７のソース電極７Ｓは、対応する画素ＰＸの画素電極８に電気的に接続されている。

対向基板４は、例えばガラス基板等の光透過性を有する絶縁基板４Ａを用いて形成されている。この対向基板４は、アクティブエリア６において、複数の画素ＰＸに共通の対向電極９などを備えている。これらのアレイ基板３及び対向基板４の表面は、配向膜ＡＬ１及びＡＬ２によってそれぞれ覆われており、画素電極８と対向電極９とを対向させた状態で配設され、これらの間にギャップを形成する。液晶層５は、アレイ基板３と対向基板４とのギャップに封止された液晶組成物によって形成されている。

カラー表示タイプの液晶表示装置では、液晶表示パネル１は、一単位画素が複数色の副画素を備えており、各色の組み合わせによってから表示を行う。つまり、上述した画素ＰＸがそれぞれ副画素に対応する。たとえば、液晶表示パネル１は、複数種類の色画素として、赤（Ｒ）を表示する赤色の副画素、緑（Ｇ）を表示する緑色の副画素、青（Ｂ）を表示する青色の副画素を有している。この赤色画素は、赤色の主波長の光を透過する赤色カラーフィルタを備えている。緑色画素は、緑色の主波長の光を透過する緑色カラーフィルタを備えている。青色画素は、青色の主波長の光を透過する青色カラーフィルタを備えている。これらのカラーフィルタは、着色樹脂などによって形成され、アレイ基板３または対向基板４の主面に配置される。

液晶表示パネル１は、アクティブエリア６の外側に位置する外周部１０に配置された単一の駆動ＩＣチップ１１を備えている。図１Ｂに示した例では、駆動ＩＣチップ１１は、対向基板４の端部４Ａより外方に延在したアレイ基板３の延在部１０Ａ上に配置されている。この駆動ＩＣチップ１１は、各ソース線Ｓに駆動信号（映像信号）を供給するソース線駆動部１１Ｓ、奇数番ゲート線Ｇ（１、３、５、…）のそれぞれに対して駆動信号（走査信号）を出力する第１ゲート線駆動部１１Ｇ１、及び、偶数番ゲート線Ｇ（２、４、６、…）のそれぞれに対して駆動信号（走査信号）を出力する第２ゲート線駆動部１１Ｇ２を有している。これらの第１ゲート線駆動部１１Ｇ１及び第２ゲート線駆動部１１Ｇ２は、ソース線駆動部１１Ｓを挟んだ両側にそれぞれ配置されている。

第１ゲート線駆動部１１Ｇ１は、外周部１０の一端側１０Ｂから引き出された奇数番ゲート線Ｇ（１、３、５、…）と電気的に接続されている。つまり、第１ゲート線駆動部１１Ｇ１から出力された駆動信号は、対応する奇数番ゲート線Ｇ（１、３、５、…）に供給され、奇数行目の画素ＰＸをオン・オフさせる。

第２ゲート線駆動部１１Ｇ２は、外周部１０の他端側１０Ｃから引き出された偶数番ゲート線Ｇ（２、４、６、…）と電気的に接続されている。つまり、第２ゲート線駆動部１１Ｇ２から出力された駆動信号は、対応する偶数番ゲート線Ｇ（２、４、６、…）に供給され、偶数行目の画素ＰＸをオン・オフさせる。すなわち、各画素ＰＸに含まれるスイッチング素子７は、対応するゲート線Ｇから供給された駆動信号に基づいてオン・オフ制御される。

ソース線駆動部１１Ｓは、延在部１０Ａに向かって引き出された各ソース線Ｓ（１、２、３、…）の一端と電気的に接続されている。つまり、ソース線駆動部１１Ｓから出力された駆動信号は、対応する各ソース線Ｓ（１、２、３、…）に供給される。各列の各画素ＰＸに含まれるスイッチング素子７は、オンしたタイミングで対応するソース線Ｓから供給された映像信号を画素電極８に書き込む。

