JP2008169965A - 磁気軸受装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気軸受と磁気ダンパを個別に設けて、ラジアル方向の磁気軸受による復元力を、磁気ダンパの吸引力よりも大きくして、軸受剛性と十分なダンピング特性のダンパ効果を得ること、さらに、磁気軸受と磁気ダンパを同一磁路に設けて、軸受とダンパを一体化して小型化を図り、加工負荷に耐えうる剛性と、及び加工外乱による回転体の振動を十分減衰させた受動型の磁気軸受を有する磁気軸受装置を実現する。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の実施形態1における磁気軸受装置を示す構造図である。図1において、17は回転体である回転子で、複数の磁極歯(以下、磁歯という)が設けられた軸受磁極11,12に、工具16が取り付けられている。この回転子17側の軸受磁極11,12から微小間隔の距離をおいて固定子側の軸受磁極1,3,5,7、回転子17から微小間隔の距離をおいて回転子17のスラスト方向の変位を検出する変位センサ13,14が配置され、回転子17とは非接触で支持されている。
図9は本発明の実施形態2における磁気軸受装置を示す構造図である。本実施形態2は前述した実施形態1の磁気ダンパを電磁石タイプとしたものである。図10に本実施形態2における磁気ダンパの構造図を示す。磁気ダンパのダンパ磁極20(磁歯)の面積をS0、磁気ダンパ20のダンパ磁極と回転子17とのギャップをge0、回転中心から磁極までの半径をR0、電磁石巻線の巻数をN0、巻線を流れる電流をI0とすると、電磁石の吸引力Fd2は(数28)
図12は本発明の実施形態3における磁気軸受装置を示す構造図である。本実施形態3は前述した実施形態2のラジアル軸受を電磁石タイプとしたものである。実施形態1と同様に、ラジアル軸受の複数の磁歯のうち最小の磁歯の幅をrg2とし、4つの磁歯を内側から内径をrr1、外径をrr2、内径をrr3、外径をrr4、内径をrr5、外径をrr6、内径をrr7、外径をrr8とする。電磁石巻線の巻数をN2、巻線に流す電流をI2とすると、外径rr8を半径とした円と半径rr8の円をラジアル方向に変位x移動させたときの元の半径rr8の円との交点の回転中心における角度をα2とし、4つの磁歯の幅は等しくrg2とする。変位xに対する復元力Fr1、Fr2は(数31)
図14は本発明の実施形態4における磁気軸受の構造図を示す図である。前述した実施形態1〜3は、軸受磁極とダンパ磁極が別構造で構成されていたが、本実施形態4では同一磁路に軸受磁極とダンパ磁極を設けて兼用した磁気軸受である。
図22は本発明の実施形態5における磁気軸受装置を示す構造図である。本実施形態5は実施形態4の磁気軸受の電磁石巻線を永久磁石にしたものである。第9磁歯61の断面積をS1,第10磁歯62の断面積をS2,ダンパ磁極37の面積をS、永久磁石の磁路方向の長さをlp、永久磁石のラジアル方向の幅をre、永久磁石の外径をRe、永久磁石の保持力をHc、永久磁石の断面積をS6、第9磁歯61及び第10磁歯62と回転子17とのギャップをg3、ダンパ磁極37と回転子17とのギャップをgとすると、磁路の磁束Φは(数44)
2,4,21,26,28,32 電磁石巻線
6,8,10,36 永久磁石
9,20,33,37 固定子側のダンパ磁極
11,12 回転子側の軸受磁極
13,14 変位センサ
15 アクチュエータ
16 工具
17 回転子
19 ケーシング
51 第1磁歯
52 第2磁歯
53 第3磁歯
54 第4磁歯
55 第5磁歯
56 第6磁歯
57 第7磁歯
58 第8磁歯
61 第9磁歯
62 第10磁歯
Claims (12)
- 固定子側と回転子側の第1軸受磁極を、空隙を介してスラスト方向に対向させ、前記空隙に面するそれぞれの第1軸受磁極に前記回転子の回転中心を中心とする同心円状に複数の溝を有し、前記固定子側で第1軸受磁極の溝の少なくとも1つに電磁石巻線を設置することにより前記固定子と前記回転子とに磁気回路を形成したラジアルスラスト軸受と、
