JP2008173959A - 液滴吐出ヘッド、エネルギー変換素子、圧電デバイス、ｍｅｍｓ構造、カンチレバー型アクチュエータ、圧電センサー及び圧電リニアモータ - Google Patents

液滴吐出ヘッド、エネルギー変換素子、圧電デバイス、ｍｅｍｓ構造、カンチレバー型アクチュエータ、圧電センサー及び圧電リニアモータ Download PDF

Info

Publication number
JP2008173959A
JP2008173959A JP2007282888A JP2007282888A JP2008173959A JP 2008173959 A JP2008173959 A JP 2008173959A JP 2007282888 A JP2007282888 A JP 2007282888A JP 2007282888 A JP2007282888 A JP 2007282888A JP 2008173959 A JP2008173959 A JP 2008173959A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
groove
substrate
energy conversion
thin film
piezoelectric
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2007282888A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2008173959A5 (enExample
Inventor
Jiro Kato
治郎 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2007282888A priority Critical patent/JP2008173959A/ja
Priority to US11/960,443 priority patent/US7950782B2/en
Publication of JP2008173959A publication Critical patent/JP2008173959A/ja
Publication of JP2008173959A5 publication Critical patent/JP2008173959A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
JP2007282888A 2006-12-21 2007-10-31 液滴吐出ヘッド、エネルギー変換素子、圧電デバイス、ｍｅｍｓ構造、カンチレバー型アクチュエータ、圧電センサー及び圧電リニアモータ Withdrawn JP2008173959A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007282888A JP2008173959A (ja) 2006-12-21 2007-10-31 液滴吐出ヘッド、エネルギー変換素子、圧電デバイス、ｍｅｍｓ構造、カンチレバー型アクチュエータ、圧電センサー及び圧電リニアモータ
US11/960,443 US7950782B2 (en) 2006-12-21 2007-12-19 Droplet discharging head, energy converter, piezoelectric device, MEMS structure, cantilever actuator, piezoelectric sensor, and piezoelectric linear motor

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006343901 2006-12-21
JP2007282888A JP2008173959A (ja) 2006-12-21 2007-10-31 液滴吐出ヘッド、エネルギー変換素子、圧電デバイス、ｍｅｍｓ構造、カンチレバー型アクチュエータ、圧電センサー及び圧電リニアモータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008173959A true JP2008173959A (ja) 2008-07-31
JP2008173959A5 JP2008173959A5 (enExample) 2010-08-26

Family

ID=39701332

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007282888A Withdrawn JP2008173959A (ja) 2006-12-21 2007-10-31 液滴吐出ヘッド、エネルギー変換素子、圧電デバイス、ｍｅｍｓ構造、カンチレバー型アクチュエータ、圧電センサー及び圧電リニアモータ

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2008173959A (enExample)
CN (1) CN101239532A (enExample)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015136870A (ja) * 2014-01-23 2015-07-30 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法
JP2016052734A (ja) * 2014-09-03 2016-04-14 ローム株式会社 インクジェットヘッド
JP2017019168A (ja) * 2015-07-09 2017-01-26 東芝テック株式会社 インクジェットヘッドとその製造方法
JP2017087741A (ja) * 2017-02-20 2017-05-25 東芝テック株式会社 インクジェットヘッド
WO2023176549A1 (ja) * 2022-03-14 2023-09-21 京セラ株式会社 圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッドおよび記録装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103085479B (zh) * 2013-02-04 2015-12-23 珠海赛纳打印科技股份有限公司 一种墨水喷头及其制造方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07156384A (ja) * 1993-12-02 1995-06-20 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド
JPH07235708A (ja) * 1993-12-28 1995-09-05 Ngk Insulators Ltd 圧電／電歪膜型素子の製造方法
JP2003311954A (ja) * 2002-02-19 2003-11-06 Brother Ind Ltd インクジェットヘッド及びこれを有するインクジェットプリンタ
JP2004082623A (ja) * 2002-08-28 2004-03-18 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド
JP2005041054A (ja) * 2003-07-25 2005-02-17 Kyocera Corp 印刷ヘッド及びその製造方法、並びにインクジェットプリンタ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07156384A (ja) * 1993-12-02 1995-06-20 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド
JPH07235708A (ja) * 1993-12-28 1995-09-05 Ngk Insulators Ltd 圧電／電歪膜型素子の製造方法
JP2003311954A (ja) * 2002-02-19 2003-11-06 Brother Ind Ltd インクジェットヘッド及びこれを有するインクジェットプリンタ
JP2004082623A (ja) * 2002-08-28 2004-03-18 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド
JP2005041054A (ja) * 2003-07-25 2005-02-17 Kyocera Corp 印刷ヘッド及びその製造方法、並びにインクジェットプリンタ

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015136870A (ja) * 2014-01-23 2015-07-30 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法
JP2016052734A (ja) * 2014-09-03 2016-04-14 ローム株式会社 インクジェットヘッド
JP2017019168A (ja) * 2015-07-09 2017-01-26 東芝テック株式会社 インクジェットヘッドとその製造方法
JP2017087741A (ja) * 2017-02-20 2017-05-25 東芝テック株式会社 インクジェットヘッド
WO2023176549A1 (ja) * 2022-03-14 2023-09-21 京セラ株式会社 圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッドおよび記録装置
JPWO2023176549A1 (enExample) * 2022-03-14 2023-09-21

Also Published As

Publication number Publication date
CN101239532A (zh) 2008-08-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4321618B2 (ja) 液体噴射ヘッド及びその製造方法
US8591011B2 (en) Piezoelectric element, actuator device, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus
JP2008173959A (ja) 液滴吐出ヘッド、エネルギー変換素子、圧電デバイス、ｍｅｍｓ構造、カンチレバー型アクチュエータ、圧電センサー及び圧電リニアモータ
US8197035B2 (en) Actuator device and liquid ejecting head including the same
US7891782B2 (en) Liquid injecting head, method of manufacturing liquid injecting head, and liquid injecting device
US20100123761A1 (en) Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, actuator device, and method for manufacturing the liquid ejecting head
US9634235B2 (en) Method for manufacturing liquid ejecting head
JP2009051104A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP5605553B2 (ja) 圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置
US7950782B2 (en) Droplet discharging head, energy converter, piezoelectric device, MEMS structure, cantilever actuator, piezoelectric sensor, and piezoelectric linear motor
JP2012033866A (ja) 圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置
JP2012240366A (ja) 圧電素子、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置
JP2010143205A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置
JP2009061729A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2008296417A (ja) 液滴吐出ヘッド及びその製造方法、液滴吐出装置
JP2010125727A (ja) 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置
JP6172437B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2011212869A (ja) 圧電アクチュエータ、液滴噴射ヘッドおよび液滴噴射装置
JP2010000728A (ja) 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びアクチュエータ
JP2008149636A (ja) アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置
US20250353300A1 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
US20250353301A1 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
US20250303713A1 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2011005774A (ja) 圧電型アクチュエータ、圧電型アクチュエータの製造方法、ヘッドカートリッジ、液滴吐出装置およびマイクロポンプ
JP2025151795A (ja) 液体吐出ヘッド、および液体吐出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100709

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100709

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120326

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120417

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20120613