アレイ基板３は、図３に示すように、外周部１０において、駆動ＩＣチップ１１のバンプが接続される複数のパッドを備えている。すなわち、パッドは、駆動ＩＣチップ１１の入力用バンプとそれぞれ接続される複数の入力パッドＰＩ、及び、駆動ＩＣチップ１１の出力用バンプとそれぞれ接続される複数の出力パッドＰＯを含んでいる。

特に、図３に示した例では、入力部２０は、一直線上に並んだ複数の入力パッドＰＩによって構成されている。ソース信号出力部２２は、ソース線Ｓのそれぞれに接続された出力パッドＰＯによって構成され、奇数番のソース線Ｓに対応した出力パッドＰＯ及び偶数番のソース線Ｓに対応した出力パッドＰＯがそれぞれ一直線上に並ぶように２列に配置されている。

第１ゲート信号出力部２３は、奇数番ゲート線Ｇのそれぞれに接続された複数の出力パッドＰＯによって構成されている。第２ゲート信号出力部２４は、偶数番ゲート線Ｇのそれぞれに接続された複数の出力パッドＰＯによって構成されている。これらの第１ゲート信号出力部２３及び第２ゲート信号出力部２４においては、隣接する出力パッドＰＯが同一直線上に並ばないように２列に配置されている。

アレイ基板３は、図４に示すように、外周部１０における駆動ＩＣチップ１１が接続された際に駆動ＩＣチップ１１と重なる領域において、検査部３０を備えている。この検査部３０は、ソース検査部３１、第１ゲート検査部３２、及び、第２ゲート検査部３３を備えている。各検査部は、出力パッドＰＯのそれぞれと接続された複数の検査パッドＰＣを備えている。

カラー表示タイプの液晶表示装置において、ソース検査部３１では、同一色の副画素に対応した検査パッドＰＣが同一直線上に並んで配置されている。すなわち、ソース検査部３１は、ソース信号出力部２２の出力パッドＰＯにそれぞれ接続された検査パッドＰＣによって構成されている。一単位画素が赤色副画素、緑色副画素、及び、青色副画素を備えたカラー表示タイプの液晶表示装置においては、ソース検査部３１は、赤色副画素に対応した複数の検査パッドＰＣがＸ方向に沿って一直線上に並んだ第１検査パッド群３１Ｒと、緑色副画素に対応した複数の検査パッドＰＣがＸ方向に沿って一直線上に並んだ第２検査パッド群３１Ｇと、青色副画素に対応した複数の検査パッドＰＣがＸ方向に沿って一直線上に並んだ第３検査パッド群３１Ｂと、を備えている。つまり、各検査パッド群３１（Ｒ、Ｇ、Ｂ）はＹ方向に並んでおり、しかも、隣接する検査パッドＰＣは同一直線上に並ばないように配置されている。

第１ゲート検査部３２は、第１ゲート信号出力部２３の出力パッドＰＯにそれぞれ接続された検査パッドＰＣによって構成されている。第２ゲート検査部３３は、第２ゲート信号出力部２４の出力パッドＰＯにそれぞれ接続された検査パッドＰＣによって構成されている。これらの第１ゲート検査部３２及び第２ゲート検査部３３においては、隣接する検査パッドＰＣが同一直線上に並ばないように２列に配置されている。

出力パッドＰＯと検査パッドＰＣとは、引出線ＷＰによって接続されている。第１検査パッド群３１Ｒの隣接する検査パッドＰＣ間には、２本の引出線（第２検査パッド群３１Ｇの検査パッドと接続される引出線及び第３検査パッド群３１Ｂの検査パッドと接続される引出線）ＷＰが配置されている。第２検査パッド群３１Ｇの隣接する検査パッドＰＣ間には、１本の引出線（第３検査パッド群３１Ｂの検査パッドと接続される引出線）ＷＰが配置されている。

