JP2008171807A - プラズマ処理チャンバでプラズマに露出されたポートでのアーク放電を防止する方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回路コンポーネントを用いて、ドアにポートを密閉させて、プラズマの励起周波数で、短絡パスを提供する。一実施形態において、ドアは、エッチングチャンバの基板搬送ポートを密閉するスリットバルブドアである。
【選択図】図2B
Description
本発明の実施形態は、概して、集積回路を製造するのに半導体業界で用いられるプラズマ処理チャンバ、特に、プラズマ処理チャンバにおけるアーク放電又は望ましくないプラズマグローを防止する方法及び装置に関する。
集積回路(IC)の製造では、プラズマエッチングチャンバ、プラズマエンハンスド化学蒸着(PECVD)チャンバ、反応性イオンエッチング(RIE)チャンバ、電子サイクロトロン共鳴(ECR)チャンバ等のプラズマチャンバを用いて多くの処理工程が実施される。かかるチャンバにおけるプラズマ誘導アーク放電は、歩留まりに悪影響を及ぼす現象であり、これが、パーティクル汚染や、ICの製造フィーチャー及びデバイスの不均一性を招く。
従って、チャンバポートでの望ましくないプラズマ形成を防止するのを改善する必要がある。
Claims (20)
- プラズマ処理チャンバにおいて、
基板アクセスポートを有するチャンバ本体と、
前記チャンバ内に形成されたプラズマにエネルギーを結合するための要素と、
前記プラズマが形成される前記チャンバ本体内の領域に露出されたチャンバコンポーネントと、
前記チャンバコンポーネントを接地に結合する接地パスとを含み、前記接地パスが、前記プラズマの励起周波数に応答して選択された調整可能又は交換可能な回路コンポーネントを少なくとも1つ含み、前記チャンバコンポーネントと接地の間に所定のインピーダンス値を与えるプラズマ処理チャンバ。 - プラズマ処理チャンバにおいて、
基板アクセスポートを有するチャンバ本体と、
前記基板アクセスポートを閉鎖するように配置可能なドアであって、プラズマが形成される前記チャンバ本体内の領域に露出した面を有するドアと、
前記ドアを接地に結合する接地パスとを含み、前記接地パスが、前記プラズマの励起周波数に応答して選択された調整可能又は交換可能な回路コンポーネントを少なくとも1つ含み、前記ドアと接地の間に所定のインピーダンス値を与えるプラズマ処理チャンバ。 - 前記回路コンポーネントが、キャパシタ又はインダクタのうち少なくとも1つを含む請求項2記載の処理チャンバ。
- 前記回路コンポーネントが、前記ドアに配置されている請求項2記載の処理チャンバ。
- 前記ドアが、
前記アクセスポートを閉鎖するように配置可能な密閉パネルと、
前記密閉パネルに結合された駆動パネルと、
前記駆動パネルを密閉パネルから電気的に分離する誘電体スペーサであって、前記回路コンポーネントを収容しており、前記回路コンポーネントは、前記駆動パネルを前記密閉パネルに電気的に結合している、誘電体スペーサとを含む請求項2記載の処理チャンバ。 - 前記駆動パネルが、接地に結合されている請求項5記載の処理チャンバ。
- 前記回路コンポーネントが、ドアから離れている請求項2記載の処理チャンバ。
- 作動装置と、
前記作動装置を前記ドアに結合するロッドであって、前記回路コンポーネントが、前記ロッドと直列に結合されている、ロッドとを含む請求項7記載の処理チャンバ。 - 前記ロッドが、接地に結合されている請求項7記載の処理チャンバ。
- 前記ロッドがキャビティを含み、その中に前記回路コンポーネントが配置されている請求項7記載の処理チャンバ。
- 前記ドアに結合されたリードを含み、前記リードが直列に結合された前記回路コンポーネントを有する請求項7記載の処理チャンバ。
- プラズマ処理チャンバにおいて、
基板アクセスポートを有するチャンバ本体と、
前記基板アクセスポートを閉鎖するように配置可能なドアであって、プラズマが形成される前記チャンバ本体内の領域に露出した面を有するドアと、
ロッドと、
前記ドアに前記ロッドにより結合された作動装置であって、前記ドアの位置を制御する作動装置と、
前記ドアを接地に結合する接地パスとを含み、前記接地パスが、前記ロッド又はドアのうち少なくとも1つに配置された交換可能な回路コンポーネントを含むプラズマ処理チャンバ。 - 前記回路コンポーネントが、キャパシタ又はインダクタのうち少なくとも1つを含む請求項12記載の処理チャンバ。
- プラズマチャンバにおいて、プラズマに露出されたポートを密閉するドアでのアーク放電を防止する方法であって、
前記プラズマチャンバの基板搬送ポートを密閉するために適合されたスリットバルブドアを有する前記プラズマチャンバを提供する工程であって、前記ドアが、接地パスを通して接地に電気的に結合されている工程と、
搬送ポート密閉位置にある前記ドアのインピーダンスを測定して、前記プラズマチャンバに形成されたプラズマの励起周波数で、前記接地パスを通して短絡を与えるのに必要なインピーダンスを求める工程と、
前記接地パスと、回路コンポーネントを直列に結合する工程であって、前記回路コンポーネントが、前記求めたインピーダンスに実質的に等しいインピーダンス値を有する工程とを含むアーク放電を防止する方法。 - 前記接地パスと、前記回路コンポーネントを直列に結合する工程が、
前記測定工程中に用いた導電性シャントを、電気コンポーネントと交換する工程を含む請求項14記載の方法。 - 前記接地パスと、前記回路コンポーネントを直列に結合する工程が、
前記電気コンポーネントを前記ドアに据付ける工程を含む請求項14記載の方法。 - 前記接地パスと、前記回路コンポーネントを直列に結合する工程が、
ロッドに前記電気コンポーネントを据付けて、前記ドアを作動装置に結合する工程を含む請求項14記載の方法。 - 前記接地パスと、前記回路コンポーネントを直列に結合する工程が、
前記ドアとドアを結合するリードと、前記電気コンポーネントを直列に据付ける工程を含み、前記電気コンポーネントが、前記ドアから離れた位置に据付けられている請求項14記載の方法。 - 前記接地パスと、前記回路コンポーネントを直列に結合する工程が、
前記接地パスの第1の平行な分岐に、第1の電気コンポーネントを据付ける工程であって、前記接地パスが第1のプラズマ励起周波数で短絡を与えるように選択された工程と、
前記接地パスの第2の平行な分岐に、第2の電気コンポーネントを据付ける工程であって、前記接地パスが第2のプラズマ励起周波数で短絡を与えるように選択された工程とを含む請求項14記載の方法。 - 前記インピーダンスを測定する工程が、ネットワークアナライザを用いて、又は実験データを用いて得られたデータに基づいて前記インピーダンスを求める工程を含む請求項14記載の方法。
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