前記固定子側と前記回転子側の第2軸受磁極を、空隙を介してスラスト方向に対向させ、前記空隙に面するそれぞれの第2軸受磁極に前記回転子の回転中心を中心とする同心円状に複数の溝を有し、前記固定子側で第2軸受磁極の溝の少なくとも1つに永久磁石を設置することにより前記固定子と前記回転子とに磁気回路を形成したラジアル軸受と、
前記固定子側のダンパ磁極としてラジアル方向に空隙を介して前記回転子に対向させ、前記ダンパ磁極に有する溝に永久磁石を設置することにより、前記固定子と前記回転子とに磁気回路を形成した磁気ダンパと、により構成したことを特徴とする磁気軸受装置。 - 前記ラジアルスラスト軸受における複数の磁極歯のうち最小の磁極歯の幅をrg1、前記複数ある磁極歯を4つの磁極歯としてモデル化して、回転子の回転中心からそれぞれの磁極歯が内径rf1,外径rf2,幅rg1、内径rf3,外径rf4,幅rg1、内径rf5,外径rf6,幅rg1、内径rf7,外径rf8,幅rg1、前記ラジアルスラスト軸受で前記回転子と前記固定子とのスラスト方向のギャップをg1、電磁石巻線の巻線に流す電流をI1、前記巻線の巻き数をN1とし、
前記ラジアル軸受における複数の磁極歯のうち最小の磁極歯の幅をrg2、前記複数ある磁極歯を4つの磁極歯としてモデル化して、前記回転子の回転中心からそれぞれの磁極歯が内径rr1,外径rr2,幅rg2、内径rr3,外径rr4,幅rg2、内径rr5,外径rr6,幅rg2、内径rr7,外径rr8,幅rg2、前記ラジアル軸受で前記回転子と前記固定子とのスラスト方向のギャップをg2、永久磁石の磁気回路方向の長さをlp2、前記永久磁石の内径をRe2、前記永久磁石のスラスト方向の高さをre2、前記永久磁石の保持力をHc2とし、
前記磁気ダンパのダンパ磁極と前記固定子の中心からの半径をR0、前記ダンパ磁極と前記回転子のラジアル方向のギャップをg0、前記ダンパ磁極のスラスト方向の高さをh0、前記永久磁石の磁気回路方向の長さをlp0、前記永久磁石のラジアル方向の幅をre0、前記永久磁石の外径をRe0、前記永久磁石の保持力をHc0とし、
前記回転子のラジアル方向の変位をx、前記外径rf8を半径とした円と該半径rf8の円をラジアル方向に前記変位x移動させたときの元の半径rf8の円との交点で回転中心における角度をα1、前記外径rr8を半径とした円と該半径rr8の円をラジアル方向に前記変位x移動させたときの元の半径rr8の円との交点で回転中心における角度をα2、スラスト軸まわりの回転角度をθ、前記ラジアルスラスト軸受の設置数をm、前記ラジアル軸受の設置数をn、前記磁気ダンパの設置数をkとするとき、(数1)
- 固定子側と回転子側の第1軸受磁極を、空隙を介してスラスト方向に対向させ、前記空隙に面するそれぞれの第1軸受磁極に前記回転子の回転中心を中心とする同心円状に複数の溝を有し、前記固定子側で第1軸受磁極の溝の少なくとも1つに電磁石巻線を設置することにより前記固定子と前記回転子とに磁気回路を形成したラジアルスラスト軸受と、
前記固定子側と前記回転子側の第2軸受磁極を、空隙を介してスラスト方向に対向させ、前記空隙に面するそれぞれの第2軸受磁極に前記回転子の回転中心を中心とする同心円状に複数の溝を有し、前記固定子側で第2軸受磁極の溝の少なくとも1つに永久磁石を設置することにより前記固定子と前記回転子とに磁気回路を形成したラジアル軸受と、
前記固定子側のダンパ磁極としてラジアル方向に空隙を介して前記回転子に対向させ、前記ダンパ磁極に有する溝に電磁石巻線を設置することにより、前記固定子と前記回転子とに磁気回路を形成した磁気ダンパと、により構成したことを特徴とする磁気軸受装置。 - 前記ラジアルスラスト軸受における複数の磁極歯のうち最小の磁極歯の幅をrg1、前記複数ある磁極歯を4つの磁極歯としてモデル化して、回転子の回転中心からそれぞれの磁極歯が内径rf1,外径rf2,幅rg1、内径rf3,外径rf4,幅rg1、内径rf5,外径rf6,幅rg1、内径rf7,外径rf8,幅rg1、前記ラジアルスラスト軸受で前記回転子と前記固定子とのスラスト方向のギャップをg1、電磁石巻線の巻線に流す電流をI1、前記巻線の巻き数をN1とし、