これらの検査パッドＰＣと引出線ＷＰとは、異なる層の導電層を用いて形成されている。例えば、図５に示すように、引出線ＷＰは、アレイ基板３を構成する絶縁基板３Ａ上に配置された導電層（例えばゲート線Ｇと同一層）によって形成されている。この引出線ＷＰは、絶縁層ＩＬによって覆われている。出力パッドＰＯ及び検査パッドＰＣは、絶縁層ＩＬ上に配置された導電層（例えば画素電極８と同一層）によって形成され、絶縁層ＩＬに形成されたコンタクトホールＣＨを介して引出線ＷＰと接続されている。したがって、アレイ基板３の表面に露出しているのは出力パッドＰＯ及び検査パッドＰＣであり、引出線ＷＰは露出していない。

上述したような構成の第１実施形態に係る液晶表示装置によれば、検査パッドＰＣは、駆動ＩＣチップ１１が配置される領域内のデッドスペースを利用して配置されているため、検査パッドＰＣを配置するための基板サイズの拡大を抑制することができる。また、同一色の副画素に対応した検査パッドＰＣが同一直線上に並んで配置されているため、スイッチング素子などを介することなくこれらの検査パッドＰＣに一括して検査信号を入力することが可能となる。このため、駆動ＩＣチップ１１のサイズ縮小に伴う検査部用のスペースが縮小したとしても、スイッチング素子を配置する必要がなくなる分、検査部全体を駆動ＩＣチップ１１が配置される領域に配置可能となる。また、検査パッドＰＣ間の引出線ＷＰは、アレイ基板３の表面に露出していないため、引出線ＷＰを介して検査信号が入力されることもない。このような構成により、アクティブエリア６内の隣接するゲート線Ｇ間及び隣接するソース線Ｓ間でのショートや、アクティブエリア６から出力パッドＰＯまで引き出された各ゲート線Ｇ及び各ソース線Ｓの断線を容易に且つ確実に検査することが可能となる。

（検査装置−第１構成例）
次に、このような第１実施形態に係る液晶表示装置に適用可能な検査装置の第１構成例について説明する。すなわち、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、検査装置１００は、各種の検査信号を生成する信号生成部１１０と、信号生成部１１０によって生成された検査信号を液晶表示パネルの検査パッドから入力する検査端子部１２０と、を備えている。この検査端子部１２０は、液晶表示パネル１における各検査部の寸法及び配置位置に対応した検査端子を備えている。

すなわち、検査端子部１２０は、ソース検査部３１の第１検査パッド群３１Ｒ、第２検査パッド群３１Ｇ、及び、第３検査パッド群３１Ｂにそれぞれ対応した第１ソース検査端子１２１Ｒ、第２ソース検査端子１２１Ｇ、及び、第３ソース検査端子１２１Ｂを備えている。これらの第１ソース検査端子１２１Ｒ、第２ソース検査端子１２１Ｇ、及び、第３ソース検査端子１２１Ｂは、互いに離間している。

また、検査端子部１２０は、第１ゲート検査部３２を構成する検査パッドＰＣの配置位置にそれぞれ対応した第１ゲート検査端子１２２Ａ乃至Ｄ、及び、第２ゲート検査部３３を構成する検査パッドＰＣの配置位置にそれぞれ対応した第２ゲート検査端子１２３Ａ乃至Ｄを備えている。これらの第１ゲート検査端子１２２Ａ乃至Ｄは互いに離間している。同様に、第２ゲート検査端子１２３Ａ乃至Ｄも互いに離間している。

これらの各検査端子は、複数の検査パッドＰＣが並んだ方向に一直線状に延在しており、導電性を有する部材例えば導電性ゴムによって形成されている。

このような構成によれば、図６Ｃに示すように、各検査端子は、複数の検査パッドＰＣに対して同時に接触可能であり、一括して複数の検査パッドＰＣに対して検査信号を入力することができる。なお、このような形状の検査端子を適用したとしても、検査パッド間の引出線は、アレイ基板の表面に露出していないため、引出線を介して検査信号が入力されることはない。

