JP2008170257A - 蛍光寿命測定装置及び成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定対象物に複数の周波数で正弦波駆動させた励起光を照射する励起光源と、励起光を照射した測定対象物から生じた蛍光を入射可能に設けられた受光素子と、該受光素子で受光した蛍光強度を測定するオシロスコープとを有し、複数の周波数で正弦波駆動させた励起光を測定対象物に照射して、発生した蛍光強度の周波数依存性を評価することで測定対象物の蛍光寿命を測定することを特徴とする蛍光寿命測定装置。
【選択図】図1
Description
「パルスサンプリング法」は、感度が悪く、電気信号の歪(リンギングやオーバーシュトなど)やディテクタ自身の歪(走行時間広がりなど)が問題となってくる10ns以下の高速領域で使用されることは少ない。
「時間相関単一光子計数法」は、1パルス励起当たり単一光子の蛍光しか検出できないので、ヒストグラム作成すなわち蛍光寿命測定に膨大な時間を要する。
「位相変調法」は、蛍光が多成分である場合にその解析が困難であり、また、時間分析能が低いため蛍光寿命の測定精度が悪い。
「励起プローブ法」は、光シャッタを開く時刻を変化させながら蛍光光量を測定するので、蛍光寿命測定に時間を要する。
「ストリークカメラ」は、高価である。
また、測定対象物と受光素子との間に波長フィルタを挿入することで、特定の波長成分における蛍光寿命を測定することが可能となる。
本発明の成膜装置は、前記蛍光寿命測定装置を成膜装置に付設したことにより、成膜装置で成膜した測定対象物の蛍光寿命を測定しながら成膜を進めることができ、目的に応じた蛍光寿命を持った有機薄膜等の薄膜を製造することができる。
具体的に有機薄膜の蛍光寿命を本発明で測定した結果を示す。ガラス基板上に1,4−ビス[2−[4−[N,N−ジ(p−トリル)アミノ]フェニル]ビニル]ベンゼン(DSB)、トリス(8−ヒドロキシキノリン)アルミニウム(Alq3)、4−(ジシアノメチレン)2−メチル−6−(ユロリジン−4−イル−ビニル)−4H−ピル(DCM2)ドープのAlq3、5,6,11,12−テトラフェニル−テトラセン(rubrene)を0.5質量%ドープしたAlq3の4種類の有機薄膜をそれぞれ100nmの膜厚で蒸着した。
位相変調法で測定した場合と本発明に係る装置を用いて測定した場合(実施例2)の比較を示す。測定対象物は、DSBドープのCBPとした。位相変調法では、100MHzに変調した励起光で同一サンプルを10回測定した。励起光としては、波長405nmの半導体レーザを用いた。結果を下記表1に示す。
測定対象物とフォトダイオードの間に特定の波長を遮断するフィルタを挿入することで、ある特定の波長成分ごとの蛍光寿命を測定できる。また、フィルタの通過波長を経時変化させることで、蛍光寿命の波長依存性も評価できる。
本発明の蛍光寿命測定装置を蒸着装置やMOCVD装置内に組み込んで、成膜と同時に蛍光寿命をモニタすることで、安定した成膜が可能になる。また、測定した蛍光寿命の値を成膜条件にフィードバックさせることで、例えばドープ濃度を経時的に変化させて、形成している薄膜の厚さ方向で蛍光寿命を均一にすることができる。
Claims (6)
- 測定対象物に複数の周波数で正弦波駆動させた励起光を照射する励起光源と、励起光を照射した測定対象物から生じた蛍光を入射可能に設けられた受光素子と、該受光素子で受光した蛍光強度を測定するオシロスコープとを有し、
複数の周波数で正弦波駆動させた励起光を測定対象物に照射して、発生した蛍光強度の周波数依存性を評価することで測定対象物の蛍光寿命を測定することを特徴とする蛍光寿命測定装置。 - 測定対象物と受光素子との間に、特定の波長の光を遮断するフィルタを挿入して、特定の波長成分ごとに蛍光寿命を測定するように構成したことを特徴とする請求項1に記載の蛍光寿命測定装置。
- フィルタの透過波長を経時的に変化させて蛍光寿命の波長依存性を測定するように構成したことを特徴とする請求項2に記載の蛍光寿命測定装置。
- 励起光源が直接変調型の半導体レーザであることを特徴とする請求項1に記載の蛍光寿命測定装置。
- 励起光源が外部変調型のレーザであることを特徴とする請求項1に記載の蛍光寿命測定装置。
- 成膜装置に、請求項1〜5のいずれかに記載の蛍光寿命測定装置を付設し、成膜中に蛍光寿命を測定可能な構成としたことを特徴とする成膜装置。
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
WO2012111093A1 (ja) | 2011-02-15 | 2012-08-23 | 有限会社ワイ・システムズ | キャリア寿命の測定方法および測定装置 |
DK178437B1 (en) * | 2011-02-07 | 2016-02-29 | Ion Geophysical Corp | METHOD AND DEVICE FOR REGISTRATION OF UNDERWATER SIGNALS |
CN106383102A (zh) * | 2016-09-05 | 2017-02-08 | 广东工业大学 | 一种荧光寿命测量方法及系统 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05264453A (ja) * | 1991-12-13 | 1993-10-12 | Iss Usa Inc | 高速相互相関周波数領域蛍光測定−燐光測定 |
JPH0886753A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Hamamatsu Photonics Kk | 減衰特性測定装置 |
JP2005504561A (ja) * | 2001-03-01 | 2005-02-17 | トラスティーズ・オブ・ダートマウス・カレッジ | 蛍光寿命分光計(fls)および病変組織の検出方法 |
JP2006016660A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Showa Shinku:Kk | 有機薄膜形成装置および方法 |
JP2006519395A (ja) * | 2003-02-28 | 2006-08-24 | ユーティ―バテル エルエルシー | 集積化チューナブル光センサ(itos)システム及びその方法 |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05264453A (ja) * | 1991-12-13 | 1993-10-12 | Iss Usa Inc | 高速相互相関周波数領域蛍光測定−燐光測定 |
JPH0886753A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Hamamatsu Photonics Kk | 減衰特性測定装置 |
JP2005504561A (ja) * | 2001-03-01 | 2005-02-17 | トラスティーズ・オブ・ダートマウス・カレッジ | 蛍光寿命分光計(fls)および病変組織の検出方法 |
JP2006519395A (ja) * | 2003-02-28 | 2006-08-24 | ユーティ―バテル エルエルシー | 集積化チューナブル光センサ(itos)システム及びその方法 |
JP2006016660A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Showa Shinku:Kk | 有機薄膜形成装置および方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DK178437B1 (en) * | 2011-02-07 | 2016-02-29 | Ion Geophysical Corp | METHOD AND DEVICE FOR REGISTRATION OF UNDERWATER SIGNALS |
WO2012111093A1 (ja) | 2011-02-15 | 2012-08-23 | 有限会社ワイ・システムズ | キャリア寿命の測定方法および測定装置 |
US9029801B2 (en) | 2011-02-15 | 2015-05-12 | Ysystems, Ltd. | Apparatus and method for measuring a luminescent decay |
CN106383102A (zh) * | 2016-09-05 | 2017-02-08 | 广东工业大学 | 一种荧光寿命测量方法及系统 |
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Publication number | Publication date |
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