前記ラジアル軸受における複数の磁極歯のうち最小の磁極歯の幅をrg2、前記複数ある磁極歯を4つの磁極歯としてモデル化して、前記回転子の回転中心からそれぞれの磁極歯が内径rr1,外径rr2,幅rg2、内径rr3,外径rr4,幅rg2、内径rr5,外径rr6,幅rg2、内径rr7,外径rr8,幅rg2、前記ラジアル軸受で前記回転子と前記固定子とのスラスト方向のギャップをg2、永久磁石の磁気回路方向の長さをlp2、前記永久磁石の内径をRe2、前記永久磁石のスラスト方向の高さをre2、前記永久磁石の保持力をHc2とし、
前記磁気ダンパのダンパ磁極と前記固定子の中心からの半径をR0、前記ダンパ磁極と前記回転子のラジアル方向のギャップをg0、前記ダンパ磁極のスラスト方向の高さをh0、前記電磁石巻線の巻線に流す電流をI0、前記巻線の巻き数をN0とし、
前記回転子のラジアル方向の変位をx、前記外径rf8を半径とした円と該半径rf8の円をラジアル方向に前記変位x移動させたときの元の半径rf8の円との交点の回転中心における角度をα1、前記外径rr8を半径とした円と該半径rr8の円をラジアル方向に前記変位x移動させたときの元の半径rr8の円との交点の回転中心における角度をα2、スラスト軸まわりの回転角度をθ、前記ラジアルスラスト軸受の設置数をm、前記ラジアル軸受の設置数をn、前記磁気ダンパの設置数をkとするとき、(数2)
- 固定子側と回転子側の第1軸受磁極を、空隙を介してスラスト方向に対向させ、前記空隙に面するそれぞれの第1軸受磁極に前記回転子の回転中心を中心とする同心円状に複数の溝を有し、前記固定子側で第1軸受磁極の溝の少なくとも1つに電磁石巻線を設置することにより前記固定子と前記回転子とに磁気回路を形成したラジアルスラスト軸受と、
前記固定子側と前記回転子側の第2軸受磁極を、空隙を介してスラスト方向に対向させ、前記空隙に面するそれぞれの第2軸受磁極に前記回転子の回転中心を中心とする同心円状に複数の溝を有し、前記固定子側で第2軸受磁極の溝の少なくとも1つに電磁石巻線を設置することにより前記固定子と前記回転子とに磁気回路を形成したラジアル軸受と、
前記固定子側のダンパ磁極としてラジアル方向に空隙を介して前記回転子に対向させ、前記ダンパ磁極に有する溝に電磁石巻線を設置することにより、前記固定子と前記回転子とに磁気回路を形成した磁気ダンパと、により構成したことを特徴とする磁気軸受装置。 - 前記ラジアルスラスト軸受における複数の磁極歯のうち最小の磁極歯の幅をrg1、前記複数ある磁極歯を4つの磁極歯としてモデル化して、回転子の回転中心からそれぞれの磁極歯が内径rf1,外径rf2,幅rg1、内径rf3,外径rf4,幅rg1、内径rf5,外径rf6,幅rg1、内径rf7,外径rf8,幅rg1、前記ラジアルスラスト軸受で前記回転子と前記固定子とのスラスト方向のギャップをg1、電磁石巻線の巻線に流す電流をI1、前記巻線の巻き数をN1とし、
前記ラジアル軸受における複数の磁極歯のうち最小の磁極歯の幅をrg2、前記複数ある磁極歯を4つの磁極歯としてモデル化して、前記回転子の回転中心からそれぞれの磁極歯が内径rr1,外径rr2,幅rg2、内径rr3,外径rr4,幅rg2、内径rr5,外径rr6,幅rg2、内径rr7,外径rr8,幅rg2、前記ラジアル軸受で前記回転子と前記固定子とのスラスト方向のギャップをg2、前記電磁石巻線の巻線に流す電流をI2、前記巻線の巻き数をN2とし、
前記磁気ダンパのダンパ磁極と前記固定子の中心からの半径をR0、前記ダンパ磁極と前記回転子のラジアル方向のギャップをg0、前記ダンパ磁極のスラスト方向の高さをh0、前記電磁石巻線の巻線に流す電流をI0、前記巻線の巻き数をN0とし、