このような検査装置１００を適用した検査方法の一例を説明する。
まず、信号無印加時に暗表示となる液晶表示装置において、信号生成部１１０は、アクティブエリア６のスイッチング素子７をオンするような走査信号に対応した第１検査信号、及び、各画素が点灯状態（明状態）となるような映像信号に対応した第２検査信号を生成する。そして、所定のタイミングにおいて、第１ゲート検査端子１２２Ａ乃至Ｄを介して第１ゲート検査部３２の各検査パッドＰＣから第１検査信号を入力するのに続いて、第１ソース検査端子１２１Ｒを介して第１検査パッド群３１Ｒの各検査パッドＰＣから第２検査信号を入力する。これにより、アクティブエリア６における奇数ラインの赤色副画素が点灯可能となる。この表示状態（各画素の点灯状態）に応じて、各配線の断線及びショートの有無が検査される。

同様に、第１ゲート検査部３２の各検査パッドＰＣから第１検査信号を入力した状態で、第２ソース検査端子１２１Ｇを介して第２検査パッド群３１Ｇの各検査パッドＰＣから第２検査信号を入力し、その後、第３ソース検査端子１２１Ｂを介して第３検査パッド群３１Ｂの各検査パッドＰＣから第２検査信号を入力する。これにより、アクティブエリア６における奇数ラインの緑色副画素及び青色副画素が順次点灯可能となり、表示状態に応じて各配線の断線及びショートの有無が検査される。

続く所定のタイミングにおいては、第２ゲート検査端子１２３Ａ乃至Ｄを介して第２ゲート検査部３３の各検査パッドＰＣから第１検査信号を入力するのに続いて、第１ソース検査端子１２１Ｒを介して第１検査パッド群３１Ｒの各検査パッドＰＣから第２検査信号を入力し、その後、第２ソース検査端子１２１Ｇを介して第２検査パッド群３１Ｇの各検査パッドＰＣから第２検査信号を入力し、さらに、第３ソース検査端子１２１Ｂを介して第３検査パッド群３１Ｂの各検査パッドＰＣから第２検査信号を入力する。これにより、アクティブエリア６における偶数ラインの赤色副画素、緑色副画素、及び、青色副画素が順次点灯可能となり、それぞれの表示状態に応じて各配線の断線及びショートの有無が検査される。

（検査装置−第２構成例）
次に、このような第１実施形態に係る液晶表示装置に適用可能な検査装置の第２構成例について説明する。すなわち、図７Ａ及び図７Ｂに示すように、検査装置１００は、各種の検査信号を生成する信号生成部１１０と、信号生成部１１０によって生成された検査信号を検査パッドから入力する検査端子部１２０と、を備えている。この検査端子部１２０は、液晶表示パネル１における各検査部の寸法及び配置位置に対応した検査端子を備えている。

この第２構成例においては、検査端子部１２０は、ソース検査部３１の第１検査パッド群３１Ｒ、第２検査パッド群３１Ｇ、及び、第３検査パッド群３１Ｂに対応した単一のソース検査端子１２１を備えている。なお、この検査端子部１２０は、第１構成例と同様に、互いに離間した第１ゲート検査端子１２２Ａ乃至Ｄ、及び、互いに離間した第２ゲート検査端子１２３Ａ乃至Ｄも備えている。このような第２構成例においても、第１構成例において説明したような検査方法を適用可能である。

このような構成によれば、第１構成例と比較して検査パッドと検査端子との位置合わせが容易となる。つまり、第１構成例においては、図４に示したように、ソース検査部３１の各検査パッド群がＹ方向に近接して３列に並んでおり、また、各検査パッド群において、複数の検査パッドがＸ方向に並んでいる。このため、各検査パッド群に対応した検査端子のずれ、特にＹ方向のずれやθ方向のずれがないように正確に位置合わせする必要がある。これに対して、第２構成例においては、このようなＹ方向及びθ方向のずれの許容マージンが大きくなり、検査工程を簡素化することができる。

また、これに加えて、図７Ｃに示すように、ソース検査端子１２１は、ソース検査部３１におけるすべての検査パッドＰＣに対して同時に接触可能であり、一括してこれらの検査パッドＰＣに対して検査信号を入力することが可能である。このため、第１構成例よりも短時間で少なくとも各ソース線の断線の有無を検査することが可能となる。

以上のような第１構成例及び第２構成例で説明した検査装置を適用したことにより、コストの増大を招くことなく液晶表示パネル上の配線不良の有無を確実に検査することが可能となる。このため、配線不良を有する液晶表示パネルの後工程（駆動源の実装工程）への流出を阻止することができ、製造歩留まりの低下を抑制することが可能となる。

（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。この第２実施形態に係る液晶表示装置は、上述した第１実施形態の構成に加えて、さらに他の検査部を備えている。すなわち、図８に示すように、液晶表示パネル１は、アレイ基板３の延在部１０Ａに配置された単一の駆動ＩＣチップ１１を備えている。

この液晶表示パネル１は、駆動ＩＣチップ１１が配置される領域に、図４に示したように、ソース検査部３１、第１ゲート検査部３２、及び、第２ゲート検査部３３を備えた第１検査部３０を備えている。ソース検査部３１は、上述したように、ソース線Ｓの一端に出力パッドＰＯを介してそれぞれ接続された検査パッドＰＣを備えており、ソース線Ｓの一端側から検査信号の入力を可能としている。なお、第１ゲート検査部３２及び第２ゲート検査部３３は、第１実施形態と同一構成であり、詳細な説明を省略する。

また、この液晶表示パネル１は、外周部１０において、ソース線Ｓの他端側から検査信号の入力を可能とする第２検査部４０を備えている。すなわち、図９に示すように、第２検査部４０は、ソース線Ｓの他端にそれぞれ接続された複数のスイッチング素子４１と、これらのスイッチング素子４１のオン・オフを制御する制御信号を供給するための制御配線４２と、ソース線Ｓに対してそれぞれスイッチング素子４１を介して検査信号を供給するための複数の検査配線４３と、を備えている。

一単位画素が赤色副画素、緑色副画素、及び、青色副画素を備えたカラー表示タイプの液晶表示装置においては、検査配線４３は、赤色副画素に接続された各ソース線Ｓに検査信号を供給するための第１検査配線４３Ｒ、緑色副画素に接続された各ソース線Ｓに検査信号を供給するための第２検査配線４３Ｇ、及び、青色副画素に接続された各ソース線Ｓに検査信号を供給するための第３検査配線４３Ｂを備えている。つまり、隣接するソース線は、それぞれ別個の検査配線から検査信号が供給される。

各検査配線４３と各ソース線Ｓとの間のスイッチング素子４１は、例えば薄膜トランジスタによって構成されている。すなわち、各スイッチング素子４１のゲート電極４１Ｇは、共通の制御配線４２に電気的に接続されている。また、各スイッチング素子４１のソース電極４１Ｓは、対応する検査配線４３（Ｒ、Ｇ、Ｂ）に電気的に接続されている。さらに、各スイッチング素子４１のドレイン電極４１Ｄは、対応するソース線Ｓに電気的に接続されている。

制御配線４２、第１検査配線４３Ｒ、第２検査配線４３Ｇ、及び、第３検査配線４３Ｂは、それぞれアレイ基板３の延在部１０Ａまで引き出され、各種の検査信号を入力するためのパッド部５０に接続されている。パッド部５０は、制御配線４２の一端に接続された第１入力パッド５２、第１検査配線４３Ｒの一端に接続された第２入力パッド５３Ｒ、第２検査配線４３Ｇの一端に接続された第３入力パッド５３Ｇ、及び、第３検査配線４３Ｂの一端に接続された第４入力パッド５３Ｂを備えている。

上述したような構成の第２実施形態に係る液晶表示装置によれば、第１実施形態での効果に加え、第１検査部３０によりソース線Ｓの一端側（出力パッドＰＯからアクティブエリア６までの区間を含む）から検査信号の入力が可能であるとともに、第２検査部４０によりソース線Ｓの他端側から検査信号の入力が可能である。

（検査装置）
次に、このような第２実施形態に係る液晶表示装置に適用可能な検査装置の構成例について説明する。すなわち、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、検査装置１００は、各種の検査信号を生成する信号生成部１１０と、信号生成部１１０によって生成された検査信号を液晶表示パネルの検査パッドから入力する検査端子部１２０と、プローブ部１３０と、を備えている。