前記回転子のラジアル方向の変位をx、前記外径rf8を半径とした円と該半径rf8の円をラジアル方向に前記変位x移動させたときの元の半径rf8の円との交点の回転中心における角度をα1、前記外径rr8を半径とした円と該半径rr8の円をラジアル方向に前記変位x移動させたときの元の半径rr8の円との交点の回転中心における角度をα2、スラスト軸まわりの回転角度をθ、前記ラジアルスラスト軸受の設置数をm、前記ラジアル軸受の設置数をn、前記磁気ダンパの設置数をkとするとき、(数3)
- 前記電磁石巻線に流す電流を変化させることによって、軸受剛性,ダンピング特性を調整することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の磁気軸受装置。
- 軸受剛性,ダンピング性能を有した磁気軸受装置において、固定子側と回転子側の軸受磁極を、空隙を介してスラスト方向に対向させ、前記空隙に面するそれぞれの軸受磁極に前記回転子の回転中心を中心とする同心円状に複数の溝を有した磁極A面と、前記固定子側と前記回転子側のダンパ磁極を、空隙を介してラジアル方向に対向させた磁極B面と、前記固定子側の磁極A面の溝の少なくとも1つに設置した電磁石巻線と、により前記固定子の前記磁極A面及び前記磁極B面と前記回転子とに磁気回路を形成した磁気軸受を備えたことを特徴とする磁気軸受装置。
- 前記電磁石巻線を設置した磁極A面における複数の磁極歯のうち最小の磁極歯の幅をrg、前記複数ある磁極歯を2つの磁極歯としてモデル化して、回転子の回転中心からそれぞれの磁極歯が内径r1,外径r2,幅rg、内径r3,外径r4,幅rg、前記磁極A面と前記回転子とのスラスト方向のギャップをg3、
前記磁極B面の前記固定子の中心からの半径をR、前記磁極B面と前記回転子のラジアル方向のギャップをg、前記回転子のラジアル方向の変位をx、前記外径r4を半径とした円と該半径r4の円をラジアル方向に前記変位x移動させたときの元の半径r4の円との交点の回転中心における角度をα、スラスト軸まわりの回転角度をθとするとき、(数4)
- 前記磁気軸受を複数個設置した磁気軸受装置において、電磁石巻線に流す電流を変化させることによって、軸受剛性,ダンピング特性を調整することを特徴とする請求項8または9記載の磁気軸受装置。
- 軸受剛性,ダンピング性能を有した磁気軸受装置において、固定子側と回転子側の軸受磁極を、空隙を介してスラスト方向に対向させ、前記空隙に面するそれぞれの軸受磁極に前記回転子の回転中心を中心とする同心円状に複数の溝を有した磁極A面と、前記固定子側と前記回転子側のダンパ磁極を、空隙を介してラジアル方向に対向させた磁極B面と、前記固定子側の磁極A面の溝の少なくとも1つに設置した永久磁石と、により前記固定子の前記磁極A面及び前記磁極B面と前記回転子とに磁気回路を形成した磁気軸受を備えたことを特徴とする磁気軸受装置。
- 前記永久磁石を設置した磁極A面における複数の磁極歯のうち最小の磁極歯の幅をrg、前記複数ある磁極歯を2つの磁極歯としてモデル化して、回転子の回転中心からそれぞれの磁極歯が内径r1,外径r2,幅rg、内径r3,外径r4,幅rg、前記磁極A面と前記回転子とのスラスト方向のギャップをg3、
前記磁極B面の前記固定子の中心からの半径をR、前記永久磁石の磁気回路方向の長さをlp、前記永久磁石のラジアル方向の幅をre、前記永久磁石の外径をRe、前記磁極B面と前記回転子のラジアル方向のギャップをg、前記回転子のラジアル方向の変位をx、前記外径r4を半径とした円と該半径r4の円をラジアル方向に前記変位x移動させたときの元の半径r4の円との交点の回転中心における角度をα、スラスト軸まわりの回転角度をθとするとき、(数5)
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