検査端子部１２０は、第２構成例と同一構造を採用することができ、液晶表示パネル１における各検査部の寸法及び配置位置に対応した検査端子を備えている。すなわち、検査端子部１２０は、ソース検査部３１の第１検査パッド群３１Ｒ、第２検査パッド群３１Ｇ、及び、第３検査パッド群３１Ｂに対応した単一のソース検査端子１２１を備えている。また、この検査端子部１２０は、互いに離間した第１ゲート検査端子１２２Ａ乃至Ｄ、及び、互いに離間した第２ゲート検査端子１２３Ａ乃至Ｄも備えている。

プローブ部１３０は、信号生成部１１０によって生成された検査信号を液晶表示パネルの入力パッドから入力する複数のプローブを備えている。すなわち、プローブ部１３０は、第１入力パッド５２と接続されて制御配線４２にスイッチング素子４１のオン・オフを制御する制御信号を入力する第１プローブ１３２、第２入力パッド５３Ｒと接続されて第１検査配線４３Ｒに検査信号を入力する第２プローブ１３３Ｒ、第３入力パッド５３Ｇと接続されて第２検査配線４３Ｇに検査信号を入力する第３プローブ１３３Ｇ、及び、第４入力パッド５３Ｂと接続されて第３検査配線４３Ｂに検査信号を入力する第４プローブ１３３Ｂを備えている。

このような構成によれば、第２構成例と同様に、検査パッドと検査端子との位置合わせが容易となり、検査工程を簡素化することができる。また、これに加えて、図１０Ｃに示すように、ソース検査端子１２１は、ソース検査部３１におけるすべての検査パッドＰＣに対して同時に接触可能であり、一括してこれらの検査パッドＰＣに対して検査信号を入力することが可能である。これにより、ソース線Ｓの一端側から検査信号を入力することが可能となる。また、各入力パッドに対して対応するプローブを接続することにより、一括してソース線Ｓの他端側から検査信号を入力することも可能となる。

このような検査装置１００を適用した検査方法の一例を説明する。
まず、信号生成部１１０は、アクティブエリア６のスイッチング素子７をオンするような走査信号に対応した第１検査信号、及び、各画素が点灯状態（明状態）となるような映像信号に対応した第２検査信号を生成する。そして、所定のタイミングにおいて、第１ゲート検査端子１２２Ａ乃至Ｄを介して第１ゲート検査部３２の各検査パッドＰＣから第１検査信号を入力するのに続いて、ソース検査部３１のすべての検査パッドＰＣから第２検査信号を入力する。これにより、アクティブエリア６における奇数ラインのすべての画素が点灯可能となる。この表示状態に応じて、各配線の断線及びショートの有無が検査される。

続く所定のタイミングにおいては、第２ゲート検査端子１２３Ａ乃至Ｄを介して第２ゲート検査部３３の各検査パッドＰＣから第１検査信号を入力するのに続いて、ソース検査部３１のすべての検査パッドＰＣから第２検査信号を入力する。これにより、アクティブエリア６における偶数ラインのすべての画素が点灯可能となる。この表示状態に応じて、各配線の断線及びショートの有無が検査される。

続いて、信号生成部１１０は、第２検査部４０のスイッチング素子４１をオンするような走査信号に対応した制御信号、及び、各画素が点灯状態（明状態）となるような映像信号に対応した検査信号を生成する。そして、所定のタイミングにおいて、第１プローブ１３２を介して第１入力パッド５２から制御信号を入力するのに続いて、第２プローブ１３３Ｒを介して第２入力パッド５３Ｒから検査信号を入力する。これにより、アクティブエリア６における赤色副画素が点灯可能となる。この表示状態（各画素の点灯状態）に応じて、隣接するソース線間のショートの有無が検査される。

同様に、第１入力パッド５２から制御信号を入力した状態で、第３プローブ１３３Ｇを介して第３入力パッド５３Ｇから検査信号を入力し、その後、第４プローブ１３３Ｂを介して第４入力パッド５３Ｂから検査信号を入力する。これにより、アクティブエリア６における緑色副画素及び青色副画素が順次点灯可能となり、これらの表示状態に応じて隣接するソース線間のショートの有無が検査される。

以上のような検査装置を適用したことにより、コストの増大を招くことなく液晶表示パネル上の配線不良の有無を確実に検査することが可能となる。このため、配線不良を有する液晶表示パネルの後工程（駆動源の実装工程）への流出を阻止することができ、製造歩留まりの低下を抑制することが可能となる。

なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。

この発明の表示装置は、上述した液晶表示装置に限定されるものではなく、自己発光素子を表示素子とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置などであっても良い。

図１Ａは、この発明の一実施の形態に係る液晶表示装置の構成例を概略的に示す図である。 図１Ｂは、この発明の一実施の形態に係る液晶表示装置の他の構成例を概略的に示す図である。 図１Ｃは、この発明の一実施の形態に係る液晶表示装置の他の構成例を概略的に示す図である。 図１Ｄは、この発明の一実施の形態に係る液晶表示装置の他の構成例を概略的に示す図である。 図２は、この発明の一実施の形態に係る液晶表示パネルの断面構造を示す図である。 図３は、駆動ＩＣチップのバンプと接続されるパッドのレイアウト例を示す図である。 図４は、図３に示したパッドに対応した検査部の構成を示す図である。 図５は、図４に示した検査部の断面構造を示す図である。 図６Ａは、図４に示した検査部に対応した検査装置の第１構成例を示す図である。 図６Ｂは、図６Ａに示した検査装置における検査端子部の断面構造を示す図である。 図６Ｃは、図４に示した検査部に図６Ａに示した検査端子部を接触させた状態を示す図である。 図７Ａは、図４に示した検査部に対応した検査装置の第２構成例を示す図である。 図７Ｂは、図７Ａに示した検査装置における検査端子部の断面構造を示す図である。 図７Ｃは、図４に示した検査部に図７Ａに示した検査端子部を接触させた状態を示す図である。 図８は、この発明の一実施の形態に係る液晶表示装置の他の構成例を概略的に示す図である。 図９は、図８に示した液晶表示パネルにおける第２検査部の構成を示す図である。 図１０Ａは、図８に示した液晶表示パネルに適用可能な検査装置の構成例を示す図である。 図１０Ｂは、図１０Ａに示した検査装置における検査端子部の断面構造を示す図である。 図１０Ｃは、図４に示した検査部に図１０Ａに示した検査端子部を接触させた状態を示す図である。

符号の説明

ＰＸ…画素 Ｇ…ゲート線 Ｓ…ソース線 ＰＩ…入力パッド ＰＯ…出力パッド ＰＣ…検査パッド ＷＰ…引出線
１…液晶表示パネル ３…アレイ基板 ４…対向基板 ５…液晶層 ６…アクティブエリア ７…スイッチング素子 ８…画素電極 ９…対向電極 １０…外周部
１１…駆動ＩＣチップ １１Ｓ…ソース線駆動部 １１Ｇ…ゲート線駆動部
２０…入力部 ２２…ソース信号出力部 ２３…第１ゲート信号出力部 ２４…第２ゲート信号出力部
３０…検査部 ３１…ソース検査部 ３１Ｒ…第１検査パッド群 ３１Ｇ…第２検査パッド群 ３１Ｂ…第３検査パッド群 ３２…第１ゲート検査部 ３３…第２ゲート検査部 ４０…第２検査部 ４１…スイッチング素子 ４２…制御配線 ４３Ｒ…第１検査配線 ４３Ｇ…第２検査配線 ４３Ｂ…第３検査配線 ５０…パッド部 ５２…第１入力パッド ５３Ｒ…第２入力パッド ５３Ｇ…第３入力パッド ５３Ｂ…第４入力パッド
１００…検査装置 １１０…信号生成部 １２０…検査端子部 １２１Ｒ…第１ソース検査端子 １２１Ｇ…第２ソース検査端子 １２１Ｂ…第３ソース検査端子 １２１…ソース検査端子 １２２…第１ゲート検査端子 １２３…第２ゲート検査端子１３２…第１プローブ １３３Ｒ…第２プローブ １３３Ｇ…第３プローブ １３３Ｂ…第４プローブ

Claims (8)

1. 複数の画素によって構成されたアクティブエリアを備え、各画素が複数色の副画素を備え、各色の組み合わせによってカラー表示を行う表示装置であって、
   前記アクティブエリアにおいて、副画素の行方向に沿って延在する複数のゲート線、及び、副画素の列方向に沿って延在する複数のソース線と、
   前記アクティブエリアの外側に位置する外周部に配置され、駆動源が接続されるとともに前記ソース線のそれぞれに接続された出力パッドと、
   駆動源が接続された際に駆動源と重なる領域に配置され、前記出力パッドのそれぞれと接続された検査パッドと、を備え、
   前記検査パッドのうち、同一色の副画素に対応した前記検査パッドは、同一直線上に並んで配置されたことを特徴とする表示装置。
2. 前記画素は、赤色副画素、緑色副画素、及び、青色副画素を備え、
   赤色副画素に対応した複数の前記検査パッドが一直線上に並んだ第１検査パッド群と、
   緑色副画素に対応した複数の前記検査パッドが一直線上に並んだ第２検査パッド群と、
   青色副画素に対応した複数の前記検査パッドが一直線上に並んだ第３検査パッド群と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
3. 前記出力パッドと前記検査パッドとを接続する引出線は、絶縁層によって覆われ、
   前記出力パッド及び前記検査パッドは、前記絶縁層に形成されたコンタクトホールを介して前記引出線と接続されたことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
4. 複数の画素によって構成されたアクティブエリアを備えた表示装置であって、
   前記アクティブエリアにおいて、各画素に対して駆動信号を供給する信号配線と、
   前記アクティブエリアの外側に位置する外周部において、駆動源が接続されるとともに前記信号配線の一端にそれぞれ接続された出力パッドと、第１検査部及び第２検査部と、を備え、
   前記第１検査部は、駆動源が接続された際に駆動源と重なる領域に配置され、前記出力パッドのそれぞれと接続された検査パッドを備え、
   前記第２検査部は、前記信号配線の他端にそれぞれ接続されたスイッチング素子と、前記スイッチング素子のオン・オフを制御する制御信号を供給するための制御配線と、隣接する前記信号配線のうちの一方に対して前記スイッチング素子を介して検査信号を供給するための第１検査配線と、隣接する前記信号配線のうちの他方に対して前記スイッチング素子を介して検査信号を供給するための第２検査配線と、を備えたことを特徴とする表示装置。
5. 複数の画素によって構成されたアクティブエリアにおいて、各画素に対して駆動信号を供給する信号配線を備え、アクティブエリアの外側に位置する外周部において、駆動源が接続されるとともに前記信号配線の一端にそれぞれ接続された出力パッドと、前記出力パッドのそれぞれと接続された検査パッドと、を備えた表示装置に適用される検査装置であって、
   検査信号を生成する信号生成部と、
   複数の前記検査パッドに対して同時に接触して、前記信号生成部によって生成された検査信号を入力する検査端子と、
   を備えたことを特徴とする検査装置。
6. 前記検査端子は、一直線上に並んだ複数の検査パッドからなる第１検査パッド群に対応した第１検査端子と、前記第１検査パッド群から離間して一直線上に並んだ複数の検査パッドからなる第２検査パッド群に対応した第２検査端子と、を含むことを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
7. 前記信号配線の他端にそれぞれ接続されたスイッチング素子のオン・オフを制御する制御信号を制御配線に入力する第１プローブと、
   隣接する前記信号配線のうちの一方に対して前記スイッチング素子を介して供給される検査信号を第１検査配線に入力する第２プローブと、
   隣接する前記信号配線のうちの他方に対して前記スイッチング素子を介して供給される検査信号を第２検査配線に入力する第３プローブと、を備えたことを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
8. 前記検査端子は、導電性ゴムによって形成されたことを特徴とする請求項５に記載の検査装